位置合わせ装置および位置合わせ方法
【課題】 ２つの基体を容易かつ迅速に位置合わせさせることが可能な位置合わせ装置および位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】 駆動パネル２０を封止パネル１０に対向させた状態において、ＸステージおよびＹステージを使用して、駆動パネル２０に設けられている特定のアライメントマークＭ２０Ａの位置が封止パネル１０に設けられている特定のアライメントマークＭ１０Ａの位置と一致するように、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に駆動パネル２０を移動させたのち、θステージを使用して、駆動パネル２０に設けられている他のアライメントマークＭ２０Ｂの位置が封止パネル１０に設けられている他のアライメントマークＭ１０Ｂの位置と一致するように、回転軸Ｊを中心として駆動パネル２０を回転させる。駆動パネル２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより、その駆動パネル２０が封止パネル１０に対して高精度に位置合わせされる。
【解決手段】 駆動パネル２０を封止パネル１０に対向させた状態において、ＸステージおよびＹステージを使用して、駆動パネル２０に設けられている特定のアライメントマークＭ２０Ａの位置が封止パネル１０に設けられている特定のアライメントマークＭ１０Ａの位置と一致するように、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に駆動パネル２０を移動させたのち、θステージを使用して、駆動パネル２０に設けられている他のアライメントマークＭ２０Ｂの位置が封止パネル１０に設けられている他のアライメントマークＭ１０Ｂの位置と一致するように、回転軸Ｊを中心として駆動パネル２０を回転させる。駆動パネル２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより、その駆動パネル２０が封止パネル１０に対して高精度に位置合わせされる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば封止パネルおよび駆動パネルの組み合わせに代表される２つの基体を互いに位置合わせさせるために使用される位置合わせ装置および位置合わせ方法に係り、特に、２つの基体のそれぞれに設けられた位置合わせ用のマーク（位置合わせマーク）に基づいて、それらの２つの基体を互いに位置合わせさせる位置合わせ装置および位置合わせ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）に代わるディスプレイとして、多様な表示機構を有するディスプレイが知られている。中でも、有機発光素子の発光現象、いわゆる有機ＥＬ（Electro-Luminescence）現象を利用して映像を表示する有機ＥＬディスプレイは、例えば、自発光型であるために視野角が広く、かつ消費電力が低い点において優れている。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイは、主に、２つの基体が対向配置された構成を有しており、具体的には駆動用基板の一面に有機発光素子および駆動素子（例えばＴＦＴ（Thin Film Transistor））などが設けられた構成を有する一方の基体としての駆動パネルと、封止用基板の一面にカラーフィルタなどが設けられた構成を有する他方の基体としての封止パネルとが対向され、それらの駆動パネルと封止パネルとが接着剤を介して互いに貼り合わされた構成を有している。
【０００４】
この有機ＥＬディスプレイの製造工程では、一般に、封止パネルと駆動パネルとを互いに貼り合わせる際に、有機発光素子の位置とカラーフィルタの位置とが所定の位置関係となるように封止パネルと駆動パネルとを互いに位置合わせさせる必要がある。具体的には、例えば、色の３原色に対応して３色（Ｒ；Red ，Ｇ；Green ，Ｂ；Blue）に発光可能な３種類の有機発光素子を使用する場合には、その３種類の有機発光素子がカラーフィルタ中の３色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の領域に対応してそれぞれ位置するように、封止パネルに対して駆動パネルを位置合わせさせなければならない。この駆動パネルおよび封止パネルの位置合わせは、一般に、移動機構や回転機構を有する位置合わせ装置（アライナー）を使用し、封止パネルおよび駆動パネルのそれぞれに設けられた位置合わせマーク（アライメントマーク）に基づいて、封止パネルまたは駆動パネルを必要に応じて移動および回転させることにより実施されている。
【０００５】
図１３および図１４は従来のアライナーの構成を表しており、図１３は側面構成（Ｙ軸方向から見た構成）を示し、図１４は平面構成（Ｚ軸方向から見た構成）を示している。このアライナーは、例えば、二角部に２つのアライメントマークＭ１１０Ａ，Ｍ１１０Ｂ（図１４中の白い十字印）が設けられた矩形型の封止パネル１１０と、同様に二角部に２つのアライメントマークＭ１２０Ａ，Ｍ１２０Ｂ（図１４中の黒い十字印）が設けられた矩形型の駆動パネル１２０とを互いに位置合わせさせるために使用されるものであり、ベース１０１によりＺステージ１０２およびアーム１０３を介して支持された上ホルダ１０４と、同様にベース１０１によりＸステージ１０５、Ｙステージ１０６およびθステージ１０７を介して支持された下ホルダ１０８と、図示しない支持機構により支持された顕微鏡１０９とを備えている。上ホルダ１０４および下ホルダ１０８は、それぞれ封止パネル１１０および駆動パネル１２０を保持可能に対向配置されており、θステージ１０７は、下ホルダ１０８のほぼ中心に対応して位置する回転軸Ｊを有している。
【０００６】
このアライナーを使用して封止パネル１１０と駆動パネル１２０とを互いに位置合わせさせる場合には、上ホルダ１０４および下ホルダ１０８にそれぞれ封止パネル１１０および駆動パネル１２０を保持させた状態において、Ｘステージ１０５およびＹステージ１０６を使用して下ホルダ１０８をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させると共に、θステージ１０７を使用して下ホルダ１０８を回転軸Ｊを中心として回転させることにより、封止パネル１１０と駆動パネル１２０とを互いに位置合わせさせることが可能である。この際、顕微鏡１０９を使用してアライメントマークＭ１１０Ａ，Ｍ１１０Ｂ，Ｍ１２０Ａ，Ｍ１２０Ｂを観察しながら下ホルダ１０８を移動および回転させることにより、アライメントマークＭ１２０Ａの位置がアライメントマークＭ１１０Ａの位置と一致すると共に同様にアライメントマークＭ１２０Ｂの位置がアライメントマークＭ１１０Ｂの位置と一致するように、封止パネル１１０に対して駆動パネル１２０が位置合わせされる。
【０００７】
なお、上記した封止パネル１１０と駆動パネル１２０との間の位置合わせに使用されるアライナーとは異なるものの、そのアライナーと同様に移動機構および回転機構を有する装置としては、例えば、フォトレジストが設けられた半導体基板に対して露光マスクを位置合わせさせることにより、その露光マスクを使用してフォトレジストを露光する露光装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この露光装置では、半導体基板に対して露光マスクを位置合わせさせる際に、その露光マスクを移動させると同時に回転させることが可能である。
【特許文献１】特開昭６０−０３７７３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、有機ＥＬディスプレイの製造工程において量産性を確保するためには、例えば、アライナーを使用して封止パネル１１０と駆動パネル１２０とを互いに位置合わせさせる際に、位置合わせ精度を確保することは当然として、容易かつ迅速に位置合わせさせることが可能であることが重要である。なぜなら、位置合わせの容易さおよび迅速さは、有機ＥＬディスプレイの製造効率に大きく寄与するからである。しかしながら、従来のアライナーでは、主に構造的要因に起因して位置合わせに手間および時間を要するため、封止パネル１１０および駆動パネル１２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることが困難であるという問題があった。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、２つの基体を容易かつ迅速に位置合わせさせることが可能な位置合わせ装置および位置合わせ方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る位置合わせ装置は、少なくとも２つの第１の位置合わせマークが設けられた第１の基体と、第１の位置合わせマークに対応して少なくとも２つの第２の位置合わせマークが設けられた第２の基体とを互いに位置合わせさせるためのものであり、第１の基体を保持する第１の保持部と、第１の保持部に対向配置され、第２の基体を保持する第２の保持部と、第２の基体に設けられている少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうちの特定の第２の位置合わせマークに対応する位置に回転軸を有し、その回転軸を中心として第２の保持部を回転させる回転機構と、回転軸と直交する面内において第２の保持部を移動させる移動機構とを備え、移動機構が、特定の第２の位置合わせマークの位置がその特定の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうちの特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、回転軸と直交する面内において第２の保持部を移動させるものであり、回転機構が、移動機構により第２の保持部が移動させられたのちに、第２の基体に設けられている特定の第２の位置合わせマーク以外の他の第２の位置合わせマークの位置がその他の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、回転軸を中心として第２の保持部を回転させるものである。
【００１１】
本発明に係るアライメント方法は、少なくとも２つの第１の位置合わせマークが設けられた第１の基体と、第１の位置合わせマークに対応して少なくとも２つの第２の位置合わせマークが設けられた第２の基体とを互いに位置合わせさせる方法であり、第２の基体を第１の基体に対向させた状態において、第２の基体に設けられている少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうちの特定の第２の位置合わせマークの位置がその特定の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうちの特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、所定の面内において第２の基体を移動させたのち、第２の基体に設けられている特定の第２の位置合わせマーク以外の他の第２の位置合わせマークの位置がその他の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、特定の第２の位置合わせマークに対応して位置すると共に所定の面に直交する回転軸を中心として第２の基体を回転させるようにしたものである。
【００１２】
なお、「特定の第２の位置合わせマーク」とは、第２の基体に設けられている少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうちの特定の１つであり、位置合わせ時に最初に位置合わせ用の基準として使用されるものである。同様に、「特定の第１の位置合わせマーク」とは、第１の基体に設けられている少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうち、特定の第２の位置合わせマークに対応して位置している特定の１つであり、その特定の第２の位置合わせマークと共に位置合わせ時に最初に位置合わせ用の基準として使用されるものである。また、「他の第２の位置合わせマーク」とは、第２の基体に設けられている少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうち、特定の第２の位置合わせマーク以外の他の１つであり、位置合わせ時に最後に位置合わせ用の基準として使用されるものである。同様に、「他の第１の位置合わせマーク」とは、第１の基体に設けられている少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうち、他の第２の位置合わせマークに対応して位置している、特定の第１の位置合わせマーク以外の他の１つであり、その他の第２の位置合わせマークと共に位置合わせ時に最後に位置合わせ用の基準として使用されるものである。
【００１３】
