【課題】ワーク用真空吸着装置のロータリージョイントに微少な限定流量の冷却液を供給する冷却液供給機構に、冷却液の流量が適正流量範囲内にあるかどうかを簡単かつ正確に見分けることが可能な視認装置を付設する。
【解決手段】視認装置の透明なケース２４に、小径孔部２７Ａと大径孔部２７Ｂとからなる流路孔２７を鉛直に形成すると共に、両孔部のうち少なくとも小径孔部２７Ａの孔径Ｄａを均一に形成し、上記流路孔２７の内部に比重が冷却液より大きい球状のフロート２８を昇降自在に収容し、上記小径孔部２７Ａの内周と上記フロート２８の外周との間に形成されるギャップＧａを、適正流量の冷却液が流通不能な大きさに形成すると共に、上記大径孔部２７Ｂの内周とフロート２８の外周との間に形成されるギャップＧｂを、適正流量の冷却液が流通可能な大きさに形成する。 （もっと読む）

【課題】電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】テトラアルコキシシランの加水分解により得られた活性珪酸水溶液と、エチレンジアミン、ジエチレンジアミン、イミダゾール、メチルイミダゾール、ピペリジン、モルホリン、アルギニンおよびヒドラジンのいずれか１種類以上である窒素含有塩基性化合物によって製造されるコロイダルシリカであって、該コロイダルシリカが非球状のシリカ粒子を含有し、さらに２５℃におけるｐＨが８．５〜１１．０であることを特徴とする半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカ。非球状のシリカ粒子は、透過型電子顕微鏡観察によるシリカ粒子の長径／短径比が１．２〜２０であって、長径／短径比の平均値が３〜１５である非球状の異形粒子群シリカ粒子であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材やレジスト剥離・研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．５〜１５であって、長径／短径比の平均値が２．５〜６である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にヒドラジンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．５〜１５であって、長径／短径比の平均値が２．５〜６である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にエチレンジアミンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供する。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．２〜１０であって、長径／短径比の平均値が１．５〜３である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にモルホリンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造する。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．５〜１５であって、長径／短径比の平均値が２．５〜６である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にイミダゾール類を加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ表面に生じる過剰エッチングを抑制し、かつ高い研磨速度を維持しつつ、良好な面粗さが得られる半導体ウエハの鏡面研磨用コロイダルシリカおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．２〜２０であって、長径／短径比の平均値が３〜１５である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にグリシンまたはアラニンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．１〜１５であって、長径／短径比の平均値が１．２〜４である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは，珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にアルギニンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．２〜１０であって、長径／短径比の平均値が１．５〜３である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にε−カプロラクタムを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供する。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．５〜１５であって、長径／短径比の平均値が２．５〜６である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にピペリジンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造する。 （もっと読む）