【課題】 タングステン膜及びシリコン酸化膜の積層膜に対して、エッチレートを制御して微細加工処理をすることが可能な微細加工処理剤、及びそれを用いた微細加工処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の微細加工処理剤は、タングステン膜及びシリコン酸化膜を含む積層膜の微細加工に用いる微細加工処理剤であって、フッ化水素と、硝酸と、フッ化アンモニウム及び塩化アンモニウムの少なくとも何れか一方とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 耐電圧、電気伝導性が高い電解液及びそれを使用した電気デバイスを提供する。
【解決手段】 式（１）で表される第４級アンモニウム塩、これを含む電解液及びその電解液を使用した電気化学デバイス。


（式中、Ｒ^１〜Ｒ^３は、炭素数１〜３の直鎖又は分岐のアルキル基を示し、Ｒ^４は、メトキシメチル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基又はイソプロポキシメチル基を示す。Ｘ⁻はＰＦ_６⁻を示す。） （もっと読む）

極めて短時間にフッ化物結晶の製造を可能にする製造装置及び製造方法を提供すること。 フッ化物に対応できるチャンバー、窓材等を持ち、かつ高真空排気が可能であるように装置の改造を施し、且つ種と融液が接触し易いように、坩堝底穴部のキャピラリー部を制御した坩堝を使用することにより、短時間で高品位なフッ化物単結晶を安定して得ることができる。
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【課題】 基板上の電子部材や各種積層膜等を腐食させることなく、タングステン膜に対するエッチレートを安定化させ、かつ選択的にエッチングできる微細加工処理剤、及びそれを用いた微細加工処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の微細加工処理剤は、タングステン膜及びシリコン酸化膜が積層された基板を微細加工する微細加工処理剤であって、（１）フッ化水素と、（２）硝酸と、（３）ケトン、エーテル、エポキシド、アルデヒド、アミド、アミン、ニトリル、スルホキシド、ヘテロ環化合物、有機酸、フェノール、チオール、及びスルフィドからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物とを含み、前記タングステン膜に対する２５℃でのエッチレートが５〜５０００ｎｍ／分の範囲内であり、且つ、前記タングステン膜に対する２５℃でのエッチレートが、前記シリコン酸化膜に対する２５℃でのエッチレートの２倍以上であることを特徴とする。

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【課題】 水可溶性有機物及び無機酸を含む被処理水から水可溶性有機物を高濃度、且つ高回収率で分離・回収する方法、及び回収システムを提供すること。
【解決手段】 水可溶性有機物の回収方法は、水可溶性有機物及び無機酸を含む被処理水に、無機酸と反応してできた塩の溶解度が回収する水可溶性有機物に対して１質量％以下となる水酸化物、酸化物、炭酸塩あるいは炭酸水素塩のうち少なくとも１種類以上を、当該被処理水中に含まれる無機酸に相当する化学量論量添加して前記被処理水を中和する第１工程と、前記第１工程の後に、水に対する溶解度が３０質量％以上で、且つ回収する水可溶性有機物に対する溶解度が１質量％以下である塩のうち少なくとも１種類以上を添加して、水可溶性有機物と水を分離する第２工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 タングステン膜及びシリコン酸化膜の積層膜に対して、エッチレートを制御して微細加工処理をすることが可能な微細加工処理剤、及びそれを用いた微細加工処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の微細加工処理剤は、フッ化水素及び硝酸を含み、基板上に積層されたタングステン膜及びシリコン酸化膜を微細加工する微細加工処理剤であって、前記タングステン膜に対する２５℃でのエッチレートが０．５〜５０００ｎｍ／分の範囲内であり、且つ、前記シリコン酸化膜に対する２５℃でのエッチレートが、前記タングステン膜に対する２５℃でのエッチレートの０．５〜２倍の範囲内であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 水可溶性有機物を含む被処理水からの水可溶性有機物の回収に、多量のエネルギーを消費する蒸留を用いず、またアルコール類やケトン類などの水に易溶な有機物を分離・回収する場合に分離効率の悪い溶媒抽出を用いずに、水可溶性有機物を含む被処理水から水可溶性有機物を高濃度、且つ高回収率で分離・回収する方法、及び回収システムを提供すること。
【解決手段】 水可溶性有機物の回収方法において、水可溶性有機物を含む被処理水に、溶解度が水に対して３０質量％以上で、且つ回収する水可溶性有機物に対して１質量％以下である塩のうち少なくとも１種類を添加して、前記水可溶性有機物と水とを分離する。 （もっと読む）

【課題】腫瘍組織への選択性および集積量が高く、水溶性が高く正常細胞に対する細胞毒性が低いホウ素含有化合物、前記ホウ素含有化合物を有効成分とするホウ素中性子捕捉療法剤およびＭＲＩ造影剤を提供する。
【解決手段】前記ホウ素含有化合物が、少なくとも1以上のホウ素リガンドを結合したデンドリマーよりなることを特徴とする。このとき、前記ホウ素リガンドがｐ-ボロノフェニルアラニン、ｐ-ボロノフェニルアラニノール、ｏ-カルボラニルアラニン、ｏ-カルボラニルアラニノールが好ましく、ｐ-ボロノフェニルアラニンであることが好適である。 （もっと読む）

式（１）で示される脂肪族第４級アンモニウム塩である常温溶融塩、有機溶媒、式（２）で示されるリチウム塩を含有する非水電解液リチウム二次電池用電解液において、該有機溶媒がビニレンカーポネートを電解液に対して１〜５重量％含有することを特徴とする非水電解液リチウム二次電池用電解液、およびこれを用いたリチウム二次電池。（１）（２）（Ｒ^１〜Ｒ^３は、炭素数１〜４の鎖状炭化水素であり、Ｒ^４は、メトキシメチル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基またはイソプロポキシメチル基を示す。Ｘ^１、Ｘ^２は含フッ素アニオンである。） （もっと読む）

本発明の第四級アンモニウム塩は、一般式
[化１]


［式中、Ｒ^１及びＲ^２は、同一又は異なって、Ｃ_１−４アルキル基を示す。またＲ^１及びＲ^２は、これらが結合する窒素原子と共に互いに結合して飽和複素環を形成してもよい。Ｒ^３及びＲ^４は、同一又は異なって、メチル基又はエチル基を示す。Ｘ⁻は、陰イオンを示す。］で表される。本発明の第四級アンモニウム塩は、１０℃以下の融点を有し、非水系有機溶媒への溶解性に優れ、且つ格段に高い電気伝導度を有し、電解質として好適に使用され得る。 （もっと読む）