【課題】液体吐出装置において、ヘッドホルダに取り付けられた、液体吐出面を保護するための保護枠を、ヘッドホルダから外れにくくする。
【解決手段】ノズルガイド４０は、保護枠４１の走査方向に関する両端部にそれぞれ連なる固定部４２を有している。固定部４２は、鉛直方向に延びたヘッドホルダ２６の側面３２に沿って延びており、その上端部が、側面３２と、連結部３４によって側面３２と連結されたかしめ部３３との間に位置している。固定部４２の上端部のかしめ部３３側の面には、突起４５が形成されている。かしめ部３３は、熱かしめにより溶けて、突起４５の上方及び下方に回り込むように延びており、これにより、固定部４２が、かしめ部３３と連結されたヘッドホルダ２６の側面３２に固定される。 （もっと読む）

【課題】容易、且つ確実に取り付けることができると共に、製造コストを低減できる液体噴射ヘッド用のフィルタを提供する。
【解決手段】第１金属プレート１１、及び第２金属プレート１２を積層してなり、供給されるインクを濾過するための液体噴射ヘッド用のフィルタ１０であって、各金属プレート１１，１２に、それぞれ厚さ方向に貫通するフィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂを複数形成すると共に、これらフィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂを法線方向で重ならないように配置し、互いに重なり合う金属プレート１１，１２の合わせ面のうち、少なくとも一方の合わせ面に、各フィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂを連通させるための連通溝１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】貫通孔の側壁を平坦に加工することのできる液体吐出装置の流路板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る液体吐出装置の流路板の製造方法は、面方位が｛１１０｝であるシリコン基板の一方の面と他方の面とを貫通する貫通孔と、前記一方の面側に形成され前記貫通孔と接続する流路と、を備えた液体吐出装置の流路板の製造方法であって、前記シリコン基板の前記一方の面上に第１マスクを形成し、前記第１マスク上に第２マスクを形成するマスク形成工程と、前記第２マスクを介して少なくとも一部にドライエッチングを含むエッチングを行い、前記貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記第２マスクを除去した後、前記第１マスクを介して前記貫通孔に対して結晶異方性エッチングを行い、前記貫通孔の側壁面を、前記シリコン基板の面方位｛１１１｝の面で構成するように前記貫通孔の側壁を加工する側壁加工工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接着剤の余分な領域への付着や漏出を抑制することができる流路部材の製造方法、流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第２流路部材６０の凹部６２内に第１流路部材７０を挿入し、第１流路部材７０と第２流路部材６０とを第１流路７１と第２流路６１とが連通する領域の周方向に亘って溶着する工程と、第２流路部材６０に、凹部６２の第１流路部材７０に相対向する壁面６２ａと、凹部６２内に挿入された第１流路部材７０の壁面６２ａに相対向する外周面７２ａとの間隔ｄ_１よりも広い間隔ｄ_２で設けられて、凹部６１に連通し且つ当該凹部６２と同じ面側に開口する凹形状を有する注入部６５が各凹部６２に対して２以上設けられており、該注入部６５に接着剤を注入することで、溶着された領域の外側の周方向に亘って且つ第１流路部材７０と第２流路部材６０との境界に跨って接着剤を充填して、第１流路部材７０と第２流路部材６０とを接着する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】振動特性に優れた液滴吐出ヘッド用振動板、かかる液滴吐出ヘッド用振動板を効率よく製造可能な液滴吐出ヘッド用振動板の製造方法、インクの吐出特性に優れた液滴吐出ヘッド、および信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持部４０で構成される振動板３５と、圧電素子５０とを有し、支持部４０が光硬化性樹脂で構成されていることを特徴とする。また、支持部４０は、未硬化の光硬化性樹脂を振動フィルム３０の一方の面上に塗布して塗布膜を得た後、前記塗布膜の一部を露光し、硬化させて得られたものであるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 生産工程で実施される印字テストを不要にし、生産性を向上させるインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】 金属で形成され、インク滴が吐出されるノズル孔２ａを中央側に配列するノズル板２と、該ノズル板２上に積層され、ノズル孔２ａと連通するインク流路３ａを有し、赤外線の透過を許容する材質を用いてインク流路３ａがエッチング加工される流路板３と、該流路板３上に積層され、インク流路３ａ内のインク液を加圧する金属で形成される振動板４と、該振動板４を変形させる圧力を発生させる圧力発生手段とを備え、流路板３とノズル板２との積層状態で、インク流路３ａはノズル孔２ａとその積層方向で重なり合って連通する連通孔３ｃと、該連通孔３ｃの外側に形成される凹状の連通溝３ｄとを含み、ノズル板２は連通溝３ｄが形成される個所の流路板３には積層されずに、流路板３の連通孔３ｃを囲う近傍に積層される大きさで形成される。 （もっと読む）

