【課題】構造を過度に複雑化することなく、干渉計部の微小な移動を可能とする干渉対物レンズの技術を提供することを課題とする。
【解決手段】干渉対物レンズ１０は、複数のレンズを内部に収納し、光学装置本体に取付けられる固定筐体１１と、干渉計部１３の少なくとも一部を保持し、固定筐体１１に対して摺動する摺動枠１５と、固定筐体１１に螺合する第１のピッチの雌ねじ１４ａと、摺動枠１５に螺合する第１のピッチと異なる第２のピッチの雌ねじ１４ｂと、を有する調整環１４と、を含んでいる。固定筐体１１と調整環１４と摺動枠１５が差動ねじ機構として機能することにより、干渉計部１３を光軸ＡＸの方向に微小に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】十分に小さく、又、十分堅牢なイメージングプローブを提供する。
【解決手段】光プローブ４は、トルクワイヤ３４と、トルクワイヤ３４内に位置する光ファイバ１０と、光ファイバ１０の一端と同軸であって、この一端と隣接して位置するビームダイレクタ１８と、光ファイバ１０及びビームダイレクタ１８と隣接し、且つ、光ファイバ１０及びビームダイレクタ１８を覆って位置するオーバクラッディング２６と、を含み、オーバクラッディング２６は、光ファイバ１０からビームダイレクタ１８内を通過する光の全内部反射を引き起こすように、ビームダイレクタ１８に隣接する隙間を定義している。光プローブ４は、光ファイバ１０及びビームダイレクタ１８と同軸であって、光ファイバ１０とビームダイレクタ１８との間に位置するビームエクスパンダ１４及びビームシェイパ１６を含む。 （もっと読む）

【課題】物体領域の深部画像の検出を可能にする手術用顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明手術用顕微鏡１００は、主観察のための観察光路と同時観察のための観察光路とを備える。手術用顕微鏡１００は、主観察のための観察光路と同時観察のための観察光路１０６とが通る顕微鏡主対物レンズ１０１を有している。本発明によると、手術用顕微鏡１００は物体領域を検査するためのＯＣＴシステム１２０を含んでいる。ＯＣＴシステム１２０は、顕微鏡主対物レンズ１０１を通して案内されるＯＣＴ走査光路１２３を含んでいる。同時観察のための観察光路１０６には、ＯＣＴ走査光路１２３を同時観察のための観察光路１０６へ入力結合して顕微鏡主対物レンズ１０１を通して物体領域１０８へと案内するために入力結合部材１５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】被観察物に応じた好適な検出が可能な観察を実現する。
【解決手段】入射した光を第１の参照光と第１の測定光とに分岐する第１の分岐手段３と、被観察物に対して第１の測定光を斜入射照明する第１の照明光学系と、斜入射照明された被観察物からの透過光と第１の参照光とを合成する第１の合成手段４と、第１の参照光と被観察物からの透過光との第１の干渉光を検出する第１の検出手段１６とを備えた透過型観察装置と、入射した光を第２の参照光と第２の測定光とに分岐する第２の分岐手段４と、被観察物に第２の測定光を照明する第２の照明光学系と、第２の参照光と被観察物からの反射光とを合成する第２の合成手段４と、第２の参照光と被観察物からの反射光との第２の干渉光を検出する第２の検出手段１６とを備えた反射型観察装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】 光路長のわずかに異なる複数の共振器を組み合わせてひとつの共振器として構成することにより、簡便な手法で線幅の狭まった能動モード同期動作のパルス光を形成する。
【解決手段】 光を増幅させる光利得媒体と光導波路とを含んで構成される光共振器と、該光共振器内における光の強度を変調する変調手段と、を備え、前記光共振器よりパルス光を出射する光源装置であって、前記光利得媒体を含んで構成される前記光共振器を、光路長が互いに異なる複数の光共振器で構成することで、該複数の光共振器における自由スペクトル空間の間隔を相違させ、前記変調により生ずる発振モードの側帯波がなす包絡線により規定される前記パルス光のスペクトル形状を、前記複数の光共振器を個々の光共振器で構成した場合に比べて狭小化したことを特徴とする光源装置。 （もっと読む）