本発明に係る位置合わせ装置または位置合わせ方法では、第２の基体が第１の基体に対向された状態において、第２の基体に設けられている特定の第２の位置合わせマークの位置が、その特定の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、回転軸と直交する面内において第２の基体が移動される。こののち、第２の基体に設けられている他の第２の位置合わせマークの位置が、その他の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、回転軸を中心として第２の基体が回転されることにより、第１の基体と第２の基体とが互いに位置合わせされる。他の第２の位置合わせマークの位置が他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように第２の基体が回転される際に、特定の第１の位置合わせマークおよび特定の第２の位置合わせマークに基づいて既に位置合わせされた第１の基体と第２の基体との間の位置関係が維持されるため、それらの第１の基体と第２の基体との間の位置合わせ関係を維持したまま、他の第１の位置合わせマークおよび他の第２の位置合わせマークに基づいて第１の基体に対して第２の基体が位置合わせされる。これにより、第２の基体が一度だけ移動されると共に一度だけ回転されることにより第１の基体に対して高精度に位置合わせされる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る位置合わせ装置または位置合わせ方法によれば、第２の基体が第１の基体に対向された状態において、第２の基体に設けられている特定の第２の位置合わせマークの位置が第１の基体に設けられている特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように回転軸と直交する面内において第２の基体が移動されたのち、第２の基体に設けられている他の第２の位置合わせマークの位置が第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように回転軸を中心として第２の基体が回転されることにより、第１の基体と第２の基体とが互いに位置合わせされる手順的特徴に基づき、第２の基体が一度だけ移動されると共に一度だけ回転されることにより第１の基体に対して高精度に位置合わせされるため、２つの基体を容易かつ迅速に位置合わせさせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
まず、図１〜図３を参照して、本発明の一実施の形態に係る位置合わせ装置としてのアライナーの構成について説明する。図１〜図３はアライナーの構成を表しており、図１および図３は側面構成（Ｙ軸方向から見た構成）を示し、図２は平面構成（Ｚ軸方向から見た構成）を示している。図１および図３では、図１が使用時の状態を示し、図３が非使用時の状態を示している。なお、本発明の位置合わせ方法は本実施の形態に係るアライナーを使用した位置合わせ手順において実現されるため、その位置合わせ方法については以下で併せて説明する。
【００１７】
本実施の形態に係るアライナーは、２つの基体を互いに位置合わせさせるために使用されるものであり、より具体的には少なくとも２つの一方のアライメントマーク（第１の位置合わせマーク）設けられた一方の基体（第１の基体）と、その一方のアライメントマークに対応して少なくとも２つの他方のアライメントマーク（第２の位置合わせマーク）が設けられた他方の基体（第２の基体）とを使用し、それらの２種類のアライメントマークを位置合わせ用の基準として利用することにより第１の基体と第２の基体とを互いに位置合わせさせるものである。ここでは、例えば、２つの基体として、二角部に２つのアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ（図２に示した白い十字印；第１の位置合わせマーク）が設けられた矩形型の封止パネル１０（第１の基体）と、同様に二角部に２つのアライメントマークＭ２０Ａ，Ｍ２０Ｂ（図２に示した黒い十字印；第２の位置合わせマーク）が設けられた矩形型の駆動パネル２０（第２の基体）とを使用する場合について説明する。
【００１８】
このアライナーは、例えば、図１〜図３に示したように、ベース１によりＺステージ２およびアーム３を介して支持された上ホルダ４と、同様にベース１によりＸステージ５、Ｙステージ６およびθステージ７を介して支持された下ホルダ８と、図示しない支持機構により支持された顕微鏡９とを備えている。
【００１９】
ベース１は、アライナー全体を支持するための土台である。
【００２０】
Ｚ軸ステージ２は、例えば、ベース１により支持された状態においてＺ軸方向（後述する回転軸Ｊと平行な方向）に伸縮可能な駆動機構を有し、その駆動機構を利用して伸縮することによりアーム３と共に上ホルダ４をＺ軸方向に移動させる補助移動機構である。すなわち、Ｚ軸ステージ２は、Ｚ軸方向に上ホルダ４を移動させることにより、その上ホルダ４と下ホルダ８との間の間隔を変化させることが可能である。より具体的には、Ｚステージ２は、例えば、図１に示したように、アライナーの使用時に収縮することにより上ホルダ４を下ホルダ８に近づけるように配置させると共に、図３に示したように、アライナーの非使用時（例えば停止時）に延伸することにより上ホルダ４を下ホルダ８から遠ざけるように配置させることが可能になっている。
【００２１】
アーム３は、Ｚ軸ステージ２の伸縮動作を上ホルダ４に伝達させるものであり、一端側においてＺ軸ステージ２に連結されていると共に他端側において上ホルダ４に連結されている。
【００２２】
上ホルダ４は、封止パネル１０を保持する第１の保持部であり、下ホルダ８に対向配置されている。この上ホルダ４は、例えば、図示しないバキューム機構を搭載しており、そのバキューム機構を利用して封止パネル１０を吸引することにより保持することが可能になっている。
【００２３】
Ｘステージ５は、ベース１により支持された状態においてＸ軸方向にスライド可能な駆動機構を有し、その駆動機構を利用してスライドすることによりＹステージ６およびθステージ７と共に下ホルダ８をＸ軸方向に移動させる移動機構である。すなわち、Ｘステージ５は、下ホルダ８が上ホルダ４に対向配置されている状態において、その下ホルダ８を上ホルダ４と対向させたままＸ軸方向に移動させることが可能になっている。
【００２４】
Ｙステージ６は、ベース１により支持された状態においてＹ軸方向にスライド可能な駆動機構を有し、その駆動機構を利用してスライドすることによりθステージ７と共に下ホルダ８をＹ軸方向に移動させる移動機構である。すなわち、Ｙステージ６は、下ホルダ８が上ホルダ４に対向配置されている状態において、その下ホルダ８を上ホルダ４と対向させたままＹ軸方向に移動させることが可能になっている。
【００２５】
θステージ７は、ベース１により支持された状態において回転軸Ｊを中心として回転可能な駆動機構を有し、その駆動機構を利用して回転することにより回転軸Ｊを中心として下ホルダ８を回転させる回転機構である。このθステージ７の回転動作を規定する回転軸Ｊは、下ホルダ８のほぼ中心に対応して位置しておらずに、その下ホルダ８の一角部に対応して位置しており、具体的には駆動パネル２０に設けられている２つのアライメントマークＭ２０Ａ，Ｍ２０Ｂのうちの特定のアライメントマーク、ここでは例えばアライメントマークＭ２０Ａに対応して位置している。すなわち、θステージ７は、下ホルダ８が上ホルダ４に対向配置されている状態において、その下ホルダ８を上ホルダ４と対向させたまま回転させることが可能になっている。特に、θステージ７は、Ｘステージ５およびＹステージ６による移動動作時に下ホルダ８を併せて回転させずに、Ｘステージ５およびＹステージ６による移動動作が完了したのちに下ホルダ８を回転させるようになっている。
【００２６】
下ホルダ８は、駆動パネル２０を保持する第２の保持部であり、上ホルダ４に対向配置されている。この下ホルダ８は、例えば、上ホルダ４と同様に図示しないバキューム機構を搭載しており、そのバキューム機構を利用して駆動パネル２０を吸引することにより保持することが可能になっている。特に、下ホルダ８は、Ｘステージ５およびＹステージ６により、互いに直交する２つの方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に移動させられ、すなわち回転軸Ｊと直交する面（Ｘ軸およびＹ軸の双方を含む面；ＸＹ面）内において移動させられるようになっている。
【００２７】
顕微鏡９は、封止パネル１０と駆動パネル２０とを互いに位置合わせさせる際に、その封止パネル１０に設けられているアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂを観察すると共に、駆動パネル２０に設けられているアライメントマークＭ２０Ａ，Ｍ２０Ｂを封止パネル１０越しに観察するために使用される観察機器である。この顕微鏡９は、例えば、上記したように、図示しない支持機構により支持されており、図２に示したように、ＸＹ面内において、位置合わせ完了時にアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａが位置することなる位置近傍に対応して配置されている。特に、顕微鏡９は、例えば、上記した支持機構により支持された状態で、Ｙ軸方向において、位置合わせ完了時にアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａが位置することなる位置近傍に対応した位置Ｐ１と、同様に位置合わせ完了時にアライメントマークＭ１０Ｂ，Ｍ２０Ｂが位置することとなる位置近傍に対応した位置Ｐ２との間を移動することが可能になっている。なお、顕微鏡９は、例えば、図３に示したように、上記した支持機構により支持された状態において、上ホルダ４と同様にＺ軸方向に移動することも可能になっている。
【００２８】
なお、アライナーを使用して位置合わせされる封止パネル１０および駆動パネル２０の構成は、例えば、以下の通りである。すなわち、封止パネル１０は、例えば、封止用基板の一面に、３色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のフィルタ領域を有するカラーフィルタなどが設けられた構成を有するものであり、透光性を有している。一方、駆動パネル２０は、例えば、駆動用基板の一面に、３色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に発光可能な３種類の有機発光素子や、その有機発光素子を発光させるための駆動素子（例えばＴＦＴ（Thin Film Transistor））などが設けられた構成を有するものであり、封止パネル１０と同様に透光性を有している。
【００２９】
次に、図１〜図６を参照して、封止パネル１０および駆動パネル２０の位置合わせ手順について説明する。図４〜図６は図１〜図３に示したアライナーを使用した位置合わせ手順を説明するためのものであり、いずれも図２に対応する平面構成を示している。なお、図４〜図６では、図示内容を簡略化するためにアライナーの図示を省略しており、封止パネル１０および駆動パネル２０のみを示している。
【００３０】
アライナーを使用して封止パネル１０と駆動パネル２０とを互いに位置合わせさせる際には、例えば、図３に示したように、上ホルダ４および顕微鏡９の双方が下ホルダ８から遠ざけられた状態において、上ホルダ４に封止パネル１０を保持させると共に下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させることにより、その上ホルダ４により保持された封止パネル１０と下ホルダ８により保持された駆動パネル２０とを互いに対向させたのち、まず、Ｚステージ２を使用して上ホルダ４を下ホルダ８に近づけるように移動させると共に、同様に顕微鏡９を下ホルダ８に近づくように移動させる。
【００３１】
上ホルダ４に封止パネル１０を保持させる際には、例えば、上ホルダ４により封止パネル１０のうちのほぼ中央部分が保持されるように、その上ホルダ４に対して封止パネル１０を配置させる。また、下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させる際には、例えば、顕微鏡９を位置Ｐ１（図２参照）に移動させたのち、その顕微鏡９を使用して封止パネル１０越しに駆動パネル２０を観察することにより、その駆動パネル２０に設けられている２つのアライメントマークＭ２０Ａ，Ｍ２０Ｂのうちの特定のアライメントマーク、ここでは例えばアライメントマークＭ２０Ａが回転軸Ｊに対応して位置するように、下ホルダ８に対して駆動パネル２０を配置させる。なお、下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させる場合には、アライメントマークＭ２０Ａが厳密に回転軸Ｊに対応して位置していなければならないわけではなく、そのアライメントマークＭ２０Ａと回転軸Ｊとの間の位置関係は、アライナーを使用して位置合わせ作業を実施する作業者（以下、単に「作業者」という。）が顕微鏡９を使用して目視で設定できる程度で十分である。ここでは、例えば、上ホルダ４に封止パネル１０を保持させると共に下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させた状態において、封止パネル１０と駆動パネル２０との間の位置関係が図４に示した状態になったとする。
【００３２】
