【課題】本発明は、被研磨材の研磨に際し、適切に研磨することができ、利き腕に応じて使用することのできるハンド用のディスクグラインダー及びハンド用のディスクグラインダーを用いた被研磨材の研磨方法を提供することを課題とする。
【解決手段】一端側に回転駆動し、研磨用ディスクを取り付ける駆動軸の設けられたグラインダー本体と、研磨用ディスクの外周に沿って前記グラインダー本体に取り付けられたカバーフレームから構成されたハンド用のディスクグラインダーにおいて、前記駆動軸は正転又は逆転駆動に切り替えでき、且つ前記カバーフレームは駆動軸の回転方向に応じて所望量研磨用ディスクに沿って円弧状に回動した位置でグラインダー本体に固定できる。 （もっと読む）

【課題】簡単な手段によって安全性を高めたグラインダー用安全装置を提供する。
【解決手段】グラインダー用駆動装置８は次の特徴の内の１つ又は複数を有する：駆動手段は少なくとも３つの駆動装置を有すること；安全手段は、各駆動アセンブリ１２の故障を検出するための故障検出手段２８と、この故障検出手段２８によって検出される故障に応答して全ての電動機１４のスタートを妨げるに適した制御手段２２を有すること；この故障検出手段２８は、各減速手段１６に１つの減速装置故障センサ３４を有すること；少なくとも２つの駆動アセンブリ１２、及び好ましくは全ての駆動アセンブリ１２は同一であること； （もっと読む）

【課題】異常状態への迅速かつ適切な対処を可能として、半導体デバイス製造工程における薬液漏れに起因する被害を最小限に抑えることができる監視システムを提供すること。
【解決手段】半導体デバイス製造工程において用いられる流体が正常に使用されているか監視して前記流体が人体に悪影響を与えることを防止する監視システムであって、気体濃度検出センサ（１０１ａ）、液体漏れ検出センサ（１０１ｂ）、液体を溜めるタンクの液面の高さを検出するセンサ（１０１ｃ）、のいずれかのセンサ（１０１）による異常状態の検出によって、アラームの発動、電子メールによるオペレータへの異常状態の通知、研削加工装置（１１）の停止、の少なくとも一つの動作を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な制御でありながら、精度よくフィレットローラの欠損を判定する。
【解決手段】逐次算出した所定時間あたりの電力変化量ΔＰｉを用いて電力変化量積算値ΔＰｊおよび電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊを算出し（ステップＳ１０２〜Ｓ１０８，Ｓ１１４）、電力変化量積算値ΔＰｊと電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊとを含む直近２０ケの電力変化量積算値ΔＰｊ−１９〜ΔＰｊおよび電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊ−１９〜ΔＰｍａｘｊを用いて許容値範囲ΔＰｊｍａｖ±３σｓｊおよびΔＰｍａｘｊｍａｖ±３σｍｊを設定して（ステップＳ１１２〜Ｓ１１８）、電力変化量積算値ΔＰｊおよび電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊが許容値範囲ΔＰｊｍａｖ±３σｓｊおよびΔＰｍａｘｊｍａｖ±３σｍｊの範囲内であるか否かによってフィレットローラＲが欠損しているか否かを判定する（ステップＳ１２０）。この結果、簡易な制御で欠損判定をすることができる。 （もっと読む）

【課題】バルブの開閉操作部材を誤操作するおそれを少なくして操作性も良好とする。
【解決手段】ホース１４と、レバー１３を有するバルブ１２とを備えてホース１４から供給される水を回転軸４から噴出可能としたディスクサンダ１において、ハンドル８の下部に、トリガー９を含むハンドル８の下側空間を囲んでハンドル８とループ状に繋がるガード部１０を延設して、ガード部１０内にホース１４の一部を挿通させると共にバルブ１２を収納して、レバー１３を下側空間内に突出させた。 （もっと読む）

