【課題】流体の温度や濃度に応じてその流体の流れ特性が変わった場合でも、流体の流量を正確に計測することができる超音波流量計を提供すること。
【解決手段】超音波流量計２７の超音波センサ部３３において、洗浄液Ｗ１を流す液体圧送用管路４４における上流側と下流側と一対の超音波振動子４１，４２が配置される。各超音波振動子４１，４２の間で送受信される超音波の伝搬時間が測定され、超音波の伝搬時間に基づいて、洗浄液Ｗ１の音速及び流速が演算により算出される。洗浄液Ｗ１の音速と温度センサ部４５で測定した温度とに基づいて、洗浄液Ｗ１の濃度が演算により算出される。洗浄液Ｗ１の温度及び濃度に応じて洗浄液Ｗ１の流速が補正され、その流速に基づいて洗浄液Ｗ１の流量が求められる。 （もっと読む）

【課題】計測環境に影響されない流量の計測を可能にする。
【解決手段】流量計（２０）を通してワークに供給する気体を調圧弁（１２）でテスト圧に設定し、流量計によりワークから流出する計測環境での流量を計測し、ワークに供給する気体の温度と計測環境の気圧を測定し、測定した温度と気圧により流量換算部（３０Ｒ）において標準状態の流量への変換係数Ｒを計算し、流量等価部（３０Ｅ）において換算流量に対し換算係数の平方根で割り算して計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量を求め、表示する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、設置スペースの小型化を可能にしたＬＰガス供給機を提供するためのタービン流量計を得る。
【解決手段】貯留タンクにＬＰガスを所定量計量しながら供給するＬＰガス供給機において、タービン流量計Ａを液体が通過すると回転するロータ３と、これを回転自在に内蔵するハウジング１とから構成し、ロータ３の羽根４の回転軌跡円上に接近したハウジング１内に羽根４の回転を検出する流量検出部１１を設け、一方、計量室２の内壁面との間に薄肉部２２を有する第２有底取付穴２３を開け、この第２有底取付穴２３に薄肉部２２を介して液体の温度を測定可能な温度測定器２１を内蔵したタービン流量計であるので、車両にＬＰガスを充填する場合において、供給機自体を小さくすることができ、設置スペースが減少する。また、温度測定器が液体に直接触れることがないので乱流が発生しない。 （もっと読む）

【課題】 時間Ａ／Ｄ変換回路（ＴＡＤ）における空気流量電圧信号Ｖｑに対するＡ／Ｄ変換のサンプリング周期を短縮することを課題とする。
【解決手段】 アナログマルチプレクサによって選択された順序で、基準電圧信号Ｖｒｅｆ３、Ｖｒｅｆ２、Ｖｒｅｆ１、吸気温度電圧信号Ｖｔおよび空気流量電圧信号Ｖｑをサンプリングしてデジタルデータに変換するＴＡＤと、Ｖｒｅｆ３、Ｖｒｅｆ２、Ｖｒｅｆ１、Ｖｔ、ＶｑをＴＡＤがサンプリングするタイミングを設定するサンプリングタイミング設定部とを備えている。このサンプリングタイミング設定部は、Ｖｑのサンプリングタイミングを、Ｖｒｅｆ３、Ｖｒｅｆ２、Ｖｒｅｆ１、Ｖｔのうち隣合う２つのアナログ入力電圧信号のサンプリングタイミング間に挿入している。これにより、空気流量電圧信号Ｖｑに対するＡ／Ｄ変換のサンプリング周期を短縮することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】極低温を含む広い温度範囲にわたって、正確な出力材料流量情報を生成するコリオリ流量計を提供する。
【解決手段】コリオリ流量計は、メモリに記憶された非線形補償情報を使用し（７０６）、極低温を含む全ての温度で正確な非線形温度補償材料流量出力情報を生成する（７１４）。一つの実施の形態においては、記憶された非線形情報は（７０６）、正確な温度補償材料流量出力情報を生成するために使用されるヤング率Ｅの測定値を表す。他の実施の形態においては、ヤング率Ｅの測定値を曲線近似し（７０３）、正確な非線形温度補償出力情報を生成するのに使用するのに記憶される非線形式を導出する（７１０）。 （もっと読む）

【課題】基準温度の補正流量を容易に算定することができるとともに、基準温度の補正流量の算定が、システム全体として正しく行われているかをテストすることができる温度補正システムを提供する。
【解決手段】 模擬データ出力手段に対し、所定の流量に対応した流量データ及び所定の温度に対応した温度データを出力するように外部から指示することで、補正流量算定手段が、所定の流量に対応した流量データ及び所定の温度に対応した温度データの内、少なくともその一方のデータを、通信回線を介して受信するとともに、一方のデータだけを通信回線を介して受信する場合には、他方のデータを、通信回線を介さずに受信して、基準温度の補正流量（Ａ）を算定するように構成するとともに、基準温度の補正流量（Ａ）と、基準温度の理論上の補正流量（Ｂ）を比較することで、基準温度の補正流量（Ａ）の誤差を算定することができるように構成した。 （もっと読む）

本開示は、質量流量コントローラのような、質量流量給送／測定デバイスを通過する質量流量を測定し検証する質量流量検証システムおよび方法に関する。質量流量検証システムは、予め設定されている容積、温度センサ、および圧力センサを備えている。質量流量測定デバイスの中にある隙間容積から生ずる誤差を補償するために、質量流量検証システムによって測定、検証、および判定された流量を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる差圧式流量計を提供するとともに、この差圧式流量計を用いた流量コントローラを提供すること。
【解決手段】圧力測定を行う流体が流れる流体主流路１２が形成されたボディ２４と、前記流体主流路１２に対して直列に配置されるとともに、前記ボディ２４に保持される２つの圧力センサ２１Ａ，２１Ｂとを備え、前記２つの圧力センサ２１Ａ，２１Ｂの下方に位置する前記ボディ２４に形成された凹所内に、熱伝導性に優れた材料からなる温度バランサー２７が収容されている。 （もっと読む）

プロセス流体の流れの装置（１２）は、電源モジュール（２４）、プロセス通信回路（２０）、プロセッサ（２６）及び測定回路（２８）を含む。プロセス通信回路（２０）は、電源モジュール（２４）と、プロセッサ（２６）とに結合される。測定回路（２８）は、差圧、静圧及びプロセス流体温度の表示を得るために、複数のプロセス変数センサに動作可能に結合可能である。プロセッサ（２６）は、プロセス流体の質量流量を演算し、静圧及びプロセス流体温度を用いて、プロセス流体に関連する単位質量値当たりのエネルギを得て、エネルギの流れの表示を提供するように構成される。
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【課題】発熱素子、感熱素子および温度検出素子の温度変化特性のバラツキに起因する流量検出特性のバラツキを抑えて、その温度補正を簡易に行うことを可能とした熱式流量計を提供する。
【解決手段】発熱素子Ｒｈ、一対の感熱素子Ｒｕ,Ｒｄおよび温度検出素子Ｒｒを同一チップ上に形成したセンサチップを備え、発熱素子Ｒｈおよび温度検出素子Ｒｒと固定抵抗Ｒ１,Ｒ２とを用いて構成されるブリッジ回路であって、駆動電圧が帰還制御されて発熱温度を一定に保つヒータ回路が有する正の温度変化特性を、一対の感熱素子Ｒｕ,Ｒｄと固定抵抗Ｒｘ,Ｒｙとを用いて構成されるブリッジ回路であって、定電圧源にて駆動されるヒータ回路が有する負の温度変化特性にて相殺する。 （もっと読む）