研磨装置の研磨剤塗布装置
【課題】スペースに余裕のない箇所でも研磨剤の塗布が均一に、しかも被研磨体に対してのみ行われ、被研磨体が通過すると、研磨剤の塗布を中断させることができるような塗布装置を提供する。
【解決手段】研磨装置の研磨ロールの両側にはピンチロールとの間の無端ベルト上方に塗布装置が配置され、この塗布装置は、モータ１１によって回転駆動されるネジ棒１２と、該ネジ棒１２に並設されるガイドロッド１３と、ネジ棒１２に螺着され、ガイドロッド１３にスライド可能に装着されて回転止めされるナット１４と、該ナット１４に支持され、研磨剤が吹付空気と共に散布されるノズル１６よりなり、モータ１１によりネジ棒１２を回転駆動すると、ノズル１６が鋼板の搬送方向と直交する方向に直進する。散布が鋼板端に達すると、ノズル１６に操作空気が送られ、これによりＯＮ−ＯＦＦが切換えられて研磨剤の散布が停止される。
【解決手段】研磨装置の研磨ロールの両側にはピンチロールとの間の無端ベルト上方に塗布装置が配置され、この塗布装置は、モータ１１によって回転駆動されるネジ棒１２と、該ネジ棒１２に並設されるガイドロッド１３と、ネジ棒１２に螺着され、ガイドロッド１３にスライド可能に装着されて回転止めされるナット１４と、該ナット１４に支持され、研磨剤が吹付空気と共に散布されるノズル１６よりなり、モータ１１によりネジ棒１２を回転駆動すると、ノズル１６が鋼板の搬送方向と直交する方向に直進する。散布が鋼板端に達すると、ノズル１６に操作空気が送られ、これによりＯＮ−ＯＦＦが切換えられて研磨剤の散布が停止される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば鋼板等の被研磨体の表面を研磨する研磨装置において、研磨剤を被研磨体表面に塗布するのに用いる塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１に示す研磨装置は、被研磨体を正或いは逆方向に搬送する無端ベルト２と、該無端ベルト上の被研磨体を研磨するロール状のブラシ、砥石、バフ等からなる研磨ロール３と、研磨ロール下のベルト２を担持する多数のロール４と、研磨ロール３の両側において被研磨体をクランプする開閉可能なピンチロール５よりなっている。図中、６は無端ベルト２との間で被研磨体の受け渡しを行う搬出入ベルトである。
【０００３】
被研磨体の研磨時には、被研磨体の表面に研磨剤が塗布されるが、図１に示す研磨装置において、研磨剤の塗布は従来、無端ベルト上に架設される架台１上で作業員がモップ状の塗布器７により研磨ロール３に送り込まれる被研磨体の表面に研磨剤を塗布し、研磨ロール３より送り出されて研磨された被研磨体が逆向きに搬送されて再度研磨されるときには、研磨ロール３を挟んだ反対側で図の一点鎖線で示すように、研磨ロール３に送り込まれる被研磨体の表面に研磨剤を同様にして塗布していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上述するように従来手作業で行っていた研磨剤の塗布作業を自動化しようとするもので、自動化するには、複数のスプレーを被研磨体の搬送方向と直交する方向に配置して研磨剤を被研磨体上に散布する方法、ロールコータを被研磨体の搬送方向と直交する方向に配置して研磨剤を被研磨体上に塗布する方法等が考えられるが、前者のスプレーによる散布は、散布に濃淡を生じて濃度がまばらになりがちで、研磨表面に好ましくない影響を与える。
【０００５】
一方、ロールコータによる方法は、研磨ロール３とピンチロール５の間のスペースが概して狭く、ロールコータを設置するだけのスペース上の余裕がないことが多いうえ、何よりもロールコータによる塗布は研磨剤がマヨネーズ状の流動物である場合、塗布を均一に行うことが困難であり、また塗布を中断することができないため被研磨体がロールコータより送り出されたあともロールコータによる塗布がベルトに対して行われるようになり、研磨剤が無駄に消費されることになる。
【０００６】
