【課題】電極活物質と固体電解質の接合する界面面積を拡大して、界面反応抵抗を下げるようにして、全固体でも充放電動作が可能な全固体電池を提供する。
【解決手段】第１電極層１８を構成するための第１ペーストと、第２電極層２０を構成するための第２ペーストとを固体電解質焼成体１４にスクリーン印刷法等で印刷して第１電極層１８及び第２電極層２０となる電極パターンを形成する。第１ペースト及び第２ペーストは、後述する電極活物質材料の粉末と、固体電解質材料の粉末に、有機溶剤に溶解したバインダを適量投入し、混練して調製することができる。そして、固体電解質焼成体１４に第１ペースト及び第２ペーストが形成された電池前駆体を、ホットプレス用金型に収容し、上方からパンチで加圧しながら金型ごと熱処理して、第１ペースト及び第２ペーストを第１電極層１８及び第２電極層２０とする。 （もっと読む）

【課題】酸化イットリウム材料の加工性を高めると共に、耐摩耗性を高める。
【解決手段】静電チャック２０は、破壊靱性をＫ_IC（ＭＰａ・ｍ^1/2）、加重９．８Ｎにおけるビッカース硬度をＨｖ（ＧＰａ）とすると、ビッカース硬度Ｈｖが１０ＧＰａ以上であり、Ｋ_IC／Ｈｖが０．１５以上である好適範囲にある酸化イットリウム材料により構成されている。この酸化イットリウム材料は、酸化イットリウムを母材としての第１相とすると、第１相以外の第２相が５体積％以上２０体積％以下で含有していることが好ましい。この第２相は、加重９．８Ｎにおけるビッカース硬度Ｈｖが１２ＧＰａ以上を示す化合物、例えば、窒化物又は炭化物としてもよい。あるいは、この第２相は、酸化イットリウムに対して５ｍｏｌ％以上に固溶限が存在する酸化物又は該酸化物と酸化イットリウムとの化合物、例えば希土類酸化物などとしてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の波長を変換して高調波を発生するための周期分極反転構造を備えている高調波発生素子において、高調波の発振が不安定化するのを防止する。
【解決手段】高調波発生素子は、レーザ光の波長を変換して高調波を発生するための周期分極反転構造１８を備えている。周期分極反転構造８の分極反転面Ｐとレーザ光の伝搬方向Ｌとがなす角θが８０°以上、８９°以下である。 （もっと読む）

【課題】マスク付目封止ハニカム構造体の端面に貼り付けたマスクを自動で剥すことができるマスク自動剥し装置を提供する。
【解決手段】ハニカム構造体の一方の端面に、この端面の面積よりも大きな面積のマスク２４を貼り付け、孔を開け、目封止用スラリーに浸漬し、乾燥させて得られるマスク付目封止ハニカム構造体２００のマスク２４を剥すものであり、マスク２４に付着した目封止用スラリーが固化したものを除去するブラッシング装置３０と、目封止用スラリーが固化したものを除去した後、一方の端面の反対の端面側から空気を噴射して、一方の端面からはみ出した部分を起こす空気噴射装置３６と、空気噴射装置３６で起こした部分を把持し、マスク２４を剥すマスク剥離装置５０と、ブラッシング装置３０からマスク剥離装置５０までマスク付目封止ハニカム構造体２００を搬送する搬送装置５５と、を備えるマスク自動剥し装置１０。 （もっと読む）

【課題】光ファイバー伝搬光と光導波路の伝搬光との間のモードフィールドの不整合による光挿入損失を低減する。
【解決手段】光変調器４１は、光変調用部品４２および光ファイバー伝搬光の接続用部品４３Ａ、４３Ｂを備える。光変調用部品４２が、電気光学材料からなる変調用基板４４、変調用基板に設けられている変調用光導波路、変調用光導波路に対して電圧を印加し、伝搬光を変調する高周波相互作用部、第一の支持基板４、および変調用基板を第一の支持基板４に接着する第一の接着層３を備える。接続用部品４３Ａ、４３Ｂが、電気光学材料からなる基板４８、基板４８に形成されている接続用光導波路、第二の支持基板２、および基板４８を支持基板２に接着する第二の接着層１を備える。基板４４が基板４８に対して接着されている。支持基板４が支持基板２に対して接着されている。変調用光導波路が接続用光導波路と連続する。基板４４の厚さＰ１が基板４８の厚さＰ２よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】接合面における非接合領域と接合領域とが複雑に入り組んだ精密な異種材料接合体を高い精度で得ることが可能な異種材料接合体の製造方法を提供する。
【解決手段】一方の板状部材２は、側面から接合面に沿った複数の溝部が設けられ、側面に複数の開口部１１と、接合面上に溝部に対応した形状の間隙となる非接合領域と、非接合領域で区画され、二つの板状部材２、３間を接合する複数の接合領域と、が形成されてなり、一対の押型５で板状部材積層体４をシート状の離型材８を介して挟持した状態で、開口部１１に近い離型材８のシート状の縁部分を押型５に設けられた固定部６に固定しながら、ろう材が融解する温度以上に加熱するとともに、加熱雰囲気の圧力をろう材の蒸気圧よりも低い圧力まで減圧して、非接合領域で余剰となるろう材を開口部１１より蒸気として排出する。 （もっと読む）

