液体吐出弁１２は、液体を受容する液体入口９０および前記液体を吐出する液体出口９２を含む。弁部材４４が、開放位置および閉鎖位置間で前記液体出口９２に対して移動するように取り付けられる。液体通路９６が、前記液体入口９０および前記液体出口９２間を連通する。空気入口１１４が、加圧空気源から空気を受容するために設けられる。空気通路１２０および／又は１２８が空気入口１１４と連結される。空気圧アクチュエーター４０、１１０、１１２が、少なくとも前記開放位置に前記弁部材４４を移動させるために前記空気通路１２０および／又は１２８と連通する。電動式空気供給装置７０が、前記空気圧アクチュエーター４０、１１０、１１２への加圧空気の流れを制御するように前記空気通路１２０および／又は１２８と相互作用する。
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【課題】低作動差圧で弁体を摺動させ、弁体の位置を円滑に切り換えることを可能にする。
【解決手段】四方切換弁１は、密閉空間２ａを有する弁本体２と、弁本体２に接続された高圧管３、低圧管４及び導管５、６と、低圧管４及び導管５、６の各々に連通する接続口が設けられた弁座１０と、弁座１０上を摺動する弁体１６とを備える。また、弁体１６は、内側に冷媒の流通空間１６ｃを形成する膨出部１６ａと、膨出部１６ａを囲繞し、弁座１０上を摺動する鍔部１６ｂとを有する。この構成において、弁体１６が摺動する過程で、導管５を高圧室１３に連通させる第１の開口部１７と、導管５を流通空間１６ｃに連通させる第２の開口部１８とが導管５の接続口７に形成され、かつ、それら開口部１７、１８の開口面積Ａ１、Ａ２が同一となるときに、開口面積Ａ１（＝Ａ２）が導管５の弁口径面積Ｂの１％以上、１０％以下となるようにする。 （もっと読む）

【課題】流体回路内に流体を移動させることなく弁体を開閉作動し得るようにする。
【解決手段】このダイヤフラム弁は、２つの流路１４ａ，１５ａを連通させる状態と連通を遮断させる状態とに開閉動作するために使用される。弁ハウジング１３内にフローティング状態で配置されるダイヤフラムユニット３１は、軸方向に往復動自在に配置される中空弁体３２を有し、中空弁体３２には２つの流路１４ａ，１５ａを連通させる連通流路３２ａが形成されている。中空弁体３２の一端部には第１のダイヤフラム３４が設けられ、他端部には第２のダイヤフラム３６が設けられており、中空弁体３２を軸方向に移動させて弁座部４２に当接させると連通流路３２ａは閉じられる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって容易に開弁できる真空弁を提供する。
【解決手段】弁座１２に当接して流路部１１を塞ぐ弁体１３と、弁体１３にロッド１４を介して取付けられるダイヤフラム１７と、ダイヤフラム１７を収容する弁駆動室１０と、を備える真空弁１である。
そして、弁駆動室１０はダイヤフラム１７によってロッド側室１９とヘッド側室１８とに分けられており、ヘッド側室１８に真空圧を導入して弁体１３を弁座１２から離して開弁するとともに、ロッド側室１９に真空圧を導入して弁体１３を弁座１２に当接させて閉弁する。 （もっと読む）

【課題】部品点数の削減、配管作業の削減及び装置のコンパクト化を図る。
【解決手段】ソレノイド１０，１１で駆動される電磁比例方向流量制御弁２と、電磁比例方向流量制御弁２で制御される流量の圧力補償を行う圧力補償弁３とを一体的に備えた圧力補償付き電磁比例方向流量制御弁１であって、バネ２３、第１圧力室２４及び第２圧力室２５の力が釣り合うよう圧力補償スプール２０が移動することで、電磁比例方向流量制御弁２の可変絞りＳ１等の上流側と下流側との間の差圧を一定にするよう圧力補償が行われるとともに、液圧供給ポートＰから導出ポートｈへ向かう圧油の余剰流が分岐ポートＮから外部に流出する。 （もっと読む）

