振動型アクチュエータ
【課題】外部電極と側面電極との接続部の欠損に起因する振動型アクチュエータの信頼性の低下を防止する。
【解決手段】超音波アクチュエータ２は、圧電体層４１，４１，…と内部電極層５，…，６，…とが積層されている。最外層の圧電体層４１の外側に露出する主面４１ａには、外部電極８１〜８３が形成されている。圧電体層４１，４１，…と内部電極層５，…，６，…との積層体の側面４Ｃ〜４Ｅには、内部電極層５，…，６，…に接続されると共に、外部電極８１〜８３に接続される側面電極７１Ａ〜７３Ｂが形成されている。第１分割電極５１Ａ，…，５１Ｃ，…と第１外部電極８１とは、複数の側面電極７１Ａ，７１Ｃで接続されている。第２分割電極５２Ｂ，…，５２Ｄ，…と第２外部電極８２とは、複数の側面電極７２Ａ，７２Ｃで接続されている。マイナス電極層６，６，…と第３外部電極８３とは、複数の側面電極７３Ａ，７３Ｂで接続されている。
【解決手段】超音波アクチュエータ２は、圧電体層４１，４１，…と内部電極層５，…，６，…とが積層されている。最外層の圧電体層４１の外側に露出する主面４１ａには、外部電極８１〜８３が形成されている。圧電体層４１，４１，…と内部電極層５，…，６，…との積層体の側面４Ｃ〜４Ｅには、内部電極層５，…，６，…に接続されると共に、外部電極８１〜８３に接続される側面電極７１Ａ〜７３Ｂが形成されている。第１分割電極５１Ａ，…，５１Ｃ，…と第１外部電極８１とは、複数の側面電極７１Ａ，７１Ｃで接続されている。第２分割電極５２Ｂ，…，５２Ｄ，…と第２外部電極８２とは、複数の側面電極７２Ａ，７２Ｃで接続されている。マイナス電極層６，６，…と第３外部電極８３とは、複数の側面電極７３Ａ，７３Ｂで接続されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の圧電体層を積層させた振動型アクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、各種電気機器等に用いられる、圧電素子（電気機械変換素子）を備えた振動型アクチュエータが知られている。この振動型アクチュエータは、積層された複数の圧電体層と、該圧電体層に挟持された内部電極とを有している。振動型アクチュエータは、内部電極を介して圧電体層に電圧を印加することによって、該圧電体層に所望の振動を誘起させて、駆動力を出力させている。
【０００３】
例えば、特許文献１に係る振動型アクチュエータにおいては、主面に内部電極が形成された複数の圧電体層を積層させることによって、圧電体層と内部電極とが交互に積層されている。その結果、各内部電極は、２つの圧電体層に挟持された状態となる。そして、内部電極は、圧電体層の側面まで延びている。圧電体層の側面には側面電極が形成されており、内部電極は、側面電極と接続されている。複数の圧電体層が積層されたときには、各圧電体層の側面電極が積層方向に繋がって、一まとまりの側面電極を形成する。ここで、最外層の圧電体層の、外部に露出する主面（積層方向を向く面）には、外部から給電するための外部電極が形成されている。この外部電極は、圧電体層の側面に位置する側面電極まで延びて、該側面電極に接続されている。つまり、外部電極は、側面電極を介して、内部電極と導通することになる。また、外部電極には、ワイヤが接続されている。このように構成された振動型アクチュエータにおいては、外部からワイヤを介して電圧を印加することによって、外部電極及び側面電極を介して、内部電極に該電圧が印加される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０６９１６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に係る振動型アクチュエータでは、外部電極と側面電極とが、複数の圧電体層と内部電極とを積層させた積層体の外表面である主面と側面とにそれぞれ形成されている。そして、外部電極と側面電極とは、該主面と側面とで形成される稜線部において接続されている。しかしながら、この稜線部は、外部からの衝撃等により欠け易い部分である。そのため、外部電極と側面電極との接続部も欠損し易く、外部電極と側面電極との間で抵抗が大きくなったり、断線が生じてしまったりする虞がある。このように、電極が欠損し易いと、超音波アクチュエータの信頼性が低下してしまう。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、外部電極と側面電極との接続部の欠損に起因する振動型アクチュエータの信頼性の低下を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、積層された複数の圧電体層と該圧電体層に挟持された内部電極とを備えた振動型アクチュエータが対象である。そして、最外層の前記圧電体層の外側に露出する主面には、外部から給電するための外部電極が形成されており、前記圧電体層と前記内部電極との積層体における、積層方向と平行な面である側面には、前記内部電極に接続されると共に、前記外部電極が形成された主面と該側面との間の稜線部において該外部電極に接続される側面電極が形成されており、同電位となる前記内部電極と前記外部電極とは、複数の前記側面電極で接続されているものとする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、外部電極と側面電極との１つの接続部が稜線部の欠損により欠損しても、別の接続部により外部電極と側面電極との接続を維持することができるため、振動型アクチュエータの信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る駆動装置の斜視図である。
【図２】アクチュエータ本体の斜視図である。
【図３】アクチュエータ本体の分解斜視図である。
【図４】圧電体層の形状を説明するための圧電体層の主面を表す説明図である。
【図５】駆動装置の一部を構成するハーフブリッジ回路の回路図である。
【図６】１次モードの伸縮振動によるアクチュエータ本体の変位を示す概念図である。
【図７】２次モードの屈曲振動によるアクチュエータ本体の変位を示す概念図である。
【図８】１次モードの伸縮振動及び２次モードの屈曲振動の合成振動によるアクチュエータ本体の変位を示す概念図である。
【図９】変形例１に係るアクチュエータ本体の分解斜視図である。
【図１０】変形例１に係るアクチュエータ本体の斜視図である。
【図１１】変形例２に係るアクチュエータ本体の分解斜視図である。
【図１２】変形例２に係るアクチュエータ本体の斜視図である。
【図１３】変形例３に係るアクチュエータ本体の分解斜視図である。
【図１４】変形例３に係るアクチュエータ本体の斜視図である。
【図１５】その他の実施形態に係る駆動装置の斜視図である。
【図１６】別のその他の実施形態に係る駆動装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１１】
《発明の実施形態》
図１は、実施形態に係る駆動装置１の概略構成図であり、図２は、アクチュエータ本体４の斜視図である。駆動装置１は、図１に示すように、ステージ１１と、超音波アクチュエータ２と、該超音波アクチュエータ２を駆動制御する制御装置１０とを備えている。
【００１２】
ステージ１１は、ガイド（図示省略）に摺動可能に取り付けられている。つまり、ステージ１１は、ガイドが延びる方向（図中の矢印Ａ，Ｂの方向）に沿って移動可能に構成されている（このガイドの延びる方向がステージ１１の可動方向に相当する）。このステージ１１は、平面視略方形の板状部材である。そして、前記超音波アクチュエータ２は、このステージ１１の裏面に後述する駆動子４９，４９が接触するように配設されている。
【００１３】
前記超音波アクチュエータ２は、振動を発生させるアクチュエータ本体４と、該アクチュエータ本体４の駆動力をステージ１１に伝達させる駆動子４９，４９と、該アクチュエータ本体４を収容するケース３と、アクチュエータ本体４とケース３との間に介設されてアクチュエータ本体４を弾性的に支持する支持ゴム３４，３４と、アクチュエータ本体４を前記ステージ１１に付勢するための付勢ゴム３５とを備えている。この超音波アクチュエータ２が振動型アクチュエータを構成する。
【００１４】
前記アクチュエータ本体４は、圧電素子で構成されている。アクチュエータ本体４は、略長方形状の互いに対向する一対の主面４Ａ，４Ｂと、この主面４Ａ，４Ｂと直交して該主面の長手方向に延びる、互いに対向する一対の長辺側面４Ｃ，４Ｄと、これら主面４Ａ，４Ｂ及び長辺側面４Ｃ，４Ｄの両方と直交して該主面４Ａ，４Ｂの短手方向に延びる、互いに対向する一対の短辺側面４Ｅ，４Ｆとを有する略直方体状をしている。主面４Ａ，４Ｂは、後述する圧電体層４１，４１，…の積層方向を向く面であり、圧電体層４１の主面で構成される面である。これら長辺側面４Ｃ，４Ｄ及び短辺側面４Ｅ，４Ｆが、主面４Ａ，４Ｂの周縁に形成された側面であり、圧電体層４１，４１，…の積層方向と平行な面である。このアクチュエータ本体４は、詳しくは後述するが、伸縮振動と屈曲振動とを調和的に発生させ、長手方向に沿った駆動方向へ駆動力を出力する。
【００１５】
アクチュエータ本体４の長辺側面（以下、設置面ともいう）４Ｃには、２個の駆動子４９，４９が設けられている（図２では省略）。
【００１６】
各駆動子４９は、円柱状に形成されている。駆動子４９の先端は、半球状に形成されている。この駆動子４９は、ジルコニア、アルミナ、窒化ケイ素、炭化ケイ素、タングステンカーバイド等で形成されている。この駆動子４９は、接着剤を介してアクチュエータ本体４の設置面４Ｃに取り付けられている。
【００１７】
接着剤としては、アクチュエータ本体４の材料及び駆動子４９の材料よりも柔らかいことが望ましい。具体的には、合成樹脂、特にエポキシ樹脂、シリコーン樹脂が挙げられる。このような材料を用いることによって、アクチュエータ本体４の後述する振動をできるだけ阻害せずに、駆動子４９と設置面４Ｃとの間の固定を実現することができる。
【００１８】
また、駆動子４９，４９が設けられた位置は、設置面４Ｃにおいて、アクチュエータ本体４の長手方向両端部から該設置面４Ｃの全長の３０〜３５％距離だけ内側に入った位置であり、即ち、アクチュエータ本体４の後述する屈曲振動の２次モードの腹の位置であって、振動が最も大きくなる位置である。
【００１９】
前記ケース３は、樹脂製であって、前記アクチュエータ本体４に対応した略コ字形状をしている。このケース３は、長辺壁部３１と、長辺壁部３１の一端部に設けられた第１短辺壁部３２と、長辺壁部３１の他端部に設けられた第２短辺壁部３３とを有している。
【００２０】
このように構成されたケース３内に前記アクチュエータ本体４が収容されている。アクチュエータ本体４は、駆動子４９，４９が設けられていない長辺側面がケース３の長辺壁部３１と対向するようにしてケース３内に収容されている。アクチュエータ本体４の該長辺側面とケース３の長辺壁部３１との間には付勢ゴム３５が介設されている。このとき、駆動子４９，４９はケース３から突出している。また、アクチュエータ本体４の一方の短辺側面とケース３の第１短辺壁部３２との間およびアクチュエータ本体４の他方の短辺側面とケース３の第２短辺壁部３３との間には、それぞれ支持ゴム３４，３４が介設されている。このアクチュエータ本体４の両短辺側面は後述する縦振動の腹の部分である。しかし、支持ゴム３４，３４は弾性体であるため、アクチュエータ本体４の縦振動を阻害することなく、該アクチュエータ本体４を支持することができる。
【００２１】
尚、これら支持ゴム３４及び付勢ゴム３５の代わりに、板バネ等の弾性部材を採用してもよい。
【００２２】
このように構成された超音波アクチュエータ２は、駆動子４９，４９がステージ１１の裏面と当接する状態で、ケース３が基台（図示省略）に固定される。詳しくは、超音波アクチュエータ２は、アクチュエータ本体４の短手方向がステージ１１の裏面に直交すると共に、アクチュエータ本体４の長手方向がステージ１１の裏面と平行で且つステージ１１の可動方向と平行になるように配置される。さらに換言すれば、超音波アクチュエータ２は、アクチュエータ本体４の屈曲振動の振動方向がステージ１１の裏面と直交すると共に、アクチュエータ本体４の縦振動の振動方向がステージ１１の可動方向を向くように配置される。
【００２３】
このとき、前記付勢ゴム３５が圧縮変形している。この付勢ゴム３５の弾性力によって駆動子４９，４９がステージ１１に付勢されている。超音波アクチュエータ２のステージ１１への付勢力は、付勢ゴム３５の弾性力によって決まる。
【００２４】
前記制御装置１０は、外部からの動作指令を受けて、その動作指令に応じた周波数の交流電圧を動作指令に応じた位相差でアクチュエータ本体４に印加する。制御装置１０は、フレキシブルプリント基板９を介して超音波アクチュエータ２に接続されている。つまり、制御装置１０は、アクチュエータ本体４に縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させて、駆動子４９，４９を周回運動させることで、ステージ１１を移動させる。
【００２５】
続いて、アクチュエータ本体４の構成について、図３，４を参照しながら、さらに詳しく説明する。図３は、アクチュエータ本体４の分解斜視図であり、図４は、圧電体層の形状を説明するための圧電体層の主面を表す説明図である。
【００２６】
アクチュエータ本体４は、図３に示すように、複数の圧電体層４１，４１，…と複数の内部電極層５，…，６，…とを交互に積層して構成される。このアクチュエータ本体４が積層体を構成する。
【００２７】
前記各圧電体層４１は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛、ジルコニア、アルミナ、窒化珪素等のセラミック材料からなる絶縁体層である。圧電体層４１は、前記アクチュエータ本体４と同様に、一対の主面４１ａ，４１ｂと、一対の長辺側面４１ｃ，４１ｄと、一対の短辺側面４１ｅ，４１ｆとを有する略直方体状をしている。主面４１ａ，４１ｂ、長辺側面４１ｃ，４１ｄ及び短辺側面４１ｅ，４１ｆのうち、主面４１ａ，４１ｂが最大の面積を有している。これら長辺側面４１ｃ，４１ｄ及び短辺側面４１ｅ，４１ｆが、主面の周縁に形成された側面を構成する。圧電体層４１は、一対の主面４１ａ，４１ｂが対向する方向（即ち、厚み方向）に分極されている。
【００２８】
各圧電体層４１の側面には、複数の側面電極が形成されている。詳しくは、一方の長辺側面４１ｃには、アクチュエータ本体４の長手方向一端部に第１側面電極７１ａが、長手方向中央部に第３側面電極７３ａが、長手方向他端部に第２側面電極７２ａが形成されている。他方の長辺側面４１ｄには、アクチュエータ本体４の長手方向一端部に第２側面電極７２ｂが、長手方向中央部に第３側面電極７３ｂが、長手方向他端部に第１側面電極７１ｂが形成されている。一方の短辺側面４１ｅには、アクチュエータ本体４の短手方向一端部に第１側面電極７１ｃが形成されている。他方の短辺側面４１ｆには、アクチュエータ本体４の短手方向一端部に第２側面電極７２ｃが形成されている。これら側面電極７１ａ〜７３ｂは、金や銀やパラジウムなどの金属を焼き付けや溶射、スパッタなどの方法で圧電体層４１の側面に形成されている。
【００２９】
内部電極層５，…，６，…は、積層方向に圧電体層４１を挟んで交互に配された、プラス電極層５とマイナス電極層６とで構成される。換言すれば、プラス電極層５及びマイナス電極層６はそれぞれ、圧電体層４１，４１で挟持されている。これらプラス電極層５及びマイナス電極層６のそれぞれは、例えば、銀、パラジウム等を主成分とする金属からなる電極層である。プラス電極層５とマイナス電極層６とは、互いに絶縁されて導通されていない。これらプラス電極層５とマイナス電極層６が内部電極を構成する。
【００３０】
また、プラス電極層５及びマイナス電極層６のそれぞれは、各圧電体層４１の主面４１ａ上に印刷されている。そして、プラス電極層５が印刷された圧電体層４１とマイナス電極層６が印刷された圧電体層４１とを、電極層が印刷された面を一方向に向けて（図３であれば、上方に向けて）交互に積層させることによって、プラス電極層５とマイナス電極層６とが圧電体層４１を挟んで交互に配された構成となる。かかる構成では、各圧電体層４１は、一方の主面４１ａ（４１ｂ）にプラス電極層５が位置し、他方の主面４１ｂ（４１ａ）にマイナス電極層６が位置する。こうして、圧電体層４１は、積層方向において、プラス電極層５とマイナス電極層６とで挟持された状態となる。ただし、隣り合う圧電体層４１，４１では、積層方向におけるプラス電極層５とマイナス電極層６との位置が反対になっている。具体的には、図３の示すように、上から２番目の圧電体層４１では、上側の主面４１ａにプラス電極層５が位置する一方、下側の主面４１ｂにマイナス電極層６が位置する。それに対して、該圧電体層４１に隣り合う、上から３番目の圧電体層４１では、上側の主面４１ａにマイナス電極層６が位置する一方、下側の主面４１ｂにプラス電極層５が位置する。ここで、各圧電体層４１は、プラス電極層５からマイナス電極層６の方向へ分極されている。換言すれば、圧電体層４１の分極方向に対して順方向に電圧を印加するときにプラス側、即ち、陽極となる電極層がプラス電極層５であり、マイナス側、即ち、陰極となる電極層がマイナス電極層６である。
【００３１】
アクチュエータ本体４の最外層には、プラス電極層５やマイナス電極層６が露出しないように構成されている。つまり、アクチュエータ本体４の最外層の圧電体層４１と、それと隣り合う圧電体層４１との間には、プラス電極層５又はマイナス電極層６が設けられているが、最外層の圧電体層４１の外側を向く主面４１ａ（４１ｂ）には、プラス電極層５もマイナス電極層６も設けられていない。例えば、図３に示すように、アクチュエータ本体４の上側の最外層には、１つ内側の圧電体層４１のプラス電極層５を覆うようにして、プラス及びマイナス電極層５，６が形成されていない圧電体層４１が設けられている。一方、下側の最外層には、マイナス電極層６が形成された圧電体層４１が設けられており、プラス及びマイナス電極層５，６が形成されていない圧電体層４１が別途設けられているわけではない。このマイナス電極層６は、最外層の圧電体層４１の主面４１ａ，４１ｂのうち、１つ内側の圧電体層４１と対向する側の主面４１ａに設けられているため、マイナス電極層６は外部に露出していない。したがって、下側の最外層の圧電体層４１は、マイナス電極層６が設けられた圧電体層４１で構成されている。
【００３２】
前記プラス電極層５は、図４に示すように、圧電体層４１の主面４１ａをその長手方向Ｌ及び短手方向Ｓにそれぞれ２等分してなる４つの領域Ａ１〜Ａ４のうち一方の対角線方向に並ぶ第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと、他方の対角線方向に並ぶ第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄとを有している。これら第１分割電極５１Ａ，５１Ｃが第１電極を構成し、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄが第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと異なるパターンで配置された第２電極を構成する。各分割電極は、略長方形状をしている。また、プラス電極層５は、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃが接続電極５１Ｅにより接続され且つ第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄが独立に配置された第１パターンのプラス電極層５Ｘと、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄが接続電極５２Ｅにより接続され且つ、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃが独立に配置された第２パターンのプラス電極層５Ｙとを含んでいる。以下、第１パターンと第２パターンとを区別しないときには、単に「プラス電極層５」と称する。
【００３３】
また、分割電極５１Ａ〜５２Ｄにはそれぞれ、圧電体層４１の周縁、即ち、側面まで延びる引出電極５１ａ〜５２ｃが設けられている。
【００３４】
具体的には、第１分割電極５１Ａには、圧電体層４１の長辺側面４１ｃに近接する長辺から該長辺側面４１ｃの第１側面電極７１ａまで延びる引出電極５１ａと、圧電体層４１の短辺側面４１ｅに近接する短辺から該短辺側面４１ｅの第１側面電極７１ｃまで延びる引出電極５１ｃとが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ａは、引出電極５１ａを介して第１側面電極７１ａに接続されていると共に、引出電極５１ｃを介して第１側面電極７１ｃに接続されている。また、第１分割電極５１Ｃには、圧電体層４１の長辺側面４１ｄに近接する長辺から該長辺側面４１ｄの第１側面電極７１ｂまで延びる引出電極５１ｂが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ｃは、引出電極５１ｂを介して第１側面電極７１ｂに接続されている。
【００３５】
また、第２分割電極５２Ｂには、圧電体層４１の長辺側面４１ｃに近接する長辺から該長辺側面４１ｃの第２側面電極７２ａまで延びる引出電極５２ａと、圧電体層４１の短辺側面４１ｆに近接する短辺から該短辺側面４１ｆの第２側面電極７２ｃまで延びる引出電極５２ｃとが設けられている。すなわち、第２分割電極５２Ｂは、引出電極５２ａを介して第２側面電極７２ａに接続されていると共に、引出電極５２ｃを介して第２側面電極７２ｃに接続されている。また、第２分割電極５２Ｄには、圧電体層４１の長辺側面４１ｄに近接する長辺から該長辺側面４１ｄの第２側面電極７２ｂまで延びる引出電極５２ｂが設けられている。すなわち、第２分割電極５２Ｄは、引出電極５２ｂを介して第２側面電極７２ｂに接続されている。
【００３６】
前記マイナス電極層６は、圧電体層４１の主面４１ａの略全面に亘って形成され、長方形状をしている。このマイナス電極層６が対向電極を構成する。また、マイナス電極層６は、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと圧電体層４１を挟んで対向する第１対向電極を構成すると共に、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄと圧電体層４１を挟んで対向する第２対向電極も構成する。マイナス電極層６は、積層方向を向いて見たときに、第１及び第２分割電極５１Ａ〜５２Ｄと重なるものの、引出電極５１ａ〜５２ｃとは重ならないように、主面４１ａの周縁部には設けられていない。マイナス電極層６には、一方の長辺の中央部から圧電体層４１の長辺側面４１ｃの第３側面電極７３ａまで延びる引出電極６ａと、他方の長辺の中央部から圧電体層４１の長辺側面４１ｄの第３側面電極７３ｂまで延びる引出電極６ｂとが設けられている。すなわち、マイナス電極層６は、引出電極６ａを介して第３側面電極７３ａに接続されていると共に，引出電極６ｂを介して第３側面電極７３ｂに接続されている。
【００３７】
前記プラス電極層５の引出電極５１ａ〜５２ｃは、積層方向において、マイナス電極層６及びマイナス電極層６の引出電極６ａ，６ｂとは重なっていない。このため、圧電体層４１の、引出電極５１ａ〜５２ｃや引出電極６ａ，６ｂに対応する部分は、圧電体層４１の厚み方向への電界が生じず、圧電的に不活性な部分となる。
【００３８】
このように構成された圧電体層４１，４１，…を積層させると、圧電体層４１の側面に形成された第１〜第３側面電極７１ａ〜７３ｂが積層方向に繋がり、圧電体層４１，４１，…の積層体、即ち、アクチュエータ本体４の側面には、一体的に繋がった第１〜第３側面電極７１Ａ〜７３Ｂが形成される。詳しくは、図２に示すように、アクチュエータ本体４の長辺側面４Ｃには、複数の第１側面電極７１ａ，７１ａ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ａ、複数の第３側面電極７３ａ，７３ａ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ａ、及び複数の第２側面電極７２ａ，７２ａ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ａが形成される。アクチュエータ本体４の長辺側面４Ｄには、複数の第２側面電極７２ｂ，７２ｂ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｂ、複数の第３側面電極７３ｂ，７３ｂ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ｂ、及び複数の第１側面電極７１ｂ，７１ｂ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｂが形成される。アクチュエータ本体４の短辺側面４Ｅには、複数の第１側面電極７１ｃ，７１ｃ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｃが形成される。アクチュエータ本体４の短辺側面４Ｆには、複数の第２側面電極７２ｃ，７２ｃ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｃが形成される。
【００３９】
その結果、異なる圧電体層４１，４１，…に設けられた第１分割電極５１Ａ，５１Ａ，…は、第１側面電極７１Ａ及び第１側面電極７１Ｃを介して互いに導通している。また、異なる圧電体層４１，４１，…に設けられた第１分割電極５１Ｃ，５１Ｃ，…は、第１側面電極７１Ｂを介して互いに導通している。さらに、第１パターンのプラス電極層５Ｘにおいては、第１分割電極５１Ａと第１分割電極５１Ｃとが、接続電極５１Ｅを介して互いに導通している。つまり、第２パターンのプラス電極層５Ｙにおける第１分割電極５１Ａと第１分割電極５１Ｃとは、第１側面電極７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ及び第１パターンのプラス電極層５Ｘを介して、互いに導通している。
【００４０】
