【課題】高精度な照度検出を可能とする固体撮像装置及びカメラモジュールを提供すること。
【解決手段】実施形態によれば、固体撮像装置１２は、イメージセンサ２０、輝度平均算出部２１、閾値生成部２２、輝度積算部２３、輝度観測値算出部２４及び照度値変換部２５を有する。輝度平均算出部２１は、画素ごとの輝度値の平均を算出する。閾値生成部２２は、輝度平均算出部２１において算出された平均値を基に、輝度レベルについての閾値を生成する。輝度観測値算出部２４は、輝度積算部２３における積算結果を基に、輝度観測値を算出する。輝度観測値は、撮像画面全体についての輝度の観測結果である。照度値変換部２５は、輝度観測値算出部２４からの輝度観測値を照度値に変換する。輝度積算部２３は、イメージセンサ２０において検出された輝度値のうち、閾値生成部２２で生成された閾値との比較により選別された輝度値を積算する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光以外の波長を有した露光光を容易に評価する露光量評価方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一つの実施形態によれば、フォトマスクが、露光光のうちＥＵＶ光よりも長い波長を有した長波長光を反射し且つ前記ＥＵＶ光を吸収する長波長光反射膜を有している。また、フォトマスクは、前記長波長光反射膜の上層側に配置されるとともに前記ＥＵＶ光および前記長波長光を吸収する吸収膜を用いて形成されたマスクパターンを有している。そして、フォトマスクと、レジストが塗布された露光対象の基板と、をＥＵＶ露光装置内にセットする。前記フォトマスクに対し前記マスクパターン側から前記露光光を照射するとともに、前記フォトマスクで反射された露光光を前記基板に照射する。そして、前記基板に照射された露光光の露光量に基づいて、前記基板に照射された長波長光の光量分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】 予備照射のための光源や、予備電流を供給するブロックを持つことなく、測光センサーの光応答性を改善することを目的とする
【解決手段】 測光センサーのリセット機能の使用、不使用を、測光センサーの無受光期間の長さに応じて切り替えることを特徴とする構成とした。 （もっと読む）

【課題】面倒な演算等を行うことなく、測光精度を低下させないようにする。
【解決手段】被写界を複数の測光領域に分割し光強度に比例した電荷を発生し蓄積する光電変換素子１と、光電変換素子２で蓄積している電荷を転送する転送手段２と、転送手段２から転送された電荷を保持し電圧に変換する電荷電圧変換手段５，２１と、電荷電圧変換手段５，２１を基準レベルにリセットするリセット手段６と、光電変換素子１で蓄積している電荷を電荷電圧変換手段５，２１に転送しないようにするための転送手段３と、転送手段３で転送された電荷を排出する電荷排出手段７，８とを備える。 （もっと読む）

【課題】光の光量の損失を増大させることなく、光学系から射出される光の光量を計測できる光量計測装置、照明光学系、投影光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光量計測装置４０は、露光光ＥＬの光路に配置されたレンズ２９，３４で発生した散乱光をモニタするためのモニタ部４１，４２と、レンズ２９，３４の側面から出力した散乱光をモニタ部４１，４２に導くための光ファイバ４３，４４とを備えている。これらモニタ部４１，４２からは、それらの光電素子４１ａ，４２ａで受光された散乱光の光量に相当する電気信号が制御装置１８にそれぞれ出力される。制御装置１８は、各モニタ部４１，４２から入力した電気信号に応じて、照明光学系１３及び投影光学系１６から射出された露光光ＥＬの光量の変動量をそれぞれ算出する。 （もっと読む）

【課題】ＡＤコンバータ（ＡＤＣ）内蔵のマイコンに適したスポットＡＥ機能を搭載し、ＡＥ精度と動作速度を向上させ、チップサイズが小さく、かつ、低コストのスポットＡＥ機能を搭載したＡＥＡＦ用固体撮像装置を実現する。
【解決手段】ＡＥＡＦ用固体撮像装置は、ＡＦを行うためのフォトダイオード列とこれに蓄積された電荷量に応じたＡＦ信号をマルチプレクサ（ＭＰＸ）１０４を介してマイコン１０９のＡＤコンバータ１１２に出力する駆動回路、検出回路、シフトレジスタを有するＡＦ回路ブロック１０１と、ＡＥを行うためのフォトダイオードを含みこれで光電変換されたＡＥ信号をＭＰＸ１０４を介してマイコン１０９のＡＤＣ１１２に出力するＡＥ回路ブロック１０２とが同一半導体基板１００上に形成され、ＡＦ回路ブロック１０１のモニタ信号（最大値信号）をスポットＡＥ信号としてＭＰＸ１０４を介してマイコン１０９のＡＤＣ１１２に出力する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロリソグラフィー投影露光装置用の照明システムに関するものであって、その場合に照明システムが、射出瞳面（１２１）を照明するための、波長領域≦１００ｎｍ、特にＥＵＶ波長領域内の光を放出する、光源、および射出瞳面（１２１）内で少なくとも１つの第１の照明（２２）を第２の照明（２４）へ変化させることができる素子と光を検出するための少なくとも１つの検出器（１０６．１、１０６．２）を有し、その場合に、照明システムが、検出器（１０６．１、１０６．２）の少なくとも１つの光強度信号を記録して、少なくとも記録した光強度信号に従って制御信号（１６６）を提供する装置（１６４）を有しており、前記制御信号によって、マイクロリソグラフィー投影露光装置の像面（２２１）内で感光性の物体のスキャン速度を調節することができることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 気体中から入射する光の検出を前提とする光量検出器を用いて、液体中から入射する光を検出する光量検出器を較正できる露光装置の提供。
【解決手段】 照明光学系の光路上における、光源からの光量を検出する第１検出器と、基板ステージに配置され照明光学系および投影光学系を介して光源からの光量を検出する第２検出器と、複数の露光条件の各々に関して、投影光学系と第２検出器との間隙に気体を満たした第１状態で第２検出器により検出された第１光量と、上記第１光量の検出と同期して第１検出器により検出された第２光量と、上記間隙に液体を満たした第２状態で第２検出器により検出された第３光量と、上記第３光量の検出と同期して第１検出器により検出された第４光量とに基づいて、第１状態で第２検出器により検出される光量と第２状態で第２検出器により検出される光量との間の変換係数を求める演算器と、を有する露光装置とする。 （もっと読む）