【課題】可動カバーの動きを安定かつスムーズにすることを可能にした切断機を提供する。
【解決手段】被切断材を載置するベース１０と、被切断材に対して上方から切り込む方向Ｚへ移動可能に設けた本体３０と、を備え、本体は、回転駆動する切断刃３２と、本体に固定されて切断刃の上部を覆う固定カバー３３と、固定カバーに装着されて本体を切り込む方向へ移動させるに従って切断刃の下部を露出させるように可動する可動カバー３４Ａ、３４Ｂと、を有し、ベースの上面には、本体を切り込む方向へ移動させる際に、切断刃の進入を許可するスリット１５を形成し、可動カバー３４Ａの下端には、切断刃がスリットに進入する際に、ベースの上面を転動する転動体３５を設けた切断機１において、ベースの上面には、転動体を転動可能に案内する案内部１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成で砥石車の付着物等の外部飛散をより確実に防止でき、またワークの寸法測定などの作業をより広い作業空間を確保しつつ行えるようにする。
【解決手段】研削装置は、ワーク２０を保持するためのチャック１８を備えた主軸と、加工ヘッド４０と、この加工ヘッド４０をＸ、Ｚ軸方向に移動させるための駆動モータ３４、３８等のヘッド移動手段と、ワーク着脱時などに砥石車４８を覆うための砥石カバー６０とを備える。砥石カバー６０は、その可動領域内であって主軸の軸線からＸ軸方向に外れた位置に配置されており、加工ヘッド４０のＺ軸方向の移動に伴い砥石車４８が挿入されるようにＺ軸方向に開口しかつこの開口から挿入される砥石車４８をその全周に亘って径方向外側から覆うとともに先端側から覆うことが可能な形状を有する。 （もっと読む）

【課題】
従来の部品構成を変更することなく、作業者への切削粉の飛散を防止するホイルガードの回転角度の制限をするグラインダを提供する。
【解決手段】
モータを内蔵するハウジング部と、ギヤカバー３と、モータの回転軸と直交する方向に回転軸が伸びるスピンドル７を覆うスピンドルカバー４と、円周方向の所定位置に固定できるホイルガードを有するグラインダにおいて、ギヤカバー３は、モータの回転軸と平行な方向に締められる複数のネジ１５ａ、１５ｂ、１５ｄによりハウジング部に固定され、ホイルガードの円周方向の移動範囲を制限するストップピース１０を設け、ストップピースはネジの軸線と偏心する位置にホイルガードと当接する当接部１０ｄが形成され、ストップピース１０はネジ１５ａ、１５ｂによってギヤカバー３と共にハウジング部に固定した。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、粉塵処理の効率を向上させ、かつ粉塵の廃棄処理が容易となる粉塵分離処理装置を提供する。
【解決手段】吸入空気から粉塵を分離して除去した後にサイクロンホッパー２を上方に移動させるだけで回収容器３から離脱でき、かつ回収容器３の方に設けられた蓋体５２にサイクロンホッパー２の下端部が挿入・離脱可能に連結されているので、サイクロンホッパー２を用いることによって粉塵処理の効率を向上させるとともに、サイクロンホッパー２に対する回収容器３の着脱が容易となり、回収容器３内の粉塵の廃棄作業が容易になる。 （もっと読む）

【課題】照明機器で照らしたワークをカメラで撮影して、その撮影データを利用してワークの研削加工を行う研削装置において、照明機器の照射した光が外部に漏れるのを確実に防いで、ワークの位置が撮影データで明確に分かるようにすることで、研削加工の精度を高めることができ、また、照明機器が研削用冷却水の影響を確実に受けないようにすることで、照明機器の照明性能を維持できるようにした、研削装置を提供する。
【解決手段】照明枠５２を、照明移動ユニットによって、ワークＷの撮影時にはキャッチパン３６の側壁３６ａの内方側に位置させて、ワークＷの研削加工時にはキャッチパン３６の側壁３６ａの外方側に位置させるようにしている。 （もっと読む）