同様に、異なる圧電体層４１，４１，…に設けられた第２分割電極５２Ｂ，５２Ｂ，…は、第２側面電極７２Ａ及び第２側面電極７２Ｃを介して互いに導通している。また、異なる圧電体層４１，４１，…に設けられた第２分割電極５２Ｄ，５２Ｄ，…は、第２側面電極７２Ｂを介して互いに導通している。さらに、第２パターンのプラス電極層５Ｙにおいては、第２分割電極５２Ｂと第２分割電極５２Ｄとが、接続電極５２Ｅを介して互いに導通している。つまり、第１パターンのプラス電極層５Ｘにおける第２分割電極５２Ｂと第２分割電極５２Ｄとは、第２側面電極７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃ及び第２パターンのプラス電極層５Ｙを介して、互いに導通している。
【００４１】
さらに、異なる圧電体層４１，４１，…の主面４１ａ，４１ａ，…に設けられたマイナス電極層６，６，…は、第３側面電極７３Ａ及び第３側面電極７３Ｂを介して互いに導通している。
【００４２】
そして、アクチュエータ本体４の最外層の圧電体層４１の外側に露出する主面４１ａ（即ち、アクチュエータ本体４の主面４Ａ）には、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃに給電するための第１外部電極８１と、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄに給電するための第２外部電極８２と、マイナス電極層６に給電するための第３外部電極８３とが形成されている。これら第１〜第３外部電極８１〜８３は、金や銀やパラジウムなどの金属を焼き付けや溶射、スパッタなどの方法で圧電体層４１の主面４１ａに形成されている。第１〜第３外部電極８１〜８３は、アクチュエータ本体４の主面４Ａの重心を通って短手方向に延びる直線に対して線対称に配置されている。
【００４３】
第１外部電極８１は、図２に示すように、アクチュエータ本体４の主面４Ａの一の隅部（即ち、角部）においてＬ字状に形成されている。第１外部電極８１の一端は、長辺側面４Ｃの第１側面電極７１Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第１側面電極７１Ｃに接続されている。詳しくは、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｃとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第１外部電極８１及び第１側面電極７１Ａ，７１Ｃは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第１外部電極８１は、２つの第１側面電極７１Ａ，７１Ｃを介して第１分割電極５１Ａ，…，５１Ｃ，…と導通している。
【００４４】
第２外部電極８２は、アクチュエータ本体４の、第１外部電極８１の位置とは別の隅部（長手方向の反対側の隅部）においてＬ字状に形成されている。第２外部電極８２の一端は、長辺側面４Ｃの第２側面電極７２Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第２側面電極７２Ｃに接続されている。詳しくは、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ａとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｃとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第２外部電極８２及び第２側面電極７２Ａ，７２Ｃは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第２外部電極８２は、２つの第２側面電極７２Ａ，７２Ｃを介して第２分割電極５２Ｂ，…，５２Ｄ，…と導通している。
【００４５】
第３外部電極８３は、アクチュエータ本体４の主面４Ａの長手方向中央において短手方向に延びる直線状に形成されている。第３外部電極８３の一端は、長辺側面４Ｃの第３側面電極７３Ａに接続される一方、他端は、長辺側面４Ｄの第３側面電極７３Ｂに接続されている。詳しくは、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｂとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。このように接続された第３外部電極８３及び第３側面電極７３Ａ，７３Ｂは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｄに跨って形成されている。こうして、第３外部電極８３は、２つの第３側面電極７３Ａ，７３Ｂを介してマイナス電極層６，６，…と導通している。
【００４６】
このように構成されたアクチュエータ本体４においては、第１〜第３外部電極８１〜８３が外表面に露出している。これら第１〜第３外部電極８１〜８３を給電端子として、アクチュエータ本体４に給電が行われる。詳しくは、図１に示すように、アクチュエータ本体４の主面４Ａにおいて、第１〜第３外部電極８１〜８３にフレキシブルプリント基板９が接続されている。このフレキシブルプリント基板９が給電線を構成する。フレキシブルプリント基板９は、３本の導線部９１〜９３を有している。各導線部９１〜９３の端子部９１ａ〜９３ａがそれぞれ、第１〜第３外部電極８１〜８３にＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）を介して接続されている。ここで、第１〜第３外部電極８１〜８３とフレキシブルプリント基板９の端子部９１ａ〜９３ａとの接続部は、アクチュエータ本体４の屈曲振動のノード部に位置している。また、第３外部電極８３とフレキシブルプリント基板９の端子部９３ａとの接続部の位置は、アクチュエータ本体４の伸縮振動のノード部の位置でもある。このフレキシブルプリント基板９は、制御装置１０にも接続されている。つまり、制御装置１０は、フレキシブルプリント基板９を介してアクチュエータ本体４に給電する。
【００４７】
次に、制御装置１０の構成及びアクチュエータ本体４の動作について、図５〜８を参照しながら、説明する。図５は、制御装置１０の一部を構成するハーフブリッジ回路の回路図であり、図６は、アクチュエータ本体の１次モードの伸縮振動の変位図であり、図７は、アクチュエータ本体の２次モードの屈曲振動の変位図であり、図８は、アクチュエータ本体の１次モードの伸縮振動と２次モードの屈曲振動との合成振動の変位図である。
【００４８】
制御装置１０は、４つのスイッチ１２，１２，…と２つのコイル１３，１３とを有し、２つのハーフブリッジを構成している。ハーフブリッジは、電源電圧と同じ電圧値の矩形波の電圧を出力する。圧電体層４１は、コイル１３，１３とハーフブリッジとの間に接続されている。圧電体層４１の容量とコイル１３のインダクタンスによりローパスフィルタが形成され、圧電体層４１には、正弦波の駆動電圧が印加される。コイル１３のインダクタンスと圧電体層４１の容量によるローパスフィルタのカットオフ周波数は、超音波アクチュエータ２の駆動周波数より高いことが好ましい。
【００４９】
制御装置１０は、ＣＰＵ（図示省略）を有しており、ＣＰＵによりスイッチ１２，１２，…をスイッチングすることによって、２つのハーフブリッジと２つのコイル１３，１３とにより、２相の正弦波の駆動電圧を圧電体層４１に印加する。具体的には、制御装置１０は、第１のハーフブリッジと第１のコイル１３により正弦波の第１駆動電圧を発生し、これを圧電体層４１の第１分割電極５１Ａ，５１Ｃとマイナス電極層６との間に印加する一方、第２のハーフブリッジと第２のコイル１３により第２駆動電圧を発生し、これを圧電体層４１の第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄとマイナス電極層６との間に印加する。尚、ここでは、第１及び第２駆動電圧を発生する２ｃｈのハーフブリッジで説明したが、２ｃｈのフルブリッジやアンプ構成で電源回路を実現してもよい。ただし、フルブリッジ回路を適用する場合には、マイナス電極層６を第１分割電極５１Ａ，５１Ｃに対向するマイナス電極層と、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄに対向するマイナス電極層とに分割する必要がある。
【００５０】
制御装置１０は、第１及び第２交流電圧の電圧値、周波数、位相を調節することによって、アクチュエータ本体４に種々の振動を誘起させる。制御装置１０は、ハーフブリッジのゲート信号を変更することによって、第１駆動電圧及び第２駆動電圧の周波数を所定の範囲内で変更したり、第１駆動電圧と第２駆動電圧との位相差を変更したりすることができる。例えば、制御装置１０が、略同じ電圧値、周波数の第１及び第２交流電圧を同位相でアクチュエータ本体４に印加すると、アクチュエータ本体４には図６に示す１次モードの伸縮振動が誘起される。一方、制御装置１０が、略同じ電圧値、周波数の第１及び第２交流電圧を１８０°の位相差でアクチュエータ本体４に印加すると、アクチュエータ本体４には図７に示す２次モードの屈曲振動が誘起される。
【００５１】
ところで、アクチュエータ本体４の伸縮振動の共振周波数及び屈曲振動の共振周波数は、それぞれ、アクチュエータ本体４の材料や形状等により決定される。本実施形態では、アクチュエータ本体４の材料や形状等は、１次モードの伸縮振動の共振周波数及び２次モードの屈曲振動の共振周波数が略一致するように決定されている。
【００５２】
ここで、制御装置１０が、略同じ電圧値で、１次モードの伸縮振動の共振周波数及び２次モードの屈曲振動の共振周波数と略同じ周波数の第１及び第２交流電圧を９０°又は−９０°の位相差でアクチュエータ本体４に印加すると、アクチュエータ本体４には１次モードの伸縮振動と２次モードの屈曲振動とが調和的に誘起される。その結果、アクチュエータ本体４の形状が、図８（Ａ）〜（Ｄ）に示すような順で変化すし、アクチュエータ本体４に設けられた駆動子４９，４９が、図８の紙面に直交する方向を向いて見て周回運動、具体的には、略楕円運動する。つまり、アクチュエータ本体４の伸縮振動及び屈曲振動の合成振動により駆動子４９，４９が略楕円運動する。この楕円運動により駆動子４９，４９が当接しているステージ１１は、アクチュエータ本体４に対して相対的に、図１に示す矢印Ａ又は矢印Ｂの方向に移動する。つまり、アクチュエータ本体４は、長手方向へ駆動力を出力する。この長手方向が駆動方向に相当する。尚、アクチュエータ本体４の異常発熱を防止すべく、アクチュエータ本体４の縦振動と屈曲振動との共通の共振周波数よりも少し高い周波数の交流電圧を印加するようにしてもよい。
【００５３】
尚、ステージ１１の移動量、移動速度及び移動加速度は、給電する交流電圧の電圧値、周波数及び給電時間の少なくとも１つを調整する、又は給電する各交流電圧の位相のずれを変更する等によって調整することができる。
【００５４】
ここで、伸縮振動の振動方向は、アクチュエータ本体４の主面の長手方向、つまり、ステージ１１の移動方向であり、屈曲振動の振動方向は、駆動子４９，４９がステージ１１を押圧する方向である。アクチュエータ本体４の積層方向は、伸縮振動の伸縮方向及び屈曲振動の振動方向の両方と垂直な方向である。
【００５５】
このように超音波アクチュエータ２は、駆動子４９，４９を縦振動の振動方向（長手方向）と屈曲振動の振動方向（短手方向）とを含む平面内で周回運動させて、駆動子４９，４９とステージ１１との間の摩擦力の増大と緩和とを繰り返しながら、該ステージ１１を駆動している。
【００５６】
ここで、本実施形態では、給電電極となる第１〜第３外部電極８１〜８３がアクチュエータ本体４の主面４Ａに配置されている。こうすることで、１つのフレキシブルプリント基板９によって第１〜第３外部電極８１〜８３に給電することができる。その結果、配線の取り回しを簡素化できると共に組立性を向上させることができる。
【００５７】
このように第１〜第３外部電極８１〜８３をアクチュエータ本体４の主面４Ａに配置する構成においては、第１〜第３外部電極８１〜８３と内部電極層５，…，６，…とを導通させるために、アクチュエータ本体４の側面に側面電極７１Ａ〜７３Ｂを形成して、対応する第１〜第３外部電極８１〜８３と内部電極層５，…，６，…とを該側面電極を介して接続している。かかる構成においては、アクチュエータ本体４の主面４Ａに形成された第１〜第３外部電極８１〜８３とアクチュエータ本体４の側面に形成された側面電極７１Ａ〜７３Ｂとは、該主面４Ａと側面４Ｃ〜４Ｆとで形成される稜線部４０ｃ〜４０ｆにおいて接続される。この稜線部は、外部からの衝撃等によって欠け易い部分である。特に、圧電体層４１がセラミック材料で構成されている場合には、セラミック材料は脆弱材料であるため、稜線部がより欠け易くなる。稜線部の欠損に伴って、外部電極と側面電極との接続部が欠損すると、外部電極と側面電極とが断線してしまう。外部電極と側面電極との接続部が部分的に欠損した場合であっても、外部電極と側面電極との導通抵抗が増大してしまう。さらに、圧電体層４１を構成するセラミック材料等の熱膨張係数（数ｐｐｍ／℃）と、外部電極及び側面電極を構成する金属等の熱膨張係数（数十ｐｐｍ／℃）とは数倍異なるため、圧電体層４１と外部電極及び側面電極との間で大きな熱応力が発生する。この熱応力は、稜線部に集中する。つまり、この熱応力によっても、稜線部の欠損が生じる虞がある。このように、外部電極と側面電極とを稜線部において接続する構成においては、超音波アクチュエータ２の信頼性がどうしても低くなってしまう。
【００５８】
それに対して、本実施形態では、同電位となる外部電極と内部電極層とを２つの側面電極で接続している。詳しくは、同電位となる第１外部電極８１と第１分割電極５１Ａ，５１Ｃとは、２つの第１側面電極７１Ａ，７１Ｃを介して接続されている。第１側面電極７１ａはアクチュエータ本体４の長辺稜線部４０ｃにおいて、第１側面電極７１ｃはアクチュエータ本体４の短辺稜線部４０ｅにおいて、それぞれ第１外部電極８１に接続されている。こうすることによって、長辺稜線部４０ｃ又は短辺稜線部４０ｅの欠損により、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａとの接続部及び第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｃとの接続部の何れか一方が欠けたとしても、他方の接続部は存続しているため、第１外部電極８１と第１分割電極５１Ａ，５１Ｃとの導通を維持することができる。
【００５９】
また、同電位となる第２外部電極８２と第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄとは、２つの第２側面電極７２Ａ，７２Ｃを介して接続されている。このように、第２外部電極８２も、アクチュエータ本体４の長辺稜線部４０ｃ及び短辺稜線部４０ｆの２つの稜線部において、それぞれ第２側面電極７２Ａ，７２Ｃと接続されている。こうすることによって、長辺稜線部４０ｃ又は短辺稜線部４０ｆの欠落によって、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ａとの接続部及び第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｃとの接続部の何れか一方が欠けたとしても、他方の接続部は存続しているため、第２外部電極８２と第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄとの導通を維持することができる。
【００６０】
さらに、同電位となる第３外部電極８３とマイナス電極層６とは、２つの第３側面電極７３Ａ，７３Ｂを介して接続されている。このように、第３外部電極８３も、アクチュエータ本体４の長辺稜線部４０ｃ及び長辺稜線部４０ｄの２つの稜線部において、それぞれ第３側面電極７３Ａ，７３Ｂと接続されている。こうすることによって、長辺稜線部４０ｃ又は長辺稜線部４０ｄの欠落によって、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａとの接続部及び第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｂとの接続部の何れか一方が欠けたとしても、他方の接続部は存続しているため、第３外部電極８３とマイナス電極層６との導通を維持することができる。また、第３外部電極８３と各第３側面電極７３Ａ，７３Ｂとの接続部の稜線部に沿った長さ（以下、単に接続部の長さという）は、第１外部電極８１と各第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとの接続部の長さ、及び第２外部電極８２と各第２側面電極７２Ａ，７２Ｃとの接続部の長さよりも長くなっている。
【００６１】
したがって、本実施形態によれば、アクチュエータ本体４の稜線部４０ｃ〜４０ｆにおいて接続される側面電極７１Ａ〜７３Ｂを外部電極８１〜８３ごとに複数設けることによって、外部電極８１〜８３と側面電極７１Ａ〜７３Ｂとの接続部の１つで欠損が生じたとしても、別の接続部で導通が維持されるため、超音波アクチュエータ２の信頼性を向上させることができる。
【００６２】
また、第１外部電極８１に設けられた複数の第１側面電極７１Ａ，７１Ｃは、長辺稜線部４０ｃと短辺稜線部４０ｅとの異なる稜線部において第１外部電極８１に接続されているため、１つの稜線部が欠損したとしても、第１側面電極７１Ａ，７１Ｃの何れか一方と第１外部電極８１との接続部は残存するため、第１外部電極８１と第１分割電極５１Ａ，５１Ｃとの導通を維持することができる。すなわち、仮に、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとを同じ稜線部において接続していると、該稜線部が広い範囲で欠損した場合には、第１外部電極８１と全ての第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとの接続部も欠損してしまう虞がある。それに対して、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとの接続部を異なる稜線部に設けることによって、接続部の欠損の危険性を分散することができる。その結果、超音波アクチュエータ２の信頼性を向上させることができる。
【００６３】
同様に、第２外部電極８２に設けられた複数の第２側面電極７２Ａ，７２Ｃは、長辺稜線部４０ｃと短辺稜線部４０ｆとの異なる稜線部において第２外部電極８２に接続されているため、１つの接続部が欠損したとしても、第２側面電極７２Ａ，７２Ｃの何れか一方と第２外部電極８２との接続部は残存するため、第２外部電極８２と第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄとの導通を維持することができる。
【００６４】
さらに、第３外部電極８３に設けられた複数の第３側面電極７３Ａ，７３Ｂは、長辺稜線部４０ｃと長辺稜線部４０ｄとの異なる稜線部において第３外部電極８３に接続されているため、１つの接続部が欠損したとしても、第３側面電極７３Ａ，７３Ｂの何れか一方と第３外部電極８３との接続部は残存するため、第３外部電極８３とマイナス電極層６との導通を維持することができる。
【００６５】
さらに、第１外部電極８１を、長辺稜線部４０ｃと短辺稜線部４０ｅとの、互いに平行でない２つの稜線部において第１側面電極７１Ａ，７１Ｃと接続することによって、超音波アクチュエータ２の信頼性をさらに向上させることができる。すなわち、アクチュエータ本体４を製造工程等において機械等で搬送するときには、アクチュエータ本体４はチャック等によって両側から挟持される。このような保持部材によってアクチュエータ本体４が挟持されるときには、保持部材と当接する稜線部が欠損する虞がある。そして、アクチュエータ本体４の平行な稜線部は保持部材により共に挟持される可能性が高く、そのため、平行な稜線部は一度に欠損する虞がある。また、アクチュエータ本体４が製造工程等において搬送されるときには、保持部材によって挟持されたり、搬送台等に載置されたりして、一定の姿勢のまま移動することがよくある。つまり、平行な稜線部は全て進行方向に対して同じ姿勢となるため、外部の障害物に接触する危険性が全ての平行な稜線部で同じになってしまう。よって、このような場合にも、平行な稜線部が一度に欠損する虞がある。さらに、外部電極等を圧電体層４１に印刷する際には、例えば、圧電体層４１にマスク処理を施し、外部電極となる溶融材料を圧電体層４１に対して一定の方向に塗布していく。そのため、平行な稜線部では、溶融材料の塗布状態（例えば、厚さ等）が同じ様になってしまう。例えば、圧電体層４１の主面４１ａに対して溶融材料を長手方向に塗布する場合には、一対の長辺稜線部４０ｃ，４０ｄでは同じ様な塗布状態となる可能性が高いが、長辺稜線部４０ｃ（４０ｄ）と短辺稜線部４０ｅ（４０ｆ）とでは、塗布方向に対する稜線部の延びる方向が異なるため塗布状態が異なる可能性が高い。したがって、場合によっては、全ての接続部が均一に薄くなる、即ち、均一に欠損しやすくなる虞がある。それに対して、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとの接続部を、互いに平行でない２つの稜線部（即ち、長辺稜線部４０ｃと短辺稜線部４０ｅ）に設けることによって、全ての接続部が一度に欠損してしまうことを防止することができると共に、全ての接続部が均一に薄く形成されることを防止することができる。
【００６６】
同様に、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ａ，７２Ｃとの接続部を、長辺稜線部４０ｃと短辺稜線部４０ｆとの、互いに平行でない２つの稜線部に設けることによって、全ての稜線部が一度に欠損してしまうことを防止することができると共に、全ての接続部が均一に薄く形成されることを防止することができる。
【００６７】
さらに、第１〜第３外部電極８１〜８３をアクチュエータ本体４の主面４Ａにおいて、主面４Ａの重心を通って短手方向に延びる直線に対して線対称に配置することによって、アクチュエータ本体４の振動の対称性を確保することができる。それにより、超音波アクチュエータ２から出力される駆動力を安定化させると共に、駆動方向の両側に対して均一に駆動力を出力することができる。
【００６８】
さらにまた、第１〜第３外部電極８１〜８３とフレキシブルプリント基板９との接続部を屈曲振動のノード部近傍に配置することによって、第１〜第３外部電極８１〜８３とフレキシブルプリント基板９との接続部がアクチュエータ本体４の振動を阻害してしまうことを抑制することができる。さらに、第３外部電極８３とフレキシブルプリント基板９との接続部を屈曲振動及び伸縮振動のノード部近傍に配置することによって、アクチュエータ本体４の振動を阻害してしまうことをより一層、抑制することができる。
【００６９】
また、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａ，７３Ｂとの接続部の長さを、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとの接続部の長さ、及び第２外部電極８２と第２側面電極７２Ａ，７２Ｃとの接続部の長さよりも長くすることによって、電力の損失を低減することができる。つまり、本実施形態では、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄに対する対向電極をマイナス電極層６で共通化している。そのため、マイナス電極層６には、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃや第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄと比較して大きな電流が流れる。そこで、より大きな電流が流れる、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａ，７３Ｂとの接続部の長さを長くすることによって、導通抵抗を低減して、電力の損失を低減することができる。
【００７０】
さらに、アクチュエータ本体４の主面４Ａは駆動力を出力する駆動方向である長手方向と平行であるため、第１〜第３外部電極８１〜８３を主面４Ａに設けることによって、第１〜第３外部電極８１〜８３に接続したフレキシブルプリント基板９を駆動方向に沿って延設することができる。こうして、第１〜第３外部電極８１〜８３に接続するフレキシブルプリント基板９を、該第１〜第３外部電極８１〜８３から、駆動力の出力方向である長手方向に沿って延設することによって、フレキシブルプリント基板９の取り回しを簡略にすることができる。つまり、本実施形態では、ステージ１１が駆動方向へ移動するため、フレキシブルプリント基板９をアクチュエータ本体４から、該駆動方向に直交する短手方向や厚み方向に引き延ばすと、フレキシブルプリント基板９がステージ１１やステージ１１と共に移動する物体に干渉する虞がある。それに対して、フレキシブルプリント基板９を駆動方向に沿って延設すると、フレキシブルプリント基板９とステージ１１及びステージ１１と共に移動する物体との干渉を防止することができる。また、ステージ１１が固定されており、超音波アクチュエータ２が取り付けられている物体がステージ１１に対して移動する構成（即ち、自走式の構成）においては、駆動方向には超音波アクチュエータ２が移動するためのスペースが確保されている。フレキシブルプリント基板９を駆動方向に沿って延設することによって、このスペースを利用してフレキシブルプリント基板９を延設することができる。その結果、フレキシブルプリント基板９がステージ１１等の固定体に干渉することを防止することができる。
【００７１】
＜変形例１＞
続いて、前記実施形態の変形例１について説明する。変形例１に係る超音波アクチュエータは、アクチュエータ本体１０４の内部電極１０５，１０６の構成が前記アクチュエータ本体４の内部電極層５，６の構成と異なる。
【００７２】
アクチュエータ本体１０４では、図９に示すように、圧電体層４１の主面４１ａの領域Ａ３，Ａ４（図４参照）にだけ電極が設けられている。すなわち、アクチュエータ本体１０４のプラス電極層１０５は、圧電体層４１の主面４１ａをその長手方向Ｌ及び短手方向Ｓにそれぞれ２等分してなる４つの領域Ａ１〜Ａ４のうちの領域Ａ３に設けられた第１分割電極５１Ｃと、領域Ａ３に対して長手方向に隣り合う領域Ａ４に設けられた第２分割電極５２Ｄとを含んでいる。そして、アクチュエータ本体１０４のマイナス電極層１０６は、第１及び第２分割電極５１Ｃ，５２Ｄに対する共通電極ではなく、第１分割電極５１Ｃと圧電体層４１を挟んで対向する第１対向分割電極６１Ｃと、第２分割電極５２Ｄと圧電体層４１を挟んで対向する第２対向分割電極６２Ｄとを含んでいる。これらプラス電極層１０５及びマイナス電極層１０６が内部電極を構成し、第１分割電極５１Ｃが第１電極を、第２分割電極５２Ｄが第１分割電極５１Ｃと異なるパターンで配置された第２電極を構成し、第１対向分割電極６１Ｃが第１対向電極を、第２対向分割電極６２Ｄが第２対向電極を構成する。