本発明は、スペースに余裕のない箇所でも研磨剤の塗布が均一に、しかも被研磨体に対してのみ行われ、被研磨体が通過すると、研磨剤の塗布を中断させることができるような塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係わる発明は、被研磨体を載せて搬送する搬送手段と、搬送手段上の研磨剤を塗布した被研磨体を研磨する研磨ロールとを有する研磨装置において、被研磨体の表面に研磨剤を塗布するのに用いる塗布装置であって、研磨剤を散布するノズルと、該ノズルに研磨剤を供給する供給手段と、ノズルからの研磨剤散布の断続を制御する制御手段と、前記ノズルを被研磨体の搬送方向と直交ないしほぼ直交する方向に移動させる移動手段とを有することを特徴とする。
【０００８】
上述の研磨装置を構成する搬送手段としては、例えば図１に示すような無端ベルト２が挙げられるが、これ以外でも例えば油圧シリンダー、ピニオンラック機構、ネジ機構などの直線運動機構によって直線運動する剛体よりなる移動体を用いることができる。
【０００９】
研磨ロールとしては、ロール状のブラシ、砥石、バフ等が例示される。
供給手段としては、例えばポンプ、以下の実施形態に示されるように研磨剤を圧縮空気によって圧送する方法などを用いることができ、制御手段は弁、好ましくはコンピュータによって制御される電磁弁で構成される。
移送手段としては、例えばエアシリンダー、ピニオンラック機構、ネジ機構などを例示することができる。
【００１０】
請求項２に係わる発明は、請求項１に係わる発明の移動手段が両側に左ネジと右ネジを備え、モータにより回転駆動されるネジ棒と、該ネジ棒の左ネジ及び右ネジにそれぞれ回転止めされて螺着され、ノズルを支持するナットよりなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係わる発明によると、ノズルはスペースに余裕のある被研磨体上方に配置することができること、移動手段によるノズルの移動を一定の速度で行うことにより研磨剤の散布が均一に行われること、制御手段によりノズルからの研磨剤の散布を中断することができ、したがって研磨剤の散布を被研磨体に対してのみ行うことができ、研磨剤を必要量だけ散布して無駄な消費を省くことができること等の効果を奏する。
【００１２】
請求項２に係わる発明によると、研磨剤を両方向に同時に散布することができ、一方向に散布するよりも、散布を短時間で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態の塗布装置について図面により説明する。
図２は、図１に示す研磨装置の研磨ロール３の両側において、ピンチロール５との間の無端ベルト上方に配置される塗布装置について示すもので、該塗布装置は、架台１上に取付けたモータ１１によって回転駆動され、両側に左ネジ１２ａと右ネジ１２ｂをそれぞれ刻設したネジ棒１２と、該ネジ棒１２に並設されるガイドロッド１３と、ネジ棒１２に螺着され、ガイドロッド１３にスライド可能に装着されて回転止めされ、後述の吹付け空気、操作空気、研磨剤を供給するラインを構成するケーブルを担持するナット１４と、該ナット１４に横向きに位置調整可能に取付けられるロッド１５ａ及び該ロッド１５ａに縦向きに位置調整可能に取付けられる縦ロッド１５ｂよりなる支持機構１５と、該支持機構１５の縦ロッド１５ｂの下端に取着され、散布パターンが変更可能なノズル１６よりなり、モータ１１、ネジ棒１２、ガイドロッド１３、ナット１４及び支持機構１５がノズル１６の移動手段を構成している。
【００１４】
図３は、前記ノズル１６への研磨剤の供給手段について示すもので、該供給手段は、マヨネーズ状の研磨剤が入れられるタンク２１と、フィルタ２２及び圧力制御弁２３から減圧弁２４を介してタンク２１に導入された圧縮空気によりタンク内の研磨剤をボール弁２５を介してノズル１６に圧送する研磨剤供給ライン２６と、上記圧力制御弁２３から減圧弁２７、切換弁２８、流量調整弁２９を介してノズル１６に吹付空気を供給するライン３１とからなり、ノズル１６に圧送された研磨剤が吹付空気によりノズル１６から散布されるようになっている。図３はまた、ノズル１６からの研磨剤塗布の断続を制御する制御手段についても示している。この制御手段は、前記ノズル１６に設けられ、該ノズル１６を開閉する図示しないＯＮ−ＯＦＦ弁と、上記圧力制御弁２３から切替弁３３を介し、更に流量調整弁３０を介してノズル１６に前記ＯＮ−ＯＦＦ弁操作用の操作空気を供給するライン３４とからなり、切換弁３３の切換えによりノズル１６に操作空気を供給すると、ノズル１６の前記切換弁がＯＦＦとなり、ノズル１６からの研磨剤の散布が停止される一方、切換弁３３の切換により、ノズル１６への操作空気の供給を開始すると、ノズル１６の図示しない切換弁がＯＮとなり、ノズル１６から研磨剤の散布が行われるようになっている。
