【課題】輪帯面と壁面とが交互に連続して形成された被測定面であっても、フィッティング精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】複数の点データを列毎にグループ化して複数の点列データを生成する（Ｓ１０２）。点列データ毎に走査軌跡面関数をそれぞれ求める（Ｓ１０３）。複数の点データの中から各輪帯面のデータと見做せる点データを各輪帯面に対応して抽出し、得られた抽出データ毎に、その抽出データを関数近似して輪帯面を示す輪帯面関数をそれぞれ求める（Ｓ１０４）。設計データに基づいて壁面関数をそれぞれ求める（Ｓ１０５）。各面関数が交差する各々の交点データを求める（Ｓ１０６）。参照データと交点データとをフィッティングさせる座標変換パラメータを求める（Ｓ１０７）。座標変換パラメータで各点データを座標変換する（Ｓ１０８）。座標変換した点データと被測定面の設計データとの差分を求める（Ｓ１１０）。 （もっと読む）

【課題】光学系にアラインメント誤差が存在しても、被検面の形状を高精度に計測する。
【解決手段】面形状計測装置は、光源１からの光を被検面に照射する投光光学系６と、被検面で反射された光を結像させる結像光学系６と、結像光学系により結像された光を受光するセンサ１１と、該センサからの出力を用いて被検面の形状を計測する計測手段１２とを有する。計測手段は、光源から投光光学系を介して校正基準面８に照射され、該校正基準面で反射されて結像光学系を介してセンサに入射した光の波面の曲率半径を該センサからの出力を用いて算出し、該曲率半径を用いて結像光学系の焦点距離を算出し、該焦点距離を用いて、結像光学系に対してセンサと共役関係となる共役位置を算出し、焦点距離と共役位置とから結像光学系の結像倍率を算出する。さらに、共役位置に被検面を配置したときのセンサからの出力と該結像倍率とを用いて被検面の形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】干渉計の撮像素子から出力される被検面のシェア像を利用し、被検面の形状に関わりなく其の実面形状を直接的に把握すること。
【解決手段】波面分布面Ｗを区画して得た各微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１毎の波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１の各々が干渉計１による測定時に被検体１３の球心Ｏに収束する光路を辿って被検面１３ａに入射した照明光（入射光）の何れかの反射光の光路と一致することに基いて、波面分布面Ｗの微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１における波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１すなわち被検面１３ａからの反射光に相当する波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１毎に、これに対応する照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１つまり入射光の光路を突き止め、これら２つの光路すなわち波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１と照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１の交点位置Ｒ（１）〜Ｒ（Ｃ１）を求めて被検面１３ａの実面形状のデータとする。 （もっと読む）

【課題】非球面を含む被検面の計測に有利な技術を提供する。
【解決手段】非球面を含む被検面を照明する第１の光学系と前記被検面からの光を検出面を有する検出部に導く第２の光学系と、既知の非球面形状を有する基準面を前記検出面と共役な面に配置し、前記基準面からの光が前記検出面に入射する角度を前記検出面上の複数の座標のそれぞれについて前記検出部で検出する第１のステップと、前記被検面を前記共役な面に配置し、前記被検面からの光が前記検出面に入射する角度を前記検出面上の複数の座標のそれぞれについて前記検出部で検出する第２のステップと、前記第１のステップで検出された角度と前記第２のステップで検出された角度との角度差により、前記被検面の面形状と前記既知の非球面形状との差分形状を求め、前記既知の非球面形状に前記差分形状を加えることで前記被検面の面形状を算出する計測方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】凸レンズの周縁の形状を簡易な構成で精度良く検出することができるエッジ検出方法およびエッジ検出装置を提供すること。
【解決手段】凸レンズ１００を撮像する撮像部２を用いて凸レンズ１００の周縁の形状を検出させるためのエッジ検出方法であって、出射開口１１ａが形成されたマスク１１の出射開口１１ａを通じて撮像部２へ向けて拡散光を発し、出射開口１１ａと撮像部２との間の撮像光学系３の被写界深度内に凸レンズ１００を配置し、撮像部２の撮像面４ａに、拡散光が凸レンズ１００を透過して撮像部２へ入射した第一拡散光Ｌ１と、拡散光が凸レンズ１００の外部を通って撮像部２へ入射した第二拡散光Ｌ２とによってマスク１１の像を投影させ、第二拡散光Ｌ２による明部とマスク１１の像による暗部との境界の形状に基づいて凸レンズ１００の周縁の形状を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度な面形状計測に有利な面形状計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、基準点を通過し被検面で反射し基準点に戻る被検光と参照光との干渉波を検出する検出器を含む計測ヘッドと、計測ヘッドを走査する走査機構と、検出された干渉波に基づき被検面の形状を算出する処理部とを備える。処理部は、検出された干渉波から参照光と被検光との間の光路長差を算出し、被検面の形状のノミナル値と計測ヘッド内の光学部品の光学情報とに基づき、検出器における被検光の被検波面及び参照光の参照波面を光学演算により算出し、算出した被検波面及び参照波面から被検光と参照光との間の波面差を算出し、当該波面差から該波面差による位相誤差を算出し、算出した光路長差を算出した位相誤差に基づき補正し、当該光路長差に基づき基準点と被検面との間の距離を算出し、算出した基準点と被検面との間の距離と基準点の座標とに基づき被検面の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面で構成される被検面の形状等を短時間で測定することが可能な光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９の被検面（コバ部表面９５、嵌合面９８、嵌合部底面９９）に対し、顕微干渉計１から測定光軸Ｌに沿って収束しながら進行する低可干渉性の測定光を照射し、被検面の回転位置毎に対応した各回転位置別干渉縞を第１撮像カメラ２４の１次元イメージセンサ２３により撮像する。この各回転位置別干渉縞の画像データに基づき被検面の形状が解析される。 （もっと読む）

