【課題】 Ｘ線元素分析を行う前段階においてＸ線分析に適した試料上の位置を評価・判別でき、分析者が高い信頼性を確保した分析を手戻り無く、短時間に行うことができる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器を備えた荷電粒子線装置において、Ｘ線検出器１２（２５〜３０）のＸ線検出面と同軸上に第一の反射電子検出器１５がＸ線検出器１２と一体もしくは独立して配置され、Ｘ線検出器１２によりＸ線信号を、第一の反射電子検出器１５により反射電子信号を同時もしくは個別に検出する。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ動作用のイオン・モードまたはＳＥＭ動作用の電子モードで動作するユーザが選択可能な構成を有する単一カラム誘導結合プラズマ源を提供すること。
【解決手段】Ｘ線検出器が装着されていれば、エネルギー分散型のＸ線分光分析が可能である。ユーザは、イオン・モードまたはＦＩＢモードで試料を調製するようにＩＣＰを選択的に構成し、次いで電子モードまたはＳＥＭモードを選択するスイッチを実際に動かし、ＥＤＳまたは他のタイプの分析を使用して試料を分析することができる。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折させてスペクトルを採取するＸ線検出システムにおいて、適切な集光を行うＸ線集光ミラーを備えることでエネルギー分布スペクトルの検出精度を維持する。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を集光させて回折格子に導くＸ線集光ミラーと、前記Ｘ線集光ミラーの位置もしくは角度を調整するＸ線集光ミラー調整部と、前記Ｘ線集光ミラーにより集光された特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子と、前記回折格子で生じた回折Ｘ線を検出するイメージセンサと、を備え、前記Ｘ線集光ミラー調整部は、前記Ｘ線集光ミラーの反射面において反射する前記特性Ｘ線のエネルギーに応じて反射可能な角度範囲で、前記Ｘ線集光ミラーの位置もしくは角度を調整する。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折格子により回折させてイメージセンサでスペクトルを採取するシステムにおいて、幅広いエネルギー領域の測定を行う。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子と、前記回折Ｘ線のエネルギー分散方向と直交方向の複数の位置に前記回折Ｘ線の結像面を振り分けるように前記回折Ｘ線の進行を振り分けるスプリッタと、前記スプリッタにより振り分けられた複数の結像面のそれぞれに配置された異なるエネルギー感度特性の複数のイメージセンサと、を有する。 （もっと読む）

【課題】走査電子顕微鏡としての機能と真空紫外発光検出の機能を両立させた、簡便で小型化された一体型の高性能の電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】フィールドエミッション方式或いはフィラメント方式の電子線源を有する走査電子顕微鏡に加えて、真空紫外発光材料を低真空雰囲気に保持して電子を照射する低真空試料室、該発光材料から発光した真空紫外線を含む光を集光する集光ミラーを有する集光伝送部、並びに真空紫外線を検出するための回折格子などの分光器およびＣＣＤや光電子増倍管などの検出器からなる分光装置を具備し、該集光伝送部が集光ミラーにより集光された真空紫外線を含む光を窒素ガスなどの雰囲気下に直接分光装置に伝送する集光伝送部であることを特徴とする電子線励起真空紫外線を検出する機能を兼ね備えた走査電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】粒子ビームを用いて試料の構造に関する情報を得るための検査方法において、試料から放出された電子およびｘ線から試料に関する情報を得ることができる検出方法および検査装置を提案する。
【解決手段】検査方法は、試料に粒子ビームを集束するステップと、試料に隣接して配置した少なくとも１つの検出器を作動するステップと、少なくとも１つの検出器によって生成した検出信号を異なった強度間隔に割り当てるステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射した電子に関連した少なくとも１つの第１信号成分を決定するステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射したＸ線に関連した少なくとも１つの第２信号成分を決定するステップとを含む。 （もっと読む）

