【課題】イオン化ビームの試料への照射の時間的ばらつきによる質量分析結果への影響を低減し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる質量分布分析方法を提供する。
【解決手段】本発明の質量分布分析方法は、一次イオンビームを試料に照射し、発生した二次イオンを検出する質量分析方法であって、この一次イオンビームは進行方向に対して垂直な方向への広がりを有し、かつ軌道を偏向することにより、一次イオンビームに含まれる各々の一次イオンの一次イオン源から試料表面までの行路長を調整したうえで、試料表面に対して斜めに入射される。 （もっと読む）

【課題】m/z範囲が限定された複数の測定モードが用意された質量分析装置において、インソース分解やクーリング時のイオン分解を利用した擬似ＭＳ³測定を実施する測定対象イオンのm/z範囲を広げることを可能とする。
【解決手段】全m/z範囲をカバーするように設定した複数の測定モードでそれぞれ目的試料に対するＭＳ¹スペクトルを取得するとともに、同試料に対しＭＳ²スペクトルを取得する（Ｓ１、Ｓ２）。そして、ＭＳ²スペクトルに存在するイオンピークと同m/zのピークが全ＭＳ1スペクトルにあるかどうかを判定し、同一m/zのイオンを擬似ＭＳ³測定対象イオンとして抽出する（Ｓ３）。全ＭＳ¹スペクトルの中で擬似ＭＳ³測定対象イオンのピーク強度が最大となる測定モードと該イオンのm/zを測定条件として擬似ＭＳ³測定を実施し、擬似ＭＳ³スペクトルを取得する（Ｓ４、Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】 顕微質量分析装置は試料を観察し、測定部位を特定し、その部位にレーザー光を微小に絞り照射して顕微レーザー質量分析を行なうもので、レーザー光を分析対象である測定部位周囲にレーザー光が広がって照射しないようにして、測定部位の情報だけを的確に得る顕微レーザー質量分析装置を提供する。
【解決手段】試料観察手段とレーザー光照射手段を同じ顕微鏡対物レンズを用い観察した部位にレーザー光を照射して測定するために、焦点距離の短い対物レンズにより、レーザー光を微小にしぼり、その対物レンズのセンター部に孔を開け、金属細管からなる微細イオン輸送管を挿入したイオン輸送管内蔵対物レンズを用いて微小部の顕微ＭＡＬＤＩの測定を可能とする。また、イオン輸送管は高分子イオンの通過率を向上させるために加熱機能を備えている。 （もっと読む）

【課題】イオン化ビームの照射方向依存性、或いは、試料への照射むらによる質量分析結果への影響を低減し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る、質量分布計測方法では、該試料表面にイオン化ビームを照射する方向を変化させ、複数の照射方向における複数の質量分布像を取得し、イオン化ビームの入射方向と基板面との成す角度に応じてこの質量分布画像に対して画像変換を行い、複数の変換画像を合成し、合成された質量分布画像を出力する。 （もっと読む）

【課題】従来の質量分析装置では、測定対象物表面に垂直に一次ビームを入射させることができないため、その表面に凹凸がある場合は、一次ビームに対して影になる部分を生じた。その結果、試料から発生するイオンの分布と測定対象表面の物質分布に乖離が生じる問題があった。
【解決手段】一次イオン生成部、一次イオンを測定対象物に照射するための一次イオン光学系、二次イオンを検出するための検出器、および測定対象物から検出器までイオンを導く二次イオン光学系を有する質量分析装置において、
当該一次イオン生成部は当該二次イオン光学系のイオン光軸の外に設置し、偏向部を当該測定対象物と当該検出器との間に有することを特徴とする飛行時間型質量分析装置 （もっと読む）

【課題】 エッチングの進行に伴って形成されるクレーターが深くなっても、試料の深さ方向の組成プロファイルの正確な測定が行える二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、試料面内の一次イオンビームが照射される範囲内にマークを形成し、このマークを含む領域に対して一次イオンのラスタースキャンを行い、特定組成の二次イオンの信号強度について一次イオンビームのスキャン範囲とマークの位置関係とその変化を検出し、クレーター底部における二次イオン計測範囲の位置を試料面に平行な向きに移動しないように補正する二次イオン質量分析方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 サンプルを効率的にイオン化し、かつキャリーオーバーの少ない質量分析装置を実現する。
【解決手段】 サンプルを保持した試料容器の内部を減圧することにより、ヘッドスペースガス中におけるサンプル密度を上昇させ、サンプルを効率的にイオン化する。 （もっと読む）

【課題】解決しようとする問題点は、ＬＣ／ＭＳなどに用いられる大気圧イオン化（ＡＰＩ）質量分析装置において、インターフェース部のクリーニング作業が複雑でユーザーの負担になる点である。
【解決手段】本発明は、電極表面が拭き取り材により自動的にクリーニングされるため、ユーザーの負担を低減させた（使い易い）質量分析装置の提供を最も主要な特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の遅延引出し法ではイオンを加速する際にm/zの相違が考慮されないため、適切なエネルギ収束が達成されるm/z範囲が狭く、分解能が改善されるm/z範囲も狭い。
【解決手段】試料Ｓにレーザ光を照射してイオンを発生させる時点で、試料プレート１から引出し電極３に向けて緩やかに下がる電位勾配をもつ引出し電場を形成しておく（Ｕ）。この電場の作用により、イオンは引出し領域中でm/zに応じて略分離され、m/zが大きなイオンは試料Ｓ近くに残る。遅延時間ｔ経過後に試料プレート１及び補助電極２への印加電圧を上げて折れ線様の電位勾配Ｒを有する加速電場を形成する。この電場は理想的な電位勾配曲線Ｑに近いため、m/z毎に適切なポテンシャルエネルギ変化をイオンに与えることができ、幅広いm/zに亘ってエネルギ収束を適切に行い分解能を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス作業後、及び、装置稼動前に行う装置性能の校正作業を迅速に安価に行えるようにする。
【解決手段】（１）イオン源８に流入させる試料ガス流量を常に一定にするため、イオン源、及び、質量分析部を有する真空チャンバー１３に設けた真空計２０ａ，２０ｂの真空度変化からバルブ６の絞り部径、オリフィス１５の径などを求め、基準値との差分を補正するため、試料導入部、イオン源、真空チャンバーの真空度を変化させる手段を有する。
（２）イオン源でのプラズマ生成状態を一定にするため、放電電圧、放電電流、プラズマ発光強度を計測し、現状の状態を把握し、基準値との変化分を補正するため、放電電圧などの放電条件を変化させる手段を有する。
（３）質量分離部に流入するイオン量を常に一定にするため、オリフィス径の変化分を補正するため放電時間などの放電条件を変化させる手段を有する。 （もっと読む）