【課題】撮影の動作を増加しない前提で、カラー情報を有する立体的輪郭映像を得ることができ、そしてカラー情報を有し奥行きがより深い平面的明瞭映像を得ることができる撮影装置とその撮影方法を提供する。
【解決手段】測量物に対してスキャンを行い、光源と、第１分光器と、顕微接物レンズ組と、第２分光器と、単色映像センシングデバイスと、映像センシングデバイスと、を含む撮影装置において、光源は、照射光ビームを射出するためのものであり、第１分光器は、照射光ビームを反射するためのものであり、顕微接物レンズ組は、測量物の上方に設けられ、反射基準面を含み、第２分光器は、第１分光器の上方に設けられ、工作光ビームを第１子光ビームと第２子光ビームとに分け、単色映像センシングデバイスは、第１子光ビームの行進経路に設けられ、映像センシングデバイスは、第２子光ビームの行進経路に設けられる。 （もっと読む）

【課題】走査電子像と光学像との同時観察が可能であり、而も構造も簡単な電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを走査する走査手段１０と、電子ビームが走査された試料８から発せられる電子１１を検出する電子検出器１２を有し、該電子検出器からの検出結果に基づき走査電子像を得る走査型電子顕微鏡２と、照明光を射出する発光源１３を有し、試料に照明光を照射して該試料からの反射光を受光して光学像を得る光学顕微鏡３とを具備し、前記電子検出器は電子／光変換する蛍光体層と、該蛍光体層からの蛍光の波長帯域の全て或は略全てが透過する様に制限した波長フィルタと、該波長フィルタを透過した前記蛍光を受光し、光／電気変換する波長検出素子を有し、前記照明光の前記波長フィルタを透過する波長帯域の光量が前記走査電子像の劣化限度を超えない様にした。 （もっと読む）

【課題】広帯域波での画像形成が可能である空間搬送周波数をインターフェロメトリックシステムであり、散乱媒質中の物体のホログラフィック画像を得る。
【解決手段】時間的、空間的に拡大されたインコヒーレント光源１からの光線は、ウエーブスプリッタ２によって、オブジェクトブランチ2.1とレファレンスブランチ2.2に分割され、前者の光は、第1画像機構3.1、第1スキャニング機構8.1を進行して反射器の第１伝達システム6.1に入射し、Ｚ1〜Ｚ4の平面鏡で反射され、画像出力機構4を経由し出力面7に到達する。後者の光も、第1画像機構3.1第2スキャニング機構8.2を進行し回折格子5を介して反射器の第2伝達システム6.2に入射し、Ｚ6、Ｚ5の平面鏡で反射されて画像出力機構4を経由し出力面7に到達する。βとαとの間の関係は、sin(β) ＝ sin(α)／ｍである（ｍは画像出力機構4の倍率）。第1画像機構3.1と第2画像機構3.2との両画像は、光学的に共役である。 （もっと読む）

【課題】データの迅速な撮影が可能であって、構成が技術的にできるだけ簡単に実現されるような、ミリメータサイズの生物学的な対象物の高解像度による３次元的な観察に適した顕微鏡を提供する。
【解決手段】顕微鏡１００において、試料４を定置に保持することができ、照明光路２と検出光路５とには、この両光路２，５を試料近傍領域において摺動させる装置２４，２６が設けられている。この装置２４，２６は例えば、それぞれ１つの傾動可能な鏡を有しているビーム変向ユニットであって良い。両ビーム変向ユニット２４，２６は、その運動を互いに適合させるために１つの制御装置２８の制御下にある。これにより、試料４の、その時点で対象物照明領域２０´によって照射される領域が常に、検出光路５によって検出器８に結像されることが保証される。 （もっと読む）