本発明は、放射線検出器用の低干渉センサヘッド（３０）及び低干渉センサヘッドを備えた放射線検出器に関する。本発明の放射線検出器は、好ましくは、Ｘ線検出器である。本発明はまた、低干渉センサヘッドの使用又は荷電粒子のための光学系を用いた顕微鏡検査法における放射線分析、特に（エネルギー分散）Ｘ線分析のための放射線検出器、特にＸ線検出器の使用に関する。
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【課題】 電子線照射により試料から発生するＸ線を検出する分析方法において、試料が電子線照射により損傷を受ける前に測定を自動的に停止させる。
【解決手段】 電子線照射により試料から発生したＸ線、二次電子等をそれぞれＸ線検出器２４、電子検出器２３で検出し経過時間情報、座標位置とともに時系列的に組み合わせた時系列データとして記憶部３４に格納する。測定しながら、測定開始から一定の時間間隔で記憶部３４からＸ線信号を抽出しＸ線スペクトルを再生する。スペクトル全体又は任意に指定したエネルギー範囲のＸ線強度の時間経過に伴う変動をモニタし、異常を検知したら手動又は自動的に測定を中止する。 （もっと読む）

【課題】検出能力が向上したＸ線検出器を提供すること。
【解決手段】試料室内に環状に配置された複数の検出器が大きな捕集立体角を提供する。これらの検出器は、検出器の表面での氷の形成を低減させるシャッタおよびコールド・シールドを含むことが好ましい。サンプルを取り囲む検出器を提供することによって、検出を向上させる大きな立体角が提供され、サンプルの傾斜方向にかかわらずＸ線が検出される。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡の超微小焦点より発生するＸ線を用いて、Ｘ線拡大撮影を行うこと。
【解決手段】 電子顕微鏡で用いられる電子線の超微小焦点の位置に、台形の金属ターゲットを設置し、加速された電子をターゲットにあてることにより、発生する制動Ｘ線を、電子顕微鏡の加速筒（鏡筒）と直角方向に置かれたアダプター内に導き、ターゲットの近傍に設置された試料に当てる。透過したＸ線は、ターゲットから遠くに置かれたＸ線検出器によって拡大画像を得る。照射する電子線の焦点のターゲット上の位置を変えることにより、観察する試料部位と拡大率を決める。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線分光器に関し、遮蔽板の調整を確実かつ正確に行なうことができるＸ線分光器を提供することを目的としている。
【解決手段】電子顕微鏡に搭載されたＸ線分光器であって、試料から発生した特性Ｘ線を回折格子７に導き、該回折格子７で分光したＸ線の強さを検出してＸ線分析を行なうＸ線分光器３において、Ｘ線分光器３内に入射される分光Ｘ線の内、０次光Ｘ線１２を遮蔽する０次光遮蔽板１３と、該０次光遮蔽板１３をＸ線検出器５のＸ線分光方向に移動する移動機構と、該移動機構にＸ線分光器内の真空状態を保持するための保持手段を設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトな光学系で高分解能なＸ線分光器を備えた電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 真空ポンプで排気され、不等間隔回折格子（１２）が配置されるとともに、端部にＸ線検出器（１４）が取り付けられた分光室を有するＸ線分光器（１０）をゲートバルブ（４）を介して電子顕微鏡の側壁に取り付けたものであって、電子線が照射された試料から放出される特性Ｘ線を不等間隔回折格子面に斜めに入射させ、その回折Ｘ線をＸ線検出器で検出するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 超高分解能で且つ非常に短時間での非破壊検査が可能であると共に、ターゲット切替機能、高精度の電子プローブ制御機能、ＣＴ機能、元素分析機能などの優れた機能を搭載したＸ線顕微検査装置を提供する。
【解決手段】 電子銃の電子発生部の近傍に磁界発生部が配置された磁界重畳レンズと、異なる波長のＸ線を発生する複数のＸ線発生用ターゲットとを具備し、検査目的に応じて前記Ｘ線発生用ターゲットを切替えて当該波長の特性Ｘ線を発生できるように構成する。更に、電子プローブ制御機能、電子線軸合わせ機能、ＣＴ機能、元素分析機能などの機能を搭載する。 （もっと読む）