流体のための流路（１０８）を画定し、かつ、弁座（１０４）と、弁本体に結合された駆動器筐体（１２２、１２４）と、駆動器筐体内に配置され、開放位置と制御部材が弁座に係合する閉鎖位置の間で移動することによって流路を通る流体の流れを調節するために、弁本体および弁座に対する変位のために適合された、制御部材（１３０）と、制御部材に動作可能に結合され、制御部材を開放位置に向かって付勢する、ばね（１９３）と、を有する弁本体（１０２）を有する調節器（１００）。制御部材は、弁座に面し、陥凹状である表面を含む。陥凹表面は、座ぐり穴（１４８）であってもよく、もしくは、凸形状、円錐形状、または他の適切な陥凹表面を有してもよい。そうした構成によって、取り替えられた調節器は、高い入口圧力、低い出口圧力、高流速の実施において、安定性を向上させる。 （もっと読む）

流体作動機械の作動チャンバとマニホルドとの間の流体供給を調整するための電子制御バルブ（２００）であって、かかるバルブは、パイロットバルブ（２１２）と、バルブ（２００）の閉鎖中に電磁石（２２４）に向けての電機子（２０６）の移動により使用時に充填されることで、パイロットバルブ封止部材（２１２）をパイロットバルブシート（２１４）から離れるように付勢する戻し力を提供するパイロットバルブ弾性部材（２２０）とを含む。バルブは、流体作動モータの低圧バルブとして特に有用である。
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【課題】バルブ入口圧力が低い状態では圧力損失によるエネルギーロスを最小にし、必要な場合はソレノイドの励磁により一定のバルブ入口圧力を発生させることができるシーケンスバルブを提供する。
【解決手段】バルブ本体１１にはスプール２２が摺動自在に設けられている。スプール２２は一端を入口通路１９、他端を出口通路２０に連通している。スプール２２の他端にはばね部材３０を内挿する制御室２９が設けられている。入口通路１９から絞り要素３４を介して導かれたパイロットライン３２の下流にソレノイド３８に通電することによって圧力制御が出来る電磁切換パイロットリリーフバルブ３７を設け、該ソレノイドの信号をオン、オフすることでスプール２２に作用する制御室２９の圧力を切り換え、入口圧力を高低に切り換える。 （もっと読む）

【課題】弁座部に弁体が過度に押付けられることを抑制するとともに、弁体による流体のシール性を保持することのできる流体制御弁を提供する。
【解決手段】パイロットレギュレータ２０において、二次側の薬液の圧力が上昇したときにダイアフラム２７の可撓部分２７ｇが円形通路２３ｃ側から操作室３３側へ変位して弁体２４が弁座部２５へ着座する方向へ変位する。中間規制部２７ｂは、ダイアフラム２７の可撓部分２７ｇにおける外周縁と内周縁との中間部２７ｍと一体になって変位するとともに、弁体２４が弁座部２５に着座した状態において可撓部分２７ｇの中間部２７ｍが円形通路２３ｃから操作室３３側へ規制位置よりも変位することを規制する。 （もっと読む）

【課題】微小流体基板を外部コントローラに接続し基板を制御するために必要な入出力接続数を削減する。
【解決手段】微小流体処理デバイスは、複数Ｎ個の独立制御可能構成部品を有する基板上に製造される。基板は、当該基板を外部コントローラに接続する複数の入出力接点と、接点を構成部品の端子に接続する複数のリードとを含む。リードにより、外部コントローラが、構成部品の端子の総数よりも大幅に少ない接点を用いて、構成部品の端子に接点を介して制御信号を供給できる。各リードは、対応する接点を複数の端子に接続し、コントローラは、端子毎に別個の接点を必要とせずに、信号を端子に供給することができる。各構成部品の端子が一意の接点の組み合わせに接続されるように、リードを配列する。外部コントローラは、制御信号を供給することによって、この構成部品を活性化することができる。 （もっと読む）