【課題】焦点面近傍の散乱体の密度が低い場合であっても、精度よく波面を測定する。
【解決手段】散乱体を含む試料内の焦点面からの戻り光と参照光とを干渉させて発生した試料各部に対応する干渉パターンのコントラストを測定するコントラスト測定ステップＳ２と、コントラスト測定ステップＳ２により測定されたコントラストが所定の閾値以上である高コントラスト領域を抽出する領域抽出ステップＳ３と、領域抽出ステップＳ３により抽出された高コントラスト領域について、高コントラスト領域に対応する干渉パターンを波面データに変換する波面算出ステップＳ４とを含む波面測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 参照鏡面についたゴミなどが像面に映り込むのを防ぎ、良好な測定が可能な干渉対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 対物レンズ系２１と、対物レンズ系２１と試料２２との間の光路中に配置された光路分割プリズム２３と、光路分割プリズム２３によって分割された一方の分割光路中に配置される参照鏡２４とを有し、光路分割プリズム２３によって分割された他方の分割光路中に配置される試料２２からの反射光と、参照鏡２４からの反射光とを干渉させる干渉対物レンズ２０において、参照鏡２４は、透明の基板部材２４ａの裏面に反射膜２４ｂが形成された裏面反射鏡であり、試料２２と光路分割プリズム２３との間に、裏面反射鏡の基板部材２４ａによって生じた光路差を補正する光路差補正部材２５を有する。 （もっと読む）

【課題】浅い位置から深い位置まで高いＳ／Ｎ比と適切な解像度を有する断層画像を生成する。
【解決手段】ＯＣＴプロセッサ４００の処理部２２において、焦点位置指定部２３０は、光構造情報検出部２２０に対して測定光Ｌ１の異なる複数の焦点位置を指定する。光構造情報検出部２２０は、焦点位置指定部２３０から指定された焦点位置において干渉光検出部で検出した干渉信号から光構造情報を検出する。断層構造情報生成部２２５は、光構造情報検出部２２０が検出した光構造情報に基づき測定光Ｌ１の異なる複数の焦点位置毎の断層構造情報を生成する。複数焦点画像合成部２２１は、メモリ２３１に格納された異なる複数の焦点位置毎の断層構造情報に基づいた合成断層画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】 三次元干渉顕微鏡観察を提供する。
【解決手段】 サンプル内にあるスイッチャブル光源のうち統計的に散在するサブセットが活性化され、活性化されたスイッチャブル光源が励起され、それにより、光ビームが、少なくとも２つの光路に沿って、活性化されたスイッチャブル光源から放出される。活性化されたスイッチャブル光源から第１の光路に沿って放出される第１の光ビームでの第１の波面修正が導入され、活性化されたスイッチャブル光源から第２の光路に沿って放出される第２の光ビームでの第２の波面修正が導入され、第２の波面修正が、第１の波面修正とは異なる。第１および第２の光ビームが、互いに干渉されて、複数の出力ビームを生成し、光源の三次元位置情報が、複数の出力ビームからの各出力ビームの強度に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成により、参照ミラーを僅かに傾斜させるだけで、ウェハなどの試料（被測定物）の表面形状を計測し、ごみやポールピースなどの正確な座標位置を特定し、電子顕微鏡、描画装置などの荷電粒子ビーム装置にその正確なデータを送受信して、作業効率の向上に一層貢献することができる干渉顕微鏡及び測定装置を提供する。
【解決手段】ウェハなどの試料にレーザ光を照射し、干渉計を用いて、試料の表面内部を観察検査する干渉顕微鏡及び測定装置において、ビームスプリッターと参照ミラーとの間に光を導光するための参照光路を設けるとともに、ビームスプリッターと試料との間に光を導光するための測定光路を設けて、参照光路と測定光路において光学的光路差を設ける。しかも、参照ミラーを微小量傾けることによって、検出手段に干渉縞を形成する。 （もっと読む）

