【課題】 特に、フリー磁性層の磁歪λｓの増加を小さく抑えつつ、従来に比べて抵抗変化率（ΔＲ／Ｒ）を増大させることが可能なトンネル型磁気検出素子を提供することを目的としている。
【解決手段】 絶縁障壁層５は、Ｍｇ−Ｏで形成され、前記フリー磁性層６は、下からエンハンス層１２、第１軟磁性層１３、Ｃｏ−Ｔａ層１４及び第２軟磁性層１５の順に積層されている。このように軟磁性層１３，１５間にＣｏ−Ｔａ層１４を挿入した構成とすることで、フリー磁性層６の磁歪λｓの増加を小さく抑えつつ、従来に比べて抵抗変化率（ΔＲ／Ｒ）を増大させることが可能である。 （もっと読む）

【課題】アンカーの変位量を大きくとれ、しかも小型化が可能である回転錘構造体及びそれを用いたセンサ、並びにそれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の回転錘構造体は、一対の封止基板１１，１３と、前記一対の封止基板間に配置されるように前記一対の封止基板にそれぞれ接合され、枠体１及び回転軸体３を備えた錘基板と、前記錘基板と分離した状態で前記一対の封止基板間において前記回転軸体３の周りを回転可能である錘２と、を具備し、前記錘基板は、前記ベース層２１と、前記活性層２２と、前記ベース層２１及び前記活性層２２に挟持された絶縁層２３と、を有するＳＯＩ基板で構成されており、前記枠体の領域及び前記回転軸体の少なくとも一方の領域に対応する前記活性層は、平面視において前記錘の外延部と少なくとも一部でオーバラップする領域を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面実装等を行うため、基板の側面方向から位置決めを高精度に行うことのできる光学素子を提供する。
【解決手段】平板状の基板２の少なくとも一面に光学面３が形成されてなる光学素子において、基板２は、光学面が形成される面から該光学面が形成される面と直交する側面２ｂにかかる凹部１１からなるマーク部１０を有し、マーク部１０は側面２ｂ側において位置決めの基準となるエッジ線１１ａ、１１ｂまたは頂点部を有する。 （もっと読む）

【課題】 特に、小型化に対応でき、また、高い検出精度を得ることが出来るＭＥＭＳ傾斜センサを提供することを目的としている。
【解決手段】 支持基板と、キャップ基板と、支持基板とキャップ基板の間に位置する中間層とを備える。中間層は、回動錘１１と、前記回動錘１１に形成された貫通孔に挿通され前記支持基板とキャップ基板に固定支持される回動軸１２と、を有し、回動錘１１は、重力方向に向けて回動可能に支持されている。回動錘１１には磁石８が設置され、回動錘１１の回動領域２２に対するキャップ基板の対向領域には、一対の磁気検出素子４，５が設置されている。ＭＥＭＳ傾斜センサ１を基準状態から時計方向あるいは反時計方向に回転させると、磁石８と近づく側の前記磁気検出素子は前記磁石８から外部磁界を受けることで電気特性が変化し、この電気特性変化に基づいて回転状態を知ることができる。 （もっと読む）

【課題】 光路変換用の導光部材のハウジングへの取付けと位置決めが容易であり、且つ光の結合損失の小さい光モジュールを提供する。
【解決手段】 導光部材１０は、発光素子または受光素子である光学素子３に対向する第１の端面１１と、光ファイバ２３に対向する第２の端面１２を有し、第１の端面１１に直交する第１の端面中心線Ｏ１と、第２の端面１２に直交する第２の端面中心線Ｏ２とが直交する湾曲部１４を有している。導光部材１０には、第１の端面中心線Ｏ１に向けて突出する位置決め部１５が一体に形成されている。導光部材１０をハウジングの収納空間７ａに向けてＹ１方向へ挿入することで、簡単に組み立てることができ、位置決め部１５を用いて導光部材１０を位置決めすることができる。また、導光部材１０は湾曲部１４を有しているため、光の伝播損出も少ない。 （もっと読む）

【課題】 薄型で外部の押圧力を電気的出力として高感度に検知できる押圧力検知装置を提供する。
【解決手段】 弾性板２に左側受力部３と右側受力部４が固定されており、左側受力部３の第１の当接部６ａと右側受力部４の第１の当接部６ｂが第１の押圧部材２１に当接し、左側受力部３の第２の当接部７ａと右側受力部４の第２の当接部７ｂが第２の押圧部材２２に当接している。第１の押圧部材２１と第２の押圧部材２２とが互いに接近する方向へ加圧されると、弾性板２の第１の撓み部５ａと第２の撓み部５ｂが互いに逆向きに湾曲する。弾性板２の一方の側に設けられた直列の抵抗体層９ａ，９ｂで湾曲変形の撓みを検知できる。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減すると共に、耐久性を向上させることができる板バネ取付構造およびフェーダを提供すること。
【解決手段】往復動可能なスライド部材１３と、スライド部材１３の取付面３１に取り付けられ、スライド部材１３に制動力を付与する作動力調整用板バネ２３とを備え、スライド部材１３は、取付面３１から離間しないように作動力調整用板バネ２３の少なくとも一部を係止する係止部３２と、取付面３１から突出した突出部３３とを有し、作動力調整用板バネ２３は、突出部３３を挟持する一対の挟持突起４２ｃを有し、係止部３２に係止された状態で突出部３３を挟持することでスライド部材１３に取り付けられる構成とした。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法によって光学面の表面に所定膜厚の反射防止膜を確実に形成することのできる光学素子アレイ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体材料からなる基板２の少なくとも一面に複数の光学面３を形成し、光学面３の形成された基板２を熱酸化または熱酸窒化処理することにより、基板２の両面に酸化膜または酸窒化膜４を形成する。また、基板２の酸化膜または酸窒化膜４は、屈折率をｎ、膜厚をｄ、透過させる光の波長をλとすると、ｎｄ＝λ／４の関係を満たすように形成される。 （もっと読む）

【課題】高精度な反射板を製造するための金型製造方法を提供すること、及び光学特性が良好な反射板を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１の片面に、延性モード切削加工により、三角錐形状の凸部２を最密の配列で形成する。凸部２の形成面に、フォトレジスト層３を形成する。フォトレジスト層３に平面形状が三角形の透孔４を所定の配列で多数形成する。このフォトレジスト層３をマスクとして、シリコン基板１の片面にドライエッチングを施し、シリコン基板１の表層部分に三角柱形状の凹部５を形成する。フォトレジスト層３の残部を除去されたシリコン基板１の片面にニッケルなどの金型材料を電鋳して、金型素材８を得る。金型素材８に形成された三角柱形状の凸部７に切削加工を施して、三角錐形状の凸部９を形成する。 （もっと読む）

【課題】保護層の表面段差を低減でき、印刷品質の向上を図れるサーマルヘッドを得る。
【解決手段】基板表面の凸形状部上に形成した複数の抵抗層と、複数の抵抗層に給電する個別電極及び共通電極と、基板表面を覆う保護層とを備えたサーマルヘッドにおいて、凸形状部上に、抵抗層の他端部側で共通電極とは位置を異ならせて該共通電極と同一の厚さを有する補助段差部を設け、印刷媒体の走行方向と直交する方向で補助段差部による保護層の表面高さと共通電極による保護層の表面高さを一致させる。 （もっと読む）