【課題】ガス種等の試料流体の変更にも特別な手間を必要とせずに柔軟に対応することができ、しかも、精度良く流量を測定することができるといった、優れたマスフローメータ等を提供する。
【解決手段】流路１を流れる試料流体Ｇの流量を検知するセンサ部２と、流体ごとに定められ、前記センサ部２からの出力値に基づいて流量を定めるための流量特性関数であって、指定された試料流体に固有の流量特性関数Ｋと、その流量特性関数とは独立した、複数の試料流体に対して共通のパラメータであり、マスフローメータごとの器差を補正するための器差補正パラメータαとを設定する設定部４ｃと、前記流量特性関数Ｋと前記器差補正パラメータαとに基づいて、前記試料流体Ｇの流量を算出する流量算出部４ｄとを具備するように構成した。 （もっと読む）

【課題】エアフローメータ１において、吸気量の真値に対して高精度な信号を出力できるようにする。
【解決手段】エアフローメータ１の信号処理回路部６のＤＳＰ３５は、センサ電圧検出ブリッジ回路８に電力を供給する電源２５の電圧を監視し、電源電圧に応じて、センサ電圧検出ブリッジ回路８の電圧値ＶＤ´を補正する。電源電圧は経時変化するため、吸気量等の他の要素が同一であっても、センサ電圧検出ブリッジ回路８の電圧値ＶＤ´は、電源電圧の変動の影響を受けて経時変化する。そこで、ＤＳＰ３５に、電源電圧を監視する機能、および、電源電圧に応じて電圧値ＶＤ´を補正する機能を追加する。これにより、補正後の電圧値ＶＤは、電源電圧の変動の影響がない数値になるので、エアフローメータ１は、吸気量の真値に対して高精度な信号を出力できる。 （もっと読む）

【課題】簡易算出モードと詳細算出モードとを有する流量算出装置をＦＤＴ／ＤＴＭ技術に対応可能とする。
【解決手段】流量算出装置１００に対して、上記パラメータを入力するパラメータ設定装置であって、上記簡易算出モードあるいは上記詳細算出モードのいずれかのモードを設定してモード設定信号出力するモード設定部２３及び上記モード設定信号に基づいて上記パラメータを選別して出力するパラメータ選別部２２を有するパラメータ設定部２１と、上記パラメータ設定部２１から入力される上記パラメータ及び上記モード設定信号に基づくモードフラグを記憶する記憶部４と、該記憶部４に記憶された上記パラメータ及び上記モードフラグを上記流量算出装置１００に入力する通信処理部５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 液の流れが生じていないことを簡単な構造で確実、かつ自動的に検出して零点を自動的に補正すること。
【解決手段】流れにより振動形態が変化するチューブの振動を検出する振動測定手段１と、環境の温度を検出する温度検出手段２からの信号とをデジタル信号を処理して瞬時流量を算出するコリオリ質量流量計において、振動測定手段１と温度検出手段２とにより検出された瞬時流量に基づいて平均流量値を求め、前記平均流量値が、予め設定された平均流量閾値の範囲内の場合には流れが存在しないと判断して前記平均流量値を零点のオフセット量として零点を補正し、平均流量の算出、及び流量ゼロの識別と零点オフセット値の更新を稼動時は常時自動で継続的に実行する。 （もっと読む）

【課題】 演算により音速、温度を求めて動粘度による流量の補正をする。
【解決手段】 Ｓ１で超音波送受波器により受信したそれぞれの超音波パルスの伝播時間を求め、Ｓ２でそれぞれの伝播時間から音速Ｃを求める。Ｓ３で記憶手段に記憶している音速Ｃ対温度Ｔのテーブルから、Ｓ２で求めた音速Ｃを基に流体の温度Ｔ（℃）を求める。Ｓ４で温度Ｔ（℃）を基に記憶手段に記憶している温度Ｔ対動粘度νのテーブルから動粘度ν（ｍｍ²／ｓ）を得る。Ｓ５でそれぞれの伝播時間から流体の流速Ｖを求める。Ｓ６において、流速Ｖに対して動粘度νの補正を行う。記憶手段は各動粘度ν及び各流速Ｖにおける補正係数表を記憶しており、対応する補正係数を求め、流速Ｖに補正係数を乗じて流速Ｖ’を演算する。Ｓ７で流速Ｖ’から流量Ｑを演算し、Ｓ８でこの流量Ｑを出力する。 （もっと読む）

