【課題】 塗布ヘッドのノズル面に付着した溶液を吸液性の拭取部材により拭き取る塗布装置において、取付ブラケットに対する拭取部材の着脱作業性を簡易化し、塗布装置の生産性を向上すること。
【解決手段】 塗布装置において、拭取部材２１は、その横断面形状が両側部を外方に向けて凸状に張り出すとともに、弾性変形できる膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆを有してなり、取付ブラケット３０は、拭取部材２１を下側から支持する下支持部３２Ａと、拭取部材２１の膨らみ部２３Ｆのそれぞれを上側から押さえる両側の上支持部３６Ａ、３７Ａとを備えてなるもの。 （もっと読む）

【課題】スパッタリング法により、不連続被膜を形成する。
【解決手段】真空槽内で基板とターゲットとを対向させ、スパッタリング法により、前記基板上に成膜処理をする成膜方法であって、前記ターゲットの表面温度が常温よりも所定温度以上になるように制御し、前記ターゲットの表面温度を所定温度としない場合に比べ、高抵抗な被膜を前記基板上に成膜する。 （もっと読む）

【課題】より微細なバブルを含むバブル含有液をより効率的に生成することのできるバブル含有液生成装置及びバブル含有液生成方法を提供することである。
【解決手段】液体を貯留する貯液槽１１と、貯液槽１１からの液体に気体を供給して気体含有液を生成する気体含有液生成機構１３、１２と、気体含有液生成機構にて生成される気体含有液を加圧して気体溶存液を生成する加圧槽１５と、加圧槽１５からの気体溶存液中にバブルを発生させて得られる第１バブル含有液を貯液槽１１に供する第１バブル含有液生成機構１８ａと、加圧槽１５からの気体溶存液の圧力開放を行って微細バブルを発生させて第２バブル含有液を生成する第２バブル含有液生成機構１８ｂとを有する構成となる。 （もっと読む）

【課題】この発明はサイズの異なる第１の液晶表示パネルと第２に液晶表示パネルの側辺部にＴＣＰを精度よく実装できる実装装置を提供することにある。
【解決手段】サイズの異なる第１の液晶表示パネル４Ａと第２の液晶表示パネル４Ｂの幅方向の一対の側部の上面にそれぞれＴＣＰを実装する実装装置に用いられる載置テーブル３７は、
基部４１と、基部の交差する第１の方向と第２の方向のうちの、第１の方向に第１の液晶表示パネルの幅方向の両側部のＴＣＰが実装される部分だけが突出するよう設けられた一対の第１の突出部４２と、基部の第２の方向に第２の液晶表示パネルの幅方向の両側部のＴＣＰが実装される部分だけが突出するよう設けられた一対の第２の突出部４３とによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】流体ナイフのスリット部の清掃を、均一な深さで容易に行うことが可能な基板の処理装置を提供すること。
【解決手段】処理槽３内を搬送装置４により搬送される基板１００の表面に流体を噴射して処理を行う処理装置１であって、処理槽３内を搬送させる基板１００の表面に対向して配置され、基板１００の上面又は下面の少なくとも一方に流体を噴射するスリット部４１を有する流体ナイフ５は、流体ナイフ５の長手方向に沿って延設された案内レール３６と、流体ナイフ５のスリット部４１にその先端が挿入可能に形成された清掃体４７を有し、案内レール４４に沿って移動可能に形成された清掃部材と３７とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】大面積に亘って均一な分布のプラズマを形成可能なプラズマ発生装置及びこれを備えたプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】大気よりも減圧された雰囲気を維持可能なプラズマ発生室６０と、マイクロ波の進行波を共振させる環状共振器１０と、環状共振器１０からマイクロ波を分配する複数の結合器４２と、複数の結合器４２のそれぞれに結合され、プラズマ発生室６０にマイクロ波を導入する相互に離隔して設けられた複数のアプリケータ５０と、を備え、複数のアプリケータ５０はプラズマ発生室６０にマイクロ波を導入する誘電体から形成された導波体５４をそれぞれ有し、導波体５４からプラズマ発生室６０に導入されたマイクロ波によりプラズマを生成する。 （もっと読む）

【課題】 塗布ヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量の差に起因する塗布膜のむらを簡易に解消すること。
【解決手段】 塗布装置１０において、塗布ヘッド２０の各ノズルから大きさの異なる複数種類の液滴の組合せからなる基本吐出パターンで液滴を吐出させたときの各ノズルからの液滴の平均吐出量と前記基本吐出パターンで前記ノズルから吐出されるべき液滴の理論平均吐出量とを比較し、前記平均吐出量と前記理論平均吐出量とが異なっているノズルがある場合、そのノズルからの前記平均吐出量が前記理論平均吐出量になるように基本吐出パターンを変更するもの。 （もっと読む）

【課題】基板の側辺部の上面にＴＣＰを精度よく実装できる実装装置を提供する。
【解決手段】上面に液晶表示パネルが少なくとも一側部を突出させて載置される載置テーブル３７と、載置テーブル３７の上面に形成され少なくとも液晶表示パネルの一側部の載置テーブル３７の上面に位置する部分を吸引力によって保持する側部吸引部４１ａ〜４１ｇと、載置テーブル３７の上面の全体に設けられ側部吸引部４１ａ〜４１ｇの吸引力を液晶表示パネルに作用させるとともに、載置テーブル３７の上面全体に凹部を形成する多数の小孔が形成された多孔性シート５３と、載置テーブル３７の上面に保持されこの上面から突出した液晶表示パネルの一側部の下面を支持するバックアップツールと、バックアップツールによって下面が支持された液晶表示パネルの一側部の上面にＴＣＰを実装する加圧ツールを具備する。 （もっと読む）

【課題】複数の層からなるパターンを形成する際の寸法制御性や処理の安定性を向上させることができるエッチング処理装置およびエッチング処理方法を提供する。
【解決手段】処理容器と、ゲートバルブと、フッ素を含むガスを供給する供給部と、排気部と、プラズマ発生部と、を有した第１の処理部１４０と、処理容器と、ゲートバルブと、塩素を含むガスを供給する供給部と、排気部と、プラズマ発生部と、を有した第２の処理部１５０と、第１の搬入搬出口と、第２の搬入搬出口と、を介して被処理物の搬送を行う搬送部１３０と、を備え、前記第１の処理部１４０は、前記被処理物に形成されたタンタルホウ素酸化物を含む層を所定の形状となるように除去し、前記第２の処理部１５０は、前記被処理物に形成されたタンタルホウ素窒化物を含む層を所定の形状となるように除去することを特徴とするエッチング処理装置１００。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示装置等の基板上に塗布描画されたパターンにおける塗布欠陥部の塗布補修精度を向上させることができるペースト塗布装置及び塗布補修の際のペースト塗布方法を提供すること。
【解決手段】 ノズル２６と基板１６とを相対的に移動させる移動装置２８と、ノズル２６からペーストを吐出させる吐出装置２５とを備えたペースト塗布装置１０において、塗布描画されたパターン３３の塗布欠陥部３３Ａを塗布補修する際の塗布補修パターン４５Ａ又は４５Ｂを選択する塗布補修パターン選択部３６Ｃと、選択された塗布補修パターン４５Ａ又は４５Ｂで塗布欠陥部３３Ａを塗布補修するように移動装置２８と吐出装置２５を制御する制御装置３６とを備えるもの。 （もっと読む）