【課題】この発明は液晶パネルにＴＣＰを精度よく実装することができるようにした実装装置を提供することにある。
【解決手段】第１のリード４ａが設けられた液晶パネル４の側辺部の上面に粘着性を有する異方性導電部材５によって仮圧着された第２のリード６ａが設けられたＴＣＰ６の一端部を、加圧加熱して本圧着する実装装置であって、液晶パネルのＴＣＰの一端部が接続された側辺部の下面を支持するバックアップツール１７と、液晶パネルの側辺部の上面に仮圧着されたＴＣＰの一端部を加圧加熱して異方性導電部材を溶融硬化させて本圧着する加圧ツール１５と、加圧ツールによってＴＣＰの一端部が加圧加熱されて異方性導電部材が溶融硬化する温度になる前に、ＴＣＰの第２のリードのピッチが液晶パネルの第１のリードのピッチと同じになるようＴＣＰを加熱して熱膨張させる制御装置４１を具備する。 （もっと読む）

【課題】 基板の貼り合わせ装置において、２枚の基板の間で加圧される枠状のシール剤をその枠の全周で均一にバックアップして押圧し、２枚の基板を適正に貼り合わせること。
【解決手段】 基板の貼り合わせ装置１０において、基板４１のダミーシール剤５１が塗布されている部分に対向する位置に設けられる複数個の弾性体３０ａの配設密度を、該基板４１のダミーシール剤５１が塗布されていない部分に対向する位置に設けられる複数個の弾性体３０ａの配設密度に比して高密度にしてなるもの。 （もっと読む）

【課題】振動子の超音波振動をホーンに効率よく確実に伝達することができるようにした実装装置を提供することにある。
【解決手段】超音波振動する振動子２３と、振動子とともに超音波振動するようその一端面に振動子の一端面が連結されるホーン２２と、ホーンに設けられ半導体チップに上記荷重とともに超音波振動を加えるツール部と、ホーンの一端面と振動子の一端面との間に設けられ振動子とホーンを連結したときに、一側面が振動子の一端面に密着し他側面がホーンの一端面に密着する振動伝達部材１９を具備する。 （もっと読む）

【課題】液中に微細バブルを効率的に生成し、その微細バブルを含有する液体を被洗浄物の表面に良好な洗浄が期待できるように吹付けることのできる流体噴出ノズルを提供することである。
【解決手段】気体導入口１６４ａと、気体噴出口１６４ｂの形成された気体噴出面１６３とを有するユニット本体１６０と、ユニット本体１６０に設けられ、液体が通る液体通路１６１ａの形成された液体導入部１６１とを有し、ユニット本体１６０には、気体通路１６４と、液体導入部１６１の液体通路１６１ａが結合するキャビティ１６２とが形成され、ユニット本体１６０の気体噴出面１６３は、気体噴出口１６４ｂの形成される面を底面部分１６３ａとしたすり鉢状に形成され、ユニット本体１６０には、気体噴出面１６３のすり鉢状の周面部分１６３ｂで開口し、キャビティ１６２から続く複数のノズル孔１６５が形成された構成となる。 （もっと読む）

【課題】切削液を用いる加工機の加工性能及び洗浄性能の低下を抑え、さらに、その洗浄性能を向上させる。
【解決手段】切削液供給装置１は、切削液を貯留するタンク２と、不活性ガスを供給する不活性ガス供給部３と、供給された不活性ガスを用いてタンク２内の切削液中に微小気泡を発生させる第１のバブル発生器４と、タンク２と切削液を使用する加工機１１とを接続しタンク２内の切削液を加工機１１に供給するための液供給流路５ａと、加工機１１とタンク２とを接続し加工機１１からタンク２に切削液を戻すための排液流路５ｂと、液供給流路５ａの途中に設けられタンク２内の切削液を液供給流路５ａに流す循環ポンプ６と、酸化性ガスを供給する酸化性ガス供給部７と、供給された酸化性ガスを用いて、液供給流路５ａを流れる切削液中に微小気泡を発生させる第２のバブル発生器８とを備える。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板の側辺部にＴＣＰを精度よく、しかも能率よく実装できる実装装置を提供することにある。
【解決手段】ベース部１の長手方向に沿って所定間隔で配置された複数の載置テーブル５〜９と、複数の載置テーブルのうちの１つに対向して配置されこの載置テーブルに載置された基板の側辺部にＴＣＰを仮圧着する仮圧着ヘッドと、他の載置テーブルに対向して配置されこの載置テーブルに供給載置された基板に仮圧着されたＴＣＰを本圧着する本圧着ヘッドと、複数の載置テーブルの上方に上下方向及びベース部の長手方向に対して駆動可能に設けられ下面に複数の載置テーブルと同じ間隔で複数の吸着パッド１６が設けられていて、下降方向に駆動されて複数の載置テーブルに載置された基板を複数の吸着パッドによって同時に吸着してから上昇した後、各吸着パッドに保持された基板を隣りの載置テーブルに移載するよう駆動されて下降する基板移載手段１１を具備する。 （もっと読む）

