Fターム[4G001BA01]の内容
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窒化アルミニウム質セラミックス、半導体製造部材及び窒化アルミニウム質セラミックスの製造方法
【課題】窒化アルミニウムの特性を維持しつつ、その耐食性を向上させる。
【解決手段】窒化アルミニウム質セラミックス10は、窒化アルミニウム粒子と粒界相とを備える。更に、窒化アルミニウム質セラミックス10は、その表層に内部11よりも粒界相を多く含む粒界相豊富層12を備える。そして、その粒界相豊富層12における粒界相は希土類元素又はアルカリ土類元素の少なくとも1つを含有する。
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窒化珪素質焼結体およびその製造方法、並びにそれを用いた耐溶融金属用部材、耐摩耗用部材
窒化珪素の結晶と、第1金属珪化物(Fe、Cr、MnおよびCuのうち少なくとも1つの第1の金属元素からなる金属珪化物)、第2金属珪化物(W、Moのうち少なくとも1つの第2の金属元素からなる金属珪化物)、第3金属珪化物(第1の金属元素と第2の金属元素を含む複数金属成分からなる金属珪化物)のうち少なくとも2つを含む粒界層とを有し、前記粒界層が第1〜第3金属珪化物のうち少なくとも2つが互いに接する隣接相を有する窒化珪素質焼結体とする。 (もっと読む)
窒化アルミニウム焼結体、その製造方法及びその焼結体を用いた回路基板
【課題】 耐水性が高く、高放熱性基板等として好適な窒化アルミニウム焼結体とその製造方法、それを用いた回路基板を提供する。
【解決手段】粒界相にCaO−Al2O3−P2O5組成ガラスを含んでなり、熱伝導率100W/mK以上であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。CaO−Al2O3−P2O5組成ガラスの化学組成が、CaO35〜60質量%、Al2O330〜60質量%、P2O51〜10質量%であることが好ましい。窒化アルミニウム粉末100質量部と、CaO−Al2O3−P2O5組成ガラス1〜15質量部を含む混合粉末を成形後、非酸化性雰囲気下、温度1500〜1700℃で焼結した後、温度1200℃までを20℃/分以上の冷却速度で急冷することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。上記窒化アルミニウム焼結体を窒化アルミニウム基板として用いてなる回路基板。
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