国際特許分類[H01L21/8234]の内容
電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 半導体装置,他に属さない電気的固体装置 (445,984) | 半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置 (183,847) | 1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品または集積回路からなる装置またはその特定部品の製造または処理;集積回路装置またはその特定部品の製造 (40,275) | 1つの共通基板内または上に形成される複数の固体構成部品または集積回路からなる装置の製造または処理 (31,691) | 複数の別個の装置に基板を分割することによるもの (31,691) | それぞれが複数の構成部品からなる装置,例.集積回路の製造 (31,684) | 基板がシリコン技術を用いる半導体であるもの (27,844) | 電界効果技術 (17,660) | MIS技術 (17,448)
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エンハンスメントトランジスタとデプリーショントランジスタの組み合わせ (60)
相補型電界効果トランジスタ,例.CMOS (2,944)
メモリ構造 (10,964)
国際特許分類[H01L21/8234]に分類される特許
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半導体装置およびその製造方法
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半導体装置およびその製造方法
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半導体装置
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半導体装置およびその製造方法
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半導体装置の製造方法
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半導体装置の製造方法及び半導体装置
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半導体装置およびその製造方法
【課題】LOCOS酸化膜端部の直下の電界集中が容易に緩和され、LOCOS酸化膜直下の半導体導電層の良好な耐圧および抵抗を実現することのできる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置(1)は、LOCOS酸化膜(22)の半導体基板の表面に対してラテラル方向に終端しているエッジ(22a、22b)の少なくとも一部(22a、22b)が、上面と下面とに15度以上30度以下の角度(θ)で挟まれて終端するプロファイルを有している。
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半導体素子及びその製造方法
【課題】半導体素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】高電圧領域及び低電圧領域を有する半導体基板100と、高電圧領域に形成され、第1活性領域110-I、第1ソース/ドレイン領域114-I、第1ゲート絶縁膜130及び第1ゲート電極202-Iを有する高電圧トランジスタTR-Iと、低電圧領域に形成され、第2活性領域110-II、第2ソース/ドレイン領域114-II、第2ゲート絶縁膜310及び第2ゲート電極320を有する低電圧トランジスタTR-IIとを備え、第2ソース/ドレイン領域は、第1ソース/ドレイン領域より薄い厚さを有することを特徴とする半導体素子。
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モノリシック集積回路
【課題】ダイオードの逆回復特性を改善する技術を提供すること。
【解決手段】モノリシック集積回路100は、半導体層6と絶縁分離部4とダイオード16を備えている。絶縁分離部4は、平面視したときに、半導体層6の一部である島領域8を周囲から絶縁している。ダイオード16は、島領域8に形成されている。ダイオード16は、第1導電型の中央領域14と第2導電型の環状領域10を有している。中央領域14と環状領域10は、半導体層6の表層に形成されている。平面視したときに、環状領域10は、中央領域14の周囲を一巡している。島領域8には、半導体層6を貫通する貫通部18が形成されている。貫通部18は、中央領域14に囲まれている。モノリシック集積回路100では、絶縁分離部4を画定するトレンチと貫通部18を画定するトレンチが、同一の製造工程で作製される。
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半導体装置の製造方法
【課題】微細化に対応した半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板の第1の領域内に第1の方向に沿って交互に配置されるように第1及び第2の素子分離領域を形成する。この際、第1及び第2の素子分離領域のうち少なくとも一方の素子分離領域の側面は半導体基板の主面に対して垂直とならないように第1及び第2の素子分離領域を形成する。この後、第1及び第2の素子分離領域の上部を除去して、第1の素子分離領域と第2の素子分離領域の間の半導体基板をフィンとして形成する。
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