続いて、顕微鏡９を使用して封止パネル１０越しに駆動パネル２０を観察しながら、Ｘステージ５およびＹステージ６を使用して、図５に示したように、駆動パネル２０に設けられている特定のアライメントマークＭ２０Ａの位置が、その特定のアライメントマークＭ２０Ａに対応して封止パネル１０に設けられている２つのアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂのうちの特定のアライメントマーク、ここでは例えばアライメントマークＭ１０Ａの位置と一致するように、ＸＹ面内においてＸ軸方向およびＹ軸方向に下ホルダ８を移動させる。これにより、アライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａに基づいて駆動パネル２０が封止パネル１０に対して位置合わせされる。なお、図５に示した破線は、アライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａに基づく位置合わせ前の駆動パネル２０の位置（図４に示した駆動パネル２０の位置）を参考までに示している。
【００３３】
最後に、顕微鏡９を位置Ｐ１から位置Ｐ２に移動させたのち、その顕微鏡９を使用して封止パネル１０越しに駆動パネル２０を観察しながら、θステージ７を使用して、図６に示したように、駆動パネル２０に設けられている特定のアライメントマークＭ２０Ａ以外の他のアライメントマーク、ここでは例えばアライメントマークＭ２０Ｂの位置が、その他のアライメントマークＭ２０Ｂに対応して封止パネル１０に設けられている他のアライメントマーク、ここでは例えばアライメントマークＭ１０Ｂの位置と一致するように、回転軸Ｊを中心として下ホルダ８を回転させる。これにより、アライメントマークＭ２０Ａ，Ｍ２０Ｂに基づいて駆動パネル２０が封止パネル１０に対して位置合わせされる結果、封止パネル１０に対する駆動パネル２０の位置合わせが完了し、すなわちアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂに基づいて駆動パネル２０が封止パネル１０に対して位置合わせされる。なお、図６に示した破線は、アライメントマークＭ１０Ｂ，Ｍ２０Ｂに基づく位置合わせ前の駆動パネル２０の位置（図５に示した駆動パネル２０の位置）を参考までに示している。
【００３４】
本実施の形態に係る位置合わせ装置（アライナー）および位置合わせ方法では、下ホルダ８により保持された駆動パネル２０を上ホルダ４により保持された封止パネル１０に対向させた状態において、Ｘステージ５およびＹステージ６を使用して、駆動パネル２０に設けられている特定のアライメントマークＭ２０Ａの位置が封止パネル１０に設けられている特定のアライメントマークＭ１０Ａの位置と一致するように、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に駆動パネル２０を移動させたのち、θステージ７を使用して、駆動パネル２０に設けられている他のアライメントマークＭ２０Ｂの位置が封止パネル１０に設けられている他のアライメントマークＭ１０Ｂの位置と一致するように、回転軸Ｊを中心として駆動パネル２０を回転させるようにしたので、以下の理由により、封止パネル１０および駆動パネル２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることができる。
【００３５】
図７〜図９は従来のアライナー（図１３および図１４参照）を使用した位置合わせ手順に関する問題点を説明するためのものであり、それぞれ図４〜図６に対応する平面構成を表している。従来のアライナーを使用して、本実施の形態に係るアライナーを使用した位置合わせ手順と同様の手順を経て位置合わせした場合には、上記したように、主にアライナーの構造的要因に起因して位置合わせに手間および時間を要するため、容易かつ迅速に位置合わせさせることが困難となる。
【００３６】
すなわち、従来のアライナーを使用した場合には、例えば、上ホルダ１０４に封止パネル１１０を保持させると共に下ホルダ１０８に駆動パネル１２０を保持させることにより、封止パネル１１０と駆動パネル１２０との間の位置関係が図７に示した状態になった場合に、図８に示したように、Ｘステージ１０５およびＹステージ１０６を使用してアライメントマークＭ１２０Ａの位置がアライメントマークＭ１１０Ａの位置と一致するように下ホルダ１０８を移動させたのちに、θステージ１０７を使用してアライメントマークＭ１２０Ｂの位置がアライメントマークＭ１１０Ｂの位置と一致するように下ホルダ１０８を回転させても、図９に示したように、封止パネル１１０に対して駆動パネル１２０が位置合わせされない。より具体的には、アライメントマークＭ１２０Ｂの位置がアライメントマークＭ１１０Ｂの位置と一致するように下ホルダ１０８を回転させると、θステージ１０７の回転軸Ｊが下ホルダ１０８のほぼ中心に対応して位置している構造的要因に起因して、そのθステージ１０７の回転動作に応じてアライメントマークＭ１２０Ａ，Ｍ１２０Ｂが並進移動する結果、既にＸステージ１０５およびＹステージ１０６を使用してアライメントマークＭ１１０Ａ，Ｍ１２０Ａに基づいて位置合わせさせた封止パネル１１０と駆動パネル１２０との間の位置関係が崩れるため、それらの封止パネル１１０と駆動パネル１２０との間の位置合わせ関係を維持したまま、アライメントマークＭ１１０Ｂ，Ｍ１２０Ｂに基づいて封止パネル１１０に対して駆動パネル１２０を位置合わせさせることができない。これにより、駆動パネル１２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより封止パネル１１０に対して位置合わせさせることができないため、封止パネル１１０および駆動パネル１２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることが困難となるのである。
【００３７】
なお、従来のアライナーを使用した場合には、図７および図９から明らかなように、Ｘステージ１０５およびＹステージ１０６を使用した下ホルダ１０８の移動動作およびθステージ１０７を使用した下ホルダ１０８の回転動作を経ることにより、封止パネル１１０と駆動パネル１２０との間の位置合わせが図７に示した状態から図９に示した状態へ進行し、すなわちアライメントマークＭ１２０Ａ，Ｍ１２０ＢがアライメントマークＭ１１０Ａ，Ｍ１１０Ｂにそれぞれ近づくこととなるため、上記した下ホルダ１０８の移動動作および回転動作を複数回に渡って繰り返せば、最終的に封止パネル１１０に対して駆動パネル１２０を位置合わせさせることが可能であるものと見込まれる。しかしながら、この場合には、下ホルダ１０８の回転動作および回転動作を複数回に渡って繰り返さなければならない点において位置合わせに手間および時間を要するため、上記したように、封止パネル１１０および駆動パネル１２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることが困難となるのである。確認までに説明しておくと、従来のアライナーを使用した場合には、上記したように下ホルダ１０８の移動動作および回転動作をこの順に経る手順を使用する場合に限らず、その手順と異なる他の手順を使用する場合においても同様に位置合わせに手間および時間を要してしまうことは言うまでもない。
【００３８】
これに対して、本実施の形態に係るアライナーを使用した場合には、上記したように下ホルダ８の移動動作および回転動作をこの順に経る手順を使用することにより位置合わせする際に、図５に示したように、Ｘステージ５およびＹステージ６を使用してアライメントマークＭ２０Ａの位置がアライメントマークＭ１０Ａの位置と一致するように下ホルダ８を移動させたのちに、θステージ７を使用してアライメントマークＭ２０Ｂの位置がアライメントマークＭ１０Ｂの位置と一致するように下ホルダ８を移動させたとしても、図６に示したように、θステージ７が下ホルダ８の一角部に対応して位置し、具体的にはθステージ７の回転軸ＪがアライメントマークＭ２０Ａに対応して位置している構造的特徴に基づき、そのθステージ７の回転動作に応じてアライメントマークＭ２０Ａが静止したままでアライメントマークＭ２０Ｂのみが回転移動する。この場合には、既にＸステージ５およびＹステージ６を使用してアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａに基づいて位置合わせさせた封止パネル１０と駆動パネル２０との間の位置関係が維持されるため、それらの封止パネル１０と駆動パネル２０との間の位置合わせ関係を維持したまま、アライメントマークＭ１０Ｂ，Ｍ２０Ｂに基づいて封止パネル１０に対して駆動パネル２０を位置合わせさせることが可能となる。したがって、本実施の形態では、従来の場合とは異なり、駆動パネル２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより封止パネル１０に対して位置合わせさせることが可能なため、封止パネル１０および駆動パネル２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることができるのである。
【００３９】
ここで、本実施の形態に係るアライナーを使用した場合に得られる効果（位置合わせの容易化および迅速化）に関して補足しておくと、本実施の形態に係るアライナーを使用した場合には、厳密には、下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させる際に、アライメントマークＭ２０Ａの位置が回転軸Ｊと正確に一致するように駆動パネル２０を下ホルダ８に対して配置させた場合に限り、駆動パネル２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより封止パネル１０に対して位置合わせさせることが可能となる。すなわち、下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させた際に、アライメントマークＭ２０Ａの位置が回転軸Ｊからずれていた場合には、封止パネル１０に対して駆動パネル２０を位置合わせさせるために、従来のアライナーを使用した場合と同様に、下ホルダ８の移動動作および回転動作をそれぞれ複数回に渡って繰り返す必要がある。しかしながら、本実施の形態に係るアライナーを使用した場合と従来のアライナーを使用した場合との間において、一度の移動動作および一度の回転動作を経ることにより進行する位置合わせ度、すなわち封止パネルに設けられているアライメントマークと駆動パネルに設けられているアライメントマークとの間のずれ距離の収束度を比較すると、その位置合わせ度の進行具合（ずれ距離の収束割合）は従来のアライナーを使用した場合よりも本実施の形態に係るアライナーを使用した場合において向上し、すなわち一度の移動動作および一度の回転動作を経ることにより減少するずれ距離の減少割合が増加するため、本実施の形態に係るアライナーを使用すれば、より少ない移動回数および回転回数で、可能な限り手間および時間を要せずに位置合わせを完了させることが可能である。
【００４０】
なお、上記では、位置合わせの厳密性に関する問題を説明する上で、アライメントマークＭ２０Ａの位置が回転軸Ｊと正確に一致するように下ホルダ８に対して駆動パネル２０を配置させた場合に限り、駆動パネル２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより封止パネル１０に対して位置合わせさせることが可能であると説明したが、現実的には必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、アライメントマークＭ２０Ａの位置と回転軸Ｊとの位置合わせ精度に余裕があり、すなわちアライメントマークＭ２０Ａの位置が位置合わせ精度の範囲内であれば回転軸Ｊからずれていても、封止パネル１０および駆動パネル２０の位置合わせ精度に大きな影響が及ばない場合には、駆動パネル２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより封止パネル１０に対して高精度に位置合わせさせることが可能となる。したがって、この観点から見ても、本実施の形態に係るアライナーを使用することにより、封止パネル１０および駆動パネル２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることができるのである。
【００４１】
また、参考までに、封止パネル１０および駆動パネル２０に設けられたアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂ間の位置関係と、封止パネル１０および駆動パネル２０の位置合わせ精度との間の関係について説明しておくと、その位置合わせ精度は、特定のアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａと他のアライメントマークＭ１０Ｂ，Ｍ２０Ｂとの間の距離が大きく、かつ一連のアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂの位置と封止パネル１０および駆動パネル２０のそれぞれの中心との間の距離が大きいほど向上する。なぜなら、その距離が大きいほど、上記した位置合わせ度の進行具合（ずれ距離の収束割合）が向上するからである。
【００４２】