【課題】 ヨハンソン型Ｘ線分光器を用いた既存の波長分散型Ｘ線分析装置に対し、簡単な改造で以て検出感度及び波長分解能を改善させる。
【解決手段】 ローランド円５上に配置された湾曲結晶を平板結晶６に置き換え、試料２と平板結晶６との間に、入射端面側で点焦点を有し出射端面側で平行線束を出射する点／平行型のマルチキャピラリＸ線レンズ４を介挿する。電子線の照射に応じて試料２上の微小領域３から放出された固有Ｘ線をＸ線レンズ４で効率良く収集して平行線束に変換し、平板結晶６により同一波長のＸ線が平行線束となるように回折してＸ線検出器８により検出する。波長走査は、微小領域３を固定し、平板結晶６及びＸ線検出器８をローランド円５に沿って移動させる従来の機構をそのまま利用すればよい。 （もっと読む）

【課題】 ワーク領域が小さくかつ波長走査範囲の広い高分解能Ｘ線分光装置を提供すること。
【解決手段】 試料上のほぼ点とみなせる微小領域から放出されるＸ線をマルチキャピラリＸ線レンズで平行化し、互いに平行に配置した第１及び第２平板分光結晶５１，５２で分光及び反射させることにより、出射Ｘ線５５が常に入射Ｘ線５４に平行になるようにする。これにより、Ｘ線検出器５６は入射・出射Ｘ線５４，５５に垂直な方向に直線的に移動するだけでよいようになる。第１及び第２平板分光結晶５１，５２は、平行四辺形リンクAEFDを用いることにより、常に上記関係を維持して分光のための回転・移動を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 ＥＰＭＡ等、試料上の微小領域から発生するＸ線を分光分析する装置におけるエネルギー分解能を向上させる。
【解決手段】電子線の照射によりＸ線を放出する微小領域２に入射側端面の点焦点を合わせたマルチキャピラリＸ線レンズ６によりＸ線を効率良く収集し、平行光化して四結晶型分光器３０に導入する。四結晶型分光器３０はそれぞれ２枚の平行な単結晶を有するチャンネルカット結晶４０、４１を２個含み、入射されたＸ線を高精度で分光し、入射Ｘ線と平行な方向に出射する。マルチキャピラリＸ線レンズ６からの出射Ｘ線は若干の広がりを有しているが、四結晶型分光器３０はその入射Ｘ線の広がり角の影響を受けることなく高い波長分解能で以てＸ線を分光する。そのため、高いエネルギー分解能と高い分光強度とを達成できる。 （もっと読む）

【課題】分析対象である特定位置に電子線を長時間照射することによって生じる熱の発生やチャージアップ現象を防止し、それによって試料から発せられた電子線に基づいた表面像を精度よく作成することができる試料分析装置を提供する。
【解決手段】試料の所定領域に、電子線を照射する電子線照射装置と、電子線が照射された試料から発生した第１のエネルギ線を検出し、試料の分析を行う第１の分析部と、電子線が照射された試料から発生した第２のエネルギ線を検出し、試料の分析を行う第２の分析部と、を備えた試料分析装置において、第２の分析部が、第２のエネルギ線を検出するための検出部が前記試料の所定領域内に含まれる特定位置に対して電子線が照射されたときのみ、試料から発生した第２のエネルギ線を検出するようにし、さらに、前記第２の分析部が、その検出値を蓄積し、その蓄積された検出値から前記試料の分析を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成の装置によって試料表面の情報を得ることができる試料表面の測定方法及び分析装置並びに電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】 試料表面６ａに電子ビーム５を照射し、これに応じて試料表面６ａから発生する特性Ｘ線７を分光し、分光後の当該特性Ｘ線７の強度を測定する電子ビーム装置を用いた試料表面の測定方法であって、Ｚ方向に沿って所定間隔に設定された各Ｚ方向位置において試料６をＸ−Ｙ平面に沿って移動させるとともに試料表面６ａに電子ビーム５を照射し、このときの特性Ｘ線７の分光測定条件を固定して特性Ｘ線７の強度を測定し、これにより試料６の各Ｚ方向位置におけるＸ−Ｙ平面での特性Ｘ線強度のマップデータを取得し、当該マップデータに基づいて試料表面６ａの形状を求めることを特徴とする。 （もっと読む）