【目的】エキシマレーザのビームの強度分布を均一にして、加工面の面精度の確保及び寸法精度の向上を図ることができる装置を提供することを目的とする。
【構成】加工面の底面や、側面の面精度及び寸法精度を要求される加工に用いる高出力のエキシマレーザ用ビーム装置において、レーザ発振器から伝送されてきたレーザ光１を拡大および整形する凹面を有したシリンドリカルレンズ２と、前記シリンドリカルレンズ２からのレーザ光１を入射し、レーザ光１の強度分布を均一にする格子状の導波路３と、前記格子状の導波路３からのレーザ光１を入射し、拡がり傾向にあるレーザ光１を平行にするコリメートレンズ４と、前記コリメートレンズ４からのレーザ光１を入射し、加工形状に相当するレーザ光１を形成するマスク５と、前記マスク５からのレーザ光１を入射し、加工物２８にマスク５からのレーザ光１を結像する結像レンズ８を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 フィルタ交換式波長可変モジールの提供
【解決手段】 対向するファイバーコリメータの平行光路直下に回動自在な支軸を配置する。干渉フィルタを内蔵するフィルタユニットをこの支軸に嵌合固定する。支軸と一体の回動片にマイクロメーターヘッドの先端を当接する。モジュール本体に斜めに配置したこのヘッドを微回転することで干渉フィルタの光路内での傾き角度を変化させる。
【効果】 所定の透過特性を有するフィルタユニットに交換できる光学モジールは光多重通信等に大いなる福音となる。 （もっと読む）

【目的】 コストの安い、誰にでも調整出来る、反射面等にホコリやゴミ等の付着しにくい光学素子調整装置を提供する。
【構成】 ベース２に複数のねじでねじ止めする光学素子を固着したホルダ１であって、該ホルダ１に設けたねじが貫通する複数の穴の中の１個の穴１１はねじ径３に対して隙間を小さく、他の穴１２はねじ径４に対して隙間が大きい穴とし、前記隙間の小さい穴１１を中心にして前記ホルダ１を回転調整する。 （もっと読む）

【目的】 レンズ系とピンホール系を一体とし、精密な三次元移動機構を設けることにより高精度な光軸合わせを行う。
【構成】 レンズ用支柱１とピンホール用支柱２を同一の架台１１上に設定し、可動板及び送り６、７による二次元的移動と、移動台９及び送り８による光軸方向の精密移動機構を有する。ピンホールホルダ５あるいは、ダミーホルダは交換可能でフランジ４のネジ部に確実に嵌合する。 （もっと読む）

【目的】 光透過型の複数の液晶パネルを透過した光束を、それぞれの液晶パネルに対応するコンデンサレンズ、光束合成手段および投影レンズを介して合成投影する画像投影装置において、複数の液晶パネルによる像を正確に一致させて合成することができる画像合成投影装置を得ること。
【構成】 コンデンサレンズを、対応する液晶パネルの光束出射側に配置し、かつこのコンデンサレンズを、光軸と直交する方向に位置調節する位置調節手段または（および）コンデンサレンズ光軸の正規光軸に対する傾斜角度を調整するチルト調整機構を設けた画像合成投影装置。 （もっと読む）