切断ホイールを具備する砥石切断機は、物体を切断するために使用される。切断機は、ベース部と、ベース部に作動的に取付けられた切断装置と、制御装置とを含む。切断装置は、旋回シャフトと、旋回シャフトに取付けられた駆動シャフトと、駆動装置と、駆動ホイールとを含む。柔軟な駆動要素が駆動シャフトと駆動ホイールを連結している。駆動ホイールの回転軸と駆動シャフトの回転軸の間の距離は、柔軟な駆動要素の張力を増減するために可変である。送りテーブルが、ベース部に作動的に取付けられており、かつ、切断ホイールの回転方向へ前後に移動可能である。切断ホイールは、切断位置に固定可能であり、かつ、送りテーブルは、制御装置により、切断ホイールに向かって自身に固定された物体と共に移動し、物体を切断する。エンクロージャーが、切断装置を取り囲んでおり、かつ、静止した側部と、開放可能な前面パネルおよび上部パネルと、を具備し、開放可能な前面パネルおよび上部パネルは、切断装置へのアクセスのために一体的な組立体として開くように、相互に、かつ、側部パネルのうちの１つのものの一部分に、ヒンジで取付けられている。
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【課題】被研磨物のスクラッチの原因となっている乾燥固化したスラリの研磨パッド上への落下を防ぐことができるＣＭＰ装置を提供する。
【解決手段】廃液槽２内に配置され、円周方向に回転自在な所定の厚みを有するプラテン３と、前記プラテン３に貼着された研磨パッド４と、被研磨物５を前記研磨パッド４に押し付け自在なキャリア６と、前記研磨パッド４上にスラリを滴下自在なスラリ供給装置と、を有し、前記プラテン３の周縁部外方に位置する前記廃液槽２の側壁２ｃの内側が、外方に膨出するように湾曲されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ディスクグラインダーを使用する際、スイッチがオンの状態で電源プラグを差し込んでも、使用中に本体を誤って落としたとしても、高速回転する砥石を瞬時に覆う回転可動式安全カバーを提供する。
【解決手段】既設安全カバー（１）に回転可動式安全カバー（２）を取り付け、中心のバネ（３）により、本体より手が離れたら瞬時に高速回転する砥石全面をカバーが覆い安全を確保するのを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの切り出しをより精度良く行えるようにする。
【解決手段】ワイヤソーは、ワイヤ群１２に供給されることにより飛散したスラリを捕集する加工液捕集装置を有する。この装置は、スラリを捕集するための捕集部材１６ａ，１６ｂと、これら捕集部材１６ａ，１６ｂをワイヤ群１２の上方であってその近傍となる高さ位置に配置しかつワイヤ群１２の走行方向に変位可能に支持するガイド軸２２等と、捕集部材１６ａ，１６ｂを駆動する油圧シリンダ２４と、捕集部材１６ａ，１６ｂがワークＷに対して所定の間隔を隔てた位置に配置されるようにワークＷの切り込み送りの位置に応じて前記油圧シリンダ２４の駆動を制御する制御手段（ＮＣ装置４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 脱臭装置を大型化することなく、レンズ加工時に発生した臭気の外部への漏れを抑え、効率よく脱臭する。
【解決手段】 加工装置の加工室でレンズ加工を行う際に生じる臭気を脱臭する眼鏡レンズ周縁加工の脱臭システムは、加工室から排出される加工屑を含む研削水が導入される脱水槽を持ち、脱水槽の回転により研削水と加工屑を分離し、分離した研削水を脱水槽の外へ排出する遠心分離機と、遠心分離機から排出される研削水を研削水タンクに導くと共に、脱水槽の回転により加工室から吸引される臭気を含む空気を研削水タンクに排出する排気路を兼ねる研削水排出路と、タンクの水面より上部に吸気管を介して接続され、タンク内に排気された空気を吸引して臭気を脱臭する脱臭装置と、脱臭装置により吸引し切れないタンク内の空気を導く排気管であり、タンク上部と加工室とを接続する排気管とを有する。 （もっと読む）

