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国際特許分類[H01L21/50]の内容

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製品を製造するシステム(100)であって、このシステムにおいて、第1のワークステーション(101)は、製品部品に第1の製造アクションを実行するように機能し得、この第1のステーションは第1の入口(101a)及び第1の出口(101b)を有する。第2のワークステーション(102)は、製品部品に第2の製造アクションを実行するように機能し得、この第2のステーションは第2の入口(102a)及び第2の出口(102b)を有する。第1の出口と第2の入口の間の搬送ライン(103)は、コンピュータ制御で製品部品を移動させるように機能し得る。チャンバー(104)は、搬送ラインの一部を囲み、その搬送が、第1のステーションから第2のステーションへのバランスのとれたスループットを達成するように構成される一方、製品部品は、チャンバーを介する搬送の間、コンピュータ制御された環境条件(110)にさらされる。チャンバーでのバランスのとれたスループットは、チャンバー内の製品部品の位置及び時間用にコンピュータ制御されたモニター(105a)を備えた、製品のための待機ラインによって達成される。
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集積回路製品の製造のための改良技術を開示する。本改良技術により、より小さく、かつより安価な集積回路製品の製造を可能にする。本発明の一態様は、集積回路製品が一度に1バッチを製造し、さらにこのバッチを個別の集積回路製品に単体化する工程に、非直線(例えば非長方形つまり曲線)上にソーイングまたは切断する操作を用いる。それにより得られる個別集積回路パッケージは、もはや完全に長方形である必要はない。本発明の他の態様は、集積回路製品は半導体アセンブリ工程により製造され得ることであり、それにより外部パッケージまたは容器を付与する必要が任意となる。
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【課題】簡便な機構で多品種に対応することが可能なワーク吸着ユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】ワークを真空吸着によって保持するワーク吸着ユニット6において、吸着面11aの吸着孔12を真空吸引する吸引孔16aの上面に板バネ状の弁体14bを設け、弁体14bを折り曲げることによって真空吸引方向と反対方向に付勢しておき、吸着孔12が開放された状態において真空吸引されると真空吸引によって生じる流体力によって弁体14bが真空吸引方向に変位して吸引孔16aを塞ぎ、吸着孔12が閉塞された状態において真空吸引されると弁体14bが付勢力によって吸引孔16aから離隔するように構成する。これにより対象物によって閉塞された吸着孔12からのみ真空吸引し、これ以外の吸着孔12からの真空吸引を遮断することができる。 (もっと読む)


【課題】 生産性に優れた電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 パッケージ14の三側面をフレーム11に固定する第1の工程と、次にフレーム11を接合ステージ18上に搬送し、この接合ステージ18に設けた吸引口19でパッケージ14の底面を吸引し、接合ステージ18上に固定する第2の工程と、次いでパッケージ14の内部にSAW素子16を実装する第3の工程と、次にパッケージ14の開口部をリッド21で半田封止する第4の工程とを備えたものである。 (もっと読む)


【課題】 ダイをパッケージに搭載する際に、ダイとパッケージとの間隔を均一且つ所望の値になるようにすることができる移送コレットを提供すること。
【解決手段】ダイを吸着保持して移送するための移送コレットにおいて、ダイ吸着部の近傍に脚部が設けられ、この脚部は、吸着保持されたダイを解放してパッケージに納める際にダイの一面がパッケージのダイ搭載面と所定の間隔をもって平行に位置するようにダイ吸着部のパッケージに対する位置を規制するものであることを特徴とする。 (もっと読む)



【課題】 製品の歩留り低下を招くことなく、同一の製造ラインに設置するダイボンダにおけるリードフレームの位置認識機構や搬送機構を簡素化でき、しかも製造ラインの距離を短くすることができるワイヤボンダを提供する。
【解決手段】 長尺状のリードフレームを扱う半導体装置の製造ラインに設置されるワイヤボンダである。ボンディングアーム4の下流側にカット部3を設け、カット部3に、搬送路に配設した下刃、及びそれと対をなす上刃を設ける。上刃を、双方の刃先が同一平面上にて互いに交差する方向にそれぞれ延在した状態のままで下刃と重なるよう駆動し、搬送路の一側側からリードフレームを切断させる。 (もっと読む)


【目的】 樹脂封止済みリードフレーム2を、その各半導体装置3、3、…を各真空吸着ヘッド10、10、…によって真空吸着して搬送する真空吸着搬送機構において、真空吸着ヘッド10、10、…の設けられたエアーマニホールド6の汎用性を高める。
【構成】 エアーマニホールド6内にエアー通路15を縦横に形成し、エアーマニホールード6下面にエアー通路15と連通する多数の真空吸着ヘッド取付部16、16、…を設け、それに選択的に真空吸着具10を取り付けるようにし、残りには閉塞スクリュー17を取り付けるようにする。 (もっと読む)


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