【００１５】
本実施形態の塗布装置は以上のように構成され、ロール４に担持される搬送手段としてのベルト２により搬送される被研磨体の鋼板１８には、研磨ロール３入側の両ノズル１６より研磨剤が散布される。この散布は、切換弁３３を切換操作してノズル１６のＯＮ−ＯＦＦ弁をＯＮ状態にして行われ、タンク２１内の研磨剤がノズル１６に圧送されて吹付空気と共に散布される。ノズル１６の移動は、モータ１１によりネジ棒１２を回転駆動することにより行われ、ネジ棒１２の回転により図２に示すナット１４が左右に開き、各ノズル１６が鋼板１８の中央部より両サイドに向け、鋼板１８の搬送方向と直交する方向に直進する。ノズル１６が移動する間、鋼板１８もベルト２により搬送されるため、鋼板１８への研磨剤の散布は図４に示すように両サイドに向って後下がりに傾斜した軌跡を描いて行われるが、ノズル１６の移動速度ｖは鋼板１８の搬送速度Ｖに比べ、ｖ≫Ｖとなるようにしてあるため傾斜角θは小さく、したがって研磨剤の塗布は鋼板１８の搬送方向とほぼ直交する方向に行われる（なお、図においては理解を得易くするために傾斜角θを大きく誇張して描いている）。研磨剤の塗布を鋼板の搬送方向と直交する方向に行うには、ノズル１６の移動方向を図５に示すように前上がり傾斜する方向に向けて移動させるとよい。これにより研磨剤の散布が図の点線で示すように鋼板１８の搬送方向と直交する方向に行われるようになる。
【００１６】
研磨剤の散布が鋼板端に達すると、作業者が切換弁３３の切換操作を行い、これにより操作空気をノズル１６に送ってＯＮ−ＯＦＦ弁をＯＦＦ状態にし、研磨剤の散布を停止する。
【００１７】
上述する例では、切換弁３３は作業者の操作により切換えられるようにしているが、電磁弁にしてコンピュータからの制御信号により自動的に切換えられるようにしてもよい。研磨剤の散布が鋼板１８の端部に達したとき、これをセンサーで検出できるようにすれば、センサーからの検出信号に基づくコンピュータからの制御信号により切換弁３３の切換えを行って、研磨剤散布の停止を自動的に行うことができるようになる。
【００１８】
研磨剤が散布された鋼板１８は、研磨ロール３に送り込まれ研磨される。研磨ロール３より送り出されて該ロール３を出た鋼板１８は、ベルト２の逆向きの搬送により逆送りされ、研磨ロール３を挟んだ反対側の各ノズル１６により研磨剤が同様にして散布される。そして研磨ロール３に引込まれ、研磨される。以上の動作が繰返し必要回数行われて鋼板１８への研磨が終了する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】研磨装置の全体構成を示す図。
【図２】塗布装置の正面図。
【図３】研磨剤の供給及びその断続を行う回路図。
【図４】研磨剤の散布軌跡を示す図。
【図５】研磨剤の散布軌跡の別の例を示す図。
【符号の説明】
【００２０】
１・・架台
２・・無端ベルト
３・・研磨ロール
４・・ロール
５・・ピンチロール
６・・搬出入ベルト
７・・塗布器
１１・・モータ
１２・・ネジ棒
１３・・ガイドロッド
１４・・ナット
１５・・支持機構
１６・・ノズル
１８・・鋼板
２１・・タンク
２２・・フィルタ
２３・・圧力制御弁
２４、２７・・減圧弁
２５・・ボール弁
２６・・研磨剤供給ライン
２８、３３・・切換弁
２９、３０・・流量調整弁
３１・・吹付け空気供給ライン
３４・・操作空気供給ライン
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば鋼板等の被研磨体の表面を研磨する研磨装置において、研磨剤を被研磨体表面に塗布するのに用いる塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１に示す研磨装置は、被研磨体を正或いは逆方向に搬送する無端ベルト２と、該無端ベルト上の被研磨体を研磨するロール状のブラシ、砥石、バフ等からなる研磨ロール３と、研磨ロール下のベルト２を担持する多数のロール４と、研磨ロール３の両側において被研磨体をクランプする開閉可能なピンチロール５よりなっている。図中、６は無端ベルト２との間で被研磨体の受け渡しを行う搬出入ベルトである。