【００７３】
また、圧電体層４１の長辺側面４１ｄには、長手方向一端部に第２側面電極７２ｂが、長手方向他端部に第１側面電極７１ｂが、長手方向中央よりも第２側面電極７２ｂ寄りの位置に第４側面電極７４ｂが、長手方向中央よりも第１側面電極７１ｂ寄りの位置に第３側面電極７３ｂが設けられている。圧電体層４１の一方の短辺側面４１ｅには、短手方向一端部に第４側面電極７４ｃが、短手方向他端部に第２側面電極７２ｃが設けられている。圧電体層４１の他方の短辺側面４１ｆには、短手方向一端部に第３側面電極７３ｃが、短手方向他端部に第１側面電極７１ｃが設けられている。
【００７４】
そして、第１分割電極５１Ｃには、長辺側面４１ｄの第１側面電極７１ｂまで延びる引出電極５１ｂと、短辺側面４１ｆの第１側面電極７１ｃまで延びる引出電極５１ｃとが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ｃは、引出電極５１ｂを介して第１側面電極７１ｂに接続されていると共に、引出電極５１ｃを介して第１側面電極７１ｃに接続されている。また、第２分割電極５２Ｄには、長辺側面４１ｄの第２側面電極７２ｂまで延びる引出電極５２ｂと、短辺側面４１ｅの第２側面電極７２ｃまで延びる引出電極５２ｃとが設けられている。すなわち、第２分割電極５２Ｄは、引出電極５２ｂを介して第２側面電極７２ｂと接続されていると共に、引出電極５２ｃを介して第２側面電極７２ｃに接続されている。さらに、第１対向分割電極６１Ｃには、長辺側面４１ｄの第３側面電極７３ｂまで延びる引出電極６１ｂと、短辺側面４１ｆの第３側面電極７３ｃまで延びる引出電極６１ｃとが設けられている。すなわち、第１対向分割電極６１Ｃは、引出電極６１ｂを介して第３側面電極７３ｂに接続されていると共に、引出電極６１ｃを介して第３側面電極７３ｃに接続されている。さらにまた、第２対向分割電極６２Ｄには、長辺側面４１ｄの第４側面電極７４ｂまで延びる引出電極６２ｂと、短辺側面４１ｅの第４側面電極７４ｃまで延びる引出電極６２ｃとが設けられている。すなわち、第２対向分割電極６２Ｄは、引出電極６２ｂを介して第４側面電極７４ｂに接続されていると共に、引出電極６２ｃを介して第４側面電極７４ｃに接続されている。
【００７５】
このように構成された圧電体層４１，４１，…を積層させると、圧電体層４１の側面に形成された第１〜第４側面電極７１ｂ〜７４ｃが積層方向に繋がり、圧電体層４１，４１，…の積層体、即ち、アクチュエータ本体１０４の側面には、一体的に繋がった第１〜第４側面電極７１Ｂ〜７４Ｃが形成される。詳しくは、図１０に示すように、アクチュエータ本体１０４の長辺側面４Ｄには、複数の第２側面電極７２ｂ，７２ｂ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｂ、複数の第４側面電極７４ｂ，７４ｂ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ｂ、複数の第３側面電極７３ｂ，７３ｂ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ｂ、及び複数の第１側面電極７１ｂ，７１ｂ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｂが形成される。アクチュエータ本体１０４の短辺側面４Ｅには、複数の第４側面電極７４ｃ，７４ｃ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ｃ、及び複数の第２側面電極７２ｃ，７２ｃ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｃが形成される。アクチュエータ本体１０４の短辺側面４Ｆには、複数の第３側面電極７３ｃ，７３ｃ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ｃ、及び複数の第１側面電極７１ｃ，７１ｃ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｃが形成される。
【００７６】
そして、アクチュエータ本体１０４の最外層の圧電体層４１の外側に露出する主面４１ａ（即ち、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａ）には、第１分割電極５１Ｃに給電するための第１外部電極８１と、第２分割電極５２Ｄに給電するための第２外部電極８２と、第１対向分割電極６１Ｃに給電するための第３外部電極８３と、第２対向分割電極６２Ｄに給電するための第４外部電極８４が形成されている。第１〜第４外部電極８１〜８４は、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａの重心を通って短手方向に延びる直線に対して線対称に配置されている。
【００７７】
第１外部電極８１は、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａの一の隅部においてＬ字状に形成されている。第１外部電極８１の一端は、長辺側面４Ｄの第１側面電極７１Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第１側面電極７１Ｃに接続されている。詳しくは、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｂとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｃとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第１外部電極８１及び第１側面電極７１Ｂ，７１Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第１外部電極８１は、２つの第１側面電極７１Ｂ，７１Ｃを介して第１分割電極５１Ｃ，５１Ｃ，…と導通している。
【００７８】
第２外部電極８２は、アクチュエータ本体１０４の、第１外部電極８１の位置とは別の隅部（長手方向の反対側の隅部）においてＬ字状に形成されている。第２外部電極８２の一端は、長辺側面４Ｄの第２側面電極７２Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第２側面電極７２Ｃに接続されている。詳しくは、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｂとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｃとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第２外部電極８２及び第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第２外部電極８２は、２つの第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃを介して第２分割電極５２Ｄ，５２Ｄ，…と導通している。
【００７９】
第３外部電極８３は、第１外部電極８１が設けられた隅部において該第１外部電極８１を囲むように、Ｌ字状に形成されている。第３外部電極８３の一端は、長辺側面４Ｄの第３側面電極７３Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第３側面電極７３Ｃに接続されている。詳しくは、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｂとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｃとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第３外部電極８３及び第３側面電極７３Ｂ，７３Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第３外部電極８３は、２つの第３側面電極７３Ｂ，７３Ｃを介して第１対向分割電極６１Ｃ，６１Ｃ，…と導通している。
【００８０】
第４外部電極８４は、第２外部電極８２が設けられた隅部において該第２外部電極８２を囲むように、Ｌ字状に形成されている。第４外部電極８４の一端は、長辺側面４Ｄの第４側面電極７４Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第４側面電極７４Ｃに接続されている。詳しくは、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ｂとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ｃとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第４外部電極８４及び第４側面電極７４Ｂ，７４Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第４外部電極８４は、２つの第４側面電極７４Ｂ，７４Ｃを介して第２対向分割電極６２Ｄ，６２Ｄ，…と導通している。
【００８１】
このように構成されたアクチュエータ本体１０４においては、第１〜第４外部電極８１〜８４が外表面に露出している。これら第１〜第４外部電極８１〜８４を給電端子として、アクチュエータ本体１０４に給電が行われる。詳しくは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａにおいて、第１〜第４外部電極８１〜８４にフレキシブルプリント基板（図示省略）が接続される。そして、第１分割電極５１Ｃ及び第１対向分割電極６１Ｃと、第２分割電極５２Ｄ及び第２対向分割電極６２Ｄとにそれぞれ、位相が９０°ずれた第１及び第２駆動電圧を印加することによって、アクチュエータ本体１０４に１次モードの伸縮振動と２次モードの屈曲振動とを調和的に発生させることができる。その結果、駆動子４９，４９が周回運動を行い、アクチュエータ本体１０４の長手方向へ駆動力を出力する。
【００８２】
かかる構成においても、外部電極ごとに２つの側面電極が設けられている。これにより、外部電極と側面電極との接続部の１つで欠損が生じたとしても、別の接続部で導通が維持されるため、超音波アクチュエータ２の信頼性を向上させることができる。例えば、第１外部電極８１には、稜線部４０ｄ，４０ｆにおいて２つの第１側面電極７１Ｂ，７１Ｃが接続されている。仮に稜線部４０ｄが欠損して、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｂとが断線したとしても、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｃとは接続されているため、第１外部電極８１と第１分割電極５１Ｃ，５１Ｃ，…との導通が維持される。
【００８３】
＜変形例２＞
次に、変形例２に係る超音波アクチュエータについて説明する。変形例２に係る超音波アクチュエータは、アクチュエータ本体２０４の内部電極の構成が前記アクチュエータ本体４の内部電極層５，６の構成と異なる。
【００８４】
アクチュエータ本体２０４は、図１１に示すように、内部電極層として、第１プラス電極層５Ｔと、第２プラス電極層５Ｌと、マイナス電極層２０６とを有している。第１プラス電極層５Ｔは、４つの第１〜第２分割電極５１Ａ，５２Ｂ，５１Ｃ，５２Ｄを有している。第２プラス電極層５Ｌは、圧電体層４１の主面４１ａの略全面に亘って形成された１つの電極である。マイナス電極層２０６も、第２プラス電極層５Ｌと同様に、圧電体層４１の主面４１ａの略全面に亘って形成された１つの電極である。これら第１プラス電極層５Ｔ、第２プラス電極層５Ｌ及びマイナス電極層２０６が内部電極を構成し、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃが第１電極を、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄが第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと異なるパターンで配置された第２電極を構成する。また、第２プラス電極層５Ｌも、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと異なるパターンで配置された第２電極を構成する。マイナス電極層２０６は、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと圧電体層４１を挟んで対向する第１対向電極を構成すると共に、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄと圧電体層４１を挟んで対向する第２対向電極も構成し、さらに、第２プラス電極層５Ｌと圧電体層４１を挟んで対向する第２対向電極も構成する。
【００８５】
アクチュエータ本体２０４は、第１プラス電極層５Ｔが設けられた圧電体層４１、マイナス電極層２０６が設けられた圧電体層４１、第２プラス電極層５Ｌが設けられた圧電体層４１、マイナス電極層が設けられた圧電体層４１の順で、複数の圧電体層４１，４１，…が積層されて構成されている。
【００８６】
また、圧電体層４１の長辺側面４１ｃには、長手方向一端部に第１側面電極７１ａが、長手方向他端部に第２側面電極７２ａが、長手方向中央よりも第１側面電極７１ａ寄りの位置に第４側面電極７４ａが、長手方向中央よりも第２側面電極７２ａ寄りの位置に第３側面電極７３ａが設けられている。圧電体層４１の長辺側面４１ｄには、長手方向一端部に第２側面電極７２ｂが、長手方向他端部に第１側面電極７１ｂが、長手方向中央よりも第２側面電極７２ｂ寄りの位置に第４側面電極７４ｂが、長手方向中央よりも第１側面電極７１ｂ寄りの位置に第３側面電極７３ｂが設けられている。圧電体層４１の一方の短辺側面４１ｅには、短手方向一端部に第１側面電極７１ｃが、短手方向他端部に第２側面電極７２ｃが設けられている。圧電体層４１の他方の短辺側面４１ｆには、短手方向一端部に第２側面電極７２ｄが、短手方向他端部に第１側面電極７１ｄが設けられている。
【００８７】
そして、第１分割電極５１Ａには、長辺側面４１ｃの第１側面電極７１ａまで延びる引出電極５１ａと、短辺側面４１ｅの第１側面電極７１ｃまで延びる引出電極５１ｃとが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ａは、引出電極５１ａを介して第１側面電極７１ａに、引出電極５１ｃを介して第１側面電極７１ｃに接続されている。また、第１分割電極５１Ｃには、長辺側面４１ｄの第１側面電極７１ｂまで延びる引出電極５１ｂと、短辺側面４１ｆの第１側面電極７１ｄまで延びる引出電極５１ｄとが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ｃは、引出電極５１ｂを介して第１側面電極７１ｂに、引出電極５１ｄを介して第１側面電極７１ｄに接続されている。
【００８８】
また、第２分割電極５２Ｂには、長辺側面４１ｃの第２側面電極７２ａまで延びる引出電極５２ａと、短辺側面４１ｆの第２側面電極７２ｄまで延びる引出電極５２ｄとが設けられている。すなわち、第２分割電極５２Ｂは、引出電極５２ａを介して第２側面電極７２ａに、引出電極５２ｄを介して第２側面電極７２ｄに接続されている。第２分割電極５２Ｄには、長辺側面４１ｄの第２側面電極７２ｂまで延びる引出電極５２ｂと、短辺側面４１ｅの第２側面電極７２ｃまで延びる引出電極５２ｃとが設けられている。すなわち、第２分割電極５２Ｄは、引出電極５２ｂを介して第２側面電極７２ｂに、引出電極５２ｃを介して第２側面電極７２ｃに接続されている。
【００８９】
さらに、第２プラス電極層５Ｌには、長辺側面４１ｃの第３側面電極７３ａまで延びる引出電極５３ａと、長辺側面４１ｄの第３側面電極７３ｂまで延びる引出電極５３ｂとが設けられている。すなわち、第２プラス電極層５Ｌは、引出電極５３ａを介して第３側面電極７３ａに、引出電極５３ｂを介して第３側面電極７３ｂに接続されている。
【００９０】
さらにまた、マイナス電極層２０６には、長辺側面４１ｃの第４側面電極７４ａまで延びる引出電極６ａと、長辺側面４１ｄの第４側面電極７４ｂまで延びる引出電極６１ｂとが設けられている。すなわち、マイナス電極層２０６は、引出電極６ａを介して第４側面電極７４ａに、引出電極６１ｂを介して第４側面電極７４ｂに接続されている。
【００９１】
このように構成された圧電体層４１，４１，…を積層させると、圧電体層４１の側面に形成された第１〜第４側面電極７１ａ〜７４ｂが積層方向に繋がり、圧電体層４１，４１，…の積層体、即ち、アクチュエータ本体２０４の側面には、一体的に繋がった第１〜第４側面電極７１Ａ〜７４Ｂが形成される。詳しくは、図１２に示すように、アクチュエータ本体２０４の長辺側面４Ｃには、複数の第１側面電極７１ａ，７１ａ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ａ、複数の第４側面電極７４ａ，７４ａ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ａ、複数の第３側面電極７３ａ，７３ａ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ａ、及び複数の第２側面電極７２ａ，７２ａ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ａが形成される。アクチュエータ本体２０４の長辺側面４Ｄには、複数の第２側面電極７２ｂ，７２ｂ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｂ、複数の第４側面電極７４ｂ，７４ｂ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ｂ、複数の第３側面電極７３ｂ，７３ｂ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ｂ、及び複数の第１側面電極７１ｂ，７１ｂ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｂが形成される。アクチュエータ本体２０４の短辺側面４Ｅには、複数の第１側面電極７１ｃ，７１ｃ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｃ、及び複数の第２側面電極７２ｃ，７２ｃ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｃが形成される。アクチュエータ本体２０４の短辺側面４Ｆには、複数の第２側面電極７２ｄ，７２ｄ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｄ、及び複数の第１側面電極７１ｄ，７１ｄ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｄが形成される。
【００９２】
そして、アクチュエータ本体２０４の最外層の圧電体層４１の外側に露出する主面４１ａ（即ち、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａ）には、第１分割電極５１Ａ，５１Ａ，…に給電するための第１外部電極８１Ａと、第１分割電極５１Ｃ，５１Ｃ，…に給電するための第１外部電極８１Ｃと、第２分割電極５２Ｂに給電するための第２外部電極８２Ｂと、第２分割電極５２Ｄに給電するための第２外部電極８２Ｄと、第２プラス電極層５Ｌに給電するための第３外部電極８３と、マイナス電極層２０６に給電するための第４外部電極８４が形成されている。第１〜第４外部電極８１Ａ〜８４は、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａの重心を通って短手方向に延びる直線に対して線対称に配置されている。
【００９３】
第１外部電極８１Ａは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ１（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第１外部電極８１Ａの一端は、長辺側面４Ｃの第１側面電極７１Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第１側面電極７１Ｃに接続されている。詳しくは、第１外部電極８１Ａと第１側面電極７１Ａとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第１外部電極８１Ａと第１側面電極７１Ｃとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第１外部電極８１Ａ及び第１側面電極７１Ａ，７１Ｃは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第１外部電極８１Ａは、２つの第１側面電極７１Ａ，７１Ｃを介して第１分割電極５１Ａ，５１Ａ，…と導通している。
【００９４】
第１外部電極８１Ｃは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ３（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第１外部電極８１Ｃの一端は、長辺側面４Ｄの第１側面電極７１Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第１側面電極７１Ｄに接続されている。詳しくは、第１外部電極８１Ｃと第１側面電極７１Ｂとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第１外部電極８１Ｃと第１側面電極７１Ｄとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第１外部電極８１Ｃ及び第１側面電極７１Ｂ，７１Ｄは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第１外部電極８１Ｃは、２つの第１側面電極７１Ｂ，７１Ｄを介して第１分割電極５１Ｃ，５１Ｃ，…と導通している。
【００９５】
第２外部電極８２Ｂは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ２（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第２外部電極８２Ｂの一端は、長辺側面４Ｃの第２側面電極７２Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第２側面電極７２Ｄに接続されている。詳しくは、第２外部電極８２Ｂと第２側面電極７２Ａとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第２外部電極８２Ｂと第２側面電極７２Ｄとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第２外部電極８２Ｂ及び第２側面電極７２Ａ，７２Ｄは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第２外部電極８２Ｂは、２つの第２側面電極７２Ａ，７２Ｄを介して第２分割電極５２Ｂ，５２Ｂ，…と導通している。
【００９６】
第２外部電極８２Ｄは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ４（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第２外部電極８２Ｄの一端は、長辺側面４Ｄの第２側面電極７２Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第２側面電極７２Ｃに接続されている。詳しくは、第２外部電極８２Ｄと第２側面電極７２Ｂとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第２外部電極８２Ｄと第２側面電極７２Ｃとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第２外部電極８２Ｄ及び第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第２外部電極８２Ｄは、２つの第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃを介して第２分割電極５２Ｄ，５２Ｄ，…と導通している。
【００９７】
第３外部電極８３は、前記領域Ａ２，Ａ３内であって、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａの長手方向中央近傍の位置において、短手方向に延びる直線状に形成されている。第３外部電極８３の一端は、長辺側面４Ｃの第３側面電極７３Ａに接続される一方、他端は、長辺側面４Ｄの第３側面電極７３Ｂに接続されている。詳しくは、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｂとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。このように接続された第３外部電極８３及び第３側面電極７３Ａ，７３Ｂは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｄに跨って形成されている。こうして、第３外部電極８３は、２つの第３側面電極７３Ａ，７３Ｂを介して第２プラス電極層５Ｌ，５Ｌ，…と導通している。
【００９８】
第４外部電極８４は、前記領域Ａ１，Ａ４内であって、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａの長手方向中央近傍の位置において、短手方向に延びる直線状に形成されている。第４外部電極８４の一端は、長辺側面４Ｃの第４側面電極７４Ａに接続される一方、他端は、長辺側面４Ｄの第４側面電極７４Ｂに接続されている。詳しくは、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ａとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ｂとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。このように接続された第４外部電極８４及び第４側面電極７４Ａ，７４Ｂは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｄに跨って形成されている。こうして、第４外部電極８４は、２つの第４側面電極７４Ａ，７４Ｂを介してマイナス電極層２０６，２０６，…と導通している。
