【課題】ＢＦ３、ＳｉＦ４、ＧｅＦ４、ＰＦ５又はＡｓＦ５等のフッ化物ガスを、簡便かつ製造コストを低減して製造することが可能なフッ化物ガスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のフッ化物ガスの製造方法は、フッ素原子との多原子イオンの形成が可能な原子を含む化合物を、フッ化水素溶液に添加することにより、当該多原子イオンをフッ化水素溶液中に生成させて、前記フッ素原子と、当該フッ素原子との多原子イオンの形成が可能な前記原子とで構成されるフッ化物ガスを発生させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 製造コストを抑制し、かつ、安価で低品位の原料から高品位の五フッ化リンを製造することが可能な五フッ化リン及び六フッ化リン酸塩の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の五フッ化リンの製造方法は、少なくともリン原子及びフッ素原子を含み構成される原料にキャリアガスを接触させることにより、前記キャリアガス中に五フッ化リンを抽出させて分離することを特徴とする。また、本発明の六フッ化リン酸塩の製造方法は、前記五フッ化リンの製造方法により得られた五フッ化リンと、フッ化物とを下記化学反応式に従い反応させて、六フッ化リン酸塩を生成させることを特徴とする。
ｓＰＦ_５＋ＡＦ_ｓ → Ａ（ＰＦ_６）_ｓ（但し、式中、ｓは１≦ｓ≦３であり、ＡはＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓ、ＮＨ_４、Ａｇ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｂ、Ａｌ及びＦｅからなる群より選択される少なくとも何れか1種である。） （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制しつつ、安価で高品位の六フッ化リン酸塩を簡便に製造可能な六フッ化リン酸塩の製造方法、六フッ化リン酸塩を含む電解液、及びその電解液を備える蓄電素子を提供する。
【解決手段】本発明の六フッ化リン酸塩の製造方法は、少なくともリン化合物と、ＭＦｓ・ｒ（ＨＦ）（但し、０≦r≦６、１≦ｓ≦３、ＭはＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓ、ＮＨ４、Ａｇ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｂ、Ａｌ及びＦｅからなる群より選択される少なくとも何れか１種である。）で表されるフッ化物とを反応させることにより、化学式Ｍ（ＰＦ_６）_ｓで表される六フッ化リン酸塩を生成させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】短時間で簡易に、しかも親水性の経時劣化が生じにくいフッ素樹脂フィルムの改質方法を提供する。
【解決手段】フッ素樹脂フィルムの改質方法は、フッ素樹脂フィルムに、フッ素原子を含むガスと、酸素原子を含むガス又は不活性ガスの少なくとも何れか一方とを含有する処理ガスを接触させることにより、当該フッ素樹脂フィルムの表面に親水性を付与する。前記フッ素樹脂フィルム中には、前記処理ガスに対し反応性を示す添加剤が含まれていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】半導体基板等の基板の洗浄には、少なくとも５工程からなる洗浄を行う必要があった。
【解決手段】オゾンを含有する超純水によって洗浄する第１工程、界面活性剤を含む超純水によって洗浄する第２工程、及び、超純水と２−プロパノールを含む洗浄液によって界面活性剤由来の有機物を除去する第３工程とを含む洗浄方法が得られる。第３工程後、クリプトン等の希ガスのプラズマを照射して、界面活性剤由来の有機物を更に除去する。 （もっと読む）

【課題】金属に対する防腐食性に優れる低腐食性イオン液体、及び該低腐食性イオン液体を基油として含み、引火の危険性が低く、高い耐熱性と良好な低温流動性を有し、かつ防食性に優れる潤滑油組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）イオン液体と、（Ｂ）イオン液体以外の含窒素化合物を含むことを特徴とする低腐食性イオン液体、及びこの低腐食性イオン液体を基油として含む潤滑油組成物である。 （もっと読む）

【課題】 酸化セリウムが表面に付着した被洗浄物に対し、酸化セリウムをセリウムイオンとして溶解させて洗浄除去することが可能な洗浄液及びそれを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る洗浄液は、酸化セリウムを除去する洗浄液であって、フッ化水素と、塩酸、硝酸、硫酸、酢酸、リン酸、ヨウ素酸及び臭化水素酸からなる群より選択される少なくとも何れか１種の酸と、水とが含み構成され、前記酸化セリウムをセリウムイオンとして溶解させて除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フッ化水素溶液を用いてフッ化リチウム等の金属フッ化物を高純度に精製することが可能な金属フッ化物の精製方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る金属フッ化物の精製方法は、粗金属を含むフッ化水素溶液から金属フッ化物を晶析させ、不純物を除去して金属フッ化物を得る金属フッ化物の精製方法であって、前記粗金属を含むフッ化水素溶液より、少なくともフッ化水素の一部を蒸発させて該溶液を濃縮し、ＭＦｙ・ｎＨＦ・ｍＨ_２Ｏ（１≦ｙ≦３、０≦ｎ≦６，０≦ｍ≦６、Ｍは金属元素を表す。）を析出させる工程と、濃縮されたフッ化水素溶液を濾過することによりＭＦｙ・ｎＨＦ・ｍＨ_２Ｏ（１≦ｙ≦３、０≦ｎ≦６，０≦ｍ≦６、Ｍは金属元素を表す。）を分離する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 少なくともシリコン酸化膜、及びシリコン窒化膜が積層された積層膜を微細加工する際に、シリコン酸化膜を選択的に微細加工することが可能な微細加工処理剤、及びそれを用いた微細加工処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る微細加工処理剤は、（ａ）０．０１〜１５重量％のフッ化水素、又は０．１〜４０重量％のフッ化アンモニウムの少なくとも何れか１種類と、（ｂ）水と、（ｃ）０．００１〜１０重量％のアクリル酸、アクリル酸アンモニウム、アクリル酸エステル、アクリルアミド、スチレンスルホン酸、スチレンスルホン酸アンモニウム、及びスチレンスルホン酸エステルからなる群より選択される少なくとも何れか１種の水溶性重合体とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】使用済み基板上に残ったカーボンナノチューブの残留物および金属酸化物を効率よく除去し得る、カーボン系薄膜合成に用いた基板の再生方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基板上に形成した金属酸化物からなる触媒粒子を核としてカーボン系薄膜を合成し、同薄膜を他材料に転写した後、基板を再生する方法であって、転写後、基板上に残留したカーボン成分を酸素雰囲気で加熱して酸化させる工程と、前記基板上に残留した前記金属酸化物を、フッ化物溶液を用いた処理により除去する工程とからなることを特徴とする使用済み基板の再生方法である。 （もっと読む）