【０００３】
被研磨体の研磨時には、被研磨体の表面に研磨剤が塗布されるが、図１に示す研磨装置において、研磨剤の塗布は従来、無端ベルト上に架設される架台１上で作業員がモップ状の塗布器７により研磨ロール３に送り込まれる被研磨体の表面に研磨剤を塗布し、研磨ロール３より送り出されて研磨された被研磨体が逆向きに搬送されて再度研磨されるときには、研磨ロール３を挟んだ反対側で図の一点鎖線で示すように、研磨ロール３に送り込まれる被研磨体の表面に研磨剤を同様にして塗布していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上述するように従来手作業で行っていた研磨剤の塗布作業を自動化しようとするもので、自動化するには、複数のスプレーを被研磨体の搬送方向と直交する方向に配置して研磨剤を被研磨体上に散布する方法、ロールコータを被研磨体の搬送方向と直交する方向に配置して研磨剤を被研磨体上に塗布する方法等が考えられるが、前者のスプレーによる散布は、散布に濃淡を生じて濃度がまばらになりがちで、研磨表面に好ましくない影響を与える。
【０００５】
一方、ロールコータによる方法は、研磨ロール３とピンチロール５の間のスペースが概して狭く、ロールコータを設置するだけのスペース上の余裕がないことが多いうえ、何よりもロールコータによる塗布は研磨剤がマヨネーズ状の流動物である場合、塗布を均一に行うことが困難であり、また塗布を中断することができないため被研磨体がロールコータより送り出されたあともロールコータによる塗布がベルトに対して行われるようになり、研磨剤が無駄に消費されることになる。
【０００６】
本発明は、スペースに余裕のない箇所でも研磨剤の塗布が均一に、しかも被研磨体に対してのみ行われ、被研磨体が通過すると、研磨剤の塗布を中断させることができるような塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係わる発明は、被研磨体を載せて搬送する搬送手段と、搬送手段上の研磨剤を塗布した被研磨体を研磨する研磨ロールとを有する研磨装置において、被研磨体の表面に研磨剤を塗布するのに用いる塗布装置であって、研磨剤を散布するノズルと、該ノズルに研磨剤を供給する供給手段と、ノズルからの研磨剤散布の断続を制御する制御手段と、前記ノズルを被研磨体の搬送方向と直交ないしほぼ直交する方向に移動させる移動手段とを有することを特徴とする。
【０００８】
上述の研磨装置を構成する搬送手段としては、例えば図１に示すような無端ベルト２が挙げられるが、これ以外でも例えば油圧シリンダー、ピニオンラック機構、ネジ機構などの直線運動機構によって直線運動する剛体よりなる移動体を用いることができる。
【０００９】
研磨ロールとしては、ロール状のブラシ、砥石、バフ等が例示される。
供給手段としては、例えばポンプ、以下の実施形態に示されるように研磨剤を圧縮空気によって圧送する方法などを用いることができ、制御手段は弁、好ましくはコンピュータによって制御される電磁弁で構成される。
移送手段としては、例えばエアシリンダー、ピニオンラック機構、ネジ機構などを例示することができる。
【００１０】
請求項２に係わる発明は、請求項１に係わる発明の移動手段が両側に左ネジと右ネジを備え、モータにより回転駆動されるネジ棒と、該ネジ棒の左ネジ及び右ネジにそれぞれ回転止めされて螺着され、ノズルを支持するナットよりなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係わる発明によると、ノズルはスペースに余裕のある被研磨体上方に配置することができること、移動手段によるノズルの移動を一定の速度で行うことにより研磨剤の散布が均一に行われること、制御手段によりノズルからの研磨剤の散布を中断することができ、したがって研磨剤の散布を被研磨体に対してのみ行うことができ、研磨剤を必要量だけ散布して無駄な消費を省くことができること等の効果を奏する。
【００１２】
