【課題】高い安全性と大きな指先力を確保できるロボットハンドの挟み込み軽減機構を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係るロボットハンドの挟み込み軽減機構１は、駆動機構６から伝達される駆動力によって開閉する一対のハンド部２を備えるロボットハンドの挟み込み軽減機構であって、ハンド部２が開方向に回転駆動するときのみ、ハンド部２に所定の大きさの負荷が作用すると、駆動機構６からハンド部２への駆動力の伝達を減少させる過負荷軽減機構７を備える。 （もっと読む）

【課題】小型の機構で安全性と制御性能を両立できるようにするとともに、最も剛性を高くした状態での剛性を非常に高くすることができる可変剛性機構及びロボットを提供する。
【解決手段】固定部材と、収縮量によってばね定数が変化する非線形ばねと、固定部材との位置を非線形ばねによって支持される支持部材と、非線形ばねに力を加えて非線形ばねの収縮量を変化させる加圧部材と、加圧部材の位置を動かすための剛性調節アクチュエータとを有し、支持部材は、少なくとも１つの突起部を備え、突起部はそれぞれ非線形ばねによって挟まれており、剛性調節アクチュエータは固定部材と加圧部材との位置を変化させる。 （もっと読む）

【課題】比較的簡素で、且つ軽量な構造で多様なワークの保持等に対応できるロボットハンド及びチャックの提供すること。
【解決手段】チャックホルダ１、操作ロッド２、及びチャック爪３からなり、チャックホルダ１は、ワークの保持開放機能を満足すべくチャック爪３が揺動自在に収まる切り込み７と、チャック爪３の基部３ｂ背面を支持する揺動支点を備え、操作ロッド２は、その先端部に側方へ突出した加圧部８を備え、チャックホルダ１の中空部に、操作ロッド２を進退可能に挿通し、操作ロッドの加圧部８とチャックホルダ１の揺動支点で、複数のチャック爪３の基部３ｂを挟持し、各チャック爪３の基部３ｂの内面に、操作ロッド２の進退に伴う加圧部８の進退量を、各チャック爪３の遠心及び向心方向への揺動量に変換するカム部９を備えるチャック。 （もっと読む）

【課題】雰囲気汚染を回避しながらも、高精度にロータの回転角度を検出でき、更に信頼性を確保できるダイレクトドライブモータを提供する。
【解決手段】隔壁１３の円板部１３ａの肉厚が、円筒部１３ｂの肉厚より厚くなっているので、寸法精度や機械精度および温度変化に起因して、隔壁１３に変形が生じた場合でも、薄肉の円筒部１３ｂが先に変形することで、隔壁１３の軸方向応力や曲げ応力を緩和することができ、それによりシール不良や破壊などを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】不可避的な接触又は抗力に対して分離が可能な多関節装置を提供する。
【解決手段】多関節装置Ｍは複数の関節装置１０を備える。関節装置１０は、アーム１の一端部とアーム２の他端部とが可動自在に連結する。アーム１及び異なる関節装置１０のアーム２が共有の軸心を有する。アーム１の他端面と異なる関節装置１０のアーム２の一端面とが結合する。アーム１はＮ極を有する第１強磁性体４を他端面に備え、アーム２はＳ極を有する第２強磁性体５を一端面に備える。アーム１と異なる関節装置１０のアーム２とは、第１強磁性体４と第２強磁性体５とが磁気結合する。又、アーム１と異なる関節装置１０のアーム２とは、共有の軸心を屈折させる強い力が作用すると、第１強磁性体４と第２強磁性体５が分離する磁力で結合している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で人間の顔表情を表出することができ、頭部全体の小型化、軽量化を実現できる他、眉や口等の模擬可動体又は模擬顔面の交換性を良好にし、また、メンテナンス性を向上させること。
【解決手段】顔表情表出ロボット１０は、人間の顔面を模擬した模擬顔面１２と、模擬顔面１２の表面側に動作可能に取り付けられた眉体１４と、眉体１４を動作させて人間の顔表情を模擬表出する表情形成手段１６とを備えている。模擬顔面１４は、磁気を透過可能な材料及び厚みからなる。表情形成手段１６は、眉体１４に取り付けられた表側部材２２と、模擬顔面１４を挟んで表側部材２２に相対配置された裏側部材２４と、裏側部材２４を移動させる移動機構１６とを備えている。表側部材２２及び裏側部材２４は、何れか一方が磁石により構成され、何れか他方が磁石若しくは磁性体により構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造により安定した大きな駆動力を供給可能な、電磁石を用いたアクチュエータを提供すること。
【解決手段】軸部材と、該軸部材に対して摺動する少なくとも２つの独立した摺動部材と、前記摺動部材上において、前記摺動方向について直列に配置された複数の電磁石と、前記電磁石に電流を供給する電流供給部と、を備えたアクチュエータにおいて、アクチュエータの全体長が収縮する方向、および伸張する方向の少なくとも一方について、前記摺動部材を摺動させる方向に斥力あるいは引力を発生させるように、前記複数の電磁石の極性を定めた。 （もっと読む）

