【目的】 エッジポリッシャにおける研磨部材がウエハのノッチの角部によって傷付けらにくくする。
【構成】 外周の一部にノッチ５を有する円板形ウエハ１を保持して軸線の回りに回転させる保持手段１０と、ウエハの面取り加工された外周部１ａを研磨する研磨部材とを有し、上記保持手段におけるウエハ用チャック面１２の一部に、ウエハのノッチ５と対応して該ノッチの角部５ａが研磨部材に圧接するのを防止する突部１２ａを設けた。 （もっと読む）

【目的】 ワークを常に一定の位置に保持することができるワークの位置決め装置を提供する。
【構成】 基台上２６に、ワーク支持用の傾斜面２８を頂部に備えると共に該傾斜面の高所側の端部に上方に突出するピン２９を備えた複数の位置決め部材２７ａ，２７ｂを、傾斜面の低所側を各位置決め部材が取り囲む領域の内側に向けて所定の間隔で配設し、一部の位置決め部材２７ａを移動調節自在とした。 （もっと読む）