【課題】被検円錐面と球面測定用干渉計とのアライメント調整を高精度に行い、被検円錐面の径測定の精度を向上させることが可能な円錐面測定装置を得る。
【解決手段】平面測定用干渉計２０、２軸傾き調整ステージ３２、ＸＹステージ３４およびＺステージ３５により、被検円錐面９１と球面測定用干渉計１０とのアライメント調整を行うとともに、基準レンズ１２のキャッツアイポイントが被検円錐面９１上に位置する基準位置に、被検レンズ９０を配置する。球面測定用干渉計１０からの測定光の一部が被検円錐面９１上の円弧状の領域に対し垂直に入射する被検円錐面測定位置に、被検レンズ９０を移動させ、基準位置と被検円錐面測定位置との間の距離をレーザ測長機４１の検出値により求め、その距離に基づき被検円錐面９１の径の測定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】レンズ素子の嵌合面およびフランジ面の形成精度、表面状態を、被検面を傷付けることなく、ニュートン縞を利用して簡便に観察できるようにしたレンズ素子のニュートン縞観察装置を得る。
【解決手段】嵌合式レンズ素子１のレンズ嵌合部２の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂに密着可能な嵌合面用ゲージ面２０Ａおよびフランジ面用ゲージ面２０Ｂと、光軸Ｌと平行に入射された観察光１１を反射して嵌合面用ゲージ面２０Ａに直角方向から照射するためのミラー面２０Ｅとを有するニュートン原器２０を交換可能に備え、ゲージ面２０Ａ、２０Ｂで反射した参照光と、レンズ素子１の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂで反射した測定光との干渉によるニュートン縞を得て、レンズ素子１の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂの評価を行う。 （もっと読む）

【課題】光学素子の被検面の加工誤差を定量的に評価するのに好適な光学素子形状評価方法を提供すること。
【解決手段】光学素子形状評価方法を、理想面に対する被検面の偏差形状を多項式近似する多項式近似ステップと、多項式近似の結果から偏差形状の回転対称イレギュラリティ成分を切り出して評価形状を計算する評価形状計算ステップと、評価形状の瞳中心を含む領域が平面状に変形するように該評価形状に球面成分又２次成分を付与する成分付与ステップと、球面成分又２次成分が付与された評価形状に基づいて被検面の加工誤差を計算する加工誤差計算ステップとを有する方法とした。 （もっと読む）

【課題】被検曲面の傾きが大きい場合でも被検曲面の形状を高精度に測定することが可能な被検曲面形状測定装置を得る。
【解決手段】被検曲面Ｐの形状の設計データに基づき形成された反射曲面３１を有する反射偏向素子３を用いて測定を行う。この反射曲面３１は、干渉計１から反射曲面３１に入射した測定光の各光線が、被検曲面Ｐに対し垂直に入射して再帰反射され反射曲面３１を経由して干渉計１に戻るとともに、該各光線の光路長が互いに等しくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】互いに平行に形成された２つの面の相対的な傾きを、該２つの面が不透明な部材の表裏両側に位置するような場合でも、１つの測定系により測定可能とする反射偏向素子、相対傾斜測定装置および非球面レンズ測定装置を得る。
【解決手段】干渉計３０からの測定光の一部を、反射偏向素子１０Ｂを介して第１被検面７１に対し垂直に照射するとともに、測定光の他の一部を、反射偏向素子１０Ｂを介さずに第２被検面７２に対し垂直に照射する。第１被検面７１から再帰反射され、反射偏向素子１０Ｂを介して干渉計３０に戻る測定光により形成される第１解析用画像と、第２被検面７１から再帰反射されて干渉計３０に戻る測定光により形成される第２解析用画像とに基づき、第１被検面７１および第２被検面７２の相対的な傾きが解析される。 （もっと読む）

【課題】目標とする非球面波をより正確に発生する非球面波発生光学系。
【解決手段】非球面波を発生するための非球面波発生光学系は、第１非球面を有する第１アルバレツレンズと、第２非球面を有する第２アルバレツレンズと、前記第１アルバレツレンズと前記第２アルバレツレンズとの間に配置されたリレー光学系とを備え、前記第１非球面および前記第２非球面が前記リレー光学系に関して互いに共役な位置に配置され、前記非球面波発生光学系の光軸をｚ軸とするｘｙｚ座標系において、前記第１非球面の形状をｚ＝ｆ１（ｘ、ｙ）、前記第２非球面の形状をｚ＝ｆ２（ｘ、ｙ）とし、前記リレー光学系の倍率をβ、定数をＣとしたときに、前記第１非球面および前記第２非球面が、ｆ２（ｘ，ｙ）＝ｆ１（βｘ，βｙ）＋Ｃを満たすことができる形状を有する。 （もっと読む）