【課題】機構が簡易かつ軽量な把持装置、搬送装置、処理装置、および電子デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】把持装置１は、ワークの周縁に当接させる第１の把持体２５ｂを有した第１の把持板２６と、周縁に当接させる第２の把持体２５ａを有した第２の把持板２４と、を有し、第１の把持体２５ｂと、第２の把持体２５ａと、が互いに接離するように、第１の把持板２６および第２の把持板２４の少なくとも一方を移動させる把持部２７を備えている。またさらに、把持装置は、把持部を昇降させる昇降部２８と、把持部による開閉動作と、昇降部による昇降動作と、を制御する動作制御部１４と、を備えている。そして、動作制御部は、第１の昇降動作、開閉動作、第１の昇降動作と同じ方向に昇降させる第２の昇降動作をこの順で機械的に制御する。 （もっと読む）

【課題】 ２枚の基板の対向間隔を粗合せ位置から精合せ位置に狭め、それらの各位置で粗アライメントと精アライメントを行なってそれらの基板を貼り合わせるに際し、精アライメントの施行回数を低減し、生産性の向上を図ること。
【解決手段】 基板貼り合わせ方法において、２枚の基板３１、３２の貼り合わせを複数組繰り返すとき、後続する２枚の基板３１、３２の粗アライメントの目標値を、先行した２枚の基板３１、３２の粗アライメント後の最初の精アライメント時に検出したそれら２枚の基板３１、３２の位置ずれ量（Ｘ，Ｙ）を打ち消す値（−Ｘ，−Ｙ）とするもの。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、ヘッドに溶液を供給する配管を減らすることができ、又は非噴射時に溶液がノズルから滴下するのを防止するとともに、噴射開始時に不適切な噴射がされるのを防止できる塗布装置を提供することにある。
【解決手段】 ノズルを用いて基板に機能性薄膜を形成する溶液を噴射塗布する塗布装置において、上記ノズルが形成されたインクジェット方式の複数のヘッド２０と、これらヘッドが設けられるとともに、上記溶液が供給される主管路８が形成されたヘッダー９と、このヘッダーの主管路に接続されこの主管路に上記溶液を供給する溶液タンクと、上記各ヘッドと上記主管路とを接続し、この主管路から上記ヘッドに溶液を分配する複数の分配管２２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】微細バブル含有液が供給される機器側の要因で、気体溶存液の圧力開放によってその微細バブル含有液を生成して供給するバブル発生器からの当該微細バブル含有液の出力圧が変動しても、安定した微細バブルの発生に基づいた微細バブル含有液の供給が可能となる微細バブル含有液供給装置を提供することである。
【解決手段】バブル発生器２０の下流側で該バブル発生器２０からの微細バブル含有液の出力圧を下流側圧力として検出する下流側圧力検出手段２１ｂと、該下流側圧力検出手段２１ｂにて得られる下流側圧力に基づいて、バブル発生器２０に入る前記気体溶存液の入力圧が前記下流側圧力に追従して変化するように、バブル発生器２０に対する前記加圧状態の気体溶存液の供給流量を制御する制御手段３１を有する構成となる。 （もっと読む）