【課題】本発明は、被研磨材の研磨に際し、適切に研磨することができ、利き腕に応じて使用することのできるハンド用のディスクグラインダー及びハンド用のディスクグラインダーを用いた被研磨材の研磨方法を提供することを課題とする。
【解決手段】一端側に回転駆動し、研磨用ディスクを取り付ける駆動軸の設けられたグラインダー本体と、研磨用ディスクの外周に沿って前記グラインダー本体に取り付けられたカバーフレームから構成されたハンド用のディスクグラインダーにおいて、前記駆動軸は正転又は逆転駆動に切り替えでき、且つ前記カバーフレームは駆動軸の回転方向に応じて所望量研磨用ディスクに沿って円弧状に回動した位置でグラインダー本体に固定できる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの割れを防ぐために加工前にウェーハの仕込みずれによる保持異常の検出を自動で高精度で行い、作業者による触手確認をなくして効率化を図ることができるウェーハの加工方法を提供することを目的とする。
【解決手段】キャリアの保持孔にウェーハを挿入して保持し、該ウェーハを保持したキャリアを上下定盤で挟み込み、ウェーハの両面を同時に加工するウェーハの加工方法であって、ウェーハの加工前に、ウェーハを保持したキャリアを上下定盤で挟み込んだ状態で上定盤の高さ位置をレーザー変位計で検出し、該検出した高さ位置と基準位置との差が閾値を超えた場合に、ウェーハの保持異常と判定してウェーハの保持をやり直すことを特徴とするウェーハの加工方法。 （もっと読む）

【課題】簡単な手段によって安全性を高めたグラインダー用安全装置を提供する。
【解決手段】グラインダー用駆動装置８は次の特徴の内の１つ又は複数を有する：駆動手段は少なくとも３つの駆動装置を有すること；安全手段は、各駆動アセンブリ１２の故障を検出するための故障検出手段２８と、この故障検出手段２８によって検出される故障に応答して全ての電動機１４のスタートを妨げるに適した制御手段２２を有すること；この故障検出手段２８は、各減速手段１６に１つの減速装置故障センサ３４を有すること；少なくとも２つの駆動アセンブリ１２、及び好ましくは全ての駆動アセンブリ１２は同一であること； （もっと読む）

【課題】ロック部材の突出をなくして良好な操作性を維持すると共に、保護カバーの装着時の信頼性も確保する。
【解決手段】グラインダ１は、ベアリングボックス４に、ホイールカバー１３の筒状部１５を抜け止め及び回り止めするロック機構を備え、ロック機構は、ベアリングボックス４に外装されて前側内縁に係止爪３６を突設した筒状部１５より大径のリング状で、係止爪３６がベアリングボックス４から前方へ離れてベアリングボックス４への筒状部１５の着脱を可能とする前方のロック解除位置と、係止爪３６がベアリングボックス４に外装された筒状部１５を貫通してベアリングボックス４の外周に係止し、前方部が平面視でギヤハウジング３内に収まる後方のロック位置との間をスライド可能なロック部材２２と、ロック部材２２をロック位置へ付勢するトーションスプリング２５とを含んでなる。 （もっと読む）

【課題】ロック状態でのロック部材の揺動を防止してロック時の信頼性を保ち、ハウジングの破損も好適に防止する。
【解決手段】スピンドル６のロック機構１０において、ロックピン１１を、ベベルギヤ７に設けた貫通孔１２を貫通させることでベベルギヤ７に係合させる一方、ベアリングボックス４に取り付けたロックプレート１３に、貫通孔１２を貫通したロックピン１１の下端が係止する係止孔２２を設けた。 （もっと読む）

【課題】丸刀のような円弧状の刃先をもつ刃物でも、その刃先を短時間で容易かつ良好に研磨できる研磨装置を提供する。
【解決手段】ベースプレート１上に設置されたモータ２１、刃物を保持する治具５、ならびに治具を支持する受座４を備える。モータ２１の回転軸には、刃物を研磨するための砥石Ｇ１，Ｇ２が装着される。治具５は、受座４により回転自在に支持される筒状胴部５１ａと、筒状胴部５１ａ内に挿入された刃物の柄部を保持するチャック部５７とを備える。又、治具５には、チャック部５７による刃物の保持位置を筒状胴部５１ａの軸線に直交する２方向に移動させる保持位置調整手段と、チャック部５７を筒状胴部５１ａの軸線に直交する軸回りに回動させるチャック回動手段との少なくとも一方が設けられる。受座４は、ベースプレート１の上面に沿って、筒状胴部５１ａの軸線に直交する第１方向とその第１方向に交差する第２方向とに移動可能とされている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板を吸着保持する吸着シートの破れを自動で確認できる基板の研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明の研磨装置１２は、３台の光電センサ４０〜４４を備えた検査装置１０を有する。光電センサ４０〜４４は、貼着ステージ２２から研磨ステージ２６に向けて搬送中の膜体１６の破れを検出する。光電センサ４０〜４４は、光を投光する投光部４６と光を受光する受光部４８とを備えている。投光部４６及び受光部４８は、膜体１６の吸着シート３２に対向配置され、投光部４６から光を吸着シート３２に投光し、吸着シート３２から反射した前記光を受光部４８によって受光する。前記受光量の変化に基づいて膜体１６に破れが発生したと検知部５０が判定する。 （もっと読む）

