【課題】窒化物単結晶基板の反りや粒界生成を抑制することである。
【解決手段】バルク状単結晶は、針状種結晶と、この針状種結晶の側面から成長している窒化物単結晶とを有する。針状種結晶の幅に対する長さの比率が５以上であり、窒化物単結晶のｃ軸が針状種結晶の主軸と略平行である。バルク状単結晶を加工して窒化物単結晶基板を得る。 （もっと読む）

【課題】ＤＰＦ等のフィルターとして使用した際に、濾過層の面積を減少させることなく、セルの長さのバラツキと、目封止部の端部へのスートの堆積が抑制された、圧力損失が増大しにくい目封止ハニカム構造体を提供する。
【解決手段】流体の入口側となる入口端面と流体の出口側となる出口端面との間を連通する複数のセルが、多孔質の隔壁によって区画形成されたハニカム構造体と、所定のセルの前記入口端面側の開口部及び残余のセルの前記出口端面側の開口部を目封止する目封止部とを備えた目封止ハニカム構造体１である。前記目封止部は、前記目封止部の構成材料を前記各セルに充填後、焼成することにより形成されたものであり、前記入口端面及び出口端面の総面積の３５％以上の面積の領域Ａにおいて、前記焼成時に前記目封止部の端部に生じた凹部の深さが浅くなるように、端面研磨による平滑化処理が施されている。 （もっと読む）

【課題】高強度かつ高耐食性であり、アルカリ金属含有量が５００ｐｐｍ以下のフッ化マグネシウム焼結体を提供する。
【解決手段】本発明のフッ化マグネシウム焼結体は、フッ化マグネシウムを主相とする焼結体であって、平均線熱膨張係数がフッ化マグネシウムよりも低い少なくとも１種の分散粒子を含み、焼結体中の分散粒子の平均粒径とフッ化マグネシウム粒子の平均粒径が５μｍ以下でかつ開気孔率が１％以下であり、アルカリ金属元素含有量が５００ｐｐｍ以下のものである。 （もっと読む）

【課題】支持部材と受光部との間に空間が形成された焦電素子において、焦電素子の機械的強度を向上させる。
【解決手段】焦電素子１０は、受光部６１，６２よりも焦電基板２０の外側を支持する第１支持部３１だけでなく、受光部６１，６２の間を支持する第２支持部３２によっても焦電基板２０が支持されている。このため、第１支持部３１のみで焦電基板２０を支持する場合と比べて、焦電素子１０の機械的強度が向上する。また、焦電基板２０は２つの受光部６１，６２の間に空隙２８を持つように焦電基板２０ａ，２０ｂに分割されており、第２支持部３２は空隙２８を架け渡すように焦電基板２０を支持している。 （もっと読む）

【課題】圧力損失を低く保つことが可能でありかつ機械的強度が高いセラミックスフィルタを提供する。
【解決手段】セラミックスを主成分とする多孔質の隔壁３と、複数のセル５とを備えるハニカム構造部を有し、ハニカム構造部１１は目封止セル部１１を有するとともに、セル５が通じる方向Ｚに垂直なハニカム構造部の断面においては、セル５の断面形状が方向Ｘに延びる隔壁３と方向Ｙに延びる隔壁３とに区画される四角形を有し、さらに、目封止セル部１１の断面が、方向Ｘに対して１５〜４５度の角度でハニカム構造部の断面を帯状に横切る第一の帯状領域１３と、第一の帯状領域１３に垂直に交差しつつハニカム構造部の断面を帯状に横切る第二の帯状領域１５とを有するセラミックスフィルタ１。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成を有しているとともに、対象物を変形させ難い吸着装置を提供する。
【解決手段】 対象物７０を吸着する吸着装置１０であって、絶縁体により構成されており、表面２２に吸引口２６が開口している吸着板３０と、前記吸引口２６内を減圧する減圧手段５０と、減圧手段５０を制御する制御手段５６とを備えており、制御手段は５６は、吸着板３０の前記表面２２が対象物７０と対向しているときに、減圧手段５０を作動させて、対象物７０を吸着板３０の前記表面２２に吸着させる第１ステップと、第１ステップの後に、減圧手段５０を停止させる第２ステップを実行し、第２ステップの後に、吸着板３０から生じる静電気力によって、対象物７０が吸着板３０の前記表面２２に吸着された状態が維持される。 （もっと読む）