【００９９】
このように構成されたアクチュエータ本体２０４においては、第１〜第４外部電極８１Ａ〜８４が外表面に露出している。これら第１〜第４外部電極８１Ａ〜８４を給電端子として、アクチュエータ本体２０４に給電が行われる。詳しくは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａにおいて、第１〜第４外部電極８１Ａ〜８４にフレキシブルプリント基板（図示省略）が接続される。そして、第１外部電極８１Ａ，８１Ｃ及び第４外部電極８４を介して第１分割電極５１Ａ，５１Ｃ及びマイナス電極層２０６に第１駆動電圧を印加すると共に、第２外部電極８２Ｂ，８２Ｄ及び第４外部電極８４を介して第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄ及びマイナス電極層２０６に第１駆動電圧と位相が１８０°異なる第２駆動電圧を印加することによって、第１プラス電極層５Ｔとマイナス電極層２０６とに挟持された圧電体層４１に屈曲振動を生じさせる。それに加えて、第３外部電極８３を介して第２プラス電極層５Ｌに第１駆動電圧及び第２駆動電圧とそれぞれ位相が９０°ずれた第３駆動電圧を印加する。これにより、第２プラス電極層５Ｌとマイナス電極層２０６とに挟持された圧電体層４１に伸縮振動を生じさせる。屈曲振動を生じる圧電体層４１と伸縮振動を生じる圧電体層４１とは、積層されて一体となったアクチュエータ本体２０４を構成するため、アクチュエータ本体２０４には、全体としては、伸縮振動と圧縮振動とが調和的に発生する。その結果、駆動子４９，４９が周回運動を行い、駆動力を出力する。
【０１００】
かかる構成においても、外部電極ごとに２つの側面電極が設けられている。これにより、外部電極と側面電極との接続部の１つで欠損が生じたとしても、別の接続部で導通が維持されるため、超音波アクチュエータ２の信頼性を向上させることができる。例えば、第１外部電極８１Ａには、稜線部４０ｃ，４０ｅにおいて２つの第１側面電極７１Ａ，７１Ｃが接続されている。仮に稜線部４０ｃが欠損して、第１外部電極８１Ａと第１側面電極７１Ａとが断線したとしても、第１外部電極８１Ａと第１側面電極７１Ｃとは接続されているため、第１外部電極８１Ａと第１分割電極５１Ａ，５１Ａ，…との導通が維持される。
【０１０１】
＜変形例３＞
次に、変形例３に係る超音波アクチュエータについて説明する。変形例３に係る超音波アクチュエータは、アクチュエータ本体３０４の内部電極の構成が前記アクチュエータ本体４の内部電極層５，６の構成と異なる。
【０１０２】
アクチュエータ本体３０４は、図１３に示すように、内部電極層として、第１プラス電極層５Ｔと、第２プラス電極層５Ｌと、第１マイナス電極層６Ｔと、第２マイナス電極層６Ｌとを有している。第１プラス電極層５Ｔは、前記領域Ａ１，Ａ３に設けられた２つの第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと該第１分割電極５１Ａ，５１Ｃを接続する接続電極５１Ｅとを有している。第２プラス電極層５Ｌは、圧電体層４１の主面４１ａの略全面に亘って形成された１つの電極である。第１マイナス電極層６Ｔは、前記領域Ａ１，Ａ３に設けられた２つの第１対向分割電極６１Ａ，６１Ｃと該第１対向分割電極６１Ａ，６１Ｃを接続する接続電極６１Ｅとを有している。第２マイナス電極層６Ｌは、第２プラス電極層５Ｌと同様に、圧電体層４１の主面４１ａの略全面に亘って形成された１つの電極である。第１プラス電極層５Ｔの接続電極５１Ｅと、第１マイナス電極層６Ｔの接続電極６１Ｅとは、長手方向にずれており、積層方向を向いて見て、互いに重ならないようになっている。これら第１プラス電極層５Ｔ、第２プラス電極層５Ｌ、第１マイナス電極層６Ｔ及び第２マイナス電極層６Ｌが内部電極を構成する。また、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃが第１電極を構成し、第２プラス電極層５Ｌが、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと異なるパターンで配置された第２電極を構成する。さらに、第１対向分割電極６１Ａ，６１Ｃが第１対向電極を構成し、第２マイナス電極層６Ｌが、第２プラス電極層５Ｌと圧電体層４１を挟んで対向する第２対向電極を構成する。
【０１０３】
アクチュエータ本体３０４は、第１プラス電極層５Ｔが設けられた圧電体層４１、第１マイナス電極層６Ｔが設けられた圧電体層４１、第２プラス電極層５Ｌが設けられた圧電体層４１、第２マイナス電極層６Ｌが設けられた圧電体層４１の順で、複数の圧電体層４１，４１，…が積層されて構成されている。
【０１０４】
また、圧電体層４１の長辺側面４１ｃには、長手方向一端部に第３側面電極７３ａが、長手方向他端部に第４側面電極７４ａが設けられている。圧電体層４１の長辺側面４１ｄには、長手方向一端部に第２側面電極７２ｂが、長手方向他端部に第１側面電極７１ｂが設けられている。圧電体層４１の一方の短辺側面４１ｅには、短手方向一端部に第３側面電極７３ｃが、短手方向他端部に第２側面電極７２ｃが設けられている。圧電体層４１の他方の短辺側面４１ｆには、短手方向一端部に第４側面電極７４ｄが、短手方向他端部に第１側面電極７１ｄが設けられている。
【０１０５】
そして、第１プラス電極層５Ｔの第１分割電極５１Ｃには、長辺側面４１ｄの第１側面電極７１ｂまで延びる引出電極５１ｂと、短辺側面４１ｆの第１側面電極７１ｄまで延びる引出電極５１ｄとが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ｃは、引出電極５１ｂを介して第１側面電極７１ｂに、引出電極５１ｄを介して第１側面電極７１ｄに接続されている。
【０１０６】
また、第１マイナス電極層６Ｔの第１対向分割電極６１Ａには、長辺側面４１ｃの第３側面電極７３ａまで延びる引出電極６１ａと、短辺側面４１ｅの第３側面電極７３ｃまで延びる引出電極６１ｃとが設けられている。すなわち、第１対向分割電極６１Ａは、引出電極６１ａを介して第３側面電極７３ａに、引出電極６１ｃを介して第３側面電極７３ｃに接続されている。
【０１０７】
さらに、第２プラス電極層５Ｌには、長辺側面４１ｄの第２側面電極７２ｂまで延びる引出電極５２ｂと、短辺側面４１ｅの第２側面電極７２ｃまで延びる引出電極５２ｃとが設けられている。すなわち、第２プラス電極層５Ｌは、引出電極５２ｂを介して第２側面電極７２ｂに、引出電極５２ｃを介して第２側面電極７２ｃに接続されている。
【０１０８】
さらにまた、第２マイナス電極層６Ｌには、長辺側面４１ｃの第４側面電極７４ａまで延びる引出電極６１ａと、短辺側面４１ｆの第４側面電極７４ｄまで延びる引出電極６１ｄとが設けられている。すなわち、第２マイナス電極層６Ｌは、引出電極６１ａを介して第４側面電極７４ａに、引出電極６１ｄを介して第４側面電極７４ｄに接続されている。
【０１０９】
このように構成された圧電体層４１，４１，…を積層させると、圧電体層４１の側面に形成された第１〜第４側面電極７１ｂ〜７４ｄが積層方向に繋がり、圧電体層４１，４１，…の積層体、即ち、アクチュエータ本体３０４の側面には、一体的に繋がった第１〜第４側面電極７１Ｂ〜７４Ｄが形成される。詳しくは、図１４に示すように、アクチュエータ本体３０４の長辺側面４Ｃには、複数の第３側面電極７３ａ，７３ａ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ａ、及び複数の第４側面電極７４ａ，７４ａ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ａが形成される。アクチュエータ本体３０４の長辺側面４Ｄには、複数の第２側面電極７２ｂ，７２ｂ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｂ、及び複数の第１側面電極７１ｂ，７１ｂ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｂが形成される。アクチュエータ本体３０４の短辺側面４Ｅには、複数の第３側面電極７３ｃ，７３ｃ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ｃ、及び複数の第２側面電極７２ｃ，７２ｃ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｃが形成される。アクチュエータ本体３０４の短辺側面４Ｆには、複数の第４側面電極７４ｄ，７４ｄ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ｄ、及び複数の第１側面電極７１ｄ，７１ｄ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｄが形成される。
【０１１０】
そして、アクチュエータ本体３０４の最外層の圧電体層４１の外側に露出する主面４１ａ（即ち、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａ）には、第１プラス電極層５Ｔ，５Ｔ，…に給電するための第１外部電極８１と、第２プラス電極層５Ｌ，５Ｌ，…に給電するための第２外部電極８２と、第１マイナス電極層６Ｔ，６Ｔ，…に給電するための第３外部電極８３と、第２マイナス電極層６Ｌ，６Ｌ，…に給電するための第４外部電極８４とが形成されている。第１〜第４外部電極８１〜８４は、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａの重心を通って短手方向に延びる直線に対して線対称に配置されている。
【０１１１】
第１外部電極８１は、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ３（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第１外部電極８１の一端は、長辺側面４Ｄの第１側面電極７１Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第１側面電極７１Ｄに接続されている。詳しくは、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｂとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｄとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第１外部電極８１及び第１側面電極７１Ｂ，７１Ｄは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第１外部電極８１は、２つの第１側面電極７１Ｂ，７１Ｄを介して第１プラス電極層５Ｔ，５Ｔ，…と導通している。
【０１１２】
第２外部電極８２は、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ４（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第２外部電極８２の一端は、長辺側面４Ｄの第２側面電極７２Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第２側面電極７２Ｃに接続されている。詳しくは、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｂとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｃとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第２外部電極８２及び第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第２外部電極８２は、２つの第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃを介して第２プラス電極層５Ｌ，５Ｌ，…と導通している。
【０１１３】
第３外部電極８３は、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ１（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第３外部電極８３の一端は、長辺側面４Ｃの第３側面電極７３Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第３側面電極７３Ｃに接続されている。詳しくは、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｃとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第３外部電極８３及び第３側面電極７３Ａ，７３Ｃは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第３外部電極８３は、２つの第３側面電極７３Ａ，７３Ｃを介して第１マイナス電極層６Ｔ，６Ｔ，…と導通している。
【０１１４】
第４外部電極８４は、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ２（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第４外部電極８４の一端は、長辺側面４Ｃの第４側面電極７４Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第４側面電極７４Ｄに接続されている。詳しくは、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ａとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ｄとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第４外部電極８４及び第４側面電極７４Ａ，７４Ｄは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第４外部電極８４は、２つの第４側面電極７４Ａ，７４Ｄを介して第２マイナス電極層６Ｌ，６Ｌ，…と導通している。
【０１１５】
このように構成されたアクチュエータ本体３０４においては、第１〜第４外部電極８１〜８４が外表面に露出している。これら第１〜第４外部電極８１〜８４を給電端子として、アクチュエータ本体３０４に給電が行われる。詳しくは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａにおいて、第１〜第４外部電極８１〜８４にフレキシブルプリント基板（図示省略）が接続される。そして、第１及び第３外部電極８１，８３を介して第１プラス電極層５Ｔ及び第１マイナス電極層６Ｔに第１駆動電圧を印加する。これにより、第１プラス電極層５Ｔと第１マイナス電極層６Ｔとに挟持された圧電体層４１に屈曲振動を生じさせる。それに加えて、第２及び第４外部電極８２，８４を介して第２プラス電極層５Ｌ及び第２マイナス電極層６Ｌに第１駆動電圧と位相が９０°ずれた第２駆動電圧を印加する。これにより、第２プラス電極層５Ｌと第２マイナス電極層６Ｌとに挟持された圧電体層４１に伸縮振動を生じさせる。屈曲振動を生じる圧電体層４１と伸縮振動を生じる圧電体層４１とは、積層されて一体となったアクチュエータ本体３０４を構成するため、アクチュエータ本体３０４には、全体としては、伸縮振動と圧縮振動とが調和的に発生する。その結果、駆動子４９，４９が周回運動を行い、駆動力を出力する。
【０１１６】
かかる構成においても、外部電極ごとに２つの側面電極が設けられている。これにより、外部電極と側面電極との接続部の１つで欠損が生じたとしても、別の接続部で導通が維持されるため、超音波アクチュエータ２の信頼性を向上させることができる。例えば、第１外部電極８１には、稜線部４０ｄ，４０ｆにおいて２つの第１側面電極７１Ｂ，７１Ｄが接続されている。仮に稜線部４０ｄが欠損して、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｂとが断線したとしても、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｄとは接続されているため、第１外部電極８１と第１プラス電極層５Ｔ，５Ｔ，…との導通が維持される。
【０１１７】
《その他の実施形態》
本発明は、前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【０１１８】
例えば、アクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４の構成は、前記の構成に限られるものではない。つまり、アクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４は、１次モードの伸縮振動と２次モードの屈曲振動とを調和的に発生させているが、これに限られるものではない。それ以外のモード、振動形態の振動を調和的に発生させてもよい。
【０１１９】
また、内部電極層５，５Ｔ，５Ｌ，６，２０６，６Ｔ，６Ｌの構成も前記の構成に限られるものではない。
【０１２０】
さらに、外部電極ごとに２つの側面電極が接続されているが、これに限られるものではない。外部電極ごとに複数の側面電極が接続されていればよく、外部電極ごとに３つ以上の側面電極が接続された構成であってもよい。
【０１２１】
また、外部電極ごとに設けられた複数の側面電極は、同じ稜線部に設けられていても、平行な稜線部に設けられていてもよい。
【０１２２】
さらに、圧電体層の厚みは全て同じとなっているが、異なっていてもよい。特に、最外の圧電体層の厚みは、他の圧電体層の厚みよりも厚い方が好ましい。これにより、外部電極による最外の圧電体層の不要振動の発生を抑制することができる。
【０１２３】
さらに、外部電極と側面電極は、屈曲振動の節の部分近傍で接続されることが好ましい。特に、長辺稜線部４０ｃ，４０ｄは、アクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４の屈曲振動に伴って屈曲変形する。そのため、外部電極と側面電極とをこれら長辺稜線部４０ｃ，４０ｄにおいて接続する場合には、屈曲振動の節の部分近傍で接続することが好まし。節の部分では応力の発生が少ないので、外部電極と側面電極との接続部の欠損の可能性をさらに抑制することができる。
【０１２４】
尚、外部電極８１，８２等は、Ｌ字型に形成され、アクチュエータ本体４等の主面４Ａの隅部（角部）には形成されていないが、外部電極が隅部に形成されていても、同様の作用効果を奏することができる。
【０１２５】
また、アクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４への給電は、フレキシブルプリント基板９以外にも、ワイヤによる給電や、コンタクトピンによる給電など、他の給電方法を用いてもよい。かかる場合であっても、前記実施形態と同様の効果が得られる。
【０１２６】
また、前記実施形態では、超音波アクチュエータ２の駆動力が付与されて駆動される可動体は、平板状のステージ１１であるが、これに限られるものではなく、可動体の構成としては任意の構成を採用できる。例えば、図１５に示すように、可動体は所定の軸Ｘ回りに回動可能な円板体１７であり、超音波アクチュエータ２の駆動子４９，４９が該円板体１７の側周面１７ａに当接するように構成された駆動装置４０１を採用してもよい。かかる構成の場合、超音波アクチュエータ２を駆動すると、駆動子４９，４９の概略楕円運動によって、該円板体１７が所定の軸Ｘ回りに回動させられる。また、図１６に示すように、可動体は所定の軸Ｘ回りに回動可能な円板体１８であり、超音波アクチュエータ２の駆動子４９，４９が該円板体１８の平面部１８ａに当接するように構成された駆動装置５０１を採用してもよい。かかる構成の場合、超音波アクチュエータ２を駆動すると、駆動子４９，４９の概略楕円運動によって、該円板体１８が駆動子４９，４９と当接部における接線方向に駆動され、結果として該円板体１８が所定の軸Ｘ回りに回動させられる。
【０１２７】
また、前記実施形態では、駆動子４９，４９をアクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４の長辺側面４Ｃに設けた構成について説明したが、アクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４の短辺側面４Ｅ（４Ｆ）に設けてもよい。この場合、１次モードの伸縮振動の伸縮方向は、駆動子４９がステージ１１に直交する方向となり、２次モードの屈曲振動の振動方向は、ステージ１１の移動方向となる。
【０１２８】
尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【０１２９】
以上説明したように、本発明は、複数の圧電体層を積層させたアクチュエータ本体を備える振動型アクチュエータについて有用である。
【符号の説明】
【０１３０】
２ 超音波アクチュエータ（振動型アクチュエータ）
４，１０４，２０４，３０４ アクチュエータ本体（積層体）
４Ａ 主面
４Ｃ 長辺側面（側面）
４Ｄ 長辺側面（側面）
４Ｅ 短辺側面（側面）
４Ｆ 短辺側面（側面）
４０ｃ 長辺稜線部（稜線部）
４０ｄ 長辺稜線部（稜線部）
４０ｅ 短辺稜線部（稜線部）
４０ｆ 短辺稜線部（稜線部）
４１ 圧電体層
５ プラス電極層（内部電極）
５Ｔ 第１プラス電極層（内部電極、第１電極）
５Ｌ 第２プラス電極層（内部電共、第２電極）
５１Ａ 第１分割電極（内部電極、第１電極）
５１Ｃ 第１分割電極（内部電極、第１電極）
５２Ｂ 第２分割電極（内部電極、第２電極）
５２Ｄ 第２分割電極（内部電極、第２電極）
６ マイナス電極層（内部電極）
１０６ マイナス電極層（内部電極）
２０６ マイナス電極層（内部電極）
６Ｔ 第１マイナス電極層（内部電極、第１対向電極）
６Ｌ 第２マイナス電極層（内部電極、第２対向電極）
６１Ａ 第１対向分割電極（内部電極、第１対向電極）
６１Ｃ 第１対向分割電極（内部電極、第１対向電極）
６２Ｄ 第２対向分割電極（内部電極、第２対向電極）
７１Ａ 第１側面電極
７１Ｂ 第１側面電極
７１Ｃ 第１側面電極
７１Ｄ 第１側面電極
７２Ａ 第２側面電極
７２Ｂ 第２側面電極
７２Ｃ 第２側面電極
７２Ｄ 第２側面電極
７３Ａ 第３側面電極
７３Ｂ 第３側面電極
７３Ｃ 第３側面電極
７４Ａ 第４側面電極
７４Ｂ 第４側面電極
７４Ｃ 第４側面電極
７４Ｄ 第４側面電極
８１ 第１外部電極
８１Ａ 第１外部電極
８１Ｃ 第１外部電極
８２ 第２外部電極
８２Ｂ 第２外部電極
８２Ｄ 第２外部電極
８３ 第３外部電極
８４ 第４外部電極
９ フレキシブルプリント基板（給電線）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の圧電体層を積層させた振動型アクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、各種電気機器等に用いられる、圧電素子（電気機械変換素子）を備えた振動型アクチュエータが知られている。この振動型アクチュエータは、積層された複数の圧電体層と、該圧電体層に挟持された内部電極とを有している。振動型アクチュエータは、内部電極を介して圧電体層に電圧を印加することによって、該圧電体層に所望の振動を誘起させて、駆動力を出力させている。
【０００３】
例えば、特許文献１に係る振動型アクチュエータにおいては、主面に内部電極が形成された複数の圧電体層を積層させることによって、圧電体層と内部電極とが交互に積層されている。その結果、各内部電極は、２つの圧電体層に挟持された状態となる。そして、内部電極は、圧電体層の側面まで延びている。圧電体層の側面には側面電極が形成されており、内部電極は、側面電極と接続されている。複数の圧電体層が積層されたときには、各圧電体層の側面電極が積層方向に繋がって、一まとまりの側面電極を形成する。ここで、最外層の圧電体層の、外部に露出する主面（積層方向を向く面）には、外部から給電するための外部電極が形成されている。この外部電極は、圧電体層の側面に位置する側面電極まで延びて、該側面電極に接続されている。つまり、外部電極は、側面電極を介して、内部電極と導通することになる。また、外部電極には、ワイヤが接続されている。このように構成された振動型アクチュエータにおいては、外部からワイヤを介して電圧を印加することによって、外部電極及び側面電極を介して、内部電極に該電圧が印加される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０６９１６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に係る振動型アクチュエータでは、外部電極と側面電極とが、複数の圧電体層と内部電極とを積層させた積層体の外表面である主面と側面とにそれぞれ形成されている。そして、外部電極と側面電極とは、該主面と側面とで形成される稜線部において接続されている。しかしながら、この稜線部は、外部からの衝撃等により欠け易い部分である。そのため、外部電極と側面電極との接続部も欠損し易く、外部電極と側面電極との間で抵抗が大きくなったり、断線が生じてしまったりする虞がある。このように、電極が欠損し易いと、超音波アクチュエータの信頼性が低下してしまう。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、外部電極と側面電極との接続部の欠損に起因する振動型アクチュエータの信頼性の低下を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、積層された複数の圧電体層と該圧電体層に挟持された内部電極とを備えた振動型アクチュエータが対象である。そして、最外層の前記圧電体層の外側に露出する主面には、外部から給電するための外部電極が形成されており、前記圧電体層と前記内部電極との積層体における、積層方向と平行な面である側面には、前記内部電極に接続されると共に、前記外部電極が形成された主面と該側面との間の稜線部において該外部電極に接続される側面電極が形成されており、同電位となる前記内部電極と前記外部電極とは、複数の前記側面電極で接続されているものとする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、外部電極と側面電極との１つの接続部が稜線部の欠損により欠損しても、別の接続部により外部電極と側面電極との接続を維持することができるため、振動型アクチュエータの信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る駆動装置の斜視図である。
