【課題】被処理基板上に形成される薄膜の膜厚を均一にする。
【解決手段】被処理基板１０の被成膜面１２上に薄膜を成膜する薄膜形成方法は、複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスの被成膜面１２の高さ位置Ｓにおけるガス風速の分布を測定する工程と、隣り合う２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅ同士の間の間隔Ｌ１〜Ｌ４が所定の値となるように複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅを配置する工程と、を備え、間隔Ｌ１〜Ｌ４は、２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスのそれぞれのガス風速の分布に基づいて薄膜の膜厚が均一となるように所定の値に設定される。 （もっと読む）

【課題】液体と気体とを混合して噴射する二流体ノズルにおいて、ノズルの異常および劣化の程度を適切に判定する。
【解決手段】ノズル検査装置２００は、計測部２１１，２１２と、判定部２３２とを備え、液体と気体とを混合して噴射する二流体ノズル１１０における異常の有無を検査する。計測部２１１，２１２は、二流体ノズル１１０に供給される液体の圧力および流量の少なくとも一方に関する情報を計測する。判定部２３２は、計測部２１１，２１２によって計測された情報について、予め定められた時間において検出された上記情報の平均値からの上記情報の各々の変動量の大きさに基づいて、二流体ノズル１１０における異常の有無、および劣化の程度を判定する。 （もっと読む）

【課題】被塗装物への原料の液垂れを防ぐとともに、原料の利用効率を向上させるスプレー噴霧装置、を提供する。
【解決手段】スプレー噴霧装置１０は、原料を噴霧するための噴霧口２２が形成されるスプレーノズル２１と、噴霧口２２より噴霧された原料を取り囲むように配置される内壁３５を有し、噴霧口２２から遠ざかる方向に延びる囲いカバー３１とを備える。囲いカバー３１には、内壁３５に開口し、パージガスを噴射するガス噴射口３７が形成される。スプレー噴霧装置１０は、囲いカバー３１に設けられ、ガス噴射口３７から噴射されたパージガスの流れを内壁３５に沿った方向に変更する傾斜板４１をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】効率よく基板上に安定して均一に成膜する。
【解決手段】筐体と、成膜材料の溶液と圧縮ガスとを混合して成膜材料を微粒子化したミストを筐体の内部に噴霧する複数のスプレーノズル１２とを備える。また、圧縮ガスを圧力の異なる複数の調圧ガスに調整し、複数のスプレーノズル１２の各々に複数の調圧ガスのいずれかを導入し、かつ、複数の調圧ガスのすべてを複数のスプレーノズル１２に対して導入するガス圧調整機構を備える。 （もっと読む）

【課題】 被移載物の下方に挿入された被載置部材の所定位置に被移載物が載置されるように、被載置部材を簡単な装置構成で位置決めする位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置決め装置は、可動部と、可動部を移動方向に変位駆動する駆動手段と、一端部が可動部に連結され、移動方向に伸縮可能に延設される弾性部材と、弾性部材の他端部が連結され、可動部の変位に伴って近接方向に変位する位置決め部材とを含み、位置決め部材は、近接方向への変位によって被移載物に接触する上段接触部と被載置部材に接触し、かつ上段接触部に対し所定の位置に配置された下段接触部とを含む。駆動手段は、位置決め部材が被移載物に接触するのに必要な変位量を超えて可動部を変位させ、弾性部材は、可動部が変位するとき、上段接触部が被移載物に接触するまでは、位置決め部材を近接方向へ変位させ、被移載物に接触後は、可動部の変位に伴って伸長または収縮する。 （もっと読む）

【課題】ＵＳＢ無線ＬＡＮアダプタ、ＩＣカードリーダ等のＵＳＢで常時接続される機能拡張装置が外力によって損傷を受ける可能性及び間違って抜去される可能性を低減することができる画像形成装置を提供する。
【解決手段】前面及び背面にＵＳＢソケットを備え、前面のＵＳＢソケット１８４に挿入されたＵＳＢ装置が機能拡張装置であるか否かを判定する判定部と、判定部によって、前面のＵＳＢソケット１８４に、機能拡張装置が挿入されたと判定された場合、そのＵＳＢ装置を使用可能な状態にせず、機能拡張装置以外のＵＳＢ装置が挿入されたと判定された場合、そのＵＳＢ装置を使用可能な状態にする制御部とを備える。これにより、ＵＳＢ無線ＬＡＮアダプタ等が前面のＵＳＢソケットで、常時接続状態で使用されることを防止することができ、ＵＳＢ無線ＬＡＮアダプタ等が損傷及び抜去される可能性を低減できる。 （もっと読む）

【課題】凝固偏析により金属融液から得られた精製塊中の不純物濃度を簡易にスクリーニングし得る金属精製塊の検査方法、それを含む高純度金属の製造方法およびその用途を提供することを課題とする。
【解決手段】不純物を含む金属融液に精製塊支持体を接触させ、次いで凝固偏析により前記精製塊支持体の表面に析出させた前記金属融液の金属精製塊に含まれる不純物濃度により規定される前記金属精製塊の良または不良を、前記金属精製塊外周面の表面状態に基づいて検査することを特徴とする金属精製塊の検査方法により、上記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】停炉に至るまでの期間を従来よりも長くし、精製シリコンの製造コストの低減および生産性の向上を実現することが可能なシリコンの精製方法を提供する。
【解決手段】坩堝内の溶融シリコンが第２の所定量ｍとなるまでシリコン凝固塊を引き上げる工程を含む精製サイクルの後に第２の所定量ｍの値を大きくして次の精製サイクルを行なうシリコンの精製方法である。 （もっと読む）

【課題】廉価にゲッタリング効果を得つつ高品質化を図る。
【解決手段】溶融シリコンを坩堝内の下方から上方に向けて一方向に凝固させることにより生成させた多結晶シリコンインゴットであって、上端部および下端部における酸素濃度が、この上端部とこの下端部との間の中央部における酸素濃度より高い。また、上端部における酸素濃度が下端部における酸素濃度より高い。 （もっと読む）

【課題】ヒータが側方に配置された場合にインゴット割れおよび結晶欠陥の発生を抑制し、高品質な多結晶シリコンインゴットを低コストで製造する。
【解決手段】側方に配置されたヒータにより加熱されて溶融したシリコンを内部で凝固させて多結晶シリコンインゴットを生成させる坩堝であって、底面部において中央部２１が周側部２２より厚い。 （もっと読む）