【課題】非球面形状を高精度に測定する際に、被測定物の着脱が正確な位置に作業性よく行える測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１０を保持する被測定物保持機構Ａと、測定光を照射して光干渉測定を行う干渉光学系２を有する干渉光学機構Ｂとは、それぞれ相対的に移動可能に設置されてなり、被測定物保持機構Ａに被測定物１０を先端に保持しエアスピンドルによる回転機構７０で回転駆動されるサンプルステージ６と一体に回転する回転体６４を設けるとともに、該回転体に形成された凹状の係合部６４ａに係合してその回転を規制する規制機構６５を設け、被測定物の着脱時にはサンプルステージの回転を規制する。 （もっと読む）

【課題】画像処理装置および干渉計測定システムにおいて、干渉計の画像表示のための装置構成を簡素化し、干渉縞計測の作業性を向上することができることができるようにする。
【解決手段】画像処理装置１は、アライメント用画像を撮影するアライメントカメラ６と、干渉縞画像を撮影する干渉縞カメラ７とを接続し、これらから送信される画像データを伝送する接続端子部４と、伝送された画像データのうち、アライメント用画像および干渉縞画像のいずれかを選択するカメラ切替スイッチ３Ｂと、選択された画像データによる画像を表示する表示部２と、干渉縞画像の画像データを解析する画像処理部と、カメラ切替スイッチ３Ｂによって干渉縞画像の画像データが選択されたときに、画像処理部によって解析された解析結果を干渉縞画像とともに表示部２に表示する装置制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定面の非球面形状を高精度に測定する際に、被測定物を保持するサンプルステージと干渉光学系の照射先端部との衝突による干渉光学系の照射先端部の破損を防止した構造を有する測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１０を保持する被測定物保持機構Ａと、測定光を照射して光干渉測定を行う干渉光学系２を有する干渉光学機構Ｂとは、それぞれ相対的に移動可能に設置されてなり、被測定物保持機構Ａにおける被測定物１０を先端に保持するサンプルステージ６に干渉光学系２の照射先端部２ａと衝突した際に衝撃を吸収する低強度部６４を設けて干渉光学系２の破損を防止する。 （もっと読む）

【課題】ロッドレンズのレンズ長を補正することにより、ロッドレンズアレイの歩留まりを高めることが可能なロッドレンズのレンズ長決定方法および該方法を用いたロッドレンズアレイの製造方法を提供する。
【解決手段】基準位置Ｏを挟んで互いに等距離離間した対称な位置に、格子１４と受光装置１８を配置すると共に、基準位置Ｏにロッドレンズを配置する配置工程と、格子１４と受光装置１８を基準位置Ｏから互いに反対方向に等距離ずつ移動させることにより、共役長Ｔｃの前後にわたって測定距離Ｄを変化させ、各測定距離Ｄにおいてロッドレンズの光学特性を測定する測定工程と、この測定結果から、ロッドレンズの最適な光学特性を示す最適距離Ｄ_Cを選択する選択工程と、この選択された最適距離Ｄ_Cと共役長Ｔｃに基づいて、レンズ長を変更した場合に最適距離Ｄ_Cが設計上の共役長Ｔｃと一致するようなレンズ長を算出する算出工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】干渉計において被検体を効率よく交換できるとともに、簡素な構成であっても被検体と干渉計本体部との間の位置調整を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１は、被検面１０ａの球心Ｒを軸線Ｏ上に保持する保持突起５と、光源からの可干渉光束を、被検面１０ａに照射する測定光束と参照面で反射された参照光束とに分割して、測定光束による被検面１０ａでの反射光束と参照光束とを干渉させる干渉光学系を収容する干渉計本体部１４と、干渉計本体部１４を保持突起５に対向する位置に配置する架台部２と、干渉計本体部１４を少なくとも軸線Ｏに直交する方向に移動可能に保持し干渉光学系の光軸Ｌを軸線Ｏに対して位置合わせする調整機構２０と、保持突起５を保持し軸線Ｏに沿う方向に移動可能に設けられた可動保持台６と、を備え、調整機構２０と可動保持台６とにより、被検レンズ１０と干渉計本体部１４との位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーを伝わってくる振動を吸収することで、除振器の本来の性能を発揮させることにより高精度なレンズ、ミラーの形状・透過波面の計測を行う。
【解決手段】真空チャンバー１０８の外から干渉計１０１を除振するために真空と大気を隔て、且つ振動を吸収するベローズとして、弾性ベローズ１１３を用いる。さらに弾性ベローズ１１３の変形に関しては、剛体である規制部材１１４を弾性ベローズ１１３の内側に設けることにより変形量を制限している。 （もっと読む）