【課題】歪抵抗薄膜全体としてのＴＣＲ値を低く抑えることが可能であると共に、温度サイクルに対して、比抵抗ρに代表される電気特性が安定で、かつ優れた高温安定性と高いゲージ率とを実現可能な歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサの提供。
【解決手段】積層膜からなる歪抵抗薄膜１０、２０であって、上記積層膜が、クロム薄膜、酸化クロム薄膜または窒化クロム薄膜からなる第一の薄膜１１、２１と、第一の薄膜１１の両主面のうち第一面１１１または第一面２１１と第二面２１２に積層され、薄膜の膜厚を同一としたときのＴＣＲ値［ｐｐｍ・Ｋ^−１］が第一の薄膜より小さい第二の薄膜１２、２２、２３とを少なくとも一層以上有し、上記積層膜を構成する第二の薄膜１２、２２の一つが上記積層膜の表出面Ｓとして表出している歪抵抗薄膜とする。 （もっと読む）

【課題】太いリード線を直接半田付けしても、リード線接続用タブがベースフィルムから剥がれない歪ゲージとロードセルの提供。
【解決手段】
ベースフィルム２１と、ベースフィルム２１上に設けられた歪受感素子２２及び接続タブ（２３，２４）を有する金属箔パターン２００と、金属箔パターン２００を歪受感素子を覆うカバーフィルム２５と、を備えた歪ゲージ２０において、カバーフィルム２５は、接続タブ（２３，２４）を覆う位置まで延設されるとともに、接続タブ（２３，２４）の位置に接続タブ２３よりも小さい孔（２６，２７）が形成され、孔（２６，２７）を介して接続タブ（２３，２４）が露出されるようにした。 （もっと読む）

【課題】人等の動物の重量と活動情報との両方を高い性能で計測可能とする。
【解決手段】ベッドスケール１００を提供する。ベッドスケール１００は複数のセンサユニット１２０を備える。各センサユニット１２０は、足部１２６と、荷重伝達部１２５と、荷重変換器とを備える。荷重変換器は、荷重伝達部１２５から伝達された荷重に応じて歪む起歪体１２２と、起歪体１２２に貼り付けられ、起歪体１２２の歪に応じた電気信号を出力する金属歪ゲージ１２３と、起歪体１２２に貼り付けられ、起歪体１２２の歪に応じた電気信号を出力する半導体歪ゲージ１２４とを有する。ベッドスケール１００では、精度に優れた金属歪ゲージ１２３の出力信号に基づいて重量が計測され、応答性に優れた半導体歪ゲージ１２４の出力信号に基づいて活動情報が計測される。 （もっと読む）

【課題】歪検出装置に過大な応力が加わっても、起歪体と絶縁層との間が剥離せずに特性が安定する歪検出装置を提供する。
【解決手段】歪検出装置は、金属製の起歪体１１と、この起歪体１１の外表面側に設けられたガラスからなる絶縁層１３と、この絶縁層１３の外表面に設けられた少なくとも２つの歪抵抗素子１５とを備え、前記起歪体１１と絶縁層１３との間に位置して緩衝層１２が設けられる。緩衝層１２はＡｇとガラスとの混合物によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外付けの演算増幅器の増幅度を調整するための回路構成を付加する場合、基板の面積の増加量が少ない小型の力学量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために本発明の力学量センサは、基板２１の上面に感度調整抵抗２９および調整電極２６を設けるとともに、この感度調整抵抗２９の一端を出力電極２５と電気的に接続し、かつ他端を調整電極２６と接続するように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、過大な荷重が加わった場合における起歪体からの絶縁層の剥離を確実に防止することができ、これにより、出力信号を安定化させることができる歪検出装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明の歪検出装置は、起歪体１１の外表面に設けられた穴１３を球形状に構成するとともに、この球形状の穴１３における前記起歪体１１の外表面の近傍部分に幅狭部１３ａを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】水素ガスを含む高圧ガス雰囲気下に試験片を配置して、この試験片に荷重を負荷し、前記試験片に負荷される荷重および／または変位を、ロードセルに付設されてなる歪ゲージを用いて検出する機械特性試験装置において、前記歪ゲージが水素ガスの影響を受けることなく安定した測定値を検出できる機械特性試験装置を提供する。
【解決手段】水素ガスを含む高圧ガスが導入される高圧容器が設けられ、この高圧容器内に、機械特性を評価するための試験片１１に荷重を負荷するとともに、前記試験片１１に負荷された荷重および／または変位を検出する歪ゲージ１０が付設された試験荷重負荷検出装置１８が配設されてなる機械特性試験装置１において、前記歪ゲージ１０が、厚さ１０〜２５μｍのＣｕ−Ｎｉ金属箔ゲージまたは厚さ１０〜２５μｍのＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ金属箔ゲージからなる。 （もっと読む）

【課題】コストやサイズの増加を殆ど来たすことなく、小ひずみから２０％を超える大ひずみまでの広範囲にわたるひずみを精度良く測定し得るひずみゲージを提供する。
【解決手段】この大ひずみ測定用ひずみゲージは、ゲージベース１１上にゲージ素子パターン部１２、ゲージタブパターン部１３ａ、１３ｂおよび接続パターン部１５ａ、１５ｂからなる金属箔パターン部が添着されている。この金属箔パターン部が添着され、ゲージリード１４ａ、１４ｂの基端部が接続されたゲージベース１１の表面は、ほぼ全体がラミネート膜１７で被覆されており、ラミネート膜１７の先端側は、ゲージベース１１の先端縁１１ａより所定の長さ延長されて、はみ出し部１７ａが形成されている。このはみ