請求項２に係わる発明によると、研磨剤を両方向に同時に散布することができ、一方向に散布するよりも、散布を短時間で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態の塗布装置について図面により説明する。
図２は、図１に示す研磨装置の研磨ロール３の両側において、ピンチロール５との間の無端ベルト上方に配置される塗布装置について示すもので、該塗布装置は、架台１上に取付けたモータ１１によって回転駆動され、両側に左ネジ１２ａと右ネジ１２ｂをそれぞれ刻設したネジ棒１２と、該ネジ棒１２に並設されるガイドロッド１３と、ネジ棒１２に螺着され、ガイドロッド１３にスライド可能に装着されて回転止めされ、後述の吹付け空気、操作空気、研磨剤を供給するラインを構成するケーブルを担持するナット１４と、該ナット１４に横向きに位置調整可能に取付けられるロッド１５ａ及び該ロッド１５ａに縦向きに位置調整可能に取付けられる縦ロッド１５ｂよりなる支持機構１５と、該支持機構１５の縦ロッド１５ｂの下端に取着され、散布パターンが変更可能なノズル１６よりなり、モータ１１、ネジ棒１２、ガイドロッド１３、ナット１４及び支持機構１５がノズル１６の移動手段を構成している。
【００１４】
図３は、前記ノズル１６への研磨剤の供給手段について示すもので、該供給手段は、マヨネーズ状の研磨剤が入れられるタンク２１と、フィルタ２２及び圧力制御弁２３から減圧弁２４を介してタンク２１に導入された圧縮空気によりタンク内の研磨剤をボール弁２５を介してノズル１６に圧送する研磨剤供給ライン２６と、上記圧力制御弁２３から減圧弁２７、切換弁２８、流量調整弁２９を介してノズル１６に吹付空気を供給するライン３１とからなり、ノズル１６に圧送された研磨剤が吹付空気によりノズル１６から散布されるようになっている。図３はまた、ノズル１６からの研磨剤塗布の断続を制御する制御手段についても示している。この制御手段は、前記ノズル１６に設けられ、該ノズル１６を開閉する図示しないＯＮ−ＯＦＦ弁と、上記圧力制御弁２３から切替弁３３を介し、更に流量調整弁３０を介してノズル１６に前記ＯＮ−ＯＦＦ弁操作用の操作空気を供給するライン３４とからなり、切換弁３３の切換えによりノズル１６に操作空気を供給すると、ノズル１６の前記切換弁がＯＦＦとなり、ノズル１６からの研磨剤の散布が停止される一方、切換弁３３の切換により、ノズル１６への操作空気の供給を開始すると、ノズル１６の図示しない切換弁がＯＮとなり、ノズル１６から研磨剤の散布が行われるようになっている。
【００１５】
本実施形態の塗布装置は以上のように構成され、ロール４に担持される搬送手段としてのベルト２により搬送される被研磨体の鋼板１８には、研磨ロール３入側の両ノズル１６より研磨剤が散布される。この散布は、切換弁３３を切換操作してノズル１６のＯＮ−ＯＦＦ弁をＯＮ状態にして行われ、タンク２１内の研磨剤がノズル１６に圧送されて吹付空気と共に散布される。ノズル１６の移動は、モータ１１によりネジ棒１２を回転駆動することにより行われ、ネジ棒１２の回転により図２に示すナット１４が左右に開き、各ノズル１６が鋼板１８の中央部より両サイドに向け、鋼板１８の搬送方向と直交する方向に直進する。ノズル１６が移動する間、鋼板１８もベルト２により搬送されるため、鋼板１８への研磨剤の散布は図４に示すように両サイドに向って後下がりに傾斜した軌跡を描いて行われるが、ノズル１６の移動速度ｖは鋼板１８の搬送速度Ｖに比べ、ｖ≫Ｖとなるようにしてあるため傾斜角θは小さく、したがって研磨剤の塗布は鋼板１８の搬送方向とほぼ直交する方向に行われる（なお、図においては理解を得易くするために傾斜角θを大きく誇張して描いている）。研磨剤の塗布を鋼板の搬送方向と直交する方向に行うには、ノズル１６の移動方向を図５に示すように前上がり傾斜する方向に向けて移動させるとよい。これにより研磨剤の散布が図の点線で示すように鋼板１８の搬送方向と直交する方向に行われるようになる。
【００１６】
研磨剤の散布が鋼板端に達すると、作業者が切換弁３３の切換操作を行い、これにより操作空気をノズル１６に送ってＯＮ−ＯＦＦ弁をＯＦＦ状態にし、研磨剤の散布を停止する。
【００１７】