【課題】ホイール型ブラシの使用に適し、かつ右利きの作業者でも左利きの作業者でも横軸型のハンド式回転工具を最適の使用形態で使用可能であり、ホイール型ブラシによる加工作業時の操作性及びその作業の安定性を高め、粉塵が３６０°方向に広がり飛び散ることのなく、更に折損を最小限にとどめることができるハンド式回転工具を提供する。
【解決手段】片方の手で把持する第１の握り部５を有する工具本体４のスピンドル１１の軸周りに保護カバー１５を回して、ホイール型ブラシ４０を覆う部分の位置と、ホイール型ブラシ４０の下側部分を露出させる開口７３の位置とを上下に反転するとともに上記工具本体４を裏返して他方の手で握るハンドル８０を有する保護カバー１５を使用可能であるハンド式回転工具。 （もっと読む）

【課題】紙パックを用いても変形や破損を生じにくくして取扱いを至便とする。
【解決手段】ハウジング２に形成された粉塵排出用のノズル１１に装着される装着部２１と、その装着部２１に連結され、ノズル１１から空気と共に排出される粉塵を貯留する集塵部２２とからなるダストボックス２０であって、集塵部２２を、装着部２１へ着脱可能に連結される合成樹脂製のボックス３４と、そのボックス３４内に収容されて粉塵を貯留する紙パック３５とから構成した。よって、紙パック３５は常にボックス３４に保護され、脆弱な紙パック３５を用いても変形や破損が生じにくくなり、取扱いに至便となる。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム環境下において、低コストで迅速かつ確実にガラス板のエッジを自動で研磨する。
【解決手段】本発明は、クリーンルーム環境下においてガラス板のエッジを自動で研磨する装置及び方法に関し、以下の構成を含む。ａ）ガラス板（１１）を受け取るために、複数の吸引ユニット（１０）を有する吸引フレーム（９）を保持したグリッパアームを備えた多軸ロボット（２）、ｂ）ロボット（２）のグリッパアームの回転範囲内に導入され、少なくとも１つの回転可能な研磨輪（１３）を備え、固定された様式で設置された研磨ユニット（１）、ｃ）研磨ユニット（１）の操作により生じた研磨塵を排出する排出システム、ｄ）検知機器に連結され、研磨輪（１３）の摩耗の程度及び状態を監視する較正機器（１８）、並びに本方法を実行するためのコンピュータプログラム。 （もっと読む）

【課題】研磨装置において、従来は、研磨用流体中の微生物の存在の有無、微生物の繁殖傾向、および微生物汚染防止手段の駆動による実際の効果を、常に迅速に把握、確認することができないため、研磨装置でのウエハの安定した研磨に課題があり、常に安定した研磨を維持することができるスラリー供給装置を提供することを目的とする。
【解決手段】研磨原液の供給ライン７から前記複数の研磨原液の混合液であるスラリーの研磨装置３４、３７への供給ライン３２、３５に至るいずれかの部位に、微生物を検出する微生物検出手段２００を備えたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 可動部が基台に接触した際にこの接触を確実に検知することのできる気体軸受けの接触検知機構を提供することである。
【解決手段】 基台に対して可動部を絶縁状態で支持する気体軸受けの接触検知機構であって、該基台に一端が接続された抵抗値Ｒ１を有する第１抵抗体と、一端が電源に接続され他端が該第１抵抗体の他端に接続された抵抗値Ｒ２を有する第２抵抗体と、一端が該第１及び第２抵抗体の他端に接続され、他端がグランドに接続された抵抗値Ｒ３を有する第３抵抗体と、該第３抵抗体の前記一端と他端との間の電位差を検出する電位差検出手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）