フレームと、フレーム内に装着され、第１のモータ部および少なくとも１つの固定子軸受部を含む少なくとも１つの固定子と、少なくとも１つの固定子軸受部が実質的に非接触で磁力により支持する同軸スピンドルであって、その各駆動シャフトが回転子を含み、回転子は第２のモータ部および少なくとも１つの回転子軸受部を含み、少なくとも１つの回転子軸受部は少なくとも１つの固定子軸受部とインターフェース接続するように構成されている、同軸スピンドルと、を備える基板搬送アームのための駆動部。第１のモータ部は、所定の軸でスピンドルを回転させるように、第２のモータ部とインターフェース接続するように構成され、少なくとも１つの固定子軸受部は、少なくとも１つの回転子軸受部との相互作用を介して、同軸スピンドルに接続している基板搬送アームエンドエフェクタの少なくとも平準化を行うように構成されている。
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【課題】基板の予備位置決め機構を搬入ステージ、露光ステージに設置することなく、露光ステージに搬送する前に基板の予備位置決めを行うことができ、ピンの設置位置の調整も簡単な基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】前記搬入ステージ３０上の基板Ｗの端面を押動して予備位置決めを行う予備位置決め機構２と、この予備位置決め機構を支持本体１２により支持すると共に、予備位置決めされた基板を吸着して保持し前記露光ステージ４０に搬送する搬送機構２０とを備え、前記予備位置決め機構は、前記支持本体に支持された駆動手段６と、この駆動手段により駆動して前記基板の端面を押動する押動手段２とを有し、前記駆動手段は、円筒形の磁気軸体７と、この磁気軸体を軸周りに回動させる回動手段８と、この回動手段により回動する磁気軸体の周面に対面させて設けた直線状の第１長尺磁気体９Ａおよび第２長尺磁気体９Ｂと、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】ロボットハンドを磁気吸着し軸によって支持する方法により、過負荷に対する安全装置を構造簡素にして小形、軽量且つ安価なる構成にし、ロボットハンドに加わる左右又は上下又は前後の過負荷に対し有効に機能せしめるロボットハンドの過負荷安全装置を提供する。
【解決手段】ロボットハンド４が取り付けられる部位に第一磁気吸着座面３を設けると共に、ロボットハンド４に第二磁気吸着座面９を設け、上記第一磁気吸着座面３に第二磁気吸着座面９を磁気吸着して上記ロボットハンド４を取り付け支持すると共に、上記第一、第二磁気吸着座面３，９の一方の座面から突出する軸１０を他方の座面で開口せる孔又は溝１１内に嵌合し、上記ロボットハンド４に加わる過負荷により同ロボットハンド４が上記軸と孔又は溝１１の嵌合を介して上記磁気吸着力に抗し左右回動又は上下移動又は前後傾動する構成としたロボットハンドの過負荷安全装置。 （もっと読む）