干渉計用の光学アセンブリが提供される。この光学アセンブリは、光軸に沿って定置され、光軸に対して異なる非垂直角に配置された第１及び第２の部分反射表面を含む。第２の部分反射表面は、光軸に沿って第１の部分反射表面を透過した光を受け取り、受け取った光の一部分を検査対象物へ透過して干渉計用の測定光を規定するとともに受け取った光の別の部分を第１の部分反射表面に向け反射して戻して干渉計用の参照光を規定するように構成される。参照光は第２及び第１の部分反射表面間を少なくとも１往復する。
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【課題】光波干渉光学機器の使用者の作業効率を向上させることができるようにする。
【解決手段】温度検出部１０１は、温度センサ６１_１ないし６１_５のそれぞれから供給される検出信号に対応する温度、湿度、気圧等の環境パラメータを検出し、比較演算部１０２は、環境パラメータに基づいて、光波干渉光学系内の空気が揺らいでいるか否かを判定する。装置制御部１０３は、空気が揺らいでいると判定された場合であって、標本画像の取得ができないと判定された場合、CCDカメラ１４による標本の撮像を停止させるとともに、表示部１０４に、「ＮＧ」である文字列を表示させる。本発明は、光波干渉光学系を有する顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成により、参照ミラーを僅かに傾斜させるだけで、ウェハなどの試料（被測定物）の表面形状を計測し、ごみやポールピースなどの正確な座標位置を特定し、電子顕微鏡、描画装置などの荷電粒子ビーム装置にその正確なデータを送受信して、作業効率の向上に一層貢献することができる測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】ウェハなどの試料にレーザ光を照射し、干渉計を用いて、試料の表面内部を観察検査する測定方法及び装置において、ビームスプリッターと参照ミラーとの間に光を導光するための参照光路を設けるとともに、ビームスプリッターと試料との間に光を導光するための測定光路を設けて、参照光路と測定光路において光学的光路差を設ける。しかも、参照ミラーを微小量傾けることによって、検出手段に干渉縞を形成する。 （もっと読む）

本発明は、サンプル（１４）の三次元顕微鏡検査のための構造化照明システム（８）に関する。システム（８）は、コヒーレント光ビーム（Ｉ_N，Ｉ_-N，Ｉ₀）の生成に適合されたビーム生成手段（９，１０）と、後方焦点面（ＰＦＡ）を有し、自身の焦点合わせ面（ＰＭＰ）にサンプル（１４）が配置可能であるレンズ（１２）と、ビームがレンズ（１２）の焦点合わせ面（ＰＭＰ）でコリメートされた状態で干渉するように前記光ビームを後方焦点面（ＰＦＡ）に集束させる焦点合わせ手段（１９）と、を備え、ビーム生成手段（９， １０）が、レンズ光軸に対して非対称な少なくとも２つの異なる回折ビーム（Ｉ_N、Ｉ₀）、（Ｉ_-N、Ｉ₀）を生成すべく光信号（２２）を回折するようプログラムさ
れた光空間変調器（１０）を備え、光空間変調器（１０）は、少なくとも２つのコヒーレントビームの各々に一定の位相項を適用する計算機を備えていることを特徴とする。
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ヒトの角膜の屈折力を測定する光コヒーレンストモグラフィー装置および方法が開示される。該装置は、角膜前面からの鏡面反射光と角膜内部からの拡散反射光の両方を捕集する。角膜の両面の複合屈折力が判定される。
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本開示の一態様の方法は、顕微鏡を用いて、直交偏光状態を有する複数の成分を含む光を試験対象物に向けるとともに試験対象物から反射された光を検出器に向けること、光の成分間の光路長差（ＯＰＤ）を変化させること、成分間のＯＰＤを変化させながら検出器から干渉信号を収集すること、収集された干渉信号に基づいて試験対象物に関する情報を決定することを備える。 （もっと読む）