【課題】発熱体端部のペスト現象による寿命の低下を防止する。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハ１０５を処理する処理室と、処理室内のウエハ１０５を加熱する加熱装置とを備えており、加熱装置は処理室を覆う断熱体１０７と、断熱体１０７の内周面に設けられた二珪化モリブデンからなる発熱体１０８と、断熱体１０７外に引き出された発熱体１０８の端部を囲繞するカバー８４と、カバー８４内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給装置８７とを有し、断熱体１０７には不活性ガスを供給する不活性ガス供給ライン１２２が接続されている。カバー内に不活性ガスを供給することにより、発熱体の端部における低温領域のペストによる寿命の低下を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】熱電導率が異なる材料を複合化することにより、ヒータの温度分布を改善するシャフト付きヒータユニットを提供する。
【解決手段】ヒータプレート１と、ヒータプレート１を支持するシャフト部２を有するシャフト付きヒータユニット１００であって、ヒータプレート１は、シャフト部２と接合される平板状のベース部３と、ベース部３の外周部上に配置される第１プレート部４と、第１プレート部４を構成する材料より熱伝導率が高い材料から選択され、第１プレート部４の内周側を埋めるように配置される第２プレート部５と、を備え、第１プレート部４と第２プレート部５は、コールドスプレー法により、ベース部３上に積層される。 （もっと読む）

【課題】保持用ピースの破損、ピースホルダからの乖離、天井部付近での断熱不良を防止し、温度特性の均一化や寿命の向上を図る半導体製造装置用ヒータ支持装置を提供する。
【解決手段】被加熱体の周りにコイル状に形成された発熱体３１が配設され、鉛直方向に保持用ピース３２が多数連設され、該保持用ピース間に径方向に長い長円形状の空洞部３８が形成され、前記発熱体が前記空洞部を挿通し、前記保持用ピースを介して支持され、該保持用ピースの上面と下面のいずれか一方に、前記発熱体と交わる方向に嵌合凹部が形成されると共に、他方に前記嵌合凹部と嵌合可能な嵌合凸部が形成され、前記保持用ピースは前記嵌合凹部と前記嵌合凸部との嵌合を介して連設された。 （もっと読む）

連続抵抗焼きなまし装置のシャフト（２６）にコンタクトチップ（２１）を取付けるための配置において、該シャフトの一方の端にはシャフトに中心を合わせたフランジ（２５）が取付けられており、該フランジ（２５）は、シャフトに中心を合わせてリング（２４）を前記フランジに取付けるためのリング取付構造を有している。前記リングは、前記コンタクトチップを前記リングに中心を合わせて前記リングに取付けるためのチップ取付構造、及び、前記リングを前記フランジにシャフトに中心を合わせて取付けるためのフランジ取付構造を有している。連続抵抗焼きなまし装置のシャフトにコンタクトチップを取付けるための方法においては、対応する配置が構成される。そのために、まだ行われていなければ、前記チップ取付構造を用いて前記コンタクトチップが、リングに中心を合わせて前記リングに取付けられる。次に、前記リングが、前記リング取付構造及び前記フランジ取付構造を用いて、シャフトに中心を合わせて前記フランジに取付けられる。
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【課題】従来の加熱炉においては、蛇行状ヒータエレメントの湾曲部を炉壁用断熱材に固定しているため、加熱中のヒータエレメントの膨脹及び冷却中の収縮による歪みがヒータエレメントに蓄積し、そのため長期亘って使用しているとヒータエレメントがこれを配置した溝内から飛び出したり、ヒータエレメント同士が接触したり、ヒータエレメントが炉内の被加熱物に接触したり、熱疲労によりヒータエレメントが破断してしまうという欠点があった。
【解決手段】本発明の高温用加熱炉は、炉壁用断熱材と、この断熱材の炉芯側面に上下方向に互いに離間して多段に配置した、夫々上下端で蛇行状に折れ曲がるヒータエレメントと、上記各段のヒータエレメントの左右に隣接する直線部分を互いに連結する、上記断熱材に固定されていない耐熱・絶縁性スペーサと、上記各段のヒータエレメントを吊下する固定具とより成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度制御に対して良好な応答性を有し、また、熱処理装置の立上げや立下げ時間の短縮が可能であり、しかも、装置重量の軽量化を可能とした熱処理装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板用熱処理装置Ａは、炉体内部に通電により発熱可能としたヒータ装置３２を所定間隔を空けながら多段に配設している。前記ヒータは、0.01〜１mmの厚みを有する薄膜状のシート体で、発熱体をサンドイッチ状に挟持して形成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、熱処理炉とチューブヒータとの間でシール不良を起こすことなく、チューブの変形を防止できる熱処理炉のチューブヒータを提供する。
【解決手段】例えば、ローラハース式連続真空熱処理炉の脱ワックス室１１に装入されたワークの加熱源となるチューブヒータ２１、２４であって、チューブ内に主ヒータ４１、４４とは別に該主ヒータのワークと対面する側に補助ヒータ５１、５４を挿入し、該補助ヒータへの通電を該主ヒータとは別に制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】被焼成体を搬送するための搬送路を上下方向に複数有する多段構造の焼成炉において、前記搬送路間に設置した場合に、その上方及び下方の搬送路内を搬送される被焼成体を同時に加熱できるとともに、搬送路を仕切る薄型の隔壁としても機能し、組み立てが容易で、リード線の破断が生じにくいパネル状のヒータを提供する。
【解決手段】パネル状のヒータであって、当該ヒータの両方の面が各々その表面近傍に発熱線が埋設された発熱面４となっており、かつ、前記両方の面が各々独立して温度制御できるように構成された両面ヒータ１。 （もっと読む）

【構成】電気加熱パネルである。このパネルは、矩形ベース部をもつ内側シェルと、内部に、一連のＵ字形ベンドをもつカバーからなる外側気密アルミニウムシェルからなる。このカバーの内部に、一連のＵ字形ベンドを有し、外側シェルと一体化された気密コネクタモジュールの内部まで延長する２つの擬似円形端部をもつ平面蛇線体の形を取るオーミック抵抗を配設する。蛇線体は、断面が矩形、幅および厚みが一定で、幅／厚み比が３未満のステンレスＡＩＳＩ３０４鋼からなる剛性バーから構成する。それぞれ蛇線体の各面に接触する内側シェルおよびカバーに接触する２枚の雲母シートが蛇線体を外側シェルから絶縁するとともに、自由内部空間を最小限に抑える。内側シェルのベース部が、ハードな陽極処理によって形成され、かつ赤外線照射に有利に作用する黒色の厚い酸化物層を有する。内部の断熱体がカバーに向う熱の流れを妨害する。コネクタモジュールは、広い円形ベース部を有し、ベース部のねじによって給電ワイヤおよび蛇線体の端部に接続された、２つの真鋳カラムを有する。プロウブが、蛇線体に接触する温度を測定する。 （もっと読む）

加熱素子アセンブリ、加熱素子アセンブリを組み込む加熱炉、加熱素子アセンブリの形成方法、加熱炉の形成方法および２本線のコイル内の磁場の減少方法を開示する。加熱素子アセンブリは各コンポーネントが加熱ワイヤで形成された２つのコンポーネントを有する。２つのコンポーネントは、加熱素子アセンブリに供給される電流が２つのコンポーネントを反対方向に同時に通って流れるように、互いに相対して空間的に位置づけられ、電気的に配置される。
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