【図２】アクチュエータ本体の斜視図である。
【図３】アクチュエータ本体の分解斜視図である。
【図４】圧電体層の形状を説明するための圧電体層の主面を表す説明図である。
【図５】駆動装置の一部を構成するハーフブリッジ回路の回路図である。
【図６】１次モードの伸縮振動によるアクチュエータ本体の変位を示す概念図である。
【図７】２次モードの屈曲振動によるアクチュエータ本体の変位を示す概念図である。
【図８】１次モードの伸縮振動及び２次モードの屈曲振動の合成振動によるアクチュエータ本体の変位を示す概念図である。
【図９】変形例１に係るアクチュエータ本体の分解斜視図である。
【図１０】変形例１に係るアクチュエータ本体の斜視図である。
【図１１】変形例２に係るアクチュエータ本体の分解斜視図である。
【図１２】変形例２に係るアクチュエータ本体の斜視図である。
【図１３】変形例３に係るアクチュエータ本体の分解斜視図である。
【図１４】変形例３に係るアクチュエータ本体の斜視図である。
【図１５】その他の実施形態に係る駆動装置の斜視図である。
【図１６】別のその他の実施形態に係る駆動装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１１】
《発明の実施形態》
図１は、実施形態に係る駆動装置１の概略構成図であり、図２は、アクチュエータ本体４の斜視図である。駆動装置１は、図１に示すように、ステージ１１と、超音波アクチュエータ２と、該超音波アクチュエータ２を駆動制御する制御装置１０とを備えている。
【００１２】
ステージ１１は、ガイド（図示省略）に摺動可能に取り付けられている。つまり、ステージ１１は、ガイドが延びる方向（図中の矢印Ａ，Ｂの方向）に沿って移動可能に構成されている（このガイドの延びる方向がステージ１１の可動方向に相当する）。このステージ１１は、平面視略方形の板状部材である。そして、前記超音波アクチュエータ２は、このステージ１１の裏面に後述する駆動子４９，４９が接触するように配設されている。
【００１３】
前記超音波アクチュエータ２は、振動を発生させるアクチュエータ本体４と、該アクチュエータ本体４の駆動力をステージ１１に伝達させる駆動子４９，４９と、該アクチュエータ本体４を収容するケース３と、アクチュエータ本体４とケース３との間に介設されてアクチュエータ本体４を弾性的に支持する支持ゴム３４，３４と、アクチュエータ本体４を前記ステージ１１に付勢するための付勢ゴム３５とを備えている。この超音波アクチュエータ２が振動型アクチュエータを構成する。
【００１４】
前記アクチュエータ本体４は、圧電素子で構成されている。アクチュエータ本体４は、略長方形状の互いに対向する一対の主面４Ａ，４Ｂと、この主面４Ａ，４Ｂと直交して該主面の長手方向に延びる、互いに対向する一対の長辺側面４Ｃ，４Ｄと、これら主面４Ａ，４Ｂ及び長辺側面４Ｃ，４Ｄの両方と直交して該主面４Ａ，４Ｂの短手方向に延びる、互いに対向する一対の短辺側面４Ｅ，４Ｆとを有する略直方体状をしている。主面４Ａ，４Ｂは、後述する圧電体層４１，４１，…の積層方向を向く面であり、圧電体層４１の主面で構成される面である。これら長辺側面４Ｃ，４Ｄ及び短辺側面４Ｅ，４Ｆが、主面４Ａ，４Ｂの周縁に形成された側面であり、圧電体層４１，４１，…の積層方向と平行な面である。このアクチュエータ本体４は、詳しくは後述するが、伸縮振動と屈曲振動とを調和的に発生させ、長手方向に沿った駆動方向へ駆動力を出力する。
【００１５】
アクチュエータ本体４の長辺側面（以下、設置面ともいう）４Ｃには、２個の駆動子４９，４９が設けられている（図２では省略）。
【００１６】
各駆動子４９は、円柱状に形成されている。駆動子４９の先端は、半球状に形成されている。この駆動子４９は、ジルコニア、アルミナ、窒化ケイ素、炭化ケイ素、タングステンカーバイド等で形成されている。この駆動子４９は、接着剤を介してアクチュエータ本体４の設置面４Ｃに取り付けられている。
【００１７】
接着剤としては、アクチュエータ本体４の材料及び駆動子４９の材料よりも柔らかいことが望ましい。具体的には、合成樹脂、特にエポキシ樹脂、シリコーン樹脂が挙げられる。このような材料を用いることによって、アクチュエータ本体４の後述する振動をできるだけ阻害せずに、駆動子４９と設置面４Ｃとの間の固定を実現することができる。
【００１８】
また、駆動子４９，４９が設けられた位置は、設置面４Ｃにおいて、アクチュエータ本体４の長手方向両端部から該設置面４Ｃの全長の３０〜３５％距離だけ内側に入った位置であり、即ち、アクチュエータ本体４の後述する屈曲振動の２次モードの腹の位置であって、振動が最も大きくなる位置である。
【００１９】
前記ケース３は、樹脂製であって、前記アクチュエータ本体４に対応した略コ字形状をしている。このケース３は、長辺壁部３１と、長辺壁部３１の一端部に設けられた第１短辺壁部３２と、長辺壁部３１の他端部に設けられた第２短辺壁部３３とを有している。
【００２０】
このように構成されたケース３内に前記アクチュエータ本体４が収容されている。アクチュエータ本体４は、駆動子４９，４９が設けられていない長辺側面がケース３の長辺壁部３１と対向するようにしてケース３内に収容されている。アクチュエータ本体４の該長辺側面とケース３の長辺壁部３１との間には付勢ゴム３５が介設されている。このとき、駆動子４９，４９はケース３から突出している。また、アクチュエータ本体４の一方の短辺側面とケース３の第１短辺壁部３２との間およびアクチュエータ本体４の他方の短辺側面とケース３の第２短辺壁部３３との間には、それぞれ支持ゴム３４，３４が介設されている。このアクチュエータ本体４の両短辺側面は後述する縦振動の腹の部分である。しかし、支持ゴム３４，３４は弾性体であるため、アクチュエータ本体４の縦振動を阻害することなく、該アクチュエータ本体４を支持することができる。
【００２１】
尚、これら支持ゴム３４及び付勢ゴム３５の代わりに、板バネ等の弾性部材を採用してもよい。
【００２２】
このように構成された超音波アクチュエータ２は、駆動子４９，４９がステージ１１の裏面と当接する状態で、ケース３が基台（図示省略）に固定される。詳しくは、超音波アクチュエータ２は、アクチュエータ本体４の短手方向がステージ１１の裏面に直交すると共に、アクチュエータ本体４の長手方向がステージ１１の裏面と平行で且つステージ１１の可動方向と平行になるように配置される。さらに換言すれば、超音波アクチュエータ２は、アクチュエータ本体４の屈曲振動の振動方向がステージ１１の裏面と直交すると共に、アクチュエータ本体４の縦振動の振動方向がステージ１１の可動方向を向くように配置される。
【００２３】
このとき、前記付勢ゴム３５が圧縮変形している。この付勢ゴム３５の弾性力によって駆動子４９，４９がステージ１１に付勢されている。超音波アクチュエータ２のステージ１１への付勢力は、付勢ゴム３５の弾性力によって決まる。
【００２４】
前記制御装置１０は、外部からの動作指令を受けて、その動作指令に応じた周波数の交流電圧を動作指令に応じた位相差でアクチュエータ本体４に印加する。制御装置１０は、フレキシブルプリント基板９を介して超音波アクチュエータ２に接続されている。つまり、制御装置１０は、アクチュエータ本体４に縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させて、駆動子４９，４９を周回運動させることで、ステージ１１を移動させる。
【００２５】
続いて、アクチュエータ本体４の構成について、図３，４を参照しながら、さらに詳しく説明する。図３は、アクチュエータ本体４の分解斜視図であり、図４は、圧電体層の形状を説明するための圧電体層の主面を表す説明図である。
【００２６】
アクチュエータ本体４は、図３に示すように、複数の圧電体層４１，４１，…と複数の内部電極層５，…，６，…とを交互に積層して構成される。このアクチュエータ本体４が積層体を構成する。
【００２７】
前記各圧電体層４１は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛、ジルコニア、アルミナ、窒化珪素等のセラミック材料からなる絶縁体層である。圧電体層４１は、前記アクチュエータ本体４と同様に、一対の主面４１ａ，４１ｂと、一対の長辺側面４１ｃ，４１ｄと、一対の短辺側面４１ｅ，４１ｆとを有する略直方体状をしている。主面４１ａ，４１ｂ、長辺側面４１ｃ，４１ｄ及び短辺側面４１ｅ，４１ｆのうち、主面４１ａ，４１ｂが最大の面積を有している。これら長辺側面４１ｃ，４１ｄ及び短辺側面４１ｅ，４１ｆが、主面の周縁に形成された側面を構成する。圧電体層４１は、一対の主面４１ａ，４１ｂが対向する方向（即ち、厚み方向）に分極されている。
【００２８】
各圧電体層４１の側面には、複数の側面電極が形成されている。詳しくは、一方の長辺側面４１ｃには、アクチュエータ本体４の長手方向一端部に第１側面電極７１ａが、長手方向中央部に第３側面電極７３ａが、長手方向他端部に第２側面電極７２ａが形成されている。他方の長辺側面４１ｄには、アクチュエータ本体４の長手方向一端部に第２側面電極７２ｂが、長手方向中央部に第３側面電極７３ｂが、長手方向他端部に第１側面電極７１ｂが形成されている。一方の短辺側面４１ｅには、アクチュエータ本体４の短手方向一端部に第１側面電極７１ｃが形成されている。他方の短辺側面４１ｆには、アクチュエータ本体４の短手方向一端部に第２側面電極７２ｃが形成されている。これら側面電極７１ａ〜７３ｂは、金や銀やパラジウムなどの金属を焼き付けや溶射、スパッタなどの方法で圧電体層４１の側面に形成されている。
【００２９】
内部電極層５，…，６，…は、積層方向に圧電体層４１を挟んで交互に配された、プラス電極層５とマイナス電極層６とで構成される。換言すれば、プラス電極層５及びマイナス電極層６はそれぞれ、圧電体層４１，４１で挟持されている。これらプラス電極層５及びマイナス電極層６のそれぞれは、例えば、銀、パラジウム等を主成分とする金属からなる電極層である。プラス電極層５とマイナス電極層６とは、互いに絶縁されて導通されていない。これらプラス電極層５とマイナス電極層６が内部電極を構成する。
【００３０】
また、プラス電極層５及びマイナス電極層６のそれぞれは、各圧電体層４１の主面４１ａ上に印刷されている。そして、プラス電極層５が印刷された圧電体層４１とマイナス電極層６が印刷された圧電体層４１とを、電極層が印刷された面を一方向に向けて（図３であれば、上方に向けて）交互に積層させることによって、プラス電極層５とマイナス電極層６とが圧電体層４１を挟んで交互に配された構成となる。かかる構成では、各圧電体層４１は、一方の主面４１ａ（４１ｂ）にプラス電極層５が位置し、他方の主面４１ｂ（４１ａ）にマイナス電極層６が位置する。こうして、圧電体層４１は、積層方向において、プラス電極層５とマイナス電極層６とで挟持された状態となる。ただし、隣り合う圧電体層４１，４１では、積層方向におけるプラス電極層５とマイナス電極層６との位置が反対になっている。具体的には、図３の示すように、上から２番目の圧電体層４１では、上側の主面４１ａにプラス電極層５が位置する一方、下側の主面４１ｂにマイナス電極層６が位置する。それに対して、該圧電体層４１に隣り合う、上から３番目の圧電体層４１では、上側の主面４１ａにマイナス電極層６が位置する一方、下側の主面４１ｂにプラス電極層５が位置する。ここで、各圧電体層４１は、プラス電極層５からマイナス電極層６の方向へ分極されている。換言すれば、圧電体層４１の分極方向に対して順方向に電圧を印加するときにプラス側、即ち、陽極となる電極層がプラス電極層５であり、マイナス側、即ち、陰極となる電極層がマイナス電極層６である。
【００３１】
アクチュエータ本体４の最外層には、プラス電極層５やマイナス電極層６が露出しないように構成されている。つまり、アクチュエータ本体４の最外層の圧電体層４１と、それと隣り合う圧電体層４１との間には、プラス電極層５又はマイナス電極層６が設けられているが、最外層の圧電体層４１の外側を向く主面４１ａ（４１ｂ）には、プラス電極層５もマイナス電極層６も設けられていない。例えば、図３に示すように、アクチュエータ本体４の上側の最外層には、１つ内側の圧電体層４１のプラス電極層５を覆うようにして、プラス及びマイナス電極層５，６が形成されていない圧電体層４１が設けられている。一方、下側の最外層には、マイナス電極層６が形成された圧電体層４１が設けられており、プラス及びマイナス電極層５，６が形成されていない圧電体層４１が別途設けられているわけではない。このマイナス電極層６は、最外層の圧電体層４１の主面４１ａ，４１ｂのうち、１つ内側の圧電体層４１と対向する側の主面４１ａに設けられているため、マイナス電極層６は外部に露出していない。したがって、下側の最外層の圧電体層４１は、マイナス電極層６が設けられた圧電体層４１で構成されている。
【００３２】
前記プラス電極層５は、図４に示すように、圧電体層４１の主面４１ａをその長手方向Ｌ及び短手方向Ｓにそれぞれ２等分してなる４つの領域Ａ１〜Ａ４のうち一方の対角線方向に並ぶ第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと、他方の対角線方向に並ぶ第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄとを有している。これら第１分割電極５１Ａ，５１Ｃが第１電極を構成し、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄが第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと異なるパターンで配置された第２電極を構成する。各分割電極は、略長方形状をしている。また、プラス電極層５は、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃが接続電極５１Ｅにより接続され且つ第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄが独立に配置された第１パターンのプラス電極層５Ｘと、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄが接続電極５２Ｅにより接続され且つ、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃが独立に配置された第２パターンのプラス電極層５Ｙとを含んでいる。以下、第１パターンと第２パターンとを区別しないときには、単に「プラス電極層５」と称する。
【００３３】
また、分割電極５１Ａ〜５２Ｄにはそれぞれ、圧電体層４１の周縁、即ち、側面まで延びる引出電極５１ａ〜５２ｃが設けられている。
【００３４】
具体的には、第１分割電極５１Ａには、圧電体層４１の長辺側面４１ｃに近接する長辺から該長辺側面４１ｃの第１側面電極７１ａまで延びる引出電極５１ａと、圧電体層４１の短辺側面４１ｅに近接する短辺から該短辺側面４１ｅの第１側面電極７１ｃまで延びる引出電極５１ｃとが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ａは、引出電極５１ａを介して第１側面電極７１ａに接続されていると共に、引出電極５１ｃを介して第１側面電極７１ｃに接続されている。また、第１分割電極５１Ｃには、圧電体層４１の長辺側面４１ｄに近接する長辺から該長辺側面４１ｄの第１側面電極７１ｂまで延びる引出電極５１ｂが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ｃは、引出電極５１ｂを介して第１側面電極７１ｂに接続されている。
【００３５】
また、第２分割電極５２Ｂには、圧電体層４１の長辺側面４１ｃに近接する長辺から該長辺側面４１ｃの第２側面電極７２ａまで延びる引出電極５２ａと、圧電体層４１の短辺側面４１ｆに近接する短辺から該短辺側面４１ｆの第２側面電極７２ｃまで延びる引出電極５２ｃとが設けられている。すなわち、第２分割電極５２Ｂは、引出電極５２ａを介して第２側面電極７２ａに接続されていると共に、引出電極５２ｃを介して第２側面電極７２ｃに接続されている。また、第２分割電極５２Ｄには、圧電体層４１の長辺側面４１ｄに近接する長辺から該長辺側面４１ｄの第２側面電極７２ｂまで延びる引出電極５２ｂが設けられている。すなわち、第２分割電極５２Ｄは、引出電極５２ｂを介して第２側面電極７２ｂに接続されている。
【００３６】
前記マイナス電極層６は、圧電体層４１の主面４１ａの略全面に亘って形成され、長方形状をしている。このマイナス電極層６が対向電極を構成する。また、マイナス電極層６は、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと圧電体層４１を挟んで対向する第１対向電極を構成すると共に、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄと圧電体層４１を挟んで対向する第２対向電極も構成する。マイナス電極層６は、積層方向を向いて見たときに、第１及び第２分割電極５１Ａ〜５２Ｄと重なるものの、引出電極５１ａ〜５２ｃとは重ならないように、主面４１ａの周縁部には設けられていない。マイナス電極層６には、一方の長辺の中央部から圧電体層４１の長辺側面４１ｃの第３側面電極７３ａまで延びる引出電極６ａと、他方の長辺の中央部から圧電体層４１の長辺側面４１ｄの第３側面電極７３ｂまで延びる引出電極６ｂとが設けられている。すなわち、マイナス電極層６は、引出電極６ａを介して第３側面電極７３ａに接続されていると共に，引出電極６ｂを介して第３側面電極７３ｂに接続されている。
【００３７】
前記プラス電極層５の引出電極５１ａ〜５２ｃは、積層方向において、マイナス電極層６及びマイナス電極層６の引出電極６ａ，６ｂとは重なっていない。このため、圧電体層４１の、引出電極５１ａ〜５２ｃや引出電極６ａ，６ｂに対応する部分は、圧電体層４１の厚み方向への電界が生じず、圧電的に不活性な部分となる。
【００３８】
このように構成された圧電体層４１，４１，…を積層させると、圧電体層４１の側面に形成された第１〜第３側面電極７１ａ〜７３ｂが積層方向に繋がり、圧電体層４１，４１，…の積層体、即ち、アクチュエータ本体４の側面には、一体的に繋がった第１〜第３側面電極７１Ａ〜７３Ｂが形成される。詳しくは、図２に示すように、アクチュエータ本体４の長辺側面４Ｃには、複数の第１側面電極７１ａ，７１ａ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ａ、複数の第３側面電極７３ａ，７３ａ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ａ、及び複数の第２側面電極７２ａ，７２ａ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ａが形成される。アクチュエータ本体４の長辺側面４Ｄには、複数の第２側面電極７２ｂ，７２ｂ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｂ、複数の第３側面電極７３ｂ，７３ｂ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ｂ、及び複数の第１側面電極７１ｂ，７１ｂ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｂが形成される。アクチュエータ本体４の短辺側面４Ｅには、複数の第１側面電極７１ｃ，７１ｃ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｃが形成される。アクチュエータ本体４の短辺側面４Ｆには、複数の第２側面電極７２ｃ，７２ｃ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｃが形成される。
【００３９】
その結果、異なる圧電体層４１，４１，…に設けられた第１分割電極５１Ａ，５１Ａ，…は、第１側面電極７１Ａ及び第１側面電極７１Ｃを介して互いに導通している。また、異なる圧電体層４１，４１，…に設けられた第１分割電極５１Ｃ，５１Ｃ，…は、第１側面電極７１Ｂを介して互いに導通している。さらに、第１パターンのプラス電極層５Ｘにおいては、第１分割電極５１Ａと第１分割電極５１Ｃとが、接続電極５１Ｅを介して互いに導通している。つまり、第２パターンのプラス電極層５Ｙにおける第１分割電極５１Ａと第１分割電極５１Ｃとは、第１側面電極７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ及び第１パターンのプラス電極層５Ｘを介して、互いに導通している。
【００４０】
同様に、異なる圧電体層４１，４１，…に設けられた第２分割電極５２Ｂ，５２Ｂ，…は、第２側面電極７２Ａ及び第２側面電極７２Ｃを介して互いに導通している。また、異なる圧電体層４１，４１，…に設けられた第２分割電極５２Ｄ，５２Ｄ，…は、第２側面電極７２Ｂを介して互いに導通している。さらに、第２パターンのプラス電極層５Ｙにおいては、第２分割電極５２Ｂと第２分割電極５２Ｄとが、接続電極５２Ｅを介して互いに導通している。つまり、第１パターンのプラス電極層５Ｘにおける第２分割電極５２Ｂと第２分割電極５２Ｄとは、第２側面電極７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃ及び第２パターンのプラス電極層５Ｙを介して、互いに導通している。
【００４１】
さらに、異なる圧電体層４１，４１，…の主面４１ａ，４１ａ，…に設けられたマイナス電極層６，６，…は、第３側面電極７３Ａ及び第３側面電極７３Ｂを介して互いに導通している。
【００４２】
そして、アクチュエータ本体４の最外層の圧電体層４１の外側に露出する主面４１ａ（即ち、アクチュエータ本体４の主面４Ａ）には、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃに給電するための第１外部電極８１と、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄに給電するための第２外部電極８２と、マイナス電極層６に給電するための第３外部電極８３とが形成されている。これら第１〜第３外部電極８１〜８３は、金や銀やパラジウムなどの金属を焼き付けや溶射、スパッタなどの方法で圧電体層４１の主面４１ａに形成されている。第１〜第３外部電極８１〜８３は、アクチュエータ本体４の主面４Ａの重心を通って短手方向に延びる直線に対して線対称に配置されている。
【００４３】
第１外部電極８１は、図２に示すように、アクチュエータ本体４の主面４Ａの一の隅部（即ち、角部）においてＬ字状に形成されている。第１外部電極８１の一端は、長辺側面４Ｃの第１側面電極７１Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第１側面電極７１Ｃに接続されている。詳しくは、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｃとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第１外部電極８１及び第１側面電極７１Ａ，７１Ｃは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第１外部電極８１は、２つの第１側面電極７１Ａ，７１Ｃを介して第１分割電極５１Ａ，…，５１Ｃ，…と導通している。
【００４４】
第２外部電極８２は、アクチュエータ本体４の、第１外部電極８１の位置とは別の隅部（長手方向の反対側の隅部）においてＬ字状に形成されている。第２外部電極８２の一端は、長辺側面４Ｃの第２側面電極７２Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第２側面電極７２Ｃに接続されている。詳しくは、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ａとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｃとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第２外部電極８２及び第２側面電極７２Ａ，７２Ｃは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第２外部電極８２は、２つの第２側面電極７２Ａ，７２Ｃを介して第２分割電極５２Ｂ，…，５２Ｄ，…と導通している。
【００４５】
第３外部電極８３は、アクチュエータ本体４の主面４Ａの長手方向中央において短手方向に延びる直線状に形成されている。第３外部電極８３の一端は、長辺側面４Ｃの第３側面電極７３Ａに接続される一方、他端は、長辺側面４Ｄの第３側面電極７３Ｂに接続されている。詳しくは、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｂとは、アクチュエータ本体４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。このように接続された第３外部電極８３及び第３側面電極７３Ａ，７３Ｂは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｄに跨って形成されている。こうして、第３外部電極８３は、２つの第３側面電極７３Ａ，７３Ｂを介してマイナス電極層６，６，…と導通している。
【００４６】
このように構成されたアクチュエータ本体４においては、第１〜第３外部電極８１〜８３が外表面に露出している。これら第１〜第３外部電極８１〜８３を給電端子として、アクチュエータ本体４に給電が行われる。詳しくは、図１に示すように、アクチュエータ本体４の主面４Ａにおいて、第１〜第３外部電極８１〜８３にフレキシブルプリント基板９が接続されている。このフレキシブルプリント基板９が給電線を構成する。フレキシブルプリント基板９は、３本の導線部９１〜９３を有している。各導線部９１〜９３の端子部９１ａ〜９３ａがそれぞれ、第１〜第３外部電極８１〜８３にＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）を介して接続されている。ここで、第１〜第３外部電極８１〜８３とフレキシブルプリント基板９の端子部９１ａ〜９３ａとの接続部は、アクチュエータ本体４の屈曲振動のノード部に位置している。また、第３外部電極８３とフレキシブルプリント基板９の端子部９３ａとの接続部の位置は、アクチュエータ本体４の伸縮振動のノード部の位置でもある。このフレキシブルプリント基板９は、制御装置１０にも接続されている。つまり、制御装置１０は、フレキシブルプリント基板９を介してアクチュエータ本体４に給電する。
