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Fターム[5F172NS11]の内容

レーザ (22,729) | 温度調節・冷却・温度制御 (959) | 直接的対象 (518)

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【課題】レーザービームをより効果的に終端させ、戻り光による迷光を著しく低減させることができるビームダンプを提供する。
【解決手段】本ビームダンプ1は、使用済みのレーザービームの終端処理を行うものであり、レーザービームの入射側の前段のレーザー吸収板5aが、終端処理するレーザービームの入射方向に対して一定角度傾斜して設けられ、後段のレーザー吸収板5bが前段のレーザー吸収板5aに対し前段のレーザー吸収板5aとは反対の方向に一定角度傾斜するように設けられてなるレーザー吸収材4を複数枚、ヒートシンク3の上にレーザービーム入射方向とは直角な方向に一定間隔を隔てて、レーザービームの終端部がレーザービーム入射方向から見て隠れるように配設して構成されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】出力変動を抑制することができる光ファイバ増幅モジュールおよび光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置1は、種光源10、プリアンプ20、プリアンプ30およびブースタアンプ40を備える。ブースタアンプ40は、光アイソレータ41、光コンバイナ42、増幅用光ファイバ43、光ファイバ44、励起光源45〜45および冷却部46を備える。増幅用光ファイバ43は、偏波保持機能を有し、二重クラッド構造のものである。冷却部46は、増幅用光ファイバ43と光ファイバ44との融着接続部を冷却する。 (もっと読む)


【課題】本発明のEUV光源装置は、高い熱負荷状態において、可飽和吸収体を安定して連続的に使用することができる。
【解決手段】可飽和吸収体(SA)装置33は、自励発振光や寄生発振光あるいは戻り光のような微弱な光を吸収するために、レーザビームライン中に設けられる。SAガスボンベ334(1)からのSAガスとバッファガスボンベ334(2)からのバッファガスとは混合されて、混合ガスとなる。混合ガスは、供給管路333(1)を介して、SAガスセル330に供給され、レーザ光L1に含まれる微弱光を吸収する。混合ガスは、排出管路333(2)を介して排出され、熱交換器332に送られる。熱交換器332で冷却された混合ガスは、循環ポンプ331(1)により、再びSAガスセル330に送られる。 (もっと読む)


【課題】 太陽光励起レーザおよび太陽光励起レーザの冷却方式を提供すること。
【解決手段】 太陽光によりレーザ媒体を励起してレーザ発振を行う太陽光励起レーザであって、太陽光励起レーザ10は、レーザ媒体12と、レーザ媒体12を内部に支持する収容装置14であって、レーザ媒体12と収容装置14との間の空間に冷却液体を保持すると共にレーザ媒体12に沿って集光した太陽光を照射する集光光学要素22を備えた収容装置とを備え、さらに、レーザ媒体12の互いに対向する端部に隣接して配置された対となった光学的反射要素(16、18)とを備えている。収容装置14の端部は、ブリュースター角とされている。また、本発明の冷却液体は、水が光学媒体として機能して水レンズを形成し、同時に集光光学要素22の洗浄を行っている。 (もっと読む)


【課題】 従来の波長可変レーザの課題を克服し、高信頼性、高性能かつ低価格であり、しかも波長モニタをより簡易な構成によって行う。
【解決手段】 波長可変レーザ50は、互いに異なる光路長を有するリング状導波路から成る二つリング共振器61,62が連結されて成る多重リング共振器60と、リング共振器61に一端が結合された入出力側導波路52と、リング共振器62に一端が結合された反射側導波路54と、多重リング共振器60、入出力側導波路52及び反射側導波路54が形成されたPLC基板55と、反射側導波路54の他端に設けられるとともに不要な波長の光を除去して必要な波長の光を反射する高反射膜56と、入出力側導波路52の他端に結合されたLD57と、多重リング共振器60の共振波長を変化させる膜状ヒータ62hと、を備えている。 (もっと読む)


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