なお、本実施の形態に係るアライナーに関しては、例えば、図１０に示したように、下ホルダ８のうちの顕微鏡９の配置位置に対応する箇所に孔３１を設け、その孔３１に光源３２および光拡散板３３を埋設するようにしてもよい。光源３２は、封止パネル１０および駆動パネル２０の双方へ向けて光Ｌを放出する光放出素子であり、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）などの発光素子である。光拡散板３３は、光源３２から放出された光Ｌを拡散させることにより、その光Ｌの照射範囲を拡大させるためのものである。なお、下ホルダ８に光源３２および光拡散板３３を埋設する場合には、例えば、その下ホルダ８のうち、顕微鏡９による２つの観察位置、すなわち図２を参照して説明した顕微鏡９の配置位置Ｐ１，Ｐ２に対応する箇所に孔３１を２つ設け、それぞれの孔３１に光源３２および光拡散板３３を埋設させるのが好ましい。なお、孔３１の設置位置や光源３２および光拡散板３３の設置個数は自由に設定可能である。この場合には、顕微鏡９を使用して封止パネル１０越しに駆動パネル２０を観察する際に、光源３２から放出される光Ｌに基づいて視野内の明るさを確保しながらアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂを観察することが可能になると共に、光拡散板３３が光Ｌの照射範囲を拡大させることに基づいて明るさが確保された視野が広がるため、それらのアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂを明瞭に観察することができる。なお、図１０では、下ホルダ８の構成を見やすくするために、その下ホルダ８についてのみ断面構成を示している。図１０に示したアライナーに関する上記以外の構成は、図１に示した場合と同様である。
【００４３】
また、本実施の形態に係るアライナーを使用すれば、例えば、図１１および図１２に示したように、単純に封止パネル１０と駆動パネル２０とを互いに位置合わせさせるだけでなく、その位置合わせ後において封止パネル１０と駆動パネル２０とを互いに固定させることも可能である。具体的には、まず、例えば、図１１に示したように、上ホルダ４が下ホルダ８から遠ざけられた状態において、上ホルダ４に封止パネル１０を保持させると共に下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させたのち、その駆動パネル２０上に接着剤４０を供給する。この接着剤４０としては、例えば、即時に接着性を発揮するものではなく、電子線や紫外線などが照射されることにより事後的に接着性を発揮するものを使用するのが好ましい。ここでは、例えば、電子線に基づいて接着性を発揮する電子線硬化型の接着剤４０を使用すると共に、その接着剤４０を駆動パネル２０上に複数箇所に渡って供給する。続いて、図１２に示したように、Ｚステージ２を使用して上ホルダ４を下ホルダ８に近づけるように移動させることにより、上記実施の形態において説明した位置合わせ手順を経て封止パネル１０に対して駆動パネル２０を位置合わせさせたのち、接着剤４０が封止パネル１０および駆動パネル２０により挟まれた状態において、その接着剤４０に電子線を照射して硬化させることにより、封止パネル１０を接着剤４０を介して駆動パネル２０に接着させる。これにより、位置合わせ済みの封止パネル１０および駆動パネル２０が接着剤４０を介して固定される。この場合には、位置合わせ済みの封止パネル１０および駆動パネル２０が接着剤４０を介して固定されるため、上ホルダ４および下ホルダ８から取り外したのちにおいても封止パネル１０と駆動パネル２０との間の位置合わせ関係を維持することができる。なお、上記した接着剤４０を使用した封止パネル１０と駆動パネル２０との間の接着処理は、封止パネル１０と駆動パネル２０とを最終的に固定させる本固定処理であってもよいし、あるいは封止パネル１０と駆動パネル２０とを一時的に固定させる仮固定処理であってもよい。図１１および図１２に示したアライナーに関する上記以外の構成は、いずれも図１に示した場合と同様である。
【００４４】
また、本実施の形態では、図２に示したように、封止パネル１０および駆動パネル２０にそれぞれアライメントマークが２つずつ設けられている場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、封止パネル１０および駆動パネル２０にそれぞれ設けられるアライメントマークの数は、上記したように、いずれも２つ以上の範囲内において自由に変更可能である。もちろん、封止パネル１０および駆動パネル２０にそれぞれアライメントマークが２つ以上設けられている場合に、いずれのアライメントマークを「特定のアライメントマーク」および「他のアライメントマーク」として選択するかは自由に設定可能である。確認までに説明しておくと、上記した「特定のアライメントマーク」とは、Ｘステージ５およびＹステージ６の移動動作を利用して最初に位置合わせされるアライメントマーク（上記実施の形態において説明したアライメントマークＭ１０Ａ，２０Ａに相当するアライメントマーク）であり、「他のアライメントマーク」とは、θステージ７の回転動作を利用して最後に位置合わせされるアライメントマーク（上記実施の形態において説明したアライメントマークＭ１０Ｂ，Ｍ２０Ｂに相応するアライメントマーク）である。封止パネル１０および駆動パネル２０にそれぞれ設けられるアライメントマークの数を変更した場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４５】
以上、実施の形態を挙げて本発明の位置合わせ装置および位置合わせ方法を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の位置合わせ装置の構成や位置合わせ方法の手順などは、上記実施の形態と同様の効果を得ることが可能な限りにおいて自由に変形可能である。
【００４６】
特に、上記実施の形態では、位置合わせの対象となる２つの基体として、有機ＥＬディスプレイを構成する封止パネルおよび駆動パネルの組み合わせに関して本発明の位置合わせ装置および位置合わせ方法を適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、本発明の位置合わせ装置および位置合わせ方法は、封止パネルおよび駆動パネルの組み合わせ以外の他の２つの基体に関しても適用することが可能である。この「他の２つの基体」としては、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device ）受像機やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）ディスプレイおよびカラーフィルタの組み合わせ、あるいはフォトマスクおよびフォトレジスト膜（例えばフォトレジストが塗布されることによりフォトレジスト膜が形成された基板）の組み合わせなど、２次元的に正確な位置合わせが必要な基体同士の組み合わせが挙げられる。この場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明に係る位置合わせ装置および位置合わせ方法は、例えば有機ＥＬディスプレイの製造工程において封止パネルと駆動パネルとを互いに位置合わせさせるために適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施の形態に係るアライナーの使用時の側面構成（Ｙ軸方向から見た側面構成）を表す側面図である。
【図２】図１に示したアライナーの平面構成（Ｚ軸方向から見た平面構成）を表す平面図である。
【図３】図１に示したアライナーの非使用時の側面構成（Ｙ軸方向から見た側面構成）を表す側面図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係るアライナーを使用した位置合わせ手順を説明するための平面図である。
【図５】図４に続く手順を説明するための平面図である。
【図６】図５に続く手順を説明するための平面図である。
【図７】従来のアライナーを使用した位置合わせ手順に関する問題点を説明するための平面図である。
【図８】図７に続く手順を説明するための平面図である。
【図９】図８に続く手順を説明するための平面図である。
【図１０】本発明の一実施の形態に係るアライナーの構成に関する変形例を説明するための断面図である。
【図１１】本発明の一実施の形態に係るアライナーを使用した位置合わせ手順に関する変形例を説明するための側面図である。
【図１２】図１１に続く手順を説明するための側面図である。
【図１３】従来のアライナーの側面構成を表す側面図である。
【図１４】図１３に示した従来のアライナーの平面構成を表す平面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１…ベース、２…Ｚステージ、３…アーム、４…上ホルダ、５…Ｘステージ、６…Ｙステージ、７…θステージ、８…下ホルダ、９…顕微鏡、１０…封止パネル、２０…駆動パネル、３１…孔、３２…光源、３３…光拡散板、４０…接着剤、Ｊ…回転軸、Ｌ…光、Ｍ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂ…アライメントマーク、Ｐ１，Ｐ２…位置。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば封止パネルおよび駆動パネルの組み合わせに代表される２つの基体を互いに位置合わせさせるために使用される位置合わせ装置および位置合わせ方法に係り、特に、２つの基体のそれぞれに設けられた位置合わせ用のマーク（位置合わせマーク）に基づいて、それらの２つの基体を互いに位置合わせさせる位置合わせ装置および位置合わせ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）に代わるディスプレイとして、多様な表示機構を有するディスプレイが知られている。中でも、有機発光素子の発光現象、いわゆる有機ＥＬ（Electro-Luminescence）現象を利用して映像を表示する有機ＥＬディスプレイは、例えば、自発光型であるために視野角が広く、かつ消費電力が低い点において優れている。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイは、主に、２つの基体が対向配置された構成を有しており、具体的には駆動用基板の一面に有機発光素子および駆動素子（例えばＴＦＴ（Thin Film Transistor））などが設けられた構成を有する一方の基体としての駆動パネルと、封止用基板の一面にカラーフィルタなどが設けられた構成を有する他方の基体としての封止パネルとが対向され、それらの駆動パネルと封止パネルとが接着剤を介して互いに貼り合わされた構成を有している。
【０００４】
この有機ＥＬディスプレイの製造工程では、一般に、封止パネルと駆動パネルとを互いに貼り合わせる際に、有機発光素子の位置とカラーフィルタの位置とが所定の位置関係となるように封止パネルと駆動パネルとを互いに位置合わせさせる必要がある。具体的には、例えば、色の３原色に対応して３色（Ｒ；Red ，Ｇ；Green ，Ｂ；Blue）に発光可能な３種類の有機発光素子を使用する場合には、その３種類の有機発光素子がカラーフィルタ中の３色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の領域に対応してそれぞれ位置するように、封止パネルに対して駆動パネルを位置合わせさせなければならない。この駆動パネルおよび封止パネルの位置合わせは、一般に、移動機構や回転機構を有する位置合わせ装置（アライナー）を使用し、封止パネルおよび駆動パネルのそれぞれに設けられた位置合わせマーク（アライメントマーク）に基づいて、封止パネルまたは駆動パネルを必要に応じて移動および回転させることにより実施されている。
【０００５】
図１３および図１４は従来のアライナーの構成を表しており、図１３は側面構成（Ｙ軸方向から見た構成）を示し、図１４は平面構成（Ｚ軸方向から見た構成）を示している。このアライナーは、例えば、二角部に２つのアライメントマークＭ１１０Ａ，Ｍ１１０Ｂ（図１４中の白い十字印）が設けられた矩形型の封止パネル１１０と、同様に二角部に２つのアライメントマークＭ１２０Ａ，Ｍ１２０Ｂ（図１４中の黒い十字印）が設けられた矩形型の駆動パネル１２０とを互いに位置合わせさせるために使用されるものであり、ベース１０１によりＺステージ１０２およびアーム１０３を介して支持された上ホルダ１０４と、同様にベース１０１によりＸステージ１０５、Ｙステージ１０６およびθステージ１０７を介して支持された下ホルダ１０８と、図示しない支持機構により支持された顕微鏡１０９とを備えている。上ホルダ１０４および下ホルダ１０８は、それぞれ封止パネル１１０および駆動パネル１２０を保持可能に対向配置されており、θステージ１０７は、下ホルダ１０８のほぼ中心に対応して位置する回転軸Ｊを有している。
【０００６】