【課題】筒状セラミックス体を金属管で被覆する場合において、金属管における引張残留応力が低減されている熱伝導部材を提供する。
【解決手段】一方の端面から他方の端面まで貫通し、加熱体である第一の流体が流通する流路を有する筒状セラミックス体１１と、筒状セラミックス体１１の外周面に嵌合するとともに、表面においては深さ０．０１〜０．２ｍｍまでピーニング処理が施されている金属管１２と、筒状セラミックス体１１と金属管１２との間に挟み込まれた中間材と、を備え、筒状セラミックス体１１の内部に第一の流体を、金属管１２の外周面１２ｈ側に第一の流体よりも低温の第二の流体を流通させ、第一の流体と前記第二の流体との熱交換を行う熱伝導部材１０。 （もっと読む）

【課題】III族金属窒化物の非極性面を有する基板を研磨加工することで極めて平坦な表面を形成しつつ、かつその表面の加工歪みを取り除くことによって、III族金属窒化物の無歪研磨加工面を得ることである。
【解決手段】本方法は、III族金属窒化物の非極性面を有する基板を研磨加工し、前記非極性面の平均表面粗さ（Ｒａ）を１ｎｍ以下とする研磨加工工程、次いで基板を不活性雰囲気下で熱処理する熱処理工程、および基板の非極性面を、ハロゲン含有ガスを用いて反応性ドライエッチングするか、または化学機械研磨加工する加工工程を有する。 （もっと読む）

【課題】筒状セラミックス体にひびや割れが生じにくい熱伝導部材を提供する。
【解決手段】一方の端面から他方の端面まで貫通し、加熱体である第一の流体が流通する流路を有する筒状セラミックス体１１と、筒状セラミックス体１１の外周面に嵌合する金属管１２と、筒状セラミックス体１１と金属管１２との間に挟み込まれて軟質粒子を分散した金属から形成される中間材１３と、を備え、筒状セラミックス体１１の内部に第一の流体を、金属管１２の外周面１２ｈ側に第一の流体よりも低温の第二の流体を流通させ、第一の流体と第二の流体との熱交換を行う熱伝導部材１０。 （もっと読む）

【課題】Ｃｕ薄板の材料特性を活かしつつ応力緩和率を低減させる。
【解決手段】Ｃｕ製又はＣｕ基合金製の薄板上の所定部分に、拡散接合助材と強化材とを溶媒に分散させたスラリーを供給し、該供給したスラリーを乾燥させたあとレーザーを照射して溶融固化して固着させることにより肉盛層を形成するＣｕ薄板処理方法であって、（ａ）前記拡散接合助材として、Ｎｉ又はＮｉ−Ｃｒ合金の粉末を使用し、（ｂ）前記強化材として、炭化物系金属化合物、窒化物系金属化合物又は硼化物系金属化合物を使用し、前記拡散接合助材と前記強化材との重量割合を８０：２０〜５０：５０とし、（ｃ）前記拡散接合助材及び前記強化材として、中位径Ｄ₅₀が共に０．１〜１００μｍに入り、前記拡散接合助材の中位径Ｄ₅₀の方が前記強化材の中位径Ｄ₅₀より大きく、前記拡散接合助材の分布率Ｄ₉₀／Ｄ₁₀及び前記強化材の分布率Ｄ₉₀／Ｄ₁₀が共に４．０以下のものを使用する。 （もっと読む）