【課題】長時間にわたって精密移動し得るようにする。
【解決手段】移動装置１は、第１ベース板３に対して、脚部ユニット１１Ａ及び１１Ｂにおいて永久磁石７の磁力による通常吸着と当該永久磁石７及び電磁石部１２の磁力による強吸着とを切り換えながら圧電素子１０の全長を伸張させることにより前後方向に移動する第１移動部５と、当該第１移動部５と同様の動作により第２ベース板４を左右方向に移動させる第２移動部６とを組み合わせたことにより、第１ベース板３に対して第２ベース板４を２軸方向に自在に移動し得ると共に、静止状態においてコイルに電流を流し続けることなく静止位置を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】 モータの必要台数を減らし、構造を簡単化、小型化、軽量化して、製作コストを低減することを可能にしたダブルアーム列式基板搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】 アーム伸縮機構Ａ、Ｂが左右に２列備えられ、最終段アームとなる第２アーム１０７、１０７’の先端にはハンド１１０、１１０’が結節されて設けられ、第１アーム１０５、１０５’を位相差を持って正逆回転させることにより、ハンド１１０、１１０’が位相差を持って直線運動するように構成されて成るダブルアーム列式基板搬送用ロボット１０１が、アーム駆動手段１６０をさらに備えている。アーム駆動手段１６０は、第１アーム１０５、１０５’に備えられる第１の永久磁石１６７、１６７’に対応させて、第２の永久磁石１６２、１６２’を有し、これが正逆回転することにより、これらの永久磁石の磁気結合を介して第１アーム１０５、１０５’が位相差を持って正逆回転する。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、非接触伝導によって発塵なく、かつ発ガスなく、クリーンルーム又は真空中で仕事をすることを目的としたものである。
【解決手段】 この発明は、複数のアームに夫々駆動軸を固定し、各駆動軸に夫々マグネット輪を固定すると共に、前記各駆動軸の各マグネット輪間に、遊動マグネット輪を非接触状に架設したことを特徴とする磁気による非接触駆動装置により解決した。 （もっと読む）

【課題】回転伝動軸数の多数化に際し、変形が少なく而も保守作業等も容易で且つ電動モータの給電線とチャンバ蓋との相互影響が無いようにする。
【解決手段】真空チャンバ１０の底１１に立設されその上蓋１２に至る筒状体３３０＋５３０と、この筒状体の側壁３３０，５３０を内外から挟んで磁気結合する回転体の複数対３１＋３５，３６＋３９，５１＋５５，５６＋５９とを具備した真空チャンバ用回転伝動機構において、筒状体の上端部位を真空チャンバの上蓋１２に密着させる取着手段１２０を備え、筒状体３３０＋５３０は、複数の短い筒状体３３０，５３０が上下に連結されたものであって、回転体５５，５９を駆動する電動モータ５５ａ，５９ａへの給電線５１１，５６１が筒状体３３０＋５３０を介して真空チャンバ１０の下方へ引き出される。 （もっと読む）

【課題】 シングルアームの動作と連係して２本のチャックがそれぞれ独立して動作して基板等の搬送を行えるようにする。
【解決手段】 チャックに所定の直進動作を付与して基板を基板受け渡し位置まで搬送可能な基板搬送装置において、ベルト７によって回転駆動されるハンド駆動プレート１０と、ハンド駆動プレートの上下位置に配設されハンド駆動プレートの回転動作に追従して旋回可能であって先端にチャック２１Ａ，２２Ａが連結された第１リストブロック１３，第２リストブロック１５と、それぞれのリストブロックのアーム３に対する旋回方向を規制する第１ストッパピン３５，第２ストッパピン３６と、を有する。ハンド駆動プレートと第１リストブロック，第２リストブロックとは磁力結合されており、ハンド駆動プレートが旋回するとストッパピンで規制されない方向についてはリストブロックも磁力結合によってハンド駆動プレートと同時に旋回する。 （もっと読む）

【課題】 搬送アームの先端に設けられ、簡単な機構により旋回時及び伸縮時に確実に基板を保持するとともに、所定位置で容易に基板保持を解除できるようなコンパクトな把持構造を実現する。
【解決手段】 基板Ｗを保持させた状態で直進運動可能な搬送アームを、旋回軸回りに旋回して基板Ｗを搬送可能な基板搬送装置の把持機構１０において、旋回軸と一体的に回転して搬送アームの先端に取り付けられた搬送ベースプレート８の直進運動方向と一致する磁性体からなる規制プレート３５を設ける。搬送アームの縮退に伴って搬送ベースプレート８が規制プレート３５に近接した際に、搬送ベースプレート８上のクランク３０の一部に取着された永久磁石３２が規制プレート３５に磁力吸引され、クランク３０が支点回りの回動し、スライド部１３が直進運動方向に変換され永久磁石３２の磁力吸引力が及ぶ規制プレート３５の範囲において、スライド部１３先端の基板把持アーム１２の先端で基板Ｗを把持する。 （もっと読む）