このアライナーを使用して封止パネル１１０と駆動パネル１２０とを互いに位置合わせさせる場合には、上ホルダ１０４および下ホルダ１０８にそれぞれ封止パネル１１０および駆動パネル１２０を保持させた状態において、Ｘステージ１０５およびＹステージ１０６を使用して下ホルダ１０８をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させると共に、θステージ１０７を使用して下ホルダ１０８を回転軸Ｊを中心として回転させることにより、封止パネル１１０と駆動パネル１２０とを互いに位置合わせさせることが可能である。この際、顕微鏡１０９を使用してアライメントマークＭ１１０Ａ，Ｍ１１０Ｂ，Ｍ１２０Ａ，Ｍ１２０Ｂを観察しながら下ホルダ１０８を移動および回転させることにより、アライメントマークＭ１２０Ａの位置がアライメントマークＭ１１０Ａの位置と一致すると共に同様にアライメントマークＭ１２０Ｂの位置がアライメントマークＭ１１０Ｂの位置と一致するように、封止パネル１１０に対して駆動パネル１２０が位置合わせされる。
【０００７】
なお、上記した封止パネル１１０と駆動パネル１２０との間の位置合わせに使用されるアライナーとは異なるものの、そのアライナーと同様に移動機構および回転機構を有する装置としては、例えば、フォトレジストが設けられた半導体基板に対して露光マスクを位置合わせさせることにより、その露光マスクを使用してフォトレジストを露光する露光装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この露光装置では、半導体基板に対して露光マスクを位置合わせさせる際に、その露光マスクを移動させると同時に回転させることが可能である。
【特許文献１】特開昭６０−０３７７３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、有機ＥＬディスプレイの製造工程において量産性を確保するためには、例えば、アライナーを使用して封止パネル１１０と駆動パネル１２０とを互いに位置合わせさせる際に、位置合わせ精度を確保することは当然として、容易かつ迅速に位置合わせさせることが可能であることが重要である。なぜなら、位置合わせの容易さおよび迅速さは、有機ＥＬディスプレイの製造効率に大きく寄与するからである。しかしながら、従来のアライナーでは、主に構造的要因に起因して位置合わせに手間および時間を要するため、封止パネル１１０および駆動パネル１２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることが困難であるという問題があった。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、２つの基体を容易かつ迅速に位置合わせさせることが可能な位置合わせ装置および位置合わせ方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る位置合わせ装置は、少なくとも２つの第１の位置合わせマークが設けられた第１の基体と、第１の位置合わせマークに対応して少なくとも２つの第２の位置合わせマークが設けられた第２の基体とを互いに位置合わせさせるためのものであり、第１の基体を保持する第１の保持部と、第１の保持部に対向配置され、第２の基体を保持する第２の保持部と、第２の基体に設けられている少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうちの特定の第２の位置合わせマークに対応する位置に回転軸を有し、その回転軸を中心として第２の保持部を回転させる回転機構と、回転軸と直交する面内において第２の保持部を移動させる移動機構とを備え、移動機構が、特定の第２の位置合わせマークの位置がその特定の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうちの特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、回転軸と直交する面内において第２の保持部を移動させるものであり、回転機構が、移動機構により第２の保持部が移動させられたのちに、第２の基体に設けられている特定の第２の位置合わせマーク以外の他の第２の位置合わせマークの位置がその他の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、回転軸を中心として第２の保持部を回転させるものである。
【００１１】
本発明に係るアライメント方法は、少なくとも２つの第１の位置合わせマークが設けられた第１の基体と、第１の位置合わせマークに対応して少なくとも２つの第２の位置合わせマークが設けられた第２の基体とを互いに位置合わせさせる方法であり、第２の基体を第１の基体に対向させた状態において、第２の基体に設けられている少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうちの特定の第２の位置合わせマークの位置がその特定の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうちの特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、所定の面内において第２の基体を移動させたのち、第２の基体に設けられている特定の第２の位置合わせマーク以外の他の第２の位置合わせマークの位置がその他の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、特定の第２の位置合わせマークに対応して位置すると共に所定の面に直交する回転軸を中心として第２の基体を回転させるようにしたものである。
【００１２】
なお、「特定の第２の位置合わせマーク」とは、第２の基体に設けられている少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうちの特定の１つであり、位置合わせ時に最初に位置合わせ用の基準として使用されるものである。同様に、「特定の第１の位置合わせマーク」とは、第１の基体に設けられている少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうち、特定の第２の位置合わせマークに対応して位置している特定の１つであり、その特定の第２の位置合わせマークと共に位置合わせ時に最初に位置合わせ用の基準として使用されるものである。また、「他の第２の位置合わせマーク」とは、第２の基体に設けられている少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうち、特定の第２の位置合わせマーク以外の他の１つであり、位置合わせ時に最後に位置合わせ用の基準として使用されるものである。同様に、「他の第１の位置合わせマーク」とは、第１の基体に設けられている少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうち、他の第２の位置合わせマークに対応して位置している、特定の第１の位置合わせマーク以外の他の１つであり、その他の第２の位置合わせマークと共に位置合わせ時に最後に位置合わせ用の基準として使用されるものである。
【００１３】
本発明に係る位置合わせ装置または位置合わせ方法では、第２の基体が第１の基体に対向された状態において、第２の基体に設けられている特定の第２の位置合わせマークの位置が、その特定の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、回転軸と直交する面内において第２の基体が移動される。こののち、第２の基体に設けられている他の第２の位置合わせマークの位置が、その他の第２の位置合わせマークに対応して第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、回転軸を中心として第２の基体が回転されることにより、第１の基体と第２の基体とが互いに位置合わせされる。他の第２の位置合わせマークの位置が他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように第２の基体が回転される際に、特定の第１の位置合わせマークおよび特定の第２の位置合わせマークに基づいて既に位置合わせされた第１の基体と第２の基体との間の位置関係が維持されるため、それらの第１の基体と第２の基体との間の位置合わせ関係を維持したまま、他の第１の位置合わせマークおよび他の第２の位置合わせマークに基づいて第１の基体に対して第２の基体が位置合わせされる。これにより、第２の基体が一度だけ移動されると共に一度だけ回転されることにより第１の基体に対して高精度に位置合わせされる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る位置合わせ装置または位置合わせ方法によれば、第２の基体が第１の基体に対向された状態において、第２の基体に設けられている特定の第２の位置合わせマークの位置が第１の基体に設けられている特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように回転軸と直交する面内において第２の基体が移動されたのち、第２の基体に設けられている他の第２の位置合わせマークの位置が第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように回転軸を中心として第２の基体が回転されることにより、第１の基体と第２の基体とが互いに位置合わせされる手順的特徴に基づき、第２の基体が一度だけ移動されると共に一度だけ回転されることにより第１の基体に対して高精度に位置合わせされるため、２つの基体を容易かつ迅速に位置合わせさせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
まず、図１〜図３を参照して、本発明の一実施の形態に係る位置合わせ装置としてのアライナーの構成について説明する。図１〜図３はアライナーの構成を表しており、図１および図３は側面構成（Ｙ軸方向から見た構成）を示し、図２は平面構成（Ｚ軸方向から見た構成）を示している。図１および図３では、図１が使用時の状態を示し、図３が非使用時の状態を示している。なお、本発明の位置合わせ方法は本実施の形態に係るアライナーを使用した位置合わせ手順において実現されるため、その位置合わせ方法については以下で併せて説明する。
【００１７】
本実施の形態に係るアライナーは、２つの基体を互いに位置合わせさせるために使用されるものであり、より具体的には少なくとも２つの一方のアライメントマーク（第１の位置合わせマーク）設けられた一方の基体（第１の基体）と、その一方のアライメントマークに対応して少なくとも２つの他方のアライメントマーク（第２の位置合わせマーク）が設けられた他方の基体（第２の基体）とを使用し、それらの２種類のアライメントマークを位置合わせ用の基準として利用することにより第１の基体と第２の基体とを互いに位置合わせさせるものである。ここでは、例えば、２つの基体として、二角部に２つのアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ（図２に示した白い十字印；第１の位置合わせマーク）が設けられた矩形型の封止パネル１０（第１の基体）と、同様に二角部に２つのアライメントマークＭ２０Ａ，Ｍ２０Ｂ（図２に示した黒い十字印；第２の位置合わせマーク）が設けられた矩形型の駆動パネル２０（第２の基体）とを使用する場合について説明する。
【００１８】
このアライナーは、例えば、図１〜図３に示したように、ベース１によりＺステージ２およびアーム３を介して支持された上ホルダ４と、同様にベース１によりＸステージ５、Ｙステージ６およびθステージ７を介して支持された下ホルダ８と、図示しない支持機構により支持された顕微鏡９とを備えている。
【００１９】
ベース１は、アライナー全体を支持するための土台である。
【００２０】
Ｚ軸ステージ２は、例えば、ベース１により支持された状態においてＺ軸方向（後述する回転軸Ｊと平行な方向）に伸縮可能な駆動機構を有し、その駆動機構を利用して伸縮することによりアーム３と共に上ホルダ４をＺ軸方向に移動させる補助移動機構である。すなわち、Ｚ軸ステージ２は、Ｚ軸方向に上ホルダ４を移動させることにより、その上ホルダ４と下ホルダ８との間の間隔を変化させることが可能である。より具体的には、Ｚステージ２は、例えば、図１に示したように、アライナーの使用時に収縮することにより上ホルダ４を下ホルダ８に近づけるように配置させると共に、図３に示したように、アライナーの非使用時（例えば停止時）に延伸することにより上ホルダ４を下ホルダ８から遠ざけるように配置させることが可能になっている。
【００２１】
アーム３は、Ｚ軸ステージ２の伸縮動作を上ホルダ４に伝達させるものであり、一端側においてＺ軸ステージ２に連結されていると共に他端側において上ホルダ４に連結されている。
【００２２】
上ホルダ４は、封止パネル１０を保持する第１の保持部であり、下ホルダ８に対向配置されている。この上ホルダ４は、例えば、図示しないバキューム機構を搭載しており、そのバキューム機構を利用して封止パネル１０を吸引することにより保持することが可能になっている。
【００２３】
Ｘステージ５は、ベース１により支持された状態においてＸ軸方向にスライド可能な駆動機構を有し、その駆動機構を利用してスライドすることによりＹステージ６およびθステージ７と共に下ホルダ８をＸ軸方向に移動させる移動機構である。すなわち、Ｘステージ５は、下ホルダ８が上ホルダ４に対向配置されている状態において、その下ホルダ８を上ホルダ４と対向させたままＸ軸方向に移動させることが可能になっている。
