【解決手段】半導体用ガラス基板の少なくとも一方の面に非貫通の穴、溝又は段差を有し、非貫通の穴、溝又は段差の側面と基板の非貫通の穴、溝又は段差を有する面との間に第１の面取り部が存在し、上記非貫通の穴、溝又は段差の側面及び底面が鏡面であると共に、上記第１の面取り部が鏡面である、半導体用ガラス基板。
【効果】本発明によれば、ＩＣ等の製造に重要な光リソグラフィ法において使用されるフォトマスク基板用合成石英ガラス基板やナノインプリント用モールド基板等の非貫通の穴、溝又は段差を有する半導体用ガラス基板おいて、形状精度が高く、底面及び側面が鏡面である非貫通の穴、溝又は段差を有し、非貫通の穴、溝又は段差において割れ及び欠けが発生しにくく、高い強度及び清浄度を有する半導体用合成石英ガラス基板を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板を複数枚重ね合わせて熱処理する際に、半導体基板同士のズレを抑制し、また半導体基板の間に隙間を発生させることなく保持できる熱処理用ボートを提供することを目的とする。
【解決手段】 少なくとも、前記１組の角形半導体基板の各辺の少なくとも１箇所と接触する溝を備える基板固定具と、当該基板固定具の両端に連結される支持板とを有し、前記基板固定具は、前記１組の角形半導体基板の重心よりも高い位置から当該１組の角形半導体基板を非鉛直方向に加圧する少なくとも１つの第１基板固定具と、前記１組の角形半導体基板の重心よりも低い位置から当該１組の角形半導体基板を支持する少なくとも１つの第２基板固定具を、少なくとも有する熱処理用ボート。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、最外側のガス噴出開口部の断面積を変更して、所望の助燃性ガスの流量及び線速に調整し、助燃性ガス及び可燃性ガスの拡散を抑えるとともに、堆積効率を向上させることが可能な多孔質ガラス母材製造用バーナ及びその多孔質ガラス母材製造用バーナを用いた多孔質ガラス母材の製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の多孔質ガラス母材製造用バーナ１０によれば、複数のガス噴出開口部１５，１６，１７のうち最外側の第３のガス噴出開口部１７が、塞ぎ部材１９によって塞がれており、塞ぎ部材１９には、一列又は複数列のガス噴出孔２０がガラス原料ガス噴出ポート１１の中心軸に対して同心円状に設けられている。 （もっと読む）

【課題】熱伝導特性に優れた材料が、均一に分散した硬化性オルガノポリシロキサン組成物、及びその製造する方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）ケイ素原子に結合したアルケニル基を１分子中に２個以上有するオルガノポリシロキサン、（Ｂ）ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン、（Ｃ）融点が０〜７０℃のガリウム及び／又はその合金、（Ｄ）平均粒径が０．１〜１００μｍの熱伝導性充填剤、（Ｅ）白金系触媒、及び（Ｇ）下記一般式（１）


（式中、Ｒ¹は同一もしくは異種の一価の炭化水素基であり、Ｒ²はアルキル基、アルコキシル基、アルケニル基又はアシル基であり、ａは５〜１００の整数であり、ｂは１〜３の整数である。）で表されるポリシロキサンを含むグリース状又はペースト状の硬化性オルガノポリシロキサン組成物。 （もっと読む）

【課題】反射率を低減でき、エッチング耐性が高く、高い耐熱性、耐溶媒性を有し、特に基板のエッチング中によれの発生がないレジスト下層膜を形成するためのレジスト下層膜形成材料を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で示される置換又は非置換のナフトール基を有するトルクセン化合物を含有するものであることを特徴とするレジスト下層膜形成材料。


（一般式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^４、Ｒ^７、Ｒ^１０、Ｒ^１１、及びＲ^１２は、水素原子等であり、Ｒ^２、Ｒ^５、及びＲ^８は、酸不安定基等であり、Ｒ^３、Ｒ^６、及びＲ^９は、炭素数６〜２０のアリール基等である。） （もっと読む）

