【課題】載置面の中心部から外周部にかけて単調に温度変化するような温度分布を得ることが可能なセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】セラミックスヒータ１は、載置面Ｓに被加熱物Ｗが載置されるセラミックス基板２と、セラミックス基板２に埋設された内側発熱抵抗体Ｑ１と、内側発熱抵抗体Ｑ１の外側にてセラミックス基板２に埋設された外側発熱抵抗体Ｑ２と、発熱抵抗体Ｑ１，Ｑ２とに供給する電力を独立して制御可能な制御部とを備える。セラミックス基板２の上面の中心点Ｏから外端までの距離をＲとしたとき、内側発熱抵抗体Ｑ１は、上面視で中心点Ｏを中心とした０〜０．５Ｒの領域内に配置され、外側発熱抵抗体Ｑ２は、上面視で中心点Ｏを中心とした０．８Ｒ〜Ｒの領域内に配置される。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維を堅固に固定させながら電熱シートを連続的かつ大量に生産できる電熱シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】シート供給工程と、炭素繊維供給工程と、加熱搬送工程と、１次導電テープ付着工程と、２次導電テープ付着工程と、中間部材付着工程と、圧着工程と、切断工程とを有する電熱シート製造方法である。また、上部シート及び下部シート、上記の上部シートの底面と下部シートの上面に付着される第１，２，３導電テープ、上記の第１，３導電テープの間に接着される中間部材、上記の第１導電テープと中間部材の間および第３導電テープと中間部材の間に各々設置される炭素繊維を含めて構成される電熱シートである。 （もっと読む）

【課題】電気カーペット等の面状発熱体に関するもので、廃棄時に、容易に第一の発熱体を取り外せる面状発熱体を提供することで、リサイクルを促進する。
【解決手段】面状発熱体は、第一の発熱体１の近傍に、表布２を溶融するための第二の発熱体を設け、リサイクル時に容易に第一の発熱体を取り外せるように構成することで、第一の発熱体をリサイクルできるとともに、表布２と断熱材３をサーマルリサイクルしても、ダイオキシンの発生の無い面状採暖具を提供することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】 冷却開始から冷却終了までの間の温度分布をより均一にできる加熱体及びこれを搭載した装置を提供する。
【解決手段】 被加熱物を載置またはある一定の距離を離して加熱する加熱面を有する加熱体であって、加熱体を構成する基材の表面、もしくは内部に発熱抵抗体を有し、前記加熱面の反対側に均熱板を有し、該均熱板の材質が銅または銅合金、もしくはアルミニウムまたはアルミニウム合金を主成分とすることにより、冷たいウェハを載置した瞬間の温度低下を抑制し、温度の戻りを素早く行えるようにする。 （もっと読む）