【課題】携帯型のディスクグラインダへの集塵カバーの着脱作業を容易にすることである。
【解決手段】集塵カバー３１に、遠心ファン３２を着脱不能に収容するボリュートケース部３４と、ボリュートケース部３４から突出してダイヤモンド砥石ホイール１９の全周を覆うカバー部５１とを設ける。また、ボリュートケース部３４にディスクグラインダ１１のボス部１６ａへの取付部４２を設ける。ボリュートケース部３４の天壁３６の内面に円形凹部６１を設け、この円形凹部６１に遠心ファン３２の基板３２ｂを配置することにより、ディスクグラインダ１１から取り外された状態でも、遠心ファン３２がボリュートケース部３４の内部で径方向に位置決めされるようにする。これにより、遠心ファン３２とボリュートケース部３４とを一体として集塵カバー３１をディスクグラインダ１１に装着することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】研ぎ材を回転させるようにすることによってその片減りを防止できて耐久性を高くすることができ、刃物の往復によって研ぎが行え、使用できる刃物に限定がなくて、しかも水洗いが簡単に行えるＢを、簡単な構造のものとして提供すること。
【解決手段】台座１１と、この台座１１に一端部１２ａが固定されて、他端部１２ｂが互いに交差状態で弾発的に傾動する２本の支持杆１２・１２と、これらの支持杆１２の各他端部１２ｂ上のそれぞれに回転可能に嵌挿されて、表面に研ぎ材１４を固着した研ぎ管１３とを備えて、これらの研ぎ管１３・１３の交差部分に刃物３０の刃部３１を通すことにより、刃部３１の研材１４による研ぎを行えるようにしたこと。 （もっと読む）

【課題】ディスクグラインダにおいて、砥石の周囲を覆うカバーの位置をねじ回し等の工具を用いることなくツールレスで変更できるロック機構が提供されている。従来は、ロック機構の操作部位が使用者から目視しづらい部位に配置されていたため、本発明では、操作部材を見えやすい部位に配置してその操作性を高めることを目的とする。
【解決手段】ギヤヘッド部の上部から下部にスライダ２２を掛け渡して、その下部側にカバー１５の位置をロックするロック爪２２ｃを設け、上部に操作部材２１を結合して、モータ軸Ｊ０より上側であってカバー１５の支持部とは反対側の見え易いギヤヘッド部４の上面に操作部材２１を配置して遠隔操作可能とする。 （もっと読む）

【課題】可動カバーの動きを安定かつスムーズにすることを可能にした切断機を提供する。
【解決手段】被切断材を載置するベース１０と、被切断材に対して上方から切り込む方向Ｚへ移動可能に設けた本体３０と、を備え、本体は、回転駆動する切断刃３２と、本体に固定されて切断刃の上部を覆う固定カバー３３と、固定カバーに装着されて本体を切り込む方向へ移動させるに従って切断刃の下部を露出させるように可動する可動カバー３４Ａ、３４Ｂと、を有し、ベースの上面には、本体を切り込む方向へ移動させる際に、切断刃の進入を許可するスリット１５を形成し、可動カバー３４Ａの下端には、切断刃がスリットに進入する際に、ベースの上面を転動する転動体３５を設けた切断機１において、ベースの上面には、転動体を転動可能に案内する案内部１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーにおけるワイヤの断線を簡単な構造で精度良く確実に検出する。
【解決手段】溝ローラ５間に形成されたワイヤ列に加工物８を押し付けて多数枚に切断するワイヤソー１において、ワイヤ列のワイヤ６の走行路近傍に本体フレーム２と絶縁状態で検出用電線２４を張設し、この検出用電線２４に所定の電圧を印加する直流電源３０と、検出用電線２４と直流電源３０との間に直列に設けた少なくとも１つの抵抗３３と、前記直流電源３０と検出用電線２４との間に直列に設けた電流計３１とからなる直列回路を形成すると共に検出用電線２４と直接隣接しないように少なくとも１つの抵抗３３又は電流計３１を挟んだ位置から直列回路を分岐させて本体フレーム２にアース３２を取るように構成しておき、断線したワイヤ６の接触により検出用電線２４が切断されて変化する電流値からワイヤ６の断線を検出してワイヤソー１を停止させる。 （もっと読む）