【００４７】
次に、制御装置１０の構成及びアクチュエータ本体４の動作について、図５〜８を参照しながら、説明する。図５は、制御装置１０の一部を構成するハーフブリッジ回路の回路図であり、図６は、アクチュエータ本体の１次モードの伸縮振動の変位図であり、図７は、アクチュエータ本体の２次モードの屈曲振動の変位図であり、図８は、アクチュエータ本体の１次モードの伸縮振動と２次モードの屈曲振動との合成振動の変位図である。
【００４８】
制御装置１０は、４つのスイッチ１２，１２，…と２つのコイル１３，１３とを有し、２つのハーフブリッジを構成している。ハーフブリッジは、電源電圧と同じ電圧値の矩形波の電圧を出力する。圧電体層４１は、コイル１３，１３とハーフブリッジとの間に接続されている。圧電体層４１の容量とコイル１３のインダクタンスによりローパスフィルタが形成され、圧電体層４１には、正弦波の駆動電圧が印加される。コイル１３のインダクタンスと圧電体層４１の容量によるローパスフィルタのカットオフ周波数は、超音波アクチュエータ２の駆動周波数より高いことが好ましい。
【００４９】
制御装置１０は、ＣＰＵ（図示省略）を有しており、ＣＰＵによりスイッチ１２，１２，…をスイッチングすることによって、２つのハーフブリッジと２つのコイル１３，１３とにより、２相の正弦波の駆動電圧を圧電体層４１に印加する。具体的には、制御装置１０は、第１のハーフブリッジと第１のコイル１３により正弦波の第１駆動電圧を発生し、これを圧電体層４１の第１分割電極５１Ａ，５１Ｃとマイナス電極層６との間に印加する一方、第２のハーフブリッジと第２のコイル１３により第２駆動電圧を発生し、これを圧電体層４１の第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄとマイナス電極層６との間に印加する。尚、ここでは、第１及び第２駆動電圧を発生する２ｃｈのハーフブリッジで説明したが、２ｃｈのフルブリッジやアンプ構成で電源回路を実現してもよい。ただし、フルブリッジ回路を適用する場合には、マイナス電極層６を第１分割電極５１Ａ，５１Ｃに対向するマイナス電極層と、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄに対向するマイナス電極層とに分割する必要がある。
【００５０】
制御装置１０は、第１及び第２交流電圧の電圧値、周波数、位相を調節することによって、アクチュエータ本体４に種々の振動を誘起させる。制御装置１０は、ハーフブリッジのゲート信号を変更することによって、第１駆動電圧及び第２駆動電圧の周波数を所定の範囲内で変更したり、第１駆動電圧と第２駆動電圧との位相差を変更したりすることができる。例えば、制御装置１０が、略同じ電圧値、周波数の第１及び第２交流電圧を同位相でアクチュエータ本体４に印加すると、アクチュエータ本体４には図６に示す１次モードの伸縮振動が誘起される。一方、制御装置１０が、略同じ電圧値、周波数の第１及び第２交流電圧を１８０°の位相差でアクチュエータ本体４に印加すると、アクチュエータ本体４には図７に示す２次モードの屈曲振動が誘起される。
【００５１】
ところで、アクチュエータ本体４の伸縮振動の共振周波数及び屈曲振動の共振周波数は、それぞれ、アクチュエータ本体４の材料や形状等により決定される。本実施形態では、アクチュエータ本体４の材料や形状等は、１次モードの伸縮振動の共振周波数及び２次モードの屈曲振動の共振周波数が略一致するように決定されている。
【００５２】
ここで、制御装置１０が、略同じ電圧値で、１次モードの伸縮振動の共振周波数及び２次モードの屈曲振動の共振周波数と略同じ周波数の第１及び第２交流電圧を９０°又は−９０°の位相差でアクチュエータ本体４に印加すると、アクチュエータ本体４には１次モードの伸縮振動と２次モードの屈曲振動とが調和的に誘起される。その結果、アクチュエータ本体４の形状が、図８（Ａ）〜（Ｄ）に示すような順で変化すし、アクチュエータ本体４に設けられた駆動子４９，４９が、図８の紙面に直交する方向を向いて見て周回運動、具体的には、略楕円運動する。つまり、アクチュエータ本体４の伸縮振動及び屈曲振動の合成振動により駆動子４９，４９が略楕円運動する。この楕円運動により駆動子４９，４９が当接しているステージ１１は、アクチュエータ本体４に対して相対的に、図１に示す矢印Ａ又は矢印Ｂの方向に移動する。つまり、アクチュエータ本体４は、長手方向へ駆動力を出力する。この長手方向が駆動方向に相当する。尚、アクチュエータ本体４の異常発熱を防止すべく、アクチュエータ本体４の縦振動と屈曲振動との共通の共振周波数よりも少し高い周波数の交流電圧を印加するようにしてもよい。
【００５３】
尚、ステージ１１の移動量、移動速度及び移動加速度は、給電する交流電圧の電圧値、周波数及び給電時間の少なくとも１つを調整する、又は給電する各交流電圧の位相のずれを変更する等によって調整することができる。
【００５４】
ここで、伸縮振動の振動方向は、アクチュエータ本体４の主面の長手方向、つまり、ステージ１１の移動方向であり、屈曲振動の振動方向は、駆動子４９，４９がステージ１１を押圧する方向である。アクチュエータ本体４の積層方向は、伸縮振動の伸縮方向及び屈曲振動の振動方向の両方と垂直な方向である。
【００５５】
このように超音波アクチュエータ２は、駆動子４９，４９を縦振動の振動方向（長手方向）と屈曲振動の振動方向（短手方向）とを含む平面内で周回運動させて、駆動子４９，４９とステージ１１との間の摩擦力の増大と緩和とを繰り返しながら、該ステージ１１を駆動している。
【００５６】
ここで、本実施形態では、給電電極となる第１〜第３外部電極８１〜８３がアクチュエータ本体４の主面４Ａに配置されている。こうすることで、１つのフレキシブルプリント基板９によって第１〜第３外部電極８１〜８３に給電することができる。その結果、配線の取り回しを簡素化できると共に組立性を向上させることができる。
【００５７】
このように第１〜第３外部電極８１〜８３をアクチュエータ本体４の主面４Ａに配置する構成においては、第１〜第３外部電極８１〜８３と内部電極層５，…，６，…とを導通させるために、アクチュエータ本体４の側面に側面電極７１Ａ〜７３Ｂを形成して、対応する第１〜第３外部電極８１〜８３と内部電極層５，…，６，…とを該側面電極を介して接続している。かかる構成においては、アクチュエータ本体４の主面４Ａに形成された第１〜第３外部電極８１〜８３とアクチュエータ本体４の側面に形成された側面電極７１Ａ〜７３Ｂとは、該主面４Ａと側面４Ｃ〜４Ｆとで形成される稜線部４０ｃ〜４０ｆにおいて接続される。この稜線部は、外部からの衝撃等によって欠け易い部分である。特に、圧電体層４１がセラミック材料で構成されている場合には、セラミック材料は脆弱材料であるため、稜線部がより欠け易くなる。稜線部の欠損に伴って、外部電極と側面電極との接続部が欠損すると、外部電極と側面電極とが断線してしまう。外部電極と側面電極との接続部が部分的に欠損した場合であっても、外部電極と側面電極との導通抵抗が増大してしまう。さらに、圧電体層４１を構成するセラミック材料等の熱膨張係数（数ｐｐｍ／℃）と、外部電極及び側面電極を構成する金属等の熱膨張係数（数十ｐｐｍ／℃）とは数倍異なるため、圧電体層４１と外部電極及び側面電極との間で大きな熱応力が発生する。この熱応力は、稜線部に集中する。つまり、この熱応力によっても、稜線部の欠損が生じる虞がある。このように、外部電極と側面電極とを稜線部において接続する構成においては、超音波アクチュエータ２の信頼性がどうしても低くなってしまう。
【００５８】
それに対して、本実施形態では、同電位となる外部電極と内部電極層とを２つの側面電極で接続している。詳しくは、同電位となる第１外部電極８１と第１分割電極５１Ａ，５１Ｃとは、２つの第１側面電極７１Ａ，７１Ｃを介して接続されている。第１側面電極７１ａはアクチュエータ本体４の長辺稜線部４０ｃにおいて、第１側面電極７１ｃはアクチュエータ本体４の短辺稜線部４０ｅにおいて、それぞれ第１外部電極８１に接続されている。こうすることによって、長辺稜線部４０ｃ又は短辺稜線部４０ｅの欠損により、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａとの接続部及び第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｃとの接続部の何れか一方が欠けたとしても、他方の接続部は存続しているため、第１外部電極８１と第１分割電極５１Ａ，５１Ｃとの導通を維持することができる。
【００５９】
また、同電位となる第２外部電極８２と第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄとは、２つの第２側面電極７２Ａ，７２Ｃを介して接続されている。このように、第２外部電極８２も、アクチュエータ本体４の長辺稜線部４０ｃ及び短辺稜線部４０ｆの２つの稜線部において、それぞれ第２側面電極７２Ａ，７２Ｃと接続されている。こうすることによって、長辺稜線部４０ｃ又は短辺稜線部４０ｆの欠落によって、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ａとの接続部及び第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｃとの接続部の何れか一方が欠けたとしても、他方の接続部は存続しているため、第２外部電極８２と第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄとの導通を維持することができる。
【００６０】
さらに、同電位となる第３外部電極８３とマイナス電極層６とは、２つの第３側面電極７３Ａ，７３Ｂを介して接続されている。このように、第３外部電極８３も、アクチュエータ本体４の長辺稜線部４０ｃ及び長辺稜線部４０ｄの２つの稜線部において、それぞれ第３側面電極７３Ａ，７３Ｂと接続されている。こうすることによって、長辺稜線部４０ｃ又は長辺稜線部４０ｄの欠落によって、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａとの接続部及び第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｂとの接続部の何れか一方が欠けたとしても、他方の接続部は存続しているため、第３外部電極８３とマイナス電極層６との導通を維持することができる。また、第３外部電極８３と各第３側面電極７３Ａ，７３Ｂとの接続部の稜線部に沿った長さ（以下、単に接続部の長さという）は、第１外部電極８１と各第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとの接続部の長さ、及び第２外部電極８２と各第２側面電極７２Ａ，７２Ｃとの接続部の長さよりも長くなっている。
【００６１】
したがって、本実施形態によれば、アクチュエータ本体４の稜線部４０ｃ〜４０ｆにおいて接続される側面電極７１Ａ〜７３Ｂを外部電極８１〜８３ごとに複数設けることによって、外部電極８１〜８３と側面電極７１Ａ〜７３Ｂとの接続部の１つで欠損が生じたとしても、別の接続部で導通が維持されるため、超音波アクチュエータ２の信頼性を向上させることができる。
【００６２】
また、第１外部電極８１に設けられた複数の第１側面電極７１Ａ，７１Ｃは、長辺稜線部４０ｃと短辺稜線部４０ｅとの異なる稜線部において第１外部電極８１に接続されているため、１つの稜線部が欠損したとしても、第１側面電極７１Ａ，７１Ｃの何れか一方と第１外部電極８１との接続部は残存するため、第１外部電極８１と第１分割電極５１Ａ，５１Ｃとの導通を維持することができる。すなわち、仮に、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとを同じ稜線部において接続していると、該稜線部が広い範囲で欠損した場合には、第１外部電極８１と全ての第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとの接続部も欠損してしまう虞がある。それに対して、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとの接続部を異なる稜線部に設けることによって、接続部の欠損の危険性を分散することができる。その結果、超音波アクチュエータ２の信頼性を向上させることができる。
【００６３】
同様に、第２外部電極８２に設けられた複数の第２側面電極７２Ａ，７２Ｃは、長辺稜線部４０ｃと短辺稜線部４０ｆとの異なる稜線部において第２外部電極８２に接続されているため、１つの接続部が欠損したとしても、第２側面電極７２Ａ，７２Ｃの何れか一方と第２外部電極８２との接続部は残存するため、第２外部電極８２と第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄとの導通を維持することができる。
【００６４】
さらに、第３外部電極８３に設けられた複数の第３側面電極７３Ａ，７３Ｂは、長辺稜線部４０ｃと長辺稜線部４０ｄとの異なる稜線部において第３外部電極８３に接続されているため、１つの接続部が欠損したとしても、第３側面電極７３Ａ，７３Ｂの何れか一方と第３外部電極８３との接続部は残存するため、第３外部電極８３とマイナス電極層６との導通を維持することができる。
【００６５】
さらに、第１外部電極８１を、長辺稜線部４０ｃと短辺稜線部４０ｅとの、互いに平行でない２つの稜線部において第１側面電極７１Ａ，７１Ｃと接続することによって、超音波アクチュエータ２の信頼性をさらに向上させることができる。すなわち、アクチュエータ本体４を製造工程等において機械等で搬送するときには、アクチュエータ本体４はチャック等によって両側から挟持される。このような保持部材によってアクチュエータ本体４が挟持されるときには、保持部材と当接する稜線部が欠損する虞がある。そして、アクチュエータ本体４の平行な稜線部は保持部材により共に挟持される可能性が高く、そのため、平行な稜線部は一度に欠損する虞がある。また、アクチュエータ本体４が製造工程等において搬送されるときには、保持部材によって挟持されたり、搬送台等に載置されたりして、一定の姿勢のまま移動することがよくある。つまり、平行な稜線部は全て進行方向に対して同じ姿勢となるため、外部の障害物に接触する危険性が全ての平行な稜線部で同じになってしまう。よって、このような場合にも、平行な稜線部が一度に欠損する虞がある。さらに、外部電極等を圧電体層４１に印刷する際には、例えば、圧電体層４１にマスク処理を施し、外部電極となる溶融材料を圧電体層４１に対して一定の方向に塗布していく。そのため、平行な稜線部では、溶融材料の塗布状態（例えば、厚さ等）が同じ様になってしまう。例えば、圧電体層４１の主面４１ａに対して溶融材料を長手方向に塗布する場合には、一対の長辺稜線部４０ｃ，４０ｄでは同じ様な塗布状態となる可能性が高いが、長辺稜線部４０ｃ（４０ｄ）と短辺稜線部４０ｅ（４０ｆ）とでは、塗布方向に対する稜線部の延びる方向が異なるため塗布状態が異なる可能性が高い。したがって、場合によっては、全ての接続部が均一に薄くなる、即ち、均一に欠損しやすくなる虞がある。それに対して、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとの接続部を、互いに平行でない２つの稜線部（即ち、長辺稜線部４０ｃと短辺稜線部４０ｅ）に設けることによって、全ての接続部が一度に欠損してしまうことを防止することができると共に、全ての接続部が均一に薄く形成されることを防止することができる。
【００６６】
同様に、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ａ，７２Ｃとの接続部を、長辺稜線部４０ｃと短辺稜線部４０ｆとの、互いに平行でない２つの稜線部に設けることによって、全ての稜線部が一度に欠損してしまうことを防止することができると共に、全ての接続部が均一に薄く形成されることを防止することができる。
【００６７】
さらに、第１〜第３外部電極８１〜８３をアクチュエータ本体４の主面４Ａにおいて、主面４Ａの重心を通って短手方向に延びる直線に対して線対称に配置することによって、アクチュエータ本体４の振動の対称性を確保することができる。それにより、超音波アクチュエータ２から出力される駆動力を安定化させると共に、駆動方向の両側に対して均一に駆動力を出力することができる。
【００６８】
さらにまた、第１〜第３外部電極８１〜８３とフレキシブルプリント基板９との接続部を屈曲振動のノード部近傍に配置することによって、第１〜第３外部電極８１〜８３とフレキシブルプリント基板９との接続部がアクチュエータ本体４の振動を阻害してしまうことを抑制することができる。さらに、第３外部電極８３とフレキシブルプリント基板９との接続部を屈曲振動及び伸縮振動のノード部近傍に配置することによって、アクチュエータ本体４の振動を阻害してしまうことをより一層、抑制することができる。
【００６９】
また、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａ，７３Ｂとの接続部の長さを、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ａ，７１Ｃとの接続部の長さ、及び第２外部電極８２と第２側面電極７２Ａ，７２Ｃとの接続部の長さよりも長くすることによって、電力の損失を低減することができる。つまり、本実施形態では、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄに対する対向電極をマイナス電極層６で共通化している。そのため、マイナス電極層６には、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃや第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄと比較して大きな電流が流れる。そこで、より大きな電流が流れる、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａ，７３Ｂとの接続部の長さを長くすることによって、導通抵抗を低減して、電力の損失を低減することができる。
【００７０】
さらに、アクチュエータ本体４の主面４Ａは駆動力を出力する駆動方向である長手方向と平行であるため、第１〜第３外部電極８１〜８３を主面４Ａに設けることによって、第１〜第３外部電極８１〜８３に接続したフレキシブルプリント基板９を駆動方向に沿って延設することができる。こうして、第１〜第３外部電極８１〜８３に接続するフレキシブルプリント基板９を、該第１〜第３外部電極８１〜８３から、駆動力の出力方向である長手方向に沿って延設することによって、フレキシブルプリント基板９の取り回しを簡略にすることができる。つまり、本実施形態では、ステージ１１が駆動方向へ移動するため、フレキシブルプリント基板９をアクチュエータ本体４から、該駆動方向に直交する短手方向や厚み方向に引き延ばすと、フレキシブルプリント基板９がステージ１１やステージ１１と共に移動する物体に干渉する虞がある。それに対して、フレキシブルプリント基板９を駆動方向に沿って延設すると、フレキシブルプリント基板９とステージ１１及びステージ１１と共に移動する物体との干渉を防止することができる。また、ステージ１１が固定されており、超音波アクチュエータ２が取り付けられている物体がステージ１１に対して移動する構成（即ち、自走式の構成）においては、駆動方向には超音波アクチュエータ２が移動するためのスペースが確保されている。フレキシブルプリント基板９を駆動方向に沿って延設することによって、このスペースを利用してフレキシブルプリント基板９を延設することができる。その結果、フレキシブルプリント基板９がステージ１１等の固定体に干渉することを防止することができる。
【００７１】
＜変形例１＞
続いて、前記実施形態の変形例１について説明する。変形例１に係る超音波アクチュエータは、アクチュエータ本体１０４の内部電極１０５，１０６の構成が前記アクチュエータ本体４の内部電極層５，６の構成と異なる。
【００７２】
アクチュエータ本体１０４では、図９に示すように、圧電体層４１の主面４１ａの領域Ａ３，Ａ４（図４参照）にだけ電極が設けられている。すなわち、アクチュエータ本体１０４のプラス電極層１０５は、圧電体層４１の主面４１ａをその長手方向Ｌ及び短手方向Ｓにそれぞれ２等分してなる４つの領域Ａ１〜Ａ４のうちの領域Ａ３に設けられた第１分割電極５１Ｃと、領域Ａ３に対して長手方向に隣り合う領域Ａ４に設けられた第２分割電極５２Ｄとを含んでいる。そして、アクチュエータ本体１０４のマイナス電極層１０６は、第１及び第２分割電極５１Ｃ，５２Ｄに対する共通電極ではなく、第１分割電極５１Ｃと圧電体層４１を挟んで対向する第１対向分割電極６１Ｃと、第２分割電極５２Ｄと圧電体層４１を挟んで対向する第２対向分割電極６２Ｄとを含んでいる。これらプラス電極層１０５及びマイナス電極層１０６が内部電極を構成し、第１分割電極５１Ｃが第１電極を、第２分割電極５２Ｄが第１分割電極５１Ｃと異なるパターンで配置された第２電極を構成し、第１対向分割電極６１Ｃが第１対向電極を、第２対向分割電極６２Ｄが第２対向電極を構成する。
【００７３】
また、圧電体層４１の長辺側面４１ｄには、長手方向一端部に第２側面電極７２ｂが、長手方向他端部に第１側面電極７１ｂが、長手方向中央よりも第２側面電極７２ｂ寄りの位置に第４側面電極７４ｂが、長手方向中央よりも第１側面電極７１ｂ寄りの位置に第３側面電極７３ｂが設けられている。圧電体層４１の一方の短辺側面４１ｅには、短手方向一端部に第４側面電極７４ｃが、短手方向他端部に第２側面電極７２ｃが設けられている。圧電体層４１の他方の短辺側面４１ｆには、短手方向一端部に第３側面電極７３ｃが、短手方向他端部に第１側面電極７１ｃが設けられている。
【００７４】
そして、第１分割電極５１Ｃには、長辺側面４１ｄの第１側面電極７１ｂまで延びる引出電極５１ｂと、短辺側面４１ｆの第１側面電極７１ｃまで延びる引出電極５１ｃとが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ｃは、引出電極５１ｂを介して第１側面電極７１ｂに接続されていると共に、引出電極５１ｃを介して第１側面電極７１ｃに接続されている。また、第２分割電極５２Ｄには、長辺側面４１ｄの第２側面電極７２ｂまで延びる引出電極５２ｂと、短辺側面４１ｅの第２側面電極７２ｃまで延びる引出電極５２ｃとが設けられている。すなわち、第２分割電極５２Ｄは、引出電極５２ｂを介して第２側面電極７２ｂと接続されていると共に、引出電極５２ｃを介して第２側面電極７２ｃに接続されている。さらに、第１対向分割電極６１Ｃには、長辺側面４１ｄの第３側面電極７３ｂまで延びる引出電極６１ｂと、短辺側面４１ｆの第３側面電極７３ｃまで延びる引出電極６１ｃとが設けられている。すなわち、第１対向分割電極６１Ｃは、引出電極６１ｂを介して第３側面電極７３ｂに接続されていると共に、引出電極６１ｃを介して第３側面電極７３ｃに接続されている。さらにまた、第２対向分割電極６２Ｄには、長辺側面４１ｄの第４側面電極７４ｂまで延びる引出電極６２ｂと、短辺側面４１ｅの第４側面電極７４ｃまで延びる引出電極６２ｃとが設けられている。すなわち、第２対向分割電極６２Ｄは、引出電極６２ｂを介して第４側面電極７４ｂに接続されていると共に、引出電極６２ｃを介して第４側面電極７４ｃに接続されている。
【００７５】
このように構成された圧電体層４１，４１，…を積層させると、圧電体層４１の側面に形成された第１〜第４側面電極７１ｂ〜７４ｃが積層方向に繋がり、圧電体層４１，４１，…の積層体、即ち、アクチュエータ本体１０４の側面には、一体的に繋がった第１〜第４側面電極７１Ｂ〜７４Ｃが形成される。詳しくは、図１０に示すように、アクチュエータ本体１０４の長辺側面４Ｄには、複数の第２側面電極７２ｂ，７２ｂ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｂ、複数の第４側面電極７４ｂ，７４ｂ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ｂ、複数の第３側面電極７３ｂ，７３ｂ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ｂ、及び複数の第１側面電極７１ｂ，７１ｂ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｂが形成される。アクチュエータ本体１０４の短辺側面４Ｅには、複数の第４側面電極７４ｃ，７４ｃ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ｃ、及び複数の第２側面電極７２ｃ，７２ｃ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｃが形成される。アクチュエータ本体１０４の短辺側面４Ｆには、複数の第３側面電極７３ｃ，７３ｃ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ｃ、及び複数の第１側面電極７１ｃ，７１ｃ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｃが形成される。
【００７６】
そして、アクチュエータ本体１０４の最外層の圧電体層４１の外側に露出する主面４１ａ（即ち、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａ）には、第１分割電極５１Ｃに給電するための第１外部電極８１と、第２分割電極５２Ｄに給電するための第２外部電極８２と、第１対向分割電極６１Ｃに給電するための第３外部電極８３と、第２対向分割電極６２Ｄに給電するための第４外部電極８４が形成されている。第１〜第４外部電極８１〜８４は、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａの重心を通って短手方向に延びる直線に対して線対称に配置されている。
【００７７】