【課題】紫外線強度計で計測した値を放射照度に変換する方法及びその手段を有する放射照度測定装置を提供する。
【解決手段】特定の分光応答度を有し特定のスペクトルを持ち分光放射照度が値付けされた光源により校正された放射強度計を用いて測定対象光源の特定波長範囲における放射照度を測定する方法であって、放射強度計によって測定された測定値を、放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルの波長範囲での積分値と放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルと放射強度計の分光応答度の積を波長範囲で積分して得た値と測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルの波長範囲での積分値と測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルと放射強度計の分光応答度の積を波長範囲で積分して得た値とに基づき補正し、波長範囲における測定対象光源の放射照度を求めることを特徴とする放射照度の測定方法。 （もっと読む）

【課題】 反射率計測センサの校正を短時間で行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】 マスクＭのパターンを投影光学系ＰＬを介して感光性基板Ｐ上に露光する露光装置において、前記感光性基板の反射率を計測する反射率計測センサ１９と、前記反射率計測センサの校正を行うために用いられ、前記感光性基板を載置する基板ステージＰＳＴ上とは別の位置に配置される基準反射板２６と、必要に応じて前記基準反射板を前記基板ステージ上に設置する設置手段と、前記設置手段により設置された前記基準反射板の反射率を前記反射率計測センサにより計測し、計測された前記反射率に基づいて前記反射率計測センサの校正値を算出する算出手段２０と、前記算出手段により算出された前記校正値に基づいて前記反射率計測センサの校正を行う校正手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】感知された光環境を識別する方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明の提供する装置は、複数の光センサ、メモリ、及びコントローラを有する。複数の光センサのそれぞれは、光の異なるレンジに感応し、これらの光レンジの中の１つの少なくとも一部は可視光スペクトル外である。光センサは、光環境に応じて、感知されたデータセットを定義するデータを生成するよう構成される。メモリは、既知の光環境を表す複数の既知のデータセットを保存するよう構成される。コントローラは、メモリをサーチし、感知されたデータセットに類似している少なくとも１つの既知のデータセットを識別し、この識別した既知のデータセットに応答して、感知された光環境を示す出力を提供するよう構成される。 （もっと読む）

【課題】光電変換素子の感度劣化、感度ドリフトの影響を容易に精度良く補償することができ、感度補償による装置のダウンタイム時間を短縮することができ、光電変換素子の良否判定を実施することで、光電変換素子を効率良く使用し、交換することができ、また装置の使用中に突然、光電変換素子の感度がなくなり、装置が使用できなくなるリスクを回避することができる光電計測装置及びその光電計測装置を用いた露光装置を提供する提供する。
【解決手段】光電変換素子２の同一の受光面上の光量計測部位３１と感度校正用計測部位３２からの各々の出力の相関をモニタすることで、半導体光電変換素子２の感度劣化、感度ドリフトの影響を容易に精度良く補償し、感度補償による装置のダウンタイム時間を短縮する。光電変換素子２の良否判定を実施することで、光電変換素子２を効率良く使用し、交換することができ、また装置の使用中に突然、光電変換素子２の感度が無くなり、装置が使用できなくなるリスクを回避する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外界輝度を検出して被写体の撮影を行うカメラに関し、正確な紫外線の強さを表示する機能を有するカメラを提供することを目的とする。
【解決手段】計測された日時と、検出された外界輝度と、所定の判定基準とに基づいて外界の紫外線強度を判定し、判定された紫外線強度を表示する。 （もっと読む）

【課題】 自動的にフラッシュを焚くフラッシュユニットを使用することによって写真画像の色かぶりを防止する改良された装置、カメラ、方法を提供する。
【解決手段】 指定光源を有する保存キャプチャ媒体２２を使って、周辺光下で使用する写真装置、カメラ、方法。この装置は、本体５４と、本体内に設置された周辺光選別器２８６とを備える。周辺光選別器２８６は、周辺光の色値を評価する。フラッシュ発光回路１４９が本体内に設置される。演算回路１３０は周辺光選別器２８６とフラッシュ発光回路１４９を機能的に接続する。フラッシュ発光回路１４９は、色値と指定光源の不一致に応答して準備状態となる。 （もっと読む）