【課題】枚葉洗浄に用いる流体の流量を一定に安定して供給、返還できるコンパクトで安価な流量制御ユニットを提供すること。
【解決手段】流量制御ユニット１は、入力ポートＡから出力ポートＤへの供給流体の流れを連通又は遮断する供給用バルブ３１と、供給用バルブ３１を遮断したときに供給流体の全部又は一部を返還流体としてリターンポートＥに返還する返還用バルブとを備え、入力ポートＡと供給用バルブ３１とを連通する供給流路に供給流体の流量を調整する供給流量調整バルブ３２を配設して、返還用バルブに連通する返還流路を、供給流量調整バルブ３２から供給用バルブ３１までの間で供給流路から分岐した。 （もっと読む）

【課題】浄化時間を短くして、効率よく必要な薬液を供給すること。
【解決手段】第１入力ポート２８を有し第１薬液を供給する樹脂製の第１薬液弁２０と、第２入力ポート３８を有し第２薬液を供給する樹脂製の第２薬液弁３０と、出力ポート１５が設けられた流路ブロック１１とを有する薬液供給ユニット１０において、（ａ）第１薬液弁２０と第２薬液弁３０が、流路ブロック１１に、対向して固設されていること、（ｂ）流路ブロック１１の、出力ポート１５が設けられた面と直交して対向する二面に、第１入力ポート２８と第２入力ポート３８が設けられていること、（ｃ）第１入力ポート２８の中心線が、第１薬液弁２０の弁体２３の外周面２３１より外側に位置していること、（ｄ）第２入力ポート３８の中心線が、第２薬液弁３０の弁体３３の外周面より外側に位置している薬液供給ユニット１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】擦れ等によりシート材にキズが付くことを抑制しつつ、位置決め精度を向上させること。
【解決手段】シート支持面４１に支持された第２シート材１３に対して位置決めを行うシート位置決め装置６１は、ピンロッド６２と、ピンシリンダ６３及びピンシリンダ加圧制御部６９とを有している。ピンロッド６２は二段階で突出するように制御され、第１段階では第２シート材１３の位置決め孔１８に先端軸部６７が挿入される程度に突出する。第２段階では、位置決め孔１８に基端軸部６６が挿入されるまでピンロッド６２が突出する。第１段階の突出状態とした後に、第２シート材１３を浮上させ、その浮上状態で第２段階に突出させて正確な位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】折り目を形成するとともに、その折り目形成後の帯状シート材を収納するシート折り目形成装置において、折り目形成時に帯状シートの収納に不具合が生じることを抑制する。
【解決手段】折り目形成装置７１は、３層シート材１５をその幅方向に沿って挟持する折り用挟持片７７，７８と、上下に移動して、その折り用挟持片７７，７８による挟持部分よりも先へ送り出された部分を折り曲げるローラ体８１，８２とを有する。シート延長方向の先には、形成された折り目にしたがって折り畳まれた状態で、３層シート材１５を収納するカートリッジ２２が設けられている。折り目形成時の折り曲げに合わせて、カートリッジ２２を折り用挟持片７７，７８側へ移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】帯状シート材の折り重ねを自動化できるシート折り重ね装置であって、しかもその装置の小型化や簡素化等も併せて実現すること。
【解決手段】本折り装置１３１は、折りステージ１３２と、ステージ支持装置１３３と、カートリッジ固定装置１３５とを備えている。Ｘ軸及びＹ軸上の各カートリッジ２２ｘ，２２ｙから、折りステージ１３２の折り作業面１４３にシート材１２，１５が引き出される。Ｘ軸支持装置１３３ｘで折りステージ１３２を支持して、そのＸ軸を中心として折りステージ１３２を半回転させる第１回転駆動と、Ｙ軸支持装置１３３ｙで折りステージ１３２を支持して、そのＹ軸を中心として折りステージ１３２を半回転させる第２回転駆動とが交互に行われる。その場合、カートリッジ固定装置１３５は、その回転軸と同軸上に存在するカートリッジ２２も同期して同一方向に半回転させる。 （もっと読む）

【課題】ヒータを使用せずに真空容器内の圧力のアンダーシュートを防止する真空圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】真空容器と真空ポンプとを接続する配管上であって開度を変化させることにより真空容器内の真空圧力を変化させ、弁座と当接又は離間するＯリングを備える弁体とエア式シリンダを備えるパイロット式の真空比例開閉弁１８と、真空容器内の真空圧力を計測する圧力センサ１７と、圧力センサ１７の圧力に基づいてＯリングの弾性変形量を変化させ、Ｏリングからの漏れ量を変化させることにより真空容器内の圧力を制御するコントローラと５６、を有する真空圧力制御装置８において、圧力センサ１７により計測された真空容器内の圧力が一定以上の圧力下降率となったときに、エア式シリンダの内圧を排気する。 （もっと読む）

【課題】流路面積を大きくすること、及び、流体の流れの妨げとなる部分をなくすこと。
【解決手段】
第１流路２１と第２流路２２を備える樹脂製弁本体２と、樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備えること、第１流路２１は、一端が第１ポート２３に連通する円筒状の第１ポート連通流路２１ａと他端が弁孔１６に連通する円筒状の第１弁孔連通流路２１ｂとを備え、第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂが連通すること、第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂとの内角側の連結部にテーパ曲面２１ｃを成形する。 （もっと読む）

【課題】コイルばねを座屈させずに均等に圧縮させること。
【解決手段】電動アクチュエータ１１は、モータ１４の回転運動をロッド２１の直線運動に変換する変換機構を備えている。この変換機構は、モータ１４の回転軸１４ａに連結される軸部材１５と、ロッド２１の内側に配置されたコイルばね２２と、軸部材１５に支持されるとともに軸部材１５の回転運動をコイルばね２２及びロッド２１に伝達するピン２５，２６とから構成されている。そして、軸部材１５の回転に伴いピン２５，２６が回転して、コイルばね２２が圧縮していくときにピン２５，２６が螺旋線材２２ａの傾斜に沿って傾倒する。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、計測精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置８は、プリント基板に対し光を照射する照明装置１０と、当該プリント基板を撮像するＣＣＤカメラ１１と、制御装置１２とを備えている。制御装置１２は、ＣＣＤカメラ１１により撮像された元画像データを記憶する元画像データ記憶手段２４と、元画像データからＲＧＢ各色成分を抜き出す抜き出し画像データ作成手段２５と、抜き出し画像データのデータ欠落部分を補完する補完画像データ作成手段２６と、当該補完画像データを基にカラー輝度画像を作成するカラー画像作成手段２７と、当該カラー輝度画像を基に計測対象領域を抽出する二次元計測手段２８と、当該計測対象の三次元計測を行う三次元計測手段２９と、当該計測結果を基にハンダの印刷状態を検査する判定手段３０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】軸方向に大型化することなく、簡単な構成で、ピストンがストロークエンド近くまで移動したときのピストンの移動速度を減速させること。
【解決手段】シリンダボディ１２における両ピストン２７，２８のストローク途中の位置には、隣り合う二つのシリンダ室２５，２６同士を連通させるヘッド側連通通路４１及びロッド側連通通路４２が形成されている。さらに、第１〜第４給排孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄには、両ピストン２７，２８の移動に伴い第１〜第４圧力作用室２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂから排出される空気の流量が異なるように独立して絞る第１〜第４絞り弁５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ，５４ｂが設けられている。 （もっと読む）