第１外部電極８１は、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａの一の隅部においてＬ字状に形成されている。第１外部電極８１の一端は、長辺側面４Ｄの第１側面電極７１Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第１側面電極７１Ｃに接続されている。詳しくは、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｂとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｃとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第１外部電極８１及び第１側面電極７１Ｂ，７１Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第１外部電極８１は、２つの第１側面電極７１Ｂ，７１Ｃを介して第１分割電極５１Ｃ，５１Ｃ，…と導通している。
【００７８】
第２外部電極８２は、アクチュエータ本体１０４の、第１外部電極８１の位置とは別の隅部（長手方向の反対側の隅部）においてＬ字状に形成されている。第２外部電極８２の一端は、長辺側面４Ｄの第２側面電極７２Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第２側面電極７２Ｃに接続されている。詳しくは、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｂとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｃとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第２外部電極８２及び第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第２外部電極８２は、２つの第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃを介して第２分割電極５２Ｄ，５２Ｄ，…と導通している。
【００７９】
第３外部電極８３は、第１外部電極８１が設けられた隅部において該第１外部電極８１を囲むように、Ｌ字状に形成されている。第３外部電極８３の一端は、長辺側面４Ｄの第３側面電極７３Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第３側面電極７３Ｃに接続されている。詳しくは、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｂとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｃとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第３外部電極８３及び第３側面電極７３Ｂ，７３Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第３外部電極８３は、２つの第３側面電極７３Ｂ，７３Ｃを介して第１対向分割電極６１Ｃ，６１Ｃ，…と導通している。
【００８０】
第４外部電極８４は、第２外部電極８２が設けられた隅部において該第２外部電極８２を囲むように、Ｌ字状に形成されている。第４外部電極８４の一端は、長辺側面４Ｄの第４側面電極７４Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第４側面電極７４Ｃに接続されている。詳しくは、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ｂとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ｃとは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第４外部電極８４及び第４側面電極７４Ｂ，７４Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第４外部電極８４は、２つの第４側面電極７４Ｂ，７４Ｃを介して第２対向分割電極６２Ｄ，６２Ｄ，…と導通している。
【００８１】
このように構成されたアクチュエータ本体１０４においては、第１〜第４外部電極８１〜８４が外表面に露出している。これら第１〜第４外部電極８１〜８４を給電端子として、アクチュエータ本体１０４に給電が行われる。詳しくは、アクチュエータ本体１０４の主面４Ａにおいて、第１〜第４外部電極８１〜８４にフレキシブルプリント基板（図示省略）が接続される。そして、第１分割電極５１Ｃ及び第１対向分割電極６１Ｃと、第２分割電極５２Ｄ及び第２対向分割電極６２Ｄとにそれぞれ、位相が９０°ずれた第１及び第２駆動電圧を印加することによって、アクチュエータ本体１０４に１次モードの伸縮振動と２次モードの屈曲振動とを調和的に発生させることができる。その結果、駆動子４９，４９が周回運動を行い、アクチュエータ本体１０４の長手方向へ駆動力を出力する。
【００８２】
かかる構成においても、外部電極ごとに２つの側面電極が設けられている。これにより、外部電極と側面電極との接続部の１つで欠損が生じたとしても、別の接続部で導通が維持されるため、超音波アクチュエータ２の信頼性を向上させることができる。例えば、第１外部電極８１には、稜線部４０ｄ，４０ｆにおいて２つの第１側面電極７１Ｂ，７１Ｃが接続されている。仮に稜線部４０ｄが欠損して、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｂとが断線したとしても、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｃとは接続されているため、第１外部電極８１と第１分割電極５１Ｃ，５１Ｃ，…との導通が維持される。
【００８３】
＜変形例２＞
次に、変形例２に係る超音波アクチュエータについて説明する。変形例２に係る超音波アクチュエータは、アクチュエータ本体２０４の内部電極の構成が前記アクチュエータ本体４の内部電極層５，６の構成と異なる。
【００８４】
アクチュエータ本体２０４は、図１１に示すように、内部電極層として、第１プラス電極層５Ｔと、第２プラス電極層５Ｌと、マイナス電極層２０６とを有している。第１プラス電極層５Ｔは、４つの第１〜第２分割電極５１Ａ，５２Ｂ，５１Ｃ，５２Ｄを有している。第２プラス電極層５Ｌは、圧電体層４１の主面４１ａの略全面に亘って形成された１つの電極である。マイナス電極層２０６も、第２プラス電極層５Ｌと同様に、圧電体層４１の主面４１ａの略全面に亘って形成された１つの電極である。これら第１プラス電極層５Ｔ、第２プラス電極層５Ｌ及びマイナス電極層２０６が内部電極を構成し、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃが第１電極を、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄが第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと異なるパターンで配置された第２電極を構成する。また、第２プラス電極層５Ｌも、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと異なるパターンで配置された第２電極を構成する。マイナス電極層２０６は、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと圧電体層４１を挟んで対向する第１対向電極を構成すると共に、第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄと圧電体層４１を挟んで対向する第２対向電極も構成し、さらに、第２プラス電極層５Ｌと圧電体層４１を挟んで対向する第２対向電極も構成する。
【００８５】
アクチュエータ本体２０４は、第１プラス電極層５Ｔが設けられた圧電体層４１、マイナス電極層２０６が設けられた圧電体層４１、第２プラス電極層５Ｌが設けられた圧電体層４１、マイナス電極層が設けられた圧電体層４１の順で、複数の圧電体層４１，４１，…が積層されて構成されている。
【００８６】
また、圧電体層４１の長辺側面４１ｃには、長手方向一端部に第１側面電極７１ａが、長手方向他端部に第２側面電極７２ａが、長手方向中央よりも第１側面電極７１ａ寄りの位置に第４側面電極７４ａが、長手方向中央よりも第２側面電極７２ａ寄りの位置に第３側面電極７３ａが設けられている。圧電体層４１の長辺側面４１ｄには、長手方向一端部に第２側面電極７２ｂが、長手方向他端部に第１側面電極７１ｂが、長手方向中央よりも第２側面電極７２ｂ寄りの位置に第４側面電極７４ｂが、長手方向中央よりも第１側面電極７１ｂ寄りの位置に第３側面電極７３ｂが設けられている。圧電体層４１の一方の短辺側面４１ｅには、短手方向一端部に第１側面電極７１ｃが、短手方向他端部に第２側面電極７２ｃが設けられている。圧電体層４１の他方の短辺側面４１ｆには、短手方向一端部に第２側面電極７２ｄが、短手方向他端部に第１側面電極７１ｄが設けられている。
【００８７】
そして、第１分割電極５１Ａには、長辺側面４１ｃの第１側面電極７１ａまで延びる引出電極５１ａと、短辺側面４１ｅの第１側面電極７１ｃまで延びる引出電極５１ｃとが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ａは、引出電極５１ａを介して第１側面電極７１ａに、引出電極５１ｃを介して第１側面電極７１ｃに接続されている。また、第１分割電極５１Ｃには、長辺側面４１ｄの第１側面電極７１ｂまで延びる引出電極５１ｂと、短辺側面４１ｆの第１側面電極７１ｄまで延びる引出電極５１ｄとが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ｃは、引出電極５１ｂを介して第１側面電極７１ｂに、引出電極５１ｄを介して第１側面電極７１ｄに接続されている。
【００８８】
また、第２分割電極５２Ｂには、長辺側面４１ｃの第２側面電極７２ａまで延びる引出電極５２ａと、短辺側面４１ｆの第２側面電極７２ｄまで延びる引出電極５２ｄとが設けられている。すなわち、第２分割電極５２Ｂは、引出電極５２ａを介して第２側面電極７２ａに、引出電極５２ｄを介して第２側面電極７２ｄに接続されている。第２分割電極５２Ｄには、長辺側面４１ｄの第２側面電極７２ｂまで延びる引出電極５２ｂと、短辺側面４１ｅの第２側面電極７２ｃまで延びる引出電極５２ｃとが設けられている。すなわち、第２分割電極５２Ｄは、引出電極５２ｂを介して第２側面電極７２ｂに、引出電極５２ｃを介して第２側面電極７２ｃに接続されている。
【００８９】
さらに、第２プラス電極層５Ｌには、長辺側面４１ｃの第３側面電極７３ａまで延びる引出電極５３ａと、長辺側面４１ｄの第３側面電極７３ｂまで延びる引出電極５３ｂとが設けられている。すなわち、第２プラス電極層５Ｌは、引出電極５３ａを介して第３側面電極７３ａに、引出電極５３ｂを介して第３側面電極７３ｂに接続されている。
【００９０】
さらにまた、マイナス電極層２０６には、長辺側面４１ｃの第４側面電極７４ａまで延びる引出電極６ａと、長辺側面４１ｄの第４側面電極７４ｂまで延びる引出電極６１ｂとが設けられている。すなわち、マイナス電極層２０６は、引出電極６ａを介して第４側面電極７４ａに、引出電極６１ｂを介して第４側面電極７４ｂに接続されている。
【００９１】
このように構成された圧電体層４１，４１，…を積層させると、圧電体層４１の側面に形成された第１〜第４側面電極７１ａ〜７４ｂが積層方向に繋がり、圧電体層４１，４１，…の積層体、即ち、アクチュエータ本体２０４の側面には、一体的に繋がった第１〜第４側面電極７１Ａ〜７４Ｂが形成される。詳しくは、図１２に示すように、アクチュエータ本体２０４の長辺側面４Ｃには、複数の第１側面電極７１ａ，７１ａ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ａ、複数の第４側面電極７４ａ，７４ａ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ａ、複数の第３側面電極７３ａ，７３ａ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ａ、及び複数の第２側面電極７２ａ，７２ａ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ａが形成される。アクチュエータ本体２０４の長辺側面４Ｄには、複数の第２側面電極７２ｂ，７２ｂ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｂ、複数の第４側面電極７４ｂ，７４ｂ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ｂ、複数の第３側面電極７３ｂ，７３ｂ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ｂ、及び複数の第１側面電極７１ｂ，７１ｂ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｂが形成される。アクチュエータ本体２０４の短辺側面４Ｅには、複数の第１側面電極７１ｃ，７１ｃ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｃ、及び複数の第２側面電極７２ｃ，７２ｃ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｃが形成される。アクチュエータ本体２０４の短辺側面４Ｆには、複数の第２側面電極７２ｄ，７２ｄ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｄ、及び複数の第１側面電極７１ｄ，７１ｄ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｄが形成される。
【００９２】
そして、アクチュエータ本体２０４の最外層の圧電体層４１の外側に露出する主面４１ａ（即ち、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａ）には、第１分割電極５１Ａ，５１Ａ，…に給電するための第１外部電極８１Ａと、第１分割電極５１Ｃ，５１Ｃ，…に給電するための第１外部電極８１Ｃと、第２分割電極５２Ｂに給電するための第２外部電極８２Ｂと、第２分割電極５２Ｄに給電するための第２外部電極８２Ｄと、第２プラス電極層５Ｌに給電するための第３外部電極８３と、マイナス電極層２０６に給電するための第４外部電極８４が形成されている。第１〜第４外部電極８１Ａ〜８４は、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａの重心を通って短手方向に延びる直線に対して線対称に配置されている。
【００９３】
第１外部電極８１Ａは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ１（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第１外部電極８１Ａの一端は、長辺側面４Ｃの第１側面電極７１Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第１側面電極７１Ｃに接続されている。詳しくは、第１外部電極８１Ａと第１側面電極７１Ａとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第１外部電極８１Ａと第１側面電極７１Ｃとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第１外部電極８１Ａ及び第１側面電極７１Ａ，７１Ｃは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第１外部電極８１Ａは、２つの第１側面電極７１Ａ，７１Ｃを介して第１分割電極５１Ａ，５１Ａ，…と導通している。
【００９４】
第１外部電極８１Ｃは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ３（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第１外部電極８１Ｃの一端は、長辺側面４Ｄの第１側面電極７１Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第１側面電極７１Ｄに接続されている。詳しくは、第１外部電極８１Ｃと第１側面電極７１Ｂとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第１外部電極８１Ｃと第１側面電極７１Ｄとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第１外部電極８１Ｃ及び第１側面電極７１Ｂ，７１Ｄは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第１外部電極８１Ｃは、２つの第１側面電極７１Ｂ，７１Ｄを介して第１分割電極５１Ｃ，５１Ｃ，…と導通している。
【００９５】
第２外部電極８２Ｂは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ２（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第２外部電極８２Ｂの一端は、長辺側面４Ｃの第２側面電極７２Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第２側面電極７２Ｄに接続されている。詳しくは、第２外部電極８２Ｂと第２側面電極７２Ａとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第２外部電極８２Ｂと第２側面電極７２Ｄとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第２外部電極８２Ｂ及び第２側面電極７２Ａ，７２Ｄは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第２外部電極８２Ｂは、２つの第２側面電極７２Ａ，７２Ｄを介して第２分割電極５２Ｂ，５２Ｂ，…と導通している。
【００９６】
第２外部電極８２Ｄは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ４（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第２外部電極８２Ｄの一端は、長辺側面４Ｄの第２側面電極７２Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第２側面電極７２Ｃに接続されている。詳しくは、第２外部電極８２Ｄと第２側面電極７２Ｂとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第２外部電極８２Ｄと第２側面電極７２Ｃとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第２外部電極８２Ｄ及び第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第２外部電極８２Ｄは、２つの第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃを介して第２分割電極５２Ｄ，５２Ｄ，…と導通している。
【００９７】
第３外部電極８３は、前記領域Ａ２，Ａ３内であって、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａの長手方向中央近傍の位置において、短手方向に延びる直線状に形成されている。第３外部電極８３の一端は、長辺側面４Ｃの第３側面電極７３Ａに接続される一方、他端は、長辺側面４Ｄの第３側面電極７３Ｂに接続されている。詳しくは、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｂとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。このように接続された第３外部電極８３及び第３側面電極７３Ａ，７３Ｂは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｄに跨って形成されている。こうして、第３外部電極８３は、２つの第３側面電極７３Ａ，７３Ｂを介して第２プラス電極層５Ｌ，５Ｌ，…と導通している。
【００９８】
第４外部電極８４は、前記領域Ａ１，Ａ４内であって、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａの長手方向中央近傍の位置において、短手方向に延びる直線状に形成されている。第４外部電極８４の一端は、長辺側面４Ｃの第４側面電極７４Ａに接続される一方、他端は、長辺側面４Ｄの第４側面電極７４Ｂに接続されている。詳しくは、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ａとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ｂとは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。このように接続された第４外部電極８４及び第４側面電極７４Ａ，７４Ｂは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｄに跨って形成されている。こうして、第４外部電極８４は、２つの第４側面電極７４Ａ，７４Ｂを介してマイナス電極層２０６，２０６，…と導通している。
【００９９】
このように構成されたアクチュエータ本体２０４においては、第１〜第４外部電極８１Ａ〜８４が外表面に露出している。これら第１〜第４外部電極８１Ａ〜８４を給電端子として、アクチュエータ本体２０４に給電が行われる。詳しくは、アクチュエータ本体２０４の主面４Ａにおいて、第１〜第４外部電極８１Ａ〜８４にフレキシブルプリント基板（図示省略）が接続される。そして、第１外部電極８１Ａ，８１Ｃ及び第４外部電極８４を介して第１分割電極５１Ａ，５１Ｃ及びマイナス電極層２０６に第１駆動電圧を印加すると共に、第２外部電極８２Ｂ，８２Ｄ及び第４外部電極８４を介して第２分割電極５２Ｂ，５２Ｄ及びマイナス電極層２０６に第１駆動電圧と位相が１８０°異なる第２駆動電圧を印加することによって、第１プラス電極層５Ｔとマイナス電極層２０６とに挟持された圧電体層４１に屈曲振動を生じさせる。それに加えて、第３外部電極８３を介して第２プラス電極層５Ｌに第１駆動電圧及び第２駆動電圧とそれぞれ位相が９０°ずれた第３駆動電圧を印加する。これにより、第２プラス電極層５Ｌとマイナス電極層２０６とに挟持された圧電体層４１に伸縮振動を生じさせる。屈曲振動を生じる圧電体層４１と伸縮振動を生じる圧電体層４１とは、積層されて一体となったアクチュエータ本体２０４を構成するため、アクチュエータ本体２０４には、全体としては、伸縮振動と圧縮振動とが調和的に発生する。その結果、駆動子４９，４９が周回運動を行い、駆動力を出力する。
【０１００】
かかる構成においても、外部電極ごとに２つの側面電極が設けられている。これにより、外部電極と側面電極との接続部の１つで欠損が生じたとしても、別の接続部で導通が維持されるため、超音波アクチュエータ２の信頼性を向上させることができる。例えば、第１外部電極８１Ａには、稜線部４０ｃ，４０ｅにおいて２つの第１側面電極７１Ａ，７１Ｃが接続されている。仮に稜線部４０ｃが欠損して、第１外部電極８１Ａと第１側面電極７１Ａとが断線したとしても、第１外部電極８１Ａと第１側面電極７１Ｃとは接続されているため、第１外部電極８１Ａと第１分割電極５１Ａ，５１Ａ，…との導通が維持される。
【０１０１】
＜変形例３＞
次に、変形例３に係る超音波アクチュエータについて説明する。変形例３に係る超音波アクチュエータは、アクチュエータ本体３０４の内部電極の構成が前記アクチュエータ本体４の内部電極層５，６の構成と異なる。
【０１０２】
アクチュエータ本体３０４は、図１３に示すように、内部電極層として、第１プラス電極層５Ｔと、第２プラス電極層５Ｌと、第１マイナス電極層６Ｔと、第２マイナス電極層６Ｌとを有している。第１プラス電極層５Ｔは、前記領域Ａ１，Ａ３に設けられた２つの第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと該第１分割電極５１Ａ，５１Ｃを接続する接続電極５１Ｅとを有している。第２プラス電極層５Ｌは、圧電体層４１の主面４１ａの略全面に亘って形成された１つの電極である。第１マイナス電極層６Ｔは、前記領域Ａ１，Ａ３に設けられた２つの第１対向分割電極６１Ａ，６１Ｃと該第１対向分割電極６１Ａ，６１Ｃを接続する接続電極６１Ｅとを有している。第２マイナス電極層６Ｌは、第２プラス電極層５Ｌと同様に、圧電体層４１の主面４１ａの略全面に亘って形成された１つの電極である。第１プラス電極層５Ｔの接続電極５１Ｅと、第１マイナス電極層６Ｔの接続電極６１Ｅとは、長手方向にずれており、積層方向を向いて見て、互いに重ならないようになっている。これら第１プラス電極層５Ｔ、第２プラス電極層５Ｌ、第１マイナス電極層６Ｔ及び第２マイナス電極層６Ｌが内部電極を構成する。また、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃが第１電極を構成し、第２プラス電極層５Ｌが、第１分割電極５１Ａ，５１Ｃと異なるパターンで配置された第２電極を構成する。さらに、第１対向分割電極６１Ａ，６１Ｃが第１対向電極を構成し、第２マイナス電極層６Ｌが、第２プラス電極層５Ｌと圧電体層４１を挟んで対向する第２対向電極を構成する。
【０１０３】
アクチュエータ本体３０４は、第１プラス電極層５Ｔが設けられた圧電体層４１、第１マイナス電極層６Ｔが設けられた圧電体層４１、第２プラス電極層５Ｌが設けられた圧電体層４１、第２マイナス電極層６Ｌが設けられた圧電体層４１の順で、複数の圧電体層４１，４１，…が積層されて構成されている。
【０１０４】
また、圧電体層４１の長辺側面４１ｃには、長手方向一端部に第３側面電極７３ａが、長手方向他端部に第４側面電極７４ａが設けられている。圧電体層４１の長辺側面４１ｄには、長手方向一端部に第２側面電極７２ｂが、長手方向他端部に第１側面電極７１ｂが設けられている。圧電体層４１の一方の短辺側面４１ｅには、短手方向一端部に第３側面電極７３ｃが、短手方向他端部に第２側面電極７２ｃが設けられている。圧電体層４１の他方の短辺側面４１ｆには、短手方向一端部に第４側面電極７４ｄが、短手方向他端部に第１側面電極７１ｄが設けられている。