【００２４】
Ｙステージ６は、ベース１により支持された状態においてＹ軸方向にスライド可能な駆動機構を有し、その駆動機構を利用してスライドすることによりθステージ７と共に下ホルダ８をＹ軸方向に移動させる移動機構である。すなわち、Ｙステージ６は、下ホルダ８が上ホルダ４に対向配置されている状態において、その下ホルダ８を上ホルダ４と対向させたままＹ軸方向に移動させることが可能になっている。
【００２５】
θステージ７は、ベース１により支持された状態において回転軸Ｊを中心として回転可能な駆動機構を有し、その駆動機構を利用して回転することにより回転軸Ｊを中心として下ホルダ８を回転させる回転機構である。このθステージ７の回転動作を規定する回転軸Ｊは、下ホルダ８のほぼ中心に対応して位置しておらずに、その下ホルダ８の一角部に対応して位置しており、具体的には駆動パネル２０に設けられている２つのアライメントマークＭ２０Ａ，Ｍ２０Ｂのうちの特定のアライメントマーク、ここでは例えばアライメントマークＭ２０Ａに対応して位置している。すなわち、θステージ７は、下ホルダ８が上ホルダ４に対向配置されている状態において、その下ホルダ８を上ホルダ４と対向させたまま回転させることが可能になっている。特に、θステージ７は、Ｘステージ５およびＹステージ６による移動動作時に下ホルダ８を併せて回転させずに、Ｘステージ５およびＹステージ６による移動動作が完了したのちに下ホルダ８を回転させるようになっている。
【００２６】
下ホルダ８は、駆動パネル２０を保持する第２の保持部であり、上ホルダ４に対向配置されている。この下ホルダ８は、例えば、上ホルダ４と同様に図示しないバキューム機構を搭載しており、そのバキューム機構を利用して駆動パネル２０を吸引することにより保持することが可能になっている。特に、下ホルダ８は、Ｘステージ５およびＹステージ６により、互いに直交する２つの方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に移動させられ、すなわち回転軸Ｊと直交する面（Ｘ軸およびＹ軸の双方を含む面；ＸＹ面）内において移動させられるようになっている。
【００２７】
顕微鏡９は、封止パネル１０と駆動パネル２０とを互いに位置合わせさせる際に、その封止パネル１０に設けられているアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂを観察すると共に、駆動パネル２０に設けられているアライメントマークＭ２０Ａ，Ｍ２０Ｂを封止パネル１０越しに観察するために使用される観察機器である。この顕微鏡９は、例えば、上記したように、図示しない支持機構により支持されており、図２に示したように、ＸＹ面内において、位置合わせ完了時にアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａが位置することなる位置近傍に対応して配置されている。特に、顕微鏡９は、例えば、上記した支持機構により支持された状態で、Ｙ軸方向において、位置合わせ完了時にアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａが位置することなる位置近傍に対応した位置Ｐ１と、同様に位置合わせ完了時にアライメントマークＭ１０Ｂ，Ｍ２０Ｂが位置することとなる位置近傍に対応した位置Ｐ２との間を移動することが可能になっている。なお、顕微鏡９は、例えば、図３に示したように、上記した支持機構により支持された状態において、上ホルダ４と同様にＺ軸方向に移動することも可能になっている。
【００２８】
なお、アライナーを使用して位置合わせされる封止パネル１０および駆動パネル２０の構成は、例えば、以下の通りである。すなわち、封止パネル１０は、例えば、封止用基板の一面に、３色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のフィルタ領域を有するカラーフィルタなどが設けられた構成を有するものであり、透光性を有している。一方、駆動パネル２０は、例えば、駆動用基板の一面に、３色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に発光可能な３種類の有機発光素子や、その有機発光素子を発光させるための駆動素子（例えばＴＦＴ（Thin Film Transistor））などが設けられた構成を有するものであり、封止パネル１０と同様に透光性を有している。
【００２９】
次に、図１〜図６を参照して、封止パネル１０および駆動パネル２０の位置合わせ手順について説明する。図４〜図６は図１〜図３に示したアライナーを使用した位置合わせ手順を説明するためのものであり、いずれも図２に対応する平面構成を示している。なお、図４〜図６では、図示内容を簡略化するためにアライナーの図示を省略しており、封止パネル１０および駆動パネル２０のみを示している。
【００３０】
アライナーを使用して封止パネル１０と駆動パネル２０とを互いに位置合わせさせる際には、例えば、図３に示したように、上ホルダ４および顕微鏡９の双方が下ホルダ８から遠ざけられた状態において、上ホルダ４に封止パネル１０を保持させると共に下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させることにより、その上ホルダ４により保持された封止パネル１０と下ホルダ８により保持された駆動パネル２０とを互いに対向させたのち、まず、Ｚステージ２を使用して上ホルダ４を下ホルダ８に近づけるように移動させると共に、同様に顕微鏡９を下ホルダ８に近づくように移動させる。
【００３１】
上ホルダ４に封止パネル１０を保持させる際には、例えば、上ホルダ４により封止パネル１０のうちのほぼ中央部分が保持されるように、その上ホルダ４に対して封止パネル１０を配置させる。また、下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させる際には、例えば、顕微鏡９を位置Ｐ１（図２参照）に移動させたのち、その顕微鏡９を使用して封止パネル１０越しに駆動パネル２０を観察することにより、その駆動パネル２０に設けられている２つのアライメントマークＭ２０Ａ，Ｍ２０Ｂのうちの特定のアライメントマーク、ここでは例えばアライメントマークＭ２０Ａが回転軸Ｊに対応して位置するように、下ホルダ８に対して駆動パネル２０を配置させる。なお、下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させる場合には、アライメントマークＭ２０Ａが厳密に回転軸Ｊに対応して位置していなければならないわけではなく、そのアライメントマークＭ２０Ａと回転軸Ｊとの間の位置関係は、アライナーを使用して位置合わせ作業を実施する作業者（以下、単に「作業者」という。）が顕微鏡９を使用して目視で設定できる程度で十分である。ここでは、例えば、上ホルダ４に封止パネル１０を保持させると共に下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させた状態において、封止パネル１０と駆動パネル２０との間の位置関係が図４に示した状態になったとする。
【００３２】
続いて、顕微鏡９を使用して封止パネル１０越しに駆動パネル２０を観察しながら、Ｘステージ５およびＹステージ６を使用して、図５に示したように、駆動パネル２０に設けられている特定のアライメントマークＭ２０Ａの位置が、その特定のアライメントマークＭ２０Ａに対応して封止パネル１０に設けられている２つのアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂのうちの特定のアライメントマーク、ここでは例えばアライメントマークＭ１０Ａの位置と一致するように、ＸＹ面内においてＸ軸方向およびＹ軸方向に下ホルダ８を移動させる。これにより、アライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａに基づいて駆動パネル２０が封止パネル１０に対して位置合わせされる。なお、図５に示した破線は、アライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａに基づく位置合わせ前の駆動パネル２０の位置（図４に示した駆動パネル２０の位置）を参考までに示している。
【００３３】
最後に、顕微鏡９を位置Ｐ１から位置Ｐ２に移動させたのち、その顕微鏡９を使用して封止パネル１０越しに駆動パネル２０を観察しながら、θステージ７を使用して、図６に示したように、駆動パネル２０に設けられている特定のアライメントマークＭ２０Ａ以外の他のアライメントマーク、ここでは例えばアライメントマークＭ２０Ｂの位置が、その他のアライメントマークＭ２０Ｂに対応して封止パネル１０に設けられている他のアライメントマーク、ここでは例えばアライメントマークＭ１０Ｂの位置と一致するように、回転軸Ｊを中心として下ホルダ８を回転させる。これにより、アライメントマークＭ２０Ａ，Ｍ２０Ｂに基づいて駆動パネル２０が封止パネル１０に対して位置合わせされる結果、封止パネル１０に対する駆動パネル２０の位置合わせが完了し、すなわちアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂに基づいて駆動パネル２０が封止パネル１０に対して位置合わせされる。なお、図６に示した破線は、アライメントマークＭ１０Ｂ，Ｍ２０Ｂに基づく位置合わせ前の駆動パネル２０の位置（図５に示した駆動パネル２０の位置）を参考までに示している。
【００３４】
本実施の形態に係る位置合わせ装置（アライナー）および位置合わせ方法では、下ホルダ８により保持された駆動パネル２０を上ホルダ４により保持された封止パネル１０に対向させた状態において、Ｘステージ５およびＹステージ６を使用して、駆動パネル２０に設けられている特定のアライメントマークＭ２０Ａの位置が封止パネル１０に設けられている特定のアライメントマークＭ１０Ａの位置と一致するように、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に駆動パネル２０を移動させたのち、θステージ７を使用して、駆動パネル２０に設けられている他のアライメントマークＭ２０Ｂの位置が封止パネル１０に設けられている他のアライメントマークＭ１０Ｂの位置と一致するように、回転軸Ｊを中心として駆動パネル２０を回転させるようにしたので、以下の理由により、封止パネル１０および駆動パネル２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることができる。
【００３５】
図７〜図９は従来のアライナー（図１３および図１４参照）を使用した位置合わせ手順に関する問題点を説明するためのものであり、それぞれ図４〜図６に対応する平面構成を表している。従来のアライナーを使用して、本実施の形態に係るアライナーを使用した位置合わせ手順と同様の手順を経て位置合わせした場合には、上記したように、主にアライナーの構造的要因に起因して位置合わせに手間および時間を要するため、容易かつ迅速に位置合わせさせることが困難となる。
【００３６】
すなわち、従来のアライナーを使用した場合には、例えば、上ホルダ１０４に封止パネル１１０を保持させると共に下ホルダ１０８に駆動パネル１２０を保持させることにより、封止パネル１１０と駆動パネル１２０との間の位置関係が図７に示した状態になった場合に、図８に示したように、Ｘステージ１０５およびＹステージ１０６を使用してアライメントマークＭ１２０Ａの位置がアライメントマークＭ１１０Ａの位置と一致するように下ホルダ１０８を移動させたのちに、θステージ１０７を使用してアライメントマークＭ１２０Ｂの位置がアライメントマークＭ１１０Ｂの位置と一致するように下ホルダ１０８を回転させても、図９に示したように、封止パネル１１０に対して駆動パネル１２０が位置合わせされない。より具体的には、アライメントマークＭ１２０Ｂの位置がアライメントマークＭ１１０Ｂの位置と一致するように下ホルダ１０８を回転させると、θステージ１０７の回転軸Ｊが下ホルダ１０８のほぼ中心に対応して位置している構造的要因に起因して、そのθステージ１０７の回転動作に応じてアライメントマークＭ１２０Ａ，Ｍ１２０Ｂが並進移動する結果、既にＸステージ１０５およびＹステージ１０６を使用してアライメントマークＭ１１０Ａ，Ｍ１２０Ａに基づいて位置合わせさせた封止パネル１１０と駆動パネル１２０との間の位置関係が崩れるため、それらの封止パネル１１０と駆動パネル１２０との間の位置合わせ関係を維持したまま、アライメントマークＭ１１０Ｂ，Ｍ１２０Ｂに基づいて封止パネル１１０に対して駆動パネル１２０を位置合わせさせることができない。これにより、駆動パネル１２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより封止パネル１１０に対して位置合わせさせることができないため、封止パネル１１０および駆動パネル１２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることが困難となるのである。
【００３７】
