【課題】フッ素含有ガスを用いたプラズマエッチング工程で発生するプラズマ重合物を有する被洗浄物を、良好に除去できる洗浄方法を提供する。
【解決手段】フッ素含有ガスを用いたプラズマエッチング工程で発生するプラズマ重合物を有する被洗浄物を、含フッ素化合物を含有する洗浄液に浸す浸漬工程を有する洗浄方法であって、前記含フッ素化合物が、炭素数５以上の直鎖または分岐構造のパーフルオロアルキル基を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細電子機械スイッチの配線構造体における損失を低減するとともに、接点電極における損失の増大や動作不良の発生を抑制できるようにする。
【解決手段】基板１０１の上には、配線支持部１０７と、配線支持部１０７に支持されて可動電極１０４の上部に配置された配線１０８とを備えている。配線支持部１０７および配線１０８を含む配線構造体は２つ配置され、２つの配線１０８は互いに絶縁分離され、かつ、各々の一端が、所定の間隔を開けて対向配置されている。また、これら対向配置されている２つの配線１０８の一端は、接点電極１０６の上部に所定の距離離れて配置されている。 （もっと読む）

【課題】外部から入力された運動エネルギーを電気エネルギーに変換するための素子を、より微細な構造で、より容易に製造できるようにする。
【解決手段】基板１０１と、この上に形成された枠部１０２と、枠部１０２の内側に配置された、支持部１０３，連結ばね部１０４，可動構造体１０５，可動電極部１０６，および固定電極部１０７と、枠部１０２の上に枠部１０２内を封止するように形成された天井部１０８を備える。枠部１０２に支持されて形成された天井部１０８が、固定電極部１０７に接触して配置されている。 （もっと読む）

【課題】災害時に緊急情報を迅速かつ容易に送信することができ、災害エリアにおいて災害状況を速やかに報知することができる災害状況報知システムを提供すること。
【解決手段】緊急情報を発信する発信者側に設置され、前記緊急情報を送信する緊急情報生成送信手段２と、前記発信者側に設置され、緊急情報から前記エリア情報を抽出し、前記エリア情報に対応するエリアに対して、専用チャネルを利用して前記緊急情報を送信する緊急情報送信制御手段３，４と、前記エリアごとにそれぞれ設けられ、緊急情報を受信するエリア通信手段６Ａ１，６Ｂ１，６Ｂ２，６Ｃ１と、前記エリアごとにそれぞれ設けられ、緊急情報から前記災害情報を抽出し、前記災害情報に基づいて前記エリアの災害状況を報知する報知制御手段７Ａ１，７Ｂ１，７Ｂ２，７Ｃ１，８Ａ１，８Ｂ１，８Ｂ２，８Ｃ１とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光位相変調器を備える光変調装置において、角度変調信号の歪特性を安定化すること。
【解決手段】光変調装置１００は、光位相変調器１０４に入力する直流バイアス電圧を発生する直流バイアス制御部１１１と、直流バイアス制御部１１１が出力する直流バイアス電圧にパイロット信号を重畳するパイロット信号発生部１１２と、光位相変調器１０４の出力光を分岐する第２の光分岐器１１３と、第２の光分岐器１１３が分岐した光信号を電気信号に変換する光電気変換部１１４と、光電気変換部１１４が出力する電気信号を処理する信号処理部１１５とを備える。信号処理部１１５は、光電気変換部１１４が出力する電気信号から、パイロット信号の残留歪成分を強度として取り出し、その強度を極小とするように、直流バイアス制御部１１１が発生する直流バイアス電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】複数の周波数帯域を少ない部品点数にて受信可能にするとともに、受信信号の飽和状態を検知可能な無線通信用集積回路、及び無線通信モジュールを提供する。
【解決手段】無線通信用集積回路２において、マルチバンドＲＦ部１０は、端子ＲＦに接続されるアンテナモジュール７０を通じて入力される無線信号に対して、端子ＬＯ１及び端子ＬＯ２から入力される、無線信号の周波数に応じた周波数を有しダウンコンバートに用いられる局部発振信号により周波数変換を行ってダウンコンバートした信号を端子ＩＦ１及び端子ＩＦ２から出力する。可変利得部２０は、端子ＩＮ１及び端子ＩＮ２から入力される中間入力信号に対して所定の利得で増幅を行い増幅した信号を端子ＯＵＴに出力する。フィルタ回路５Ａ及び５Ｂは、スイッチ５１Ａ、５１Ｂ、及びスイッチ５２Ａ及び５２Ｂの切り替えによりレベル検出の際に選択される容量素子５３Ａ、５３Ｂを選択する。 （もっと読む）