【課題】熱伸縮する膜材料を用いた場合でも精度の高い穴や突起の形成が行える構造体の製造方法。
【解決手段】熱伸縮する膜材料３５に、互いに独立した島状の突起２４又は穴を形成する構造体の製造方法であって、予め測定された、該膜材料が熱伸縮により伸縮する伸縮量に基づいて、熱伸縮による該膜材料の伸縮を考慮して該突起又は該穴の形成位置を決定し、決定された該形成位置に対して所定の加工を実施することにより、熱伸縮後の該膜材料における該島状又は該穴を所望の位置に形成する。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチングでシリコン基板に液体の供給口を、高精度に歩留まり良く形成することが可能な液体吐出ヘッド用の基板の製造方法を提供する。
【解決手段】供給口を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、（１）シリコン基板の第１の面の供給口に対応した部分に金属の窒化物を含む第１の層１２を設ける工程と、（２）アルミニウム、銅および金のいずれか１つ、またはそれらのうちの複数の合金からなる第２の層１０を前記第１の層の上に設ける工程と、（３）前記第２の面から前記第１の面に向かって、反応性イオンエッチングで前記シリコン基板をエッチングし、被エッチング領域を前記第１の層１２に到達させる工程と、を含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】長寿命で、しかもインクジェットヘッド内のインクの滞留による残留物の発生を防止することができるインクジェットヘッド等を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドはインクタンクと、流路部と、吐出部とを備えている。流路部の一端はインクタンクに連通し、他端は吐出部に連通している。インクはインクタンクから流路部に流入するとともに、底部の吐出部から吐出される。流路部は、流動するインクに接触する疎液性層がその上に形成されている流路内壁面を有する。この疎液性層とその上を流動する液体との接触角度は９０°以上であるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】流路抵抗の小さいフィルタを製造する。
【解決手段】インクジェットヘッド３を製造する際に、まず、キャビティプレート２１の貫通孔９ａとなる部分の上面に、紫外線硬化樹脂の液滴Ｌを吐出し、紫外線を照射して着弾した液滴Ｌを硬化させる。次に、ＡＤ法によりキャビティプレート２１の上面に振動層４１を成膜する。次に、振動層４１の上面に共通電極を形成するとともに振動層４１の上面の貫通孔９ａと対向する部分にマスクＭを配置する。次に、ＡＤ法により振動層４１の上面に圧電層４２を成膜し、その後、マスクＭを除去する。次に、キャビティプレート２１の一部を除去して、貫通孔９ａ及び圧力室１０を形成する。この後、圧電層の上面に個別電極を形成し、作製された積層体を８５０℃程度で加熱して、圧電層４２のアニールと、個別電極及び共通電極の焼成とを行う。 （もっと読む）

【課題】各圧力発生室に対応する振動板の変位量を均一化することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２が設けられたシリコン基板からなる流路形成基板１０と、流路形成基板１０上に設けられて圧力発生室１２の一方面を構成する振動板と、振動板を変位させて圧力発生室１２内に圧力を付与する圧力発生手段３００とを具備すると共に、振動板が、圧力発生室１２に対向する領域のシリコン基板に不純物がドープされてなる拡散層５５を含み、振動板の変形に伴う拡散層５５の抵抗値の変化を検出する検出手段２０２と、検出手段２０２の検出結果に基づいて圧力発生手段３００に印加する駆動電圧を調整する調整手段２０３とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】流路を形成する際、所望の寸法精度を保ったまま、角部がなく気泡除去性の良い流路を形成する。
【解決手段】基板上に溶解可能な樹脂で液体流路の形状を形成する工程と、前記基板及び前記溶解可能な樹脂で形成された液体流路の形状の上に撥液膜を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂で形成された液体流路の形状の前記基板に接していない側の角部に加熱処理によって丸みを付ける工程と、前記加熱処理の後に撥液膜を除去する工程と、前記撥液膜が除去された前記基板及び前記溶解可能な樹脂で形成された液体流路の形状の上に被覆樹脂層を形成する工程と、前記被覆樹脂層をパターニングする工程と、前記溶解可能な樹脂層を溶出する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの流路基板の製造方法を提供することにより前記目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板の裏面における貫通穴の開口を小さく形成すると共に、貫通穴を効率良く形成する。
【解決手段】開口部７を有するエッチングマスク層６をシリコン基板１の裏面に形成する工程と、シリコン基板１の裏面からエッチングマスク層６の開口部７にレーザ光を照射してシリコン基板１の内部に変質層８を形成する工程と、シリコン基板１の裏面からエッチングマスク層６の開口部７にレーザ光を照射してシリコン基板１の裏面からシリコン基板１の表面まで貫通しない複数の先導孔９を形成する工程と、先導孔９及び変質層８が形成されたシリコン基板１に異方性エッチングを施してシリコン基板１の表面まで貫通する貫通穴としてのインク供給口１１を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】より信頼性が高く、効率的な製作工程を提供すること。
【解決手段】圧力チャンバ（１６）と、圧力チャンバを画定する可撓性薄膜（１８）と、薄膜に取り付けられる圧電アクチュエータ（２０）と、アクチュエータ（２０）を保持する薄膜（１８）の面に接着された剛性基板（２２）とを有する圧電インクジェットデバイスの製作方法であって、
少なくとも１つの面に電極（３２）を有する圧電アクチュエータ（２０）を用意するステップと、
その電極面でアクチュエータ（２０）をキャリアプレート（８０）に接着するステップと、
アクチュエータ（２０）を保持するキャリアプレート（８０）の面に剛性基板（２２）を接合するステップと、
アクチュエータ（２０）とは反対側の面でキャリアプレート（８０）から材料（８２）を除去し、次に薄膜（１８）を形成するキャリアプレートの薄層のみを残すステップとを含むことを特徴とする、方法。 （もっと読む）

