【課題】複数の大きさの基板を処理可能な基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、任意の大きさの基板Ｗを水平に支持するセンターチャック１３と、上向きの環状面５７をそれぞれ有する複数のリング５とを含む。複数のリング５は、環状面５７の内周縁の長さがそれぞれ異なる複数のサイズ調整リングを含み、内周縁がセンターチャック１３に支持されている基板Ｗの周縁部に近接した状態で、環状面５７が基板Ｗを水平に取り囲むように、複数のリング５のいずれか一つが、センターチャック１３に支持されている基板Ｗの周囲に配置される。 （もっと読む）

【課題】廃液回収装置を備えた液体処理装置において、廃液タンクを取り外している間でも廃液回収を行なうことを可能とすること
【解決手段】廃液を貯留する状態および廃液を流出する状態を有するリテンションタンクを備えることにより、廃液タンクが設置されていればリテンションタンクは廃液タンクへ廃液を流出するが、廃液タンクが外された場合リテンションタンクは再度廃液タンクが設置されるまで廃液を貯留するので、廃液タンクが外されている状態であっても廃液の回収を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】処理槽に貯留される処理液から基板を直立姿勢で当該処理槽に貯留される処理液の液面より鉛直方向の上方の待機位置まで引き上げる際に、基板を自然乾燥させることなく、基板に付着している処理液の量を効率的に削減する。
【解決手段】処理槽１内でのリンス処理が完了した後に待機位置ＷＰで置換処理を行うために、単に基板Ｗを待機位置ＷＰに引き上げるのではなく、その引き上げ処理中にリンス処理で使用した処理液と同じ成分の蒸気、つまりＤＩＷ蒸気が基板Ｗに対して水平方向よりも下方向きに向けて供給される。このため、ＤＩＷ蒸気の動圧によって基板Ｗに付着しているＤＩＷが下方へ押し流されて基板Ｗに残存するＤＩＷ量が低下する。また、基板ＷのうちＤＩＷ蒸気供給を直接受ける領域では水蒸気の凝集によってＤＩＷの凝集膜が形成されて当該表面領域の自然乾燥が防止される。 （もっと読む）

【課題】容量維持率を低下させることなく単位面積当たりの容量を向上させ得る電極の製造方法を提供する。
【解決手段】集電体及び前記集電体上に設けられた複数本の凸状の線状活物質部で形成された活物質層を有する電極の製造方法であって、（１）集電体の面上に高さＨ及び幅Ｗを有する複数本の略平行な凸状の線状活物質部を間隔Ｓ_１〜ｎ（ｎは２以上の整数）で形成して得た電極と、対極と、電解質層と、を積層した構造を有するテストセルｎ個を作製するテストセル作製工程と、（２）工程（１）で作製したテストセルｎ個の容量維持率を測定し、測定結果に基づいて線状活物質部の最適間隔Ｓｘを決定する工程と、（３）集電体の面上に高さＨ及び幅Ｗを有する複数本の略平行な凸状の線状活物質部を間隔Ｓｘで形成して電極を作製する工程と、を有する製造方法 （もっと読む）

【課題】 反りが大きい基板に対して塗布液を塗布する場合においても、精度よく塗布液を塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板は、基板搬送機構１４によりステージ１２上に搬送されて、その保持面３０に吸着保持される。そして、ステージ１２の保持面３０上に吸着保持された基板の表面に、スリットノズル４１における塗布液吐出用スリットを近接させた状態で、このスリットノズル４１を基板に対して移動させることにより、基板の表面に塗布液を塗布する。スリットノズルに４１より基板に塗布液を塗布している間、複数の吸着盤７１により基板の裏面の複数の位置を吸着保持した状態でステージ１２の保持面３０に押し付ける。 （もっと読む）

【課題】薄くかつ短時間で充電が可能な複合電池、および、当該複合電池を備えたＩＣカードを提供する。
【解決手段】光電変換層２０の表面（受光面）には正電極２１が形成され、裏面には負極集電体３２が形成される。光電変換層２０の裏面のうち負極集電体３２が形成されていない領域には絶縁層３１が形成され、その上に正極集電体３５が設けられる。負極集電体３２上に負極活物質層３３が形成されるとともに、正極集電体３５上に正極活物質層３６が形成される。負極活物質層３３と正極活物質層３６とは光電変換層２０の裏面と平行な方向に沿って非接触で互いに噛み合うように交互に設けられる。固体電解質層３４は、負極活物質層３３および正極活物質層３６の全体を覆うように形成される。太陽電池部１１が光エネルギーを変換した電気エネルギーはリチウムイオン二次電池部１２に蓄積される。 （もっと読む）

【課題】キャリア搬送システムを有効に利用することができる基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板処理装置は、ＦＯＵＰをロードポートに搬入するためにキャリア搬送システムが移動してきた際に、ロードポートに別のＦＯＵＰが載置された状態である場合には、キャリア搬送システムが搬送開始を通知しても、ＦＯＵＰを内部バッファへ搬送し終えるまでキャリア搬送システムに対して搬入不可を通知せず、待機させる対キャリア搬送システム制御部を備えている。したがって、前のＯＨＴに続いてＯＨＴがＦＯＵＰを搬送する場合であっても、後のＯＨＴが周回軌道を回ることがない。その結果、ＦＯＵＰの搬入に関してキャリア搬送システムを有効利用することができる。 （もっと読む）

【課題】セキュリティ画像の意図しない視認を防止する。
【解決手段】画像記録装置１では、第１透明インク吐出機構３２から紫外線可視性インクである第１透明インクが印刷媒体９の有色画像上に吐出されて透明なセキュリティ画像が記録され、第２透明インク吐出機構３３から第２透明インクがセキュリティ画像上に吐出され、セキュリティ画像全体を被覆する透明なカムフラージュ画像が記録される。これにより、印刷物を傾けて見た場合等であっても、第１透明インクに含まれる樹脂粒子等によるセキュリティ画像の光沢（いわゆる、テカリ）が、カムフラージュ画像の光沢により打ち消されて判別不能となる。その結果、セキュリティ画像の光沢に起因するセキュリティ画像の意図しない視認を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 例えばフィンガー配線のような塗布パターンを基板の主面に形成する際に、塗布パターンを厚膜（高アスペクト比）に形成することができるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 第１ノズル４１の第１吐出口４７から吐出され、第１ノズル４１の対向面４５と、ステージにほぼ水平に支持されて第１ノズル４１に対して移動する基板９の主面との間に界面張力により存在する、光硬化性を有するペースト７に対して、その側方から光を照射することにより、ペースト７を硬化させる。 （もっと読む）

【課題】活物質材料を含む塗布液の塗布により電池用電極を製造する技術において、パターン間の接触を回避しつつ、従来より狭い間隔でストライプ状パターンを形成する。
【解決手段】Ｘ方向に多数の吐出口を有するノズル２１を基材１１０に対してＹ方向に走査移動させながら、各吐出口から活物質材料を含む塗布液を吐出させて基材１１０に塗布する。１回目の走査移動で形成されたパターン２２１の間に、２回目の走査移動で新たに塗布液を塗布してパターン２２２を形成する。走査方向（Ｙ方向）におけるパターン２２１，２２２の始端位置を互いに異ならせることで、パターン始端部における塗布液の広がりに起因するパターン間の接触を防止する。 （もっと読む）