【０１０５】
そして、第１プラス電極層５Ｔの第１分割電極５１Ｃには、長辺側面４１ｄの第１側面電極７１ｂまで延びる引出電極５１ｂと、短辺側面４１ｆの第１側面電極７１ｄまで延びる引出電極５１ｄとが設けられている。すなわち、第１分割電極５１Ｃは、引出電極５１ｂを介して第１側面電極７１ｂに、引出電極５１ｄを介して第１側面電極７１ｄに接続されている。
【０１０６】
また、第１マイナス電極層６Ｔの第１対向分割電極６１Ａには、長辺側面４１ｃの第３側面電極７３ａまで延びる引出電極６１ａと、短辺側面４１ｅの第３側面電極７３ｃまで延びる引出電極６１ｃとが設けられている。すなわち、第１対向分割電極６１Ａは、引出電極６１ａを介して第３側面電極７３ａに、引出電極６１ｃを介して第３側面電極７３ｃに接続されている。
【０１０７】
さらに、第２プラス電極層５Ｌには、長辺側面４１ｄの第２側面電極７２ｂまで延びる引出電極５２ｂと、短辺側面４１ｅの第２側面電極７２ｃまで延びる引出電極５２ｃとが設けられている。すなわち、第２プラス電極層５Ｌは、引出電極５２ｂを介して第２側面電極７２ｂに、引出電極５２ｃを介して第２側面電極７２ｃに接続されている。
【０１０８】
さらにまた、第２マイナス電極層６Ｌには、長辺側面４１ｃの第４側面電極７４ａまで延びる引出電極６１ａと、短辺側面４１ｆの第４側面電極７４ｄまで延びる引出電極６１ｄとが設けられている。すなわち、第２マイナス電極層６Ｌは、引出電極６１ａを介して第４側面電極７４ａに、引出電極６１ｄを介して第４側面電極７４ｄに接続されている。
【０１０９】
このように構成された圧電体層４１，４１，…を積層させると、圧電体層４１の側面に形成された第１〜第４側面電極７１ｂ〜７４ｄが積層方向に繋がり、圧電体層４１，４１，…の積層体、即ち、アクチュエータ本体３０４の側面には、一体的に繋がった第１〜第４側面電極７１Ｂ〜７４Ｄが形成される。詳しくは、図１４に示すように、アクチュエータ本体３０４の長辺側面４Ｃには、複数の第３側面電極７３ａ，７３ａ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ａ、及び複数の第４側面電極７４ａ，７４ａ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ａが形成される。アクチュエータ本体３０４の長辺側面４Ｄには、複数の第２側面電極７２ｂ，７２ｂ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｂ、及び複数の第１側面電極７１ｂ，７１ｂ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｂが形成される。アクチュエータ本体３０４の短辺側面４Ｅには、複数の第３側面電極７３ｃ，７３ｃ，…が一まとまりに繋がった第３側面電極７３Ｃ、及び複数の第２側面電極７２ｃ，７２ｃ，…が一まとまりに繋がった第２側面電極７２Ｃが形成される。アクチュエータ本体３０４の短辺側面４Ｆには、複数の第４側面電極７４ｄ，７４ｄ，…が一まとまりに繋がった第４側面電極７４Ｄ、及び複数の第１側面電極７１ｄ，７１ｄ，…が一まとまりに繋がった第１側面電極７１Ｄが形成される。
【０１１０】
そして、アクチュエータ本体３０４の最外層の圧電体層４１の外側に露出する主面４１ａ（即ち、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａ）には、第１プラス電極層５Ｔ，５Ｔ，…に給電するための第１外部電極８１と、第２プラス電極層５Ｌ，５Ｌ，…に給電するための第２外部電極８２と、第１マイナス電極層６Ｔ，６Ｔ，…に給電するための第３外部電極８３と、第２マイナス電極層６Ｌ，６Ｌ，…に給電するための第４外部電極８４とが形成されている。第１〜第４外部電極８１〜８４は、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａの重心を通って短手方向に延びる直線に対して線対称に配置されている。
【０１１１】
第１外部電極８１は、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ３（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第１外部電極８１の一端は、長辺側面４Ｄの第１側面電極７１Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第１側面電極７１Ｄに接続されている。詳しくは、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｂとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｄとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第１外部電極８１及び第１側面電極７１Ｂ，７１Ｄは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第１外部電極８１は、２つの第１側面電極７１Ｂ，７１Ｄを介して第１プラス電極層５Ｔ，５Ｔ，…と導通している。
【０１１２】
第２外部電極８２は、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ４（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第２外部電極８２の一端は、長辺側面４Ｄの第２側面電極７２Ｂに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第２側面電極７２Ｃに接続されている。詳しくは、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｂとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと長辺側面４Ｄとで形成される長辺稜線部４０ｄにおいて接続されている。また、第２外部電極８２と第２側面電極７２Ｃとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第２外部電極８２及び第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃは、２つの稜線部４０ｄ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第２外部電極８２は、２つの第２側面電極７２Ｂ，７２Ｃを介して第２プラス電極層５Ｌ，５Ｌ，…と導通している。
【０１１３】
第３外部電極８３は、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ１（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第３外部電極８３の一端は、長辺側面４Ｃの第３側面電極７３Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｅの第３側面電極７３Ｃに接続されている。詳しくは、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ａとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第３外部電極８３と第３側面電極７３Ｃとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと短辺側面４Ｅとで形成される短辺稜線部４０ｅにおいて接続されている。このように接続された第３外部電極８３及び第３側面電極７３Ａ，７３Ｃは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｅに跨って形成されている。こうして、第３外部電極８３は、２つの第３側面電極７３Ａ，７３Ｃを介して第１マイナス電極層６Ｔ，６Ｔ，…と導通している。
【０１１４】
第４外部電極８４は、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａを長手方向及び短手方向に２分割して形成される４つの領域のうちの領域Ａ２（図４参照）において、主面４Ａの隅部を囲むようにＬ字状に形成されている。第４外部電極８４の一端は、長辺側面４Ｃの第４側面電極７４Ａに接続される一方、他端は、短辺側面４Ｆの第４側面電極７４Ｄに接続されている。詳しくは、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ａとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと長辺側面４Ｃとで形成される長辺稜線部４０ｃにおいて接続されている。また、第４外部電極８４と第４側面電極７４Ｄとは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａと短辺側面４Ｆとで形成される短辺稜線部４０ｆにおいて接続されている。このように接続された第４外部電極８４及び第４側面電極７４Ａ，７４Ｄは、２つの稜線部４０ｃ，４０ｆに跨って形成されている。こうして、第４外部電極８４は、２つの第４側面電極７４Ａ，７４Ｄを介して第２マイナス電極層６Ｌ，６Ｌ，…と導通している。
【０１１５】
このように構成されたアクチュエータ本体３０４においては、第１〜第４外部電極８１〜８４が外表面に露出している。これら第１〜第４外部電極８１〜８４を給電端子として、アクチュエータ本体３０４に給電が行われる。詳しくは、アクチュエータ本体３０４の主面４Ａにおいて、第１〜第４外部電極８１〜８４にフレキシブルプリント基板（図示省略）が接続される。そして、第１及び第３外部電極８１，８３を介して第１プラス電極層５Ｔ及び第１マイナス電極層６Ｔに第１駆動電圧を印加する。これにより、第１プラス電極層５Ｔと第１マイナス電極層６Ｔとに挟持された圧電体層４１に屈曲振動を生じさせる。それに加えて、第２及び第４外部電極８２，８４を介して第２プラス電極層５Ｌ及び第２マイナス電極層６Ｌに第１駆動電圧と位相が９０°ずれた第２駆動電圧を印加する。これにより、第２プラス電極層５Ｌと第２マイナス電極層６Ｌとに挟持された圧電体層４１に伸縮振動を生じさせる。屈曲振動を生じる圧電体層４１と伸縮振動を生じる圧電体層４１とは、積層されて一体となったアクチュエータ本体３０４を構成するため、アクチュエータ本体３０４には、全体としては、伸縮振動と圧縮振動とが調和的に発生する。その結果、駆動子４９，４９が周回運動を行い、駆動力を出力する。
【０１１６】
かかる構成においても、外部電極ごとに２つの側面電極が設けられている。これにより、外部電極と側面電極との接続部の１つで欠損が生じたとしても、別の接続部で導通が維持されるため、超音波アクチュエータ２の信頼性を向上させることができる。例えば、第１外部電極８１には、稜線部４０ｄ，４０ｆにおいて２つの第１側面電極７１Ｂ，７１Ｄが接続されている。仮に稜線部４０ｄが欠損して、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｂとが断線したとしても、第１外部電極８１と第１側面電極７１Ｄとは接続されているため、第１外部電極８１と第１プラス電極層５Ｔ，５Ｔ，…との導通が維持される。
【０１１７】
《その他の実施形態》
本発明は、前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【０１１８】
例えば、アクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４の構成は、前記の構成に限られるものではない。つまり、アクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４は、１次モードの伸縮振動と２次モードの屈曲振動とを調和的に発生させているが、これに限られるものではない。それ以外のモード、振動形態の振動を調和的に発生させてもよい。
【０１１９】
また、内部電極層５，５Ｔ，５Ｌ，６，２０６，６Ｔ，６Ｌの構成も前記の構成に限られるものではない。
【０１２０】
さらに、外部電極ごとに２つの側面電極が接続されているが、これに限られるものではない。外部電極ごとに複数の側面電極が接続されていればよく、外部電極ごとに３つ以上の側面電極が接続された構成であってもよい。
【０１２１】
また、外部電極ごとに設けられた複数の側面電極は、同じ稜線部に設けられていても、平行な稜線部に設けられていてもよい。
【０１２２】
さらに、圧電体層の厚みは全て同じとなっているが、異なっていてもよい。特に、最外の圧電体層の厚みは、他の圧電体層の厚みよりも厚い方が好ましい。これにより、外部電極による最外の圧電体層の不要振動の発生を抑制することができる。
【０１２３】
さらに、外部電極と側面電極は、屈曲振動の節の部分近傍で接続されることが好ましい。特に、長辺稜線部４０ｃ，４０ｄは、アクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４の屈曲振動に伴って屈曲変形する。そのため、外部電極と側面電極とをこれら長辺稜線部４０ｃ，４０ｄにおいて接続する場合には、屈曲振動の節の部分近傍で接続することが好まし。節の部分では応力の発生が少ないので、外部電極と側面電極との接続部の欠損の可能性をさらに抑制することができる。
【０１２４】
尚、外部電極８１，８２等は、Ｌ字型に形成され、アクチュエータ本体４等の主面４Ａの隅部（角部）には形成されていないが、外部電極が隅部に形成されていても、同様の作用効果を奏することができる。
【０１２５】
また、アクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４への給電は、フレキシブルプリント基板９以外にも、ワイヤによる給電や、コンタクトピンによる給電など、他の給電方法を用いてもよい。かかる場合であっても、前記実施形態と同様の効果が得られる。
【０１２６】
また、前記実施形態では、超音波アクチュエータ２の駆動力が付与されて駆動される可動体は、平板状のステージ１１であるが、これに限られるものではなく、可動体の構成としては任意の構成を採用できる。例えば、図１５に示すように、可動体は所定の軸Ｘ回りに回動可能な円板体１７であり、超音波アクチュエータ２の駆動子４９，４９が該円板体１７の側周面１７ａに当接するように構成された駆動装置４０１を採用してもよい。かかる構成の場合、超音波アクチュエータ２を駆動すると、駆動子４９，４９の概略楕円運動によって、該円板体１７が所定の軸Ｘ回りに回動させられる。また、図１６に示すように、可動体は所定の軸Ｘ回りに回動可能な円板体１８であり、超音波アクチュエータ２の駆動子４９，４９が該円板体１８の平面部１８ａに当接するように構成された駆動装置５０１を採用してもよい。かかる構成の場合、超音波アクチュエータ２を駆動すると、駆動子４９，４９の概略楕円運動によって、該円板体１８が駆動子４９，４９と当接部における接線方向に駆動され、結果として該円板体１８が所定の軸Ｘ回りに回動させられる。
【０１２７】
また、前記実施形態では、駆動子４９，４９をアクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４の長辺側面４Ｃに設けた構成について説明したが、アクチュエータ本体４，１０４，２０４，３０４の短辺側面４Ｅ（４Ｆ）に設けてもよい。この場合、１次モードの伸縮振動の伸縮方向は、駆動子４９がステージ１１に直交する方向となり、２次モードの屈曲振動の振動方向は、ステージ１１の移動方向となる。
【０１２８】
尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【０１２９】
以上説明したように、本発明は、複数の圧電体層を積層させたアクチュエータ本体を備える振動型アクチュエータについて有用である。
【符号の説明】
【０１３０】
２ 超音波アクチュエータ（振動型アクチュエータ）
４，１０４，２０４，３０４ アクチュエータ本体（積層体）
４Ａ 主面
４Ｃ 長辺側面（側面）
４Ｄ 長辺側面（側面）
４Ｅ 短辺側面（側面）
４Ｆ 短辺側面（側面）
４０ｃ 長辺稜線部（稜線部）
４０ｄ 長辺稜線部（稜線部）
４０ｅ 短辺稜線部（稜線部）
４０ｆ 短辺稜線部（稜線部）
４１ 圧電体層
５ プラス電極層（内部電極）
５Ｔ 第１プラス電極層（内部電極、第１電極）
５Ｌ 第２プラス電極層（内部電共、第２電極）
５１Ａ 第１分割電極（内部電極、第１電極）
５１Ｃ 第１分割電極（内部電極、第１電極）
５２Ｂ 第２分割電極（内部電極、第２電極）
５２Ｄ 第２分割電極（内部電極、第２電極）
６ マイナス電極層（内部電極）
１０６ マイナス電極層（内部電極）
２０６ マイナス電極層（内部電極）
６Ｔ 第１マイナス電極層（内部電極、第１対向電極）
６Ｌ 第２マイナス電極層（内部電極、第２対向電極）
６１Ａ 第１対向分割電極（内部電極、第１対向電極）
６１Ｃ 第１対向分割電極（内部電極、第１対向電極）
６２Ｄ 第２対向分割電極（内部電極、第２対向電極）
７１Ａ 第１側面電極
７１Ｂ 第１側面電極
７１Ｃ 第１側面電極
７１Ｄ 第１側面電極
７２Ａ 第２側面電極
７２Ｂ 第２側面電極
７２Ｃ 第２側面電極
７２Ｄ 第２側面電極
７３Ａ 第３側面電極
７３Ｂ 第３側面電極
７３Ｃ 第３側面電極
７４Ａ 第４側面電極
７４Ｂ 第４側面電極
７４Ｃ 第４側面電極
７４Ｄ 第４側面電極
８１ 第１外部電極
８１Ａ 第１外部電極
８１Ｃ 第１外部電極
８２ 第２外部電極
８２Ｂ 第２外部電極
８２Ｄ 第２外部電極
８３ 第３外部電極
８４ 第４外部電極
９ フレキシブルプリント基板（給電線）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層された複数の圧電体層と該圧電体層に挟持された内部電極とを備えた振動型アクチュエータであって、
最外層の前記圧電体層の外側に露出する主面には、外部から給電するための外部電極が形成されており、
前記圧電体層と前記内部電極との積層体における、積層方向と平行な面である側面には、前記内部電極に接続されると共に、前記外部電極が形成された主面と該側面との間の稜線部において該外部電極に接続される側面電極が形成されており、
同電位となる前記内部電極と前記外部電極とは、複数の前記側面電極で接続されている振動型アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載された振動型アクチュエータにおいて、
前記内部電極は、前記圧電体層の主面に配置された第１電極と、前記第１電極と前記圧電体層を挟んで対向する第１対向電極と、前記圧電体層の主面において前記第１電極と異なるパターンで配置された第２電極と、前記第２電極と前記圧電体層を挟んで対向する第２対向電極とを有し、
前記外部電極は、前記第１電極に給電するための第１電極と、前記第１対向電極に給電するための第１対向外部電極と、前記第２電極に給電するための第２外部電極と、前記第２対向電極に給電するための第２対向外部電極とを有し、
前記第１電極と前記第１外部電極、前記第１対向電極と前記第１対向外部電極、前記第２電極と前記第２外部電極、及び前記第２対向電極と前記第２対向外部電極は、それぞれ複数の前記側面電極で接続されている振動型アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータにおいて、
同電位となる前記内部電極と前記外部電極とを接続する複数の前記側面電極は、前記主面と前記側面との間の異なる稜線部において、該外部電極と接続されている振動型アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか１つに記載の振動型アクチュエータにおいて、
同電位となる前記内部電極と前記外部電極とを接続する複数の前記側面電極は、前記主面と前記側面との間の稜線部のうち、互いに平行ではない少なくとも２つの稜線部において、該外部電極と接続されている振動型アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか１つに記載の振動型アクチュエータにおいて、
前記外部電極は、前記主面において、該主面の重心を通る直線に対して線対称に配置されている振動型アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか１つに記載の振動型アクチュエータにおいて、
前記積層体は、前記主面の短手方向への屈曲振動を含む複数の振動を行うことによって所定の駆動方向へ駆動力を出力するように構成されており、
前記外部電極は、前記屈曲振動の節の部分に配置されている振動型アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１乃至５の何れか１つに記載の振動型アクチュエータにおいて、
前記積層体は、複数の振動を行うことによって所定の駆動方向へ駆動力を出力するように構成されており、
前記外部電極には、給電線が接続されており、
前記給電線は、前記外部電極から前記駆動方向に沿って延びている振動型アクチュエータ。
【請求項８】
請求項２に記載の振動型アクチュエータにおいて、
前記第１対向電極と前記第２対向電極とは、一体に形成されて共通の対向電極を構成し、
前記第１対向外部電極と前記第２対向外部電極とは、一体に形成されて共通の対向外部電極を構成し、
前記対向外部電極と前記側面電極との接続部の、前記稜線部に沿った長さは、前記第１又は第２外部電極と前記側面電極との接続部の、前記稜線部に沿った長さよりも長くなっている振動型アクチュエータ。
【請求項１】
積層された複数の圧電体層と該圧電体層に挟持された内部電極とを備えた振動型アクチュエータであって、
最外層の前記圧電体層の外側に露出する主面には、外部から給電するための外部電極が形成されており、
前記圧電体層と前記内部電極との積層体における、積層方向と平行な面である側面には、前記内部電極に接続されると共に、前記外部電極が形成された主面と該側面との間の稜線部において該外部電極に接続される側面電極が形成されており、
同電位となる前記内部電極と前記外部電極とは、複数の前記側面電極で接続されている振動型アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載された振動型アクチュエータにおいて、
前記内部電極は、前記圧電体層の主面に配置された第１電極と、前記第１電極と前記圧電体層を挟んで対向する第１対向電極と、前記圧電体層の主面において前記第１電極と異なるパターンで配置された第２電極と、前記第２電極と前記圧電体層を挟んで対向する第２対向電極とを有し、
前記外部電極は、前記第１電極に給電するための第１電極と、前記第１対向電極に給電するための第１対向外部電極と、前記第２電極に給電するための第２外部電極と、前記第２対向電極に給電するための第２対向外部電極とを有し、
前記第１電極と前記第１外部電極、前記第１対向電極と前記第１対向外部電極、前記第２電極と前記第２外部電極、及び前記第２対向電極と前記第２対向外部電極は、それぞれ複数の前記側面電極で接続されている振動型アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータにおいて、
同電位となる前記内部電極と前記外部電極とを接続する複数の前記側面電極は、前記主面と前記側面との間の異なる稜線部において、該外部電極と接続されている振動型アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか１つに記載の振動型アクチュエータにおいて、
同電位となる前記内部電極と前記外部電極とを接続する複数の前記側面電極は、前記主面と前記側面との間の稜線部のうち、互いに平行ではない少なくとも２つの稜線部において、該外部電極と接続されている振動型アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか１つに記載の振動型アクチュエータにおいて、
前記外部電極は、前記主面において、該主面の重心を通る直線に対して線対称に配置されている振動型アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか１つに記載の振動型アクチュエータにおいて、
前記積層体は、前記主面の短手方向への屈曲振動を含む複数の振動を行うことによって所定の駆動方向へ駆動力を出力するように構成されており、
前記外部電極は、前記屈曲振動の節の部分に配置されている振動型アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１乃至５の何れか１つに記載の振動型アクチュエータにおいて、
前記積層体は、複数の振動を行うことによって所定の駆動方向へ駆動力を出力するように構成されており、
前記外部電極には、給電線が接続されており、
前記給電線は、前記外部電極から前記駆動方向に沿って延びている振動型アクチュエータ。
【請求項８】
請求項２に記載の振動型アクチュエータにおいて、
前記第１対向電極と前記第２対向電極とは、一体に形成されて共通の対向電極を構成し、
前記第１対向外部電極と前記第２対向外部電極とは、一体に形成されて共通の対向外部電極を構成し、
前記対向外部電極と前記側面電極との接続部の、前記稜線部に沿った長さは、前記第１又は第２外部電極と前記側面電極との接続部の、前記稜線部に沿った長さよりも長くなっている振動型アクチュエータ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２０１１−１３５７１１（Ｐ２０１１−１３５７１１Ａ）
【公開日】平成２３年７月７日（２０１１．７．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２９３７８４（Ｐ２００９−２９３７８４）
【出願日】平成２１年１２月２５日（２００９．１２．２５）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年７月７日（２０１１．７．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月２５日（２００９．１２．２５）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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