【課題】鉄塔上で懸垂がいしの絶縁抵抗を安全かつ迅速に一人で測定することができる片手式絶縁抵抗測定器を提供する。
【解決手段】上下の水平アーム２の後端部を握り手となる垂直アーム３で接続して片手で把持できるコの字型の絶縁ホルダ１を形成し、これらの上下の水平アーム２の内部に、絶縁抵抗計の電極端子５をその尖った先端が水平アーム２の先端から突出するように固定する。懸垂がいし１７のキャップ金具１８に電極端子５の先端を押し付け、個々の懸垂がいし１７の絶縁抵抗を測定する。外力を加えない状態では電極端子５の先端を覆うカバー１２を、スプリング１３を介して取り付けておくことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】機械的強度をより高めることのできる酸化イットリウム材料及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体製造装置用部材である静電チャック２０の基体２２は、酸化イットリウム（Ｙ₂Ｏ₃）と、炭化珪素（ＳｉＣ）と、ＲＥ（希土類元素）とＳｉとＯとＮとを含む化合物と、を少なくとも含む酸化イットリウム材料により構成されている。この酸化イットリウム材料は、ＲＥ（希土類元素）とＳｉとＯとＮとを含む化合物として、ＲＥをＬａ，ＹなどとするＲＥ₈Ｓｉ₄Ｎ₄Ｏ₁₄を含んでいる。このＲＥ₈Ｓｉ₄Ｎ₄Ｏ₁₄は、原料の主成分であるＹ₂Ｏ₃や原料として添加したＳｉ₃Ｎ₄などから焼結過程で生成した化合物である。酸化イットリウムに含まれるＳｉＣやこの化合物により機械的強度や体積抵抗率が向上する。 （もっと読む）

【課題】機械的強度をより高めた酸化イットリウム材料を提供する。
【解決手段】半導体製造装置用部材である静電チャック２０は、酸化イットリウムに固溶・析出可能であり酸化イットリウムの粒内に存在する第１無機粒子と、第１無機粒子には固溶可能であり酸化イットリウムには固溶しにくい酸化イットリウムの粒界に存在する第２無機粒子と、を含む酸化イットリウム材料により構成されている。この第１無機粒子は、ＺｒＯ₂及びＨｆＯ₂のうち少なくとも１以上であり、第２無機粒子は、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯのうち少なくとも１以上である。この酸化イットリウム材料は、第１無機粒子と第２無機粒子とを混合・焼成して固溶粒子を作製し、作製した固溶粒子と酸化イットリウムとを混合・焼成することにより、第１無機粒子を酸化イットリウムの粒内に存在させると共に、第２無機粒子を酸化イットリウムの粒界に存在させて作製することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスにおけるプラズマエッチングに使用したときに、エッチングレートを高く維持しながら、面内均一性を向上させることができるプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】厚さ方向に貫通するガス通過用の複数の貫通孔５を有する板状のセラミックプレート４、及び、セラミックプレート４内部に配設された、線状の放電部７をそれぞれ有する複数組の線状電極６を有する第１電極１と、第１電極１との間に間隔を開けて、一方の面２ａと第１電極１の一方の面１ａとが向かい合うように平行に配置された、板状の第２電極２と、第１電極１に配設された複数組の線状電極６のそれぞれに別々に接続され、各組の線状電極６と第２電極２との間にそれぞれ独立してナノパルス電圧を印加できる複数のパルス発生回路を有する電源３ａ，３ｂとを備えたプラズマ発生装置１００。 （もっと読む）