【課題】チャタリングが生じやすい従来では低開度に相当した弁体の移動距離（リフト）までは、閉弁状態を保持し、弁体がチャタリングを生じ得ない弁座との離間距離を超えた時に開弁する様に構成した弁座構造を提供する。
【解決手段】一次側流路５と二次側流路６とに連通する弁口８の一方の開口端に、弁体10が着離自在と成す様に設けられた弁座９であって、該弁座９には、これの外周縁を環囲すると共に、弁体10が弁座９との着座位置から所定距離Ｌ離隔する位置Ｙまでの間は弁体周壁10ｂが往復動自在に摺接して閉弁状態を保持し、前記離隔位置Ｙを超えると弁体周壁10ｂが離脱して開弁するシートリング9aを連設する。 （もっと読む）

【課題】発生した腐食性ガスの透過による金属部品の腐食が防止され、安価に、かつ歩留まりの高い製造が可能であるとともに、流体中への不純物の溶出や薬液の汚染が極めて少ない、耐久性に優れ安定した制御性能が得られる背圧制御弁を提供する。
【解決手段】本体と、ボンネットと、バネ受けと、ピストンと、バネと、本体の第一の空間に蓋をする形で第一弁室を形成する第一ダイヤフラム部が配置され、第一ダイヤフラム部下面中央に本体の第一の空間内部に位置する連通流路より大径に設けられた弁体が配置され、ロッド下端面に第二ダイヤフラム部が配置されてなる弁機構体と、ベースプレートとからなり、ピストンの上下動に伴って弁体と本体の弁座とによって形成される流体制御部の開口面積が変化するように構成されていることを特徴とする背圧制御弁。 （もっと読む）

【課題】油圧アクチュエータを用いる際に生じる高流速を迅速に制御できる制御弁を提供。
【解決手段】制御弁１００は、第１制御チャンバ１１２における圧力に応答して動いて、第１ポート１０４と第２ポート１０６との間に設けられた弁座１０８を通じての液体の流れを制御する第１ポペット１１０を含む。通路は第２ポート１０６と第１制御チャンバ１１２との間で延び、かつ、第１ポペット１１０が弁座１０８から離れる方向に動くのにつれて、制限を緩和する可変流量制限部材を含む。電気油圧パイロット弁１３０は、パイロット制御チャンバにおける圧力に応答して、第１の制御チャンバ１１２から第１ポート１０４への液体の流れを制御するパイロットポペット２４を有する。サブパイロット弁は、パイロット制御チャンバの内圧を選択的に放出して、パイロットポペット２４が入口１３４と出口１３６間の通路を開閉し、第１ポペット１１０をより迅速に操作できる。 （もっと読む）

【課題】常時開位置又は常時閉位置に弁体と弁座との関係を維持するバネを使用しつつも耐食性に優れた弁を提供する。
【解決手段】ケーシング２０内を流体が流れる流路２０ｃと、ピストン５を軸方向に移動させる駆動力を作用させる駆動部材移動室３７とを完全に隔離し、流体が駆動部材移動室３７内に侵入しないようにする。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム２１の静電破壊をより抑止することができるダイヤフラム弁を提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム２１の液体と接触しない側の面に、カーボン等の導電体膜２５を当該ダイヤフラム２１の動きに悪影響を与えない例えば渦巻き形状として形成する。そして、導電体膜２５の外端はダイヤフラム保持部材２２の上面に形成された引き出し用の導電体膜２３に接続し、この引き出し用の導電体膜２３に接地用の導電体膜２４が接続され、当該接地用の導電体膜２４を本体１０の側面に沿って底面まで引き伸ばす。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁に対する気体の供給および排出を制御することにより流量制御弁の操作圧を調整するレギュレータの腐食を抑制することのできる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置は、ダイアフラムを有してその一方の面に供給されるエアにより操作圧を印加して他方の面に接触する薬液の流量を調整するパイロットレギュレータ２０と、パイロットレギュレータ２０に対するエアの供給および排出を制御することにより操作圧を調整する電空レギュレータ１８とを備える。流量制御装置は、パイロットレギュレータ２０と電空レギュレータ１８とを接続してエアを流通させるエア通路１５と、電空レギュレータ１８による操作圧の調整を可能としつつエア通路１５からエアを排出させるオリフィス４０とを備える。 （もっと読む）

