【課題】簡易な構成でメンテナンスを行なうことができる処理装置および処理装置のメンテナンス方法を提供すること。
【解決手段】ワークＷを搬送する搬送ステージ１３〜１５と、搬送ステージ１３〜１５上を移動するワークＷに所定の処理を施して検査する検査ユニット１００と、搬送ステージ１３〜１５および検査ユニット１００を収容する外装１６と、を備えたＦＰＤ検査装置１であって、外装１６に設けられた挿入孔１６ａを介して外装１６の外部から内部に延び、内部側の端部がメンテナンス対象箇所に向けて配設され、搬送ステージ１３〜１５および検査ユニット１００に対するメンテナンスを行なうメンテナンス手段を挿通するメンテナンス管２０を備えた。 （もっと読む）

【課題】第１の露光部内のステージ上で発生した塵芥によるワークの移送経路上における汚染を防止し、各露光部内においてマスクを清浄に保ったままワークの各面に対する露光を行うことができる露光装置を、提供する。
【解決手段】第１露光部２内に備えられたクリーニングユニット１２は、そのステージ８の上面及びマスク１０の表面を除塵する。反転部３内に備えられたクリーニングユニット１３は、反転装置９による反転後のワークＷの第２面を除塵する。第２露光部４内に備えられたクリーニングユニット１２は、そのステージ８の上面及びマスク１０の表面を除塵する。 （もっと読む）

【課題】設備コストを大幅に低減させつつ効率よく露光を行える露光方法を提供する。
【解決手段】複数のカラーレジスト塗布装置でカラーレジストを塗布されたワークに対して、同じ露光装置ＥＸを用いて露光を行うので、処理効率が向上する。また、露光装置ＥＸの数を極力抑えることが出来、これにより設備コストを低く抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、露光装置においてレチクル，ウエハ，マスク等の基板を搬送する基板搬送装置に関し、基板をステージ装置に吊り下げて保持する場合において、基板をチャックに確実にロードまたはアンロードすることを目的とする。
【解決手段】 ステージに配置され基板を吸着する吸着面を下向きに有するチャックと、前記チャックの下側から前記基板の搬入または搬出を行う搬送アームと、前記搬送アーム側に配置され前記基板の前記チャックへの吸着または離脱時に前記基板を前記吸着面に弾性的に押圧する付勢手段とを有することを特徴とする。また、前記チャックに配置され前記基板の前記チャックからの離脱時に前記基板を前記搬送アーム側に押し出す押出機構を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 用紙載置部の上面と、読取部の下面とが対向するように構成された画像形成装置において、装置の小型化を実現しつつ、かつ良好に用紙搬送を行い得る構成を提供する。
【解決手段】 複合機１は、画像を形成する画像形成部５を備え、画像形成部５の上方には、用紙排出口から排出される用紙を載置可能な排紙トレイ４６が配置されている。さらに、その排紙トレイ４６の上方を覆うように読取部７０が設けられており、排紙トレイ４６の上面４７と、読取部７０の下面７１とが対向するように構成されている。そして、水平方向に対する用紙の排出方向のなす角度を排出角度θとした場合、用紙排出口２４は、排出される用紙３が読取部７０の下面７１に接触するようにこの排出角度θが設定されている。 （もっと読む）