【課題】耐溶剤性を維持しながら、熱安定性に優れる仮接着剤組成物及びそれを使用した薄型ウエハの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】（Ａ）非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン、
（Ｂ）酸化防止剤、
（Ｃ）有機溶剤
を含有し、前記（Ａ）成分が１００質量部、前記（Ｂ）成分が０．５〜５質量部、前記（Ｃ）成分が１０〜１０００質量部であることを特徴とする仮接着剤組成物。 （もっと読む）

【解決手段】（Ａ）一分子中に少なくとも２個の珪素原子と結合するアルケニル基を含有するオルガノポリシロキサン： １００質量部、
（Ｂ）疎水化度が３５％以上である粉砕金属珪素粉末： １〜１，０００質量部、
（Ｃ）上記（Ａ）成分を硬化しうる量の硬化剤
を含有することを特徴とする高熱伝導性シリコーンゴム組成物。
【効果】本発明によれば、架橋阻害が少なく、硬化物（ゴム弾性層）が安定なゴム硬度を有し、高熱伝導性、耐熱性、低圧縮永久歪、低硬度等の特性を有する高熱伝導性熱定着ロール又は高熱伝導性熱定着ベルト用シリコーンゴム組成物が得られ、斯かるシリコーンゴム組成物の硬化物を用いて形成された弾性層を有する高熱伝導性の熱定着ロール及び熱定着ベルトは、長期間安定した定着性が得られる定着部材となり得る。 （もっと読む）

【課題】
空気中で紫外線照射した場合であっても表面特性に優れた塗膜を形成する事ができ、また、硬化性組成物を塗工した基材を一端保管した後に紫外線照射した場合であっても、表面特性に優れた塗膜を形成する事ができる硬化方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、含フッ素（α置換）アクリル化合物を含む硬化性組成物を硬化する方法であり、(iv）該組成物の温度を５０℃以上としてから紫外線を照射して該組成物を硬化する工程を含む方法である。さらに本発明は、該方法が、前記工程（iv）の前に、（i）基材に該組成物を塗工する工程を含む方法、更には、前記工程（i）の後、工程（iv）の前に、（ii）該組成物を乾燥する工程、及び（iii）該組成物の温度を５０℃未満とする工程を含む方法を提供する。 （もっと読む）

【解決手段】（Ａ）下記式（１）
Ｒ¹_mＲ²_nＳｉＯ_(4-m-n)/2 （１）
（Ｒ¹は１価炭化水素基、Ｒ²はエポキシ基を含有する有機基、ｍ＞０、ｎ＞０、０＜ｍ＋ｎ≦３である。）
で示されるエポキシ変性オルガノポリシロキサンと、
（Ｂ）（メタ）アクリル酸とを、
（Ｃ）塩基を用いて反応させる下記式（２）
Ｒ¹_mＲ⁶_nＳｉＯ_(4-m-n)/2 （２）
（Ｒ¹は１価炭化水素基、Ｒ⁶は（メタ）アクリロキシ基を含む有機基、ｍ＞０、ｎ＞０、０＜ｍ＋ｎ≦３である。）
で示される（メタ）アクリル変性オルガノポリシロキサンの製造方法。
【効果】本発明によれば、安価な原料を使用しているため原材料費が大幅に削減でき、得られた（メタ）アクリル変性オルガノポリシロキサンはアクリル基の導入率が高く、放射線を照射することによって硬化させることができ、その硬化物は基材密着性に優れた剥離紙として利用可能である。 （もっと読む）

【課題】散布初期の過剰放出を制御することが可能となり、一定期間性フェロモン物質を均一な濃度で放出することができ、汎用の散布機により散布可能な水分散型性フェロモン徐放製剤を提供する。
【解決手段】シクロデキストリンの環内部に包接された昆虫の性フェロモン物質と、前記性フェロモン物質を包接しない未包接のシクロデキストリンと、水溶性高分子化合物と、水とを少なくとも含有する水分散型性フェロモン徐放製剤を提供する。また、シクロデキストリンに包接させた昆虫の性フェロモン物質の水溶媒懸濁液に、該昆虫の性フェロモン物質を包接させていない未包接のシクロデキストリンと水溶性高分子化合物を混合することを少なくとも含む水分散型性フェロモン徐放製剤の製造方法を提供する。 （もっと読む）