【課題】 体積流量を適切に算出する。
【解決手段】 エンジンの上流圧（コレクタ圧）をコレクタモデルにより検出し、コレクタ圧、大気圧およびエンジン回転数Ｎｅに基づいて体積流量の算出に用いられるポンプ体積効率ηを算出する（ポンプ体積効率算出手段４４）。そして、ポンプ体積効率ηとエンジン回転数Ｎｅとに基づいて体積流量ｄＶを算出する（ｄＶ＝η×Ｖeng×Ｎｅ／１２０、体積流量算出手段４５）。コレクタ圧が大気圧より低いほどポンプ体積効率ηを小さくし、体積流量ｄＶを少なくする。 （もっと読む）

【課題】 プロセスガスによって流量制御機器の高精度な絶対流量検定を可能とする
【解決手段】 第１遮断弁２１及び第２遮断弁２２との間のガス流路３０と真空ポンプ１４の入口とを連通する排気流路３１と、排気流路３１に設けられた第３遮断弁２３、圧力センサ１１、温度センサ１２、及び第４遮断弁２４と、それらと接続し、ガス種固有の圧縮因子データ、及びマスフローコントローラ１０の出口と、第２遮断弁２２と、第３遮断弁２３により形成される所定の空間の容積値を記憶する検定用制御装置と、を有し、第１計測時及び第２計測時における、圧力Ｐ_１、温度Ｔ_１、それらに対応する第１圧縮因子Ｚ_１、容積Ｖ、から質量Ｇ_１を求め、第２計測時における、圧力Ｐ_１、温度Ｔ_２、それらに対応する第２圧縮因子Ｚ_２、容積Ｖから質量Ｇ_２を求め、質量Ｇ_１と、質量Ｇ_２との差により、マスフローコントローラ１０の絶対流量を検定する。 （もっと読む）

【課題】センサの特性曲線のできる限り精確なドリフト補正を可能にする、センサの信号を補正する方法及び装置を提供する。
【解決手段】センサ（１）の信号の少なくとも一つの特徴的なパラメータが基準値と比較され、センサ（１）の信号がその比較の結果に応じて補正される、センサ（１）の信号の補正方法において、基準値として、センサ（１）の信号から導き出された、センサ（１）の信号の少なくとも一つの特徴的なパラメータに関する値が形成される。 （もっと読む）

【課題】電子式水道メータの器差測定の作業効率を改善する。
【解決手段】電子式水道メータ11は、通常作動表示モードと、通常作動表示の1/1000スケールの器差測定作動表示モードを備えており、リードスイッチ19を電磁石33でON・OFFすると、表示切替回路18が通常作動表示から器差測定作動表示に切替える。自動検定装置から器差測定開始信号が出力されると、電子式水道メータは計量を開始し、規定の通水量が流れた後に、自動検定装置から停止信号が出力されて電子式水道メータは計量を停止し、計量値を器差測定作動表示モードで表示する。通常作動表示よりも小さい値まで表示可能な器差測定表示モードを備えているので、電子式水道メータの伝送線を自動検定装置に接続せずに少通水量で高精度の器差測定ができ、器差測定のための段取り時間が節減されて作業効率が向上する。 （もっと読む）

本発明の実施形態は流通装置（３０）の高速較正のためのシステム（２００）と方法を提供する。流通装置には製造者または第三者より較正流れ曲線（例えば、ｎ次多項式で表される）が与えられる。較正曲線は、プロセス流体や１つまたは複数の補正因子を使用して流通装置が実際にインストールされているシステムに対して調整できる。補正因子は簡単な実験的テストまたはプロセス流体の流体特性に基づく流れ曲線に対して決定され得る。補正された流れ曲線はその次に、将来の流れ制御に使えるよう流通装置に保存される。
（もっと読む）

【課題】気体流量計の電子回路の高集積化、出力特性調整の高精度化に好適な手段を提供する。
【解決手段】電源に印加される過電圧、サージ、高周波ノイズを低減するノイズ低減回路、気体流量検出回路とデジタル調整回路により気体流量計を構成するようにした。また、調整演算において、入力値により、予め用意した予め用意した１次式による調整演算式を選択することにより、非線形な調整もできるようにした。また、集積回路内でセンサ出力経路とデータ入出力経路を兼用し、スイッチで切り替える手段を持たせることにより端子数を減らした。 （もっと読む）

コリオリ流量計の流量較正因子を検証する方法及び装置である。第１の実施の形態によれば、材料の温度が所定の基準温度に等しいときに材料密度を測定することによって材料密度の改善が得られる。第２の実施の形態によれば、事前プログラムされたデータベースが密度／温度関係を格納する。材料の密度及び温度を測定し、データベースからの実測密度／温度情報を適用し、所定の基準温度に関して補償された密度情報を得ることによって密度情報の改善が得られる。両実施の形態について得られる密度情報の改善は、温度変化の影響を受けず、流量較正因子を検証するのに使用される。同様にして、圧力の変化及び材料組成の変化に関する流量較正因子補償が得られる。
（もっと読む）