【課題】ダイ表面のうちヘッド内流路形成に費やされる部分を少なくしプリントヘッドデバイスの製品サイズを小さくする。
【解決手段】突端を有するノズルプレート２３０をシリコンウェハの上方に形成する。プレート２３０とウェハ表面の間隔はノズルプレート２３０の一端寄りで支持材２５０により確保する。そのウェハから切り出した個々のダイ２１０をその上のノズルプレート２３０等と共にプリントヘッド基板２７０上に配置する。その位置は基板２７０の開口２８０に面する位置にする。更に、ノズルプレート２３０の突端に接するよう基板開口２８０上方に犠牲材を配し、ノズルプレート突端・プリントヘッド基板表面間を封止材２９０で封止し、そして犠牲材を除去することにより、基板開口２８０からノズルプレート２３０に至る流路２６２を形成する。 （もっと読む）

【課題】一定の形状および体積を有する精密微細空間の形成方法および一定の形状および体積を有する精密微細空間を有する部材の製造方法等を提供すること。
【解決手段】精密微細凹部を有する基材上に、フィルムを布設する工程を有する精密微細空間の形成方法において、第一ステージ上に基材を載置し、第一ステージの外周を覆う第二ステージの最上面を第一ステージの最上面よりも高くなるように設定する工程と、基材上にフィルムを布設する工程とによって、一定の形状および体積を有する精密微細空間を形成する。 （もっと読む）

【課題】一定の形状および体積を有する精密微細空間の形成方法および一定の形状および体積を有する精密微細空間を有する部材の製造方法等を提供すること。
【解決手段】精密微細凹部を有する基材上に、フィルムを布設する工程を有する精密微細空間の形成方法において、フィルムを布設する工程が、基材と前記フィルムとが接触する接触部の単位接触面積あたりの圧力を一定に制御しながら布設する工程であることによって、一定の形状および体積を有する精密微細空間を形成する。 （もっと読む）

【課題】高品位な画質を達成出来、かつ高効率なインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ノズルの配置に自由度があり、高品位な画質の達成に適しているサイドシューター型インクジェットヘッドに、流路を形成する工程で、流路を構成する材料と同一の高分子材料で、ホトリソグラフィー技術により弁構造１９を作製する。従って、弁の形状は自由に設計でき、また弁の物性値も高分子の組成および重合度を変えることで変化させることができるため、インクジェットヘッドの特性の最適化が容易に行なえる。 （もっと読む）

【課題】ベース基板にサポート基板を接合した状態でベース基板表面を良好に加工又は処理することができ且つサポート基板を比較的容易に剥離させることができるデバイス用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ベース基板１３０に貫通部を形成すると共に複数の微小貫通孔１３１を形成し、ベース基板の一方側の表面に接着剤１４０を塗布すると共にこの接着剤によってサポート基板１５０をベース基板に接合してベース基板の表面を前記サポート基板で覆い、ベース基板とサポート基板との接合領域の外側に流れ出した接着剤をアッシングにより除去し、ベース基板の他方側の表面に所定加工又は処理を施し、接着剤に剥離液を浸透させてベース基板からサポート基板を剥離させる。 （もっと読む）

【課題】複数の微細な凹部又は凸部が２次元的に配列された樹脂成形品を簡単にかつ安価に製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】複数の微細な凹部又は凸部に対応した凹凸パターンを有する金型を、加熱した樹脂基板に所定のプレス条件でプレス加工することによって樹脂製部品を製造する際に、金型の温度、樹脂材料の温度、及び、金型を樹脂材料に所定量押し付けたときに金型が樹脂材料から受ける抵抗力の少なくとも一つを検出して、検出された値に基づいてプレス条件を修正しながら金型を加熱した樹脂材料に押し付ける。 （もっと読む）