なお、従来のアライナーを使用した場合には、図７および図９から明らかなように、Ｘステージ１０５およびＹステージ１０６を使用した下ホルダ１０８の移動動作およびθステージ１０７を使用した下ホルダ１０８の回転動作を経ることにより、封止パネル１１０と駆動パネル１２０との間の位置合わせが図７に示した状態から図９に示した状態へ進行し、すなわちアライメントマークＭ１２０Ａ，Ｍ１２０ＢがアライメントマークＭ１１０Ａ，Ｍ１１０Ｂにそれぞれ近づくこととなるため、上記した下ホルダ１０８の移動動作および回転動作を複数回に渡って繰り返せば、最終的に封止パネル１１０に対して駆動パネル１２０を位置合わせさせることが可能であるものと見込まれる。しかしながら、この場合には、下ホルダ１０８の回転動作および回転動作を複数回に渡って繰り返さなければならない点において位置合わせに手間および時間を要するため、上記したように、封止パネル１１０および駆動パネル１２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることが困難となるのである。確認までに説明しておくと、従来のアライナーを使用した場合には、上記したように下ホルダ１０８の移動動作および回転動作をこの順に経る手順を使用する場合に限らず、その手順と異なる他の手順を使用する場合においても同様に位置合わせに手間および時間を要してしまうことは言うまでもない。
【００３８】
これに対して、本実施の形態に係るアライナーを使用した場合には、上記したように下ホルダ８の移動動作および回転動作をこの順に経る手順を使用することにより位置合わせする際に、図５に示したように、Ｘステージ５およびＹステージ６を使用してアライメントマークＭ２０Ａの位置がアライメントマークＭ１０Ａの位置と一致するように下ホルダ８を移動させたのちに、θステージ７を使用してアライメントマークＭ２０Ｂの位置がアライメントマークＭ１０Ｂの位置と一致するように下ホルダ８を移動させたとしても、図６に示したように、θステージ７が下ホルダ８の一角部に対応して位置し、具体的にはθステージ７の回転軸ＪがアライメントマークＭ２０Ａに対応して位置している構造的特徴に基づき、そのθステージ７の回転動作に応じてアライメントマークＭ２０Ａが静止したままでアライメントマークＭ２０Ｂのみが回転移動する。この場合には、既にＸステージ５およびＹステージ６を使用してアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａに基づいて位置合わせさせた封止パネル１０と駆動パネル２０との間の位置関係が維持されるため、それらの封止パネル１０と駆動パネル２０との間の位置合わせ関係を維持したまま、アライメントマークＭ１０Ｂ，Ｍ２０Ｂに基づいて封止パネル１０に対して駆動パネル２０を位置合わせさせることが可能となる。したがって、本実施の形態では、従来の場合とは異なり、駆動パネル２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより封止パネル１０に対して位置合わせさせることが可能なため、封止パネル１０および駆動パネル２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることができるのである。
【００３９】
ここで、本実施の形態に係るアライナーを使用した場合に得られる効果（位置合わせの容易化および迅速化）に関して補足しておくと、本実施の形態に係るアライナーを使用した場合には、厳密には、下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させる際に、アライメントマークＭ２０Ａの位置が回転軸Ｊと正確に一致するように駆動パネル２０を下ホルダ８に対して配置させた場合に限り、駆動パネル２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより封止パネル１０に対して位置合わせさせることが可能となる。すなわち、下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させた際に、アライメントマークＭ２０Ａの位置が回転軸Ｊからずれていた場合には、封止パネル１０に対して駆動パネル２０を位置合わせさせるために、従来のアライナーを使用した場合と同様に、下ホルダ８の移動動作および回転動作をそれぞれ複数回に渡って繰り返す必要がある。しかしながら、本実施の形態に係るアライナーを使用した場合と従来のアライナーを使用した場合との間において、一度の移動動作および一度の回転動作を経ることにより進行する位置合わせ度、すなわち封止パネルに設けられているアライメントマークと駆動パネルに設けられているアライメントマークとの間のずれ距離の収束度を比較すると、その位置合わせ度の進行具合（ずれ距離の収束割合）は従来のアライナーを使用した場合よりも本実施の形態に係るアライナーを使用した場合において向上し、すなわち一度の移動動作および一度の回転動作を経ることにより減少するずれ距離の減少割合が増加するため、本実施の形態に係るアライナーを使用すれば、より少ない移動回数および回転回数で、可能な限り手間および時間を要せずに位置合わせを完了させることが可能である。
【００４０】
なお、上記では、位置合わせの厳密性に関する問題を説明する上で、アライメントマークＭ２０Ａの位置が回転軸Ｊと正確に一致するように下ホルダ８に対して駆動パネル２０を配置させた場合に限り、駆動パネル２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより封止パネル１０に対して位置合わせさせることが可能であると説明したが、現実的には必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、アライメントマークＭ２０Ａの位置と回転軸Ｊとの位置合わせ精度に余裕があり、すなわちアライメントマークＭ２０Ａの位置が位置合わせ精度の範囲内であれば回転軸Ｊからずれていても、封止パネル１０および駆動パネル２０の位置合わせ精度に大きな影響が及ばない場合には、駆動パネル２０を一度だけ移動させると共に一度だけ回転させることにより封止パネル１０に対して高精度に位置合わせさせることが可能となる。したがって、この観点から見ても、本実施の形態に係るアライナーを使用することにより、封止パネル１０および駆動パネル２０を容易かつ迅速に位置合わせさせることができるのである。
【００４１】
また、参考までに、封止パネル１０および駆動パネル２０に設けられたアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂ間の位置関係と、封止パネル１０および駆動パネル２０の位置合わせ精度との間の関係について説明しておくと、その位置合わせ精度は、特定のアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ２０Ａと他のアライメントマークＭ１０Ｂ，Ｍ２０Ｂとの間の距離が大きく、かつ一連のアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂの位置と封止パネル１０および駆動パネル２０のそれぞれの中心との間の距離が大きいほど向上する。なぜなら、その距離が大きいほど、上記した位置合わせ度の進行具合（ずれ距離の収束割合）が向上するからである。
【００４２】
なお、本実施の形態に係るアライナーに関しては、例えば、図１０に示したように、下ホルダ８のうちの顕微鏡９の配置位置に対応する箇所に孔３１を設け、その孔３１に光源３２および光拡散板３３を埋設するようにしてもよい。光源３２は、封止パネル１０および駆動パネル２０の双方へ向けて光Ｌを放出する光放出素子であり、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）などの発光素子である。光拡散板３３は、光源３２から放出された光Ｌを拡散させることにより、その光Ｌの照射範囲を拡大させるためのものである。なお、下ホルダ８に光源３２および光拡散板３３を埋設する場合には、例えば、その下ホルダ８のうち、顕微鏡９による２つの観察位置、すなわち図２を参照して説明した顕微鏡９の配置位置Ｐ１，Ｐ２に対応する箇所に孔３１を２つ設け、それぞれの孔３１に光源３２および光拡散板３３を埋設させるのが好ましい。なお、孔３１の設置位置や光源３２および光拡散板３３の設置個数は自由に設定可能である。この場合には、顕微鏡９を使用して封止パネル１０越しに駆動パネル２０を観察する際に、光源３２から放出される光Ｌに基づいて視野内の明るさを確保しながらアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂを観察することが可能になると共に、光拡散板３３が光Ｌの照射範囲を拡大させることに基づいて明るさが確保された視野が広がるため、それらのアライメントマークＭ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂを明瞭に観察することができる。なお、図１０では、下ホルダ８の構成を見やすくするために、その下ホルダ８についてのみ断面構成を示している。図１０に示したアライナーに関する上記以外の構成は、図１に示した場合と同様である。
【００４３】
また、本実施の形態に係るアライナーを使用すれば、例えば、図１１および図１２に示したように、単純に封止パネル１０と駆動パネル２０とを互いに位置合わせさせるだけでなく、その位置合わせ後において封止パネル１０と駆動パネル２０とを互いに固定させることも可能である。具体的には、まず、例えば、図１１に示したように、上ホルダ４が下ホルダ８から遠ざけられた状態において、上ホルダ４に封止パネル１０を保持させると共に下ホルダ８に駆動パネル２０を保持させたのち、その駆動パネル２０上に接着剤４０を供給する。この接着剤４０としては、例えば、即時に接着性を発揮するものではなく、電子線や紫外線などが照射されることにより事後的に接着性を発揮するものを使用するのが好ましい。ここでは、例えば、電子線に基づいて接着性を発揮する電子線硬化型の接着剤４０を使用すると共に、その接着剤４０を駆動パネル２０上に複数箇所に渡って供給する。続いて、図１２に示したように、Ｚステージ２を使用して上ホルダ４を下ホルダ８に近づけるように移動させることにより、上記実施の形態において説明した位置合わせ手順を経て封止パネル１０に対して駆動パネル２０を位置合わせさせたのち、接着剤４０が封止パネル１０および駆動パネル２０により挟まれた状態において、その接着剤４０に電子線を照射して硬化させることにより、封止パネル１０を接着剤４０を介して駆動パネル２０に接着させる。これにより、位置合わせ済みの封止パネル１０および駆動パネル２０が接着剤４０を介して固定される。この場合には、位置合わせ済みの封止パネル１０および駆動パネル２０が接着剤４０を介して固定されるため、上ホルダ４および下ホルダ８から取り外したのちにおいても封止パネル１０と駆動パネル２０との間の位置合わせ関係を維持することができる。なお、上記した接着剤４０を使用した封止パネル１０と駆動パネル２０との間の接着処理は、封止パネル１０と駆動パネル２０とを最終的に固定させる本固定処理であってもよいし、あるいは封止パネル１０と駆動パネル２０とを一時的に固定させる仮固定処理であってもよい。図１１および図１２に示したアライナーに関する上記以外の構成は、いずれも図１に示した場合と同様である。
【００４４】
また、本実施の形態では、図２に示したように、封止パネル１０および駆動パネル２０にそれぞれアライメントマークが２つずつ設けられている場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、封止パネル１０および駆動パネル２０にそれぞれ設けられるアライメントマークの数は、上記したように、いずれも２つ以上の範囲内において自由に変更可能である。もちろん、封止パネル１０および駆動パネル２０にそれぞれアライメントマークが２つ以上設けられている場合に、いずれのアライメントマークを「特定のアライメントマーク」および「他のアライメントマーク」として選択するかは自由に設定可能である。確認までに説明しておくと、上記した「特定のアライメントマーク」とは、Ｘステージ５およびＹステージ６の移動動作を利用して最初に位置合わせされるアライメントマーク（上記実施の形態において説明したアライメントマークＭ１０Ａ，２０Ａに相当するアライメントマーク）であり、「他のアライメントマーク」とは、θステージ７の回転動作を利用して最後に位置合わせされるアライメントマーク（上記実施の形態において説明したアライメントマークＭ１０Ｂ，Ｍ２０Ｂに相応するアライメントマーク）である。封止パネル１０および駆動パネル２０にそれぞれ設けられるアライメントマークの数を変更した場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４５】
以上、実施の形態を挙げて本発明の位置合わせ装置および位置合わせ方法を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の位置合わせ装置の構成や位置合わせ方法の手順などは、上記実施の形態と同様の効果を得ることが可能な限りにおいて自由に変形可能である。
【００４６】