【課題】受信信号レベルの変動範囲が広く取れる多段可変利得増幅器を提供する。
【解決手段】アクティブバラン１１１で入力信号を差動信号として出力する。可変減衰部１２０は、入力された差動信号を定められた減衰率から選択した減衰率で減衰させた信号を出力する。可変利得増幅部１４０は、増幅器１４１、１５１と複数のスイッチを備える。増幅器１４１、１５１は、入力された信号を定められた利得で増幅して、入力された信号とバイアス電位が等しい出力信号を出力する。可変利得増幅部１４０は、複数のスイッチを連動させて増幅器１４１、１５１の信号を選択的に迂回させて出力する。出力緩衝増幅器１７１は、可変利得増幅部１４０から入力された信号を増幅し出力を行う。可変減衰部１２０および可変利得増幅部１４０での利得設定により、所要の利得を得る多段可変利得増幅器を提供する。 （もっと読む）

【課題】局部発振信号のセルフミキシングによるＤＣオフセットの発生を低減することを特徴とした広い周波数帯域に対応するＲＦフロントエンド回路を提供すること。
【解決手段】ＲＦフロントエンド回路１は、ミキサ１３と増幅器１１との間に可変アッテネータ１２を備える。これにより、増幅器１１の後段のインピーダンス整合をとると共に、増幅器１１で反射されるＬＯ信号及び基板の接地などを介して回り込むＬＯ信号とを低減させる。その結果、反射されるＬＯ信号及び回り込むＬＯ信号と、局部発振信号入力端子から入力されるＬＯ信号とが、ミキサ１３においてセルフミキシングされることで発生するＤＣオフセットを低減させる。 （もっと読む）

【課題】信号切換部の影響による周波数特性劣化や迂回された増幅器による電力の浪費および信号への悪影響が生じない可変利得増幅器を提供する。
【解決手段】信号切換部は、スイッチ２１、２２、２３ａ、２３ｂが配置され、増幅部３０を選択的に迂回させて信号を出力する。特性補正部４０ａ、４０ｂは、信号切換部に配置されたスイッチ２１、２２、２３ａ、２３ｂによって生じる電気的特性変化を補正する。特性補正部４０ａ、４０ｂは、一端が接地電位に接続される抵抗４２ａ、４２ｂと、２つの信号端子を有するスイッチ４１ａ、４１ｂの第１の信号端子が抵抗４２ａ、４２ｂの他端に、また第２の信号端子が増幅部３０の出力端子に接続される。制御電源部５０は、信号切換部に配置されるスイッチの切換制御を行い、また、増幅部３０の動作を制御する可変利得増幅器である。 （もっと読む）

【課題】広い周波数帯域の発振信号を入力せずとも、所望の範囲の周波数帯域の発振信号を出力し、且つ高調波成分を抑えた発振信号を出力する可変分周器を提供する
【解決手段】可変分周器１ａは、入力端子１０及び１１から入力された差動の発振信号が、ポリフェーズドフィルタ３１及びポリフェーズドフィルタ３２を経由する経路と、分周器２１及びポリフェーズドフィルタ３２を経由する経路と、分周器２２、分周器２１及びポリフェーズドフィルタ３２を経由する経路とを有している。経路と分周器２２の分周比を選択することで、入力発振信号に対して１倍、２分の１倍、４分の１倍及び６分の１倍の発振信号を生成することができ、更に、ポリフェーズドフィルタを最終段に備えることで、分周により発生する高調波等の不要な信号を除去した広い周波数帯域の４相の発振信号を出力端子１２〜１５から出力することが可能となる。 （もっと読む）