上述する例では、切換弁３３は作業者の操作により切換えられるようにしているが、電磁弁にしてコンピュータからの制御信号により自動的に切換えられるようにしてもよい。研磨剤の散布が鋼板１８の端部に達したとき、これをセンサーで検出できるようにすれば、センサーからの検出信号に基づくコンピュータからの制御信号により切換弁３３の切換えを行って、研磨剤散布の停止を自動的に行うことができるようになる。
【００１８】
研磨剤が散布された鋼板１８は、研磨ロール３に送り込まれ研磨される。研磨ロール３より送り出されて該ロール３を出た鋼板１８は、ベルト２の逆向きの搬送により逆送りされ、研磨ロール３を挟んだ反対側の各ノズル１６により研磨剤が同様にして散布される。そして研磨ロール３に引込まれ、研磨される。以上の動作が繰返し必要回数行われて鋼板１８への研磨が終了する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】研磨装置の全体構成を示す図。
【図２】塗布装置の正面図。
【図３】研磨剤の供給及びその断続を行う回路図。
【図４】研磨剤の散布軌跡を示す図。
【図５】研磨剤の散布軌跡の別の例を示す図。
【符号の説明】
【００２０】
１・・架台
２・・無端ベルト
３・・研磨ロール
４・・ロール
５・・ピンチロール
６・・搬出入ベルト
７・・塗布器
１１・・モータ
１２・・ネジ棒
１３・・ガイドロッド
１４・・ナット
１５・・支持機構
１６・・ノズル
１８・・鋼板
２１・・タンク
２２・・フィルタ
２３・・圧力制御弁
２４、２７・・減圧弁
２５・・ボール弁
２６・・研磨剤供給ライン
２８、３３・・切換弁
２９、３０・・流量調整弁
３１・・吹付け空気供給ライン
３４・・操作空気供給ライン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨体を載せて搬送する搬送手段と、搬送手段上の研磨剤を塗布した被研磨体を研磨する研磨ロールとを有する研磨装置において、被研磨体の表面に研磨剤を塗布するのに用いる塗布装置であって、研磨剤を散布するノズルと、該ノズルに研磨剤を供給する供給手段と、ノズルからの研磨剤散布の断続を制御する制御手段と、前記ノズルを被研磨体の搬送方向と直交ないしほぼ直交する方向に移動させる移動手段とを有することを特徴とする研磨剤塗布装置。
【請求項２】
前記移動手段が両側に左ネジと右ネジを備え、モータにより回転駆動されるネジ棒と、該ネジ棒の左ネジ及び右ネジにそれぞれ回転止めされて螺着され、ノズルを支持するナットよりなることを特徴とする研磨剤塗布装置。
【請求項１】
被研磨体を載せて搬送する搬送手段と、搬送手段上の研磨剤を塗布した被研磨体を研磨する研磨ロールとを有する研磨装置において、被研磨体の表面に研磨剤を塗布するのに用いる塗布装置であって、研磨剤を散布するノズルと、該ノズルに研磨剤を供給する供給手段と、ノズルからの研磨剤散布の断続を制御する制御手段と、前記ノズルを被研磨体の搬送方向と直交ないしほぼ直交する方向に移動させる移動手段とを有することを特徴とする研磨剤塗布装置。
【請求項２】
前記移動手段が両側に左ネジと右ネジを備え、モータにより回転駆動されるネジ棒と、該ネジ棒の左ネジ及び右ネジにそれぞれ回転止めされて螺着され、ノズルを支持するナットよりなることを特徴とする研磨剤塗布装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００８−６５１０（Ｐ２００８−６５１０Ａ）
【公開日】平成２０年１月１７日（２００８．１．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１７６１１０（Ｐ２００６−１７６１１０）
【出願日】平成１８年６月２７日（２００６．６．２７）
【出願人】（５９１２２３１４９）日新工機株式会社 (26)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１月１７日（２００８．１．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年６月２７日（２００６．６．２７）
【出願人】（５９１２２３１４９）日新工機株式会社 (26)
【Ｆターム（参考）】
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