【課題】ウェーハの研磨量をミクロン単位に正確に制御してウェーハを所望の厚さに形成する。
【解決手段】研磨送りをする駆動源の研磨中における負荷電流と研磨量との相関関係３を予め取得しておき、そのデータに基づき、所望の研磨量に対応する負荷電流値を求める。そして、実際に検出された負荷電流値が求めておいた負荷電流値と一致した時に研磨を終了することにより、ウェーハを所望の厚さとする。 （もっと読む）

【課題】 異形のワ−クの研削加工時間の短縮。
【解決手段】 ワ−ク２表面を砥石車３を用いて研削を行う方法において、前記砥石車とワ−クとの干渉領域より発生した振動信号をワ−ク近傍のチャック面に設置した振動センサヘッド４０が検出し、この振動信号値（Ｅ_ｉ）が予め設定した振動信号のトリガ−値（Ｅ₀）よりも高いときはワ−クテ−ブル４を一方向に進行させ、振動信号値（Ｅ_ｉ）が予め設定した振動信号のトリガ−値（Ｅ₀）以下に達したときにワ−クテ−ブルの駆動手段に反転信号を送り、ワ−クテ−ブル４を反転させる。ワ−クの研削が行われていないときのテ−ブル４の空転移動距離を短くできる。 （もっと読む）

研削加工後のワーク変形量から、砥石車の姿勢の狂いを検出して、砥石車を正しい姿勢に調整することで、平行度および平坦度に優れるワークを得られる両面研削技術を提供する。砥石車（１、２）の切込み完了時に、エアゲージセンサ（Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃ）を用いて、静圧パッド（２０、２１）とワーク（Ｗ）の表裏両面との距離を３箇所で測定し、これら３箇所の測定結果から、ワーク（Ｗ）の変形量を検出するとともに、この算出した変形量が所定値を超えた場合に、その変形量に基づいて、砥石車（１、２）の切込み完了時のワーク（Ｗ）が変形を生じず平坦となるように、砥石車（１、２）を移動調整する。
（もっと読む）

【課題】研磨中のガラス板の割れ音を他のガラス板の割れ音等と区別して検出する
【解決手段】マイクロホン３０によって集音し、フィルタ４０によって高周波数の音を抽出する。次に、フィルタ４０によって抽出された高周波数の音について、まず、所定時間Ｔ１（Ｔ１＝１０ｍｓｅｃ）内で最大となる音レベルを所定時間Ｔ１毎に取得する。次に、現在から過去所定時間Ｔ２（Ｔ２＝３００ｍｓｅｃ）内で、前記取得された音レベルの中で最小の音レベルを定常音レベルとして取得する。次いで、Ｔ１如く取得している現在の音レベルと前記定常音レベルとの比が、所定の値（２．５）を超えた際に１カウント加算する。そして、カウントが１０カウントになるまで所定時間Ｔ１毎に前記第３の工程と第４の工程とを繰り返し、所定時間Ｔ３（５ｓｅｃ）内に１０カウントに達すると、ガラス板Ｇに割れが発生したと判定し、制御部２４に割れを示す信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】 磁気記録媒体の基板表面のテクスチャ加工において、テクスチャ加工の前後ばかりでなく、テクスチャ加工状態における基板の面振れの異常も検出することができるテクスチャ加工装置を提供する。
【解決手段】 テクスチャ加工される基板２２の被加工面と研磨テープ３４との間の水の圧力を検出する圧力センサ４６Ａおよび４６Ｂが設けられるもとで、制御ユニット５０が圧力センサ４６Ａおよび４６Ｂからの検出出力に基づいて基板２２の面振れの良否を判定する。 （もっと読む）

研磨工程及びその他の物質除去工程をインサイチューに監視するための技法は、ウェハーキャリアに埋め込まれた水晶振動子ナノバランス（２２５）を採用する。ウェハーから除去された物質は水晶体の表面に沈積する。その結果の水晶体の周波数のシフトは除去された物質の量を示し、瞬間除去速度並びに工程終点を決定できるようにする。水晶結晶板ナノバランス（２２５）への沈積は、与えられるバイアスによって制御することができる。複数の水晶振動子ナノバランスを使用することができる。本発明のさらなる実施態様においては、研磨工程中にスクラッチなど欠陥原因事象を検出するために水晶振動子ナノバランスが使用される。
（もっと読む）

投受光部（５２）は、液体が基板（１４）に供給されて縁部（３０）に流れる状態で、レーザ光を縁部（３０）に投光し、反射光を受光する。信号処理コントローラ（５４）は、反射波の電気信号を処理して縁部（３０）の状態を判断する。研磨途中の縁部の状態が監視される。また、研磨終点が検知される。レーザ光以外の送信波が用いられてもよい。縁部（３０）が流路形成部材で囲まれて、流路が好適に形成されてもよい。液体が基板縁部に流れる状況でも好適に縁部を測定可能にする。
（もっと読む）

工具研削盤は機械制御ユニットを有し、当該機械制御ユニットは、例えば、トレーサ（９）と測定モジュールとを備える適当な測定機器を用いて、最初にワークピース受け器の理想的な受け器軸（Ｃ）に関するぶれを決定する。ブランク（７）又はワークピースの研削機械加工において、このぶれは考慮され且つ補償される。すなわち、ワークピースが正確に意図された寸法で且つ同心で機械加工されるような方法で、研削工具は揺れ動くワークピースをトレースさせられる。
（もっと読む）

【目的】 ロールグラインダーのビビリを検知する。
【構成】 ロールグラインダー１のロール軸受部３に取り付けた振動センサー４からの振動信号を周波数解析器７に入力して周波数帯域毎の振動レベルを解析し、解析した振動レベルのうちビビリに関する特定の振動帯域の振動レベルをビビリ判定器１０に入力し、このビビリ判定器１０にあらかじめ設定したしきい値と比較して振動レベルがしきい値を超えたときには、ビビリが発生したと判定するロールグラインダーのビビリ検知方法。
【効果】 圧延ロールのロールマークを低減できる。 （もっと読む）