【課題】
従来の部品構成を変更することなく、作業者への切削粉の飛散を防止するホイルガードの回転角度の制限をするグラインダを提供する。
【解決手段】
モータを内蔵するハウジング部と、ギヤカバー３と、モータの回転軸と直交する方向に回転軸が伸びるスピンドル７を覆うスピンドルカバー４と、円周方向の所定位置に固定できるホイルガードを有するグラインダにおいて、ギヤカバー３は、モータの回転軸と平行な方向に締められる複数のネジ１５ａ、１５ｂ、１５ｄによりハウジング部に固定され、ホイルガードの円周方向の移動範囲を制限するストップピース１０を設け、ストップピースはネジの軸線と偏心する位置にホイルガードと当接する当接部１０ｄが形成され、ストップピース１０はネジ１５ａ、１５ｂによってギヤカバー３と共にハウジング部に固定した。 （もっと読む）

【課題】毎回調整や交換を必要とせず、ワイヤや溝ローラーに異物を巻き込まないようにするワイヤソーの異物除去装置を提供する。
【解決手段】複数の溝ローラー１間にて張設されたワイヤ２のワイヤ列に対して上方から加工物６を下降させながらワイヤ列の切断部に押し付けて切断するワイヤソーの異物除去装置であって、前記ワイヤ列の下方に切断後の加工物６が収納される受け部材３を設け、前記溝ローラー１と受け部材３の側板との間に溝ローラー１から受け部材３に向けて下向き傾斜した異物受け板２２を設け、ワイヤ２に対して上方から異物受け板２２及び／又は受け部材３に向かって加工液２８を吹き付けるようにした構成のワイヤソーの異物除去装置。 （もっと読む）

【課題】搬送時におけるウェーハ全周の画像を撮影することなく、当該ウェーハの割れ検出を行うことが可能なウェーハ研磨装置およびウェーハの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るウェーハ研磨装置１は、ウェーハ２を保持可能な透孔２１が設けられたキャリア２０と、定盤１２、１４とを備え、キャリア２０の透孔２１に保持されたウェーハ２を定盤１２、１４に対して相対移動させて、該ウェーハ２を研磨するウェーハ研磨装置において、透孔２１内に残留するウェーハ破片の有無を検知する、画像処理手段６もしくは非接触検出手段７の少なくとも一方を備える。 （もっと読む）

工作機械が、緊締つばを備えたフード状の保護カバーを備えており、該緊締つばが、緊締装置によって工作機械側のフランジに固定可能である。保護カバーとフランジとの間の相対回転運動を制限するために、ストッパ装置が設けられている。
（もっと読む）

【課題】ワークの切断に用いられるマルチワイヤソーのワイヤの断線の予兆を検知するようにしたマルチワイヤソーのワイヤ断線予防装置を得る。
【解決手段】スラリ供給弁４からスラリが供給され、シリコンインゴッドのワーク３を切断中のワイヤ１の反射光をビジョンセンサ５によって撮像し、この撮像された画像をワイヤ異常検知部１２により、グレイレベル化し、このグレイレベル化された画像を解析し、平均値と標準偏差が設定閾値内であり、かつグレイレベルの強度が閾値を超えたとき、ワイヤの乱れ線として検出するとともに、この検出された乱れ線を時系列に蓄積して出現頻度が閾値を超えたとき、断線の予兆と判断して、ワイヤによる切断作業を制御する加工制御装置２０へ制御信号を出力して、断線を予防するようにした。 （もっと読む）

【課題】 被加工物への加工屑の付着を防止可能な被加工物の加工方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物の加工方法であって、被加工物を保持テーブルで保持する保持工程と、該保持テーブルに保持された被加工物を加工液を供給しつつ加工手段によって加工する加工工程とを具備し、該加工液中には廃水処理剤が混入されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】 パイプ壁を有するパイプ３２を切断する切断装置１０が開示される。切断装置１０は、動力工具と係合可能な工具側端１２．１及び対向する自由端１２．２を有する細長いキャリア１２を含む。前記キャリア１２の前記自由端１２．２に配置され、前記キャリア１２に対して回転するように前記キャリア１２に遊嵌され且つ前記キャリア１２の長手方向の軸線に平行に伸長する当接面３４を有する案内ホイール１６を含む。前記案内ホイール１６に隣接して配置された外縁切断刃３６を有すると共に前記案内ホイール１６と前記工具側端１２．１との中間に位置決めされた切断体１４を含む。前記切断体１４の横断方向の寸法は、前記案内ホイール１６より大きくされて、前記当接面３４が、前記パイプ３２の内側面に当接すると、前記切断体１４の前記切断刃３６と前記当接面３４との距離により前記切断体１４が前記パイプ壁を切断貫通することが可能となる。
（もっと読む）