特に、上記実施の形態では、位置合わせの対象となる２つの基体として、有機ＥＬディスプレイを構成する封止パネルおよび駆動パネルの組み合わせに関して本発明の位置合わせ装置および位置合わせ方法を適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、本発明の位置合わせ装置および位置合わせ方法は、封止パネルおよび駆動パネルの組み合わせ以外の他の２つの基体に関しても適用することが可能である。この「他の２つの基体」としては、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device ）受像機やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）ディスプレイおよびカラーフィルタの組み合わせ、あるいはフォトマスクおよびフォトレジスト膜（例えばフォトレジストが塗布されることによりフォトレジスト膜が形成された基板）の組み合わせなど、２次元的に正確な位置合わせが必要な基体同士の組み合わせが挙げられる。この場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明に係る位置合わせ装置および位置合わせ方法は、例えば有機ＥＬディスプレイの製造工程において封止パネルと駆動パネルとを互いに位置合わせさせるために適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施の形態に係るアライナーの使用時の側面構成（Ｙ軸方向から見た側面構成）を表す側面図である。
【図２】図１に示したアライナーの平面構成（Ｚ軸方向から見た平面構成）を表す平面図である。
【図３】図１に示したアライナーの非使用時の側面構成（Ｙ軸方向から見た側面構成）を表す側面図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係るアライナーを使用した位置合わせ手順を説明するための平面図である。
【図５】図４に続く手順を説明するための平面図である。
【図６】図５に続く手順を説明するための平面図である。
【図７】従来のアライナーを使用した位置合わせ手順に関する問題点を説明するための平面図である。
【図８】図７に続く手順を説明するための平面図である。
【図９】図８に続く手順を説明するための平面図である。
【図１０】本発明の一実施の形態に係るアライナーの構成に関する変形例を説明するための断面図である。
【図１１】本発明の一実施の形態に係るアライナーを使用した位置合わせ手順に関する変形例を説明するための側面図である。
【図１２】図１１に続く手順を説明するための側面図である。
【図１３】従来のアライナーの側面構成を表す側面図である。
【図１４】図１３に示した従来のアライナーの平面構成を表す平面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１…ベース、２…Ｚステージ、３…アーム、４…上ホルダ、５…Ｘステージ、６…Ｙステージ、７…θステージ、８…下ホルダ、９…顕微鏡、１０…封止パネル、２０…駆動パネル、３１…孔、３２…光源、３３…光拡散板、４０…接着剤、Ｊ…回転軸、Ｌ…光、Ｍ１０Ａ，Ｍ１０Ｂ，Ｍ２０Ａ，Ｍ２０Ｂ…アライメントマーク、Ｐ１，Ｐ２…位置。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの第１の位置合わせマークが設けられた第１の基体と、前記第１の位置合わせマークに対応して少なくとも２つの第２の位置合わせマークが設けられた第２の基体と、を互いに位置合わせさせるための位置合わせ装置であって、
前記第１の基体を保持する第１の保持部と、
前記第１の保持部に対向配置され、前記第２の基体を保持する第２の保持部と、
前記第２の基体に設けられている前記少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうちの特定の第２の位置合わせマークに対応する位置に回転軸を有し、その回転軸を中心として前記第２の保持部を回転させる回転機構と、
前記回転軸と直交する面内において前記第２の保持部を移動させる移動機構と、を備え、
前記移動機構が、前記特定の第２の位置合わせマークの位置がその特定の第２の位置合わせマークに対応して前記第１の基体に設けられている前記少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうちの特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、前記第２の保持部を移動させるものであり、
前記回転機構が、前記移動機構により前記第２の保持部が移動させられたのちに、前記第２の基体に設けられている前記特定の第２の位置合わせマーク以外の他の第２の位置合わせマークの位置がその他の第２の位置合わせマークに対応して前記第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、前記第２の保持部を回転させるものである
ことを特徴とする位置合わせ装置。
【請求項２】
前記移動機構が、互いに直交する２つの方向に前記第２の保持部を移動させる
ことを特徴とする請求項１記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
前記第１の基体が透光性を有するものであり、
さらに、前記第１の基体に設けられている前記特定の第１の位置合わせマークおよび前記他の第１の位置合わせマークを観察すると共に、前記第２の基体に設けられている前記特定の第２の位置合わせマークおよび前記他の第２の位置合わせマークを前記第１の基体越しに観察するために使用される観察機器を備えた
ことを特徴とする請求項１記載の位置合わせ装置。
【請求項４】
前記第２の基体が透光性を有するものであり、
前記第２の保持部に、前記第１の基体および前記第２の基体の双方へ向けて光を放出する光放出素子が付設されている
ことを特徴とする請求項３記載の位置合わせ装置。
【請求項５】
さらに、前記回転軸と平行な方向に前記第１の保持部を移動させる補助移動機構を備え、
前記補助移動機構が、前記回転軸と平行な方向に前記第１の保持部を移動させることにより、その第１の保持部と前記第２の基体との間の間隔を変化させるものである
ことを特徴とする請求項１記載の位置合わせ装置。
【請求項６】
前記補助移動機構が、前記第１の保持部により保持された前記第１の基体と前記第２の保持部により保持された前記第２の基体との間に接着剤が供給された状態において、前記第２の保持部に近づくように前記第１の保持部を移動させることにより、それらの第１の基体と第２の基体とを前記接着剤を介して固定させる
ことを特徴とする請求項５記載の位置合わせ装置。
【請求項７】
少なくとも２つの第１の位置合わせマークが設けられた第１の基体と、前記第１の位置合わせマークに対応して少なくとも２つの第２の位置合わせマークが設けられた第２の基体と、を互いに位置合わせさせる位置合わせ方法であって、
前記第２の基体を前記第１の基体に対向させた状態において、
前記第２の基体に設けられている前記少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうちの特定の第２の位置合わせマークの位置がその特定の第２の位置合わせマークに対応して前記第１の基体に設けられている前記少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうちの特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、所定の面内において前記第２の基体を移動させたのち、
前記第２の基体に設けられている前記特定の第２の位置合わせマーク以外の他の第２の位置合わせマークの位置がその他の第２の位置合わせマークに対応して前記第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、前記特定の第２の位置合わせマークに対応して位置すると共に前記所定の面に直交する回転軸を中心として前記第２の基体を回転させる
ことを特徴とする位置合わせ方法。
【請求項１】
少なくとも２つの第１の位置合わせマークが設けられた第１の基体と、前記第１の位置合わせマークに対応して少なくとも２つの第２の位置合わせマークが設けられた第２の基体と、を互いに位置合わせさせるための位置合わせ装置であって、
前記第１の基体を保持する第１の保持部と、
前記第１の保持部に対向配置され、前記第２の基体を保持する第２の保持部と、
前記第２の基体に設けられている前記少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうちの特定の第２の位置合わせマークに対応する位置に回転軸を有し、その回転軸を中心として前記第２の保持部を回転させる回転機構と、
前記回転軸と直交する面内において前記第２の保持部を移動させる移動機構と、を備え、
前記移動機構が、前記特定の第２の位置合わせマークの位置がその特定の第２の位置合わせマークに対応して前記第１の基体に設けられている前記少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうちの特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、前記第２の保持部を移動させるものであり、
前記回転機構が、前記移動機構により前記第２の保持部が移動させられたのちに、前記第２の基体に設けられている前記特定の第２の位置合わせマーク以外の他の第２の位置合わせマークの位置がその他の第２の位置合わせマークに対応して前記第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、前記第２の保持部を回転させるものである
ことを特徴とする位置合わせ装置。
【請求項２】
前記移動機構が、互いに直交する２つの方向に前記第２の保持部を移動させる
ことを特徴とする請求項１記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
前記第１の基体が透光性を有するものであり、
さらに、前記第１の基体に設けられている前記特定の第１の位置合わせマークおよび前記他の第１の位置合わせマークを観察すると共に、前記第２の基体に設けられている前記特定の第２の位置合わせマークおよび前記他の第２の位置合わせマークを前記第１の基体越しに観察するために使用される観察機器を備えた
ことを特徴とする請求項１記載の位置合わせ装置。
【請求項４】
前記第２の基体が透光性を有するものであり、
前記第２の保持部に、前記第１の基体および前記第２の基体の双方へ向けて光を放出する光放出素子が付設されている
ことを特徴とする請求項３記載の位置合わせ装置。
【請求項５】
さらに、前記回転軸と平行な方向に前記第１の保持部を移動させる補助移動機構を備え、
前記補助移動機構が、前記回転軸と平行な方向に前記第１の保持部を移動させることにより、その第１の保持部と前記第２の基体との間の間隔を変化させるものである
ことを特徴とする請求項１記載の位置合わせ装置。
【請求項６】
前記補助移動機構が、前記第１の保持部により保持された前記第１の基体と前記第２の保持部により保持された前記第２の基体との間に接着剤が供給された状態において、前記第２の保持部に近づくように前記第１の保持部を移動させることにより、それらの第１の基体と第２の基体とを前記接着剤を介して固定させる
ことを特徴とする請求項５記載の位置合わせ装置。
【請求項７】
少なくとも２つの第１の位置合わせマークが設けられた第１の基体と、前記第１の位置合わせマークに対応して少なくとも２つの第２の位置合わせマークが設けられた第２の基体と、を互いに位置合わせさせる位置合わせ方法であって、
前記第２の基体を前記第１の基体に対向させた状態において、
前記第２の基体に設けられている前記少なくとも２つの第２の位置合わせマークのうちの特定の第２の位置合わせマークの位置がその特定の第２の位置合わせマークに対応して前記第１の基体に設けられている前記少なくとも２つの第１の位置合わせマークのうちの特定の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、所定の面内において前記第２の基体を移動させたのち、
前記第２の基体に設けられている前記特定の第２の位置合わせマーク以外の他の第２の位置合わせマークの位置がその他の第２の位置合わせマークに対応して前記第１の基体に設けられている他の第１の位置合わせマークの位置と一致するように、前記特定の第２の位置合わせマークに対応して位置すると共に前記所定の面に直交する回転軸を中心として前記第２の基体を回転させる
ことを特徴とする位置合わせ方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００６−２３３５６（Ｐ２００６−２３３５６Ａ）
【公開日】平成１８年１月２６日（２００６．１．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−１９９１７８（Ｐ２００４−１９９１７８）
【出願日】平成１６年７月６日（２００４．７．６）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１月２６日（２００６．１．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年７月６日（２００４．７．６）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
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