一次バルブ部材を含む一次座面バルブと、二次バルブ部材を含む二次バルブとを有する電子的に起動可能なバルブアセンブリ。二次バルブが一次バルブの前に開いて一次バルブ部材両端の圧力を平衡状態にすることにより、一次バルブ部材の開放を容易にする。二次バルブは、使用時に、電磁石により引き寄せられて第一の位置から第二の位置へ移動する電機子に結合される。電機子と二次バルブの間の結合は、二次バルブの移動を伴わずに電機子が第一の位置から移動し始めることを可能にすべく構成されている。電機子は従って、電機子と二次バルブ部材の間の結合により作用する力により二次バルブが開いた際に、電磁石により近い第一の位置から移動しているため、二次バルブ部材が電機子に固定的に結合されている場合よりも強い力を二次バルブを開くために作用させることができる。
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【課題】バルブ流量を調節するアクチュエータの駆動力を減少させ、かつバルブの入口または出口に急激な圧力変化が発生しても、常に一定の流量が流れる流量調節バルブを提供する。
【解決手段】流路１１１が形成されたバルブ本体１１０と、流入された流体がバルブ本体の流路に流出する流出ホール１２３が形成された第１ポペット１２０と、バルブ本体の流路から流体が流入する流入ホール１３３が形成された第２ポペット１３０と、アクチュエータによって第１ポペットの外面に沿ってスライディングして第１ポペットの流出ホールを遮り、流出ホールの面積を調節するスリーブ１４０と、第１ポペットおよび第２ポペットの外面に沿ってスライディングが可能なように、第１ポペットに流入する流体の圧力によってスライディングして第２ポペットの流入ホールを遮り、流入ホールの面積を調節するスプール１５０を備える。 （もっと読む）

【課題】開閉弁にサックバルブ機能を備えたサックバックバルブを提供すること。
【解決手段】サックバックバルブＳＶは、開閉弁１０の弁内流路に形成したサックバック室１７と、サックバック室１７内を軸方向に移動して弁体１１を押圧する開閉押圧部材４０とピストン本体３１との間を連結しているピストン軸部３３と、ピストン軸部３３を内部に収納してアクチュエータ３０を弁内流路から分離し、一端が開閉押圧部材４０に連結されるとともに他端がケーシング１２に支持されているベローズ４１とを備え、弁体１１の閉動作時に、ピストン軸部３３がピストン本体３１及び開閉押圧部材４０とともに弁体１１の全閉位置まで移動する閉弁動作段階と、ピストン軸部３３及び開閉押圧部材４０が全閉位置からさらに移動してサックバック室１７の空間容積を増すサックバック動作段階との二段階動作を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハに薬液等の流体を供給する際や、医療分野において薬液を一定量滴下する際に使用される吐出制御器を提供する。
【解決手段】本体１は、上面中央に略すり鉢形状の液室６を有し、液室６に連通する第一流路４及び第二流路５を設ける。液室６の底面は平坦で、第一流路４及び第二流路５の内径の最下部の位置と、液室６の底面とほぼ面一とする。
本体１の上面のボンネット２は、略すり鉢形状の空気室７を有し、外部とφ０．３ｍｍの通気孔８で連通させる。
ダイヤフラム３は、平面状で他より厚めの中央部と径方向外側へ延設された薄肉の膜部と環状の外周縁部とからなり、外周縁部を本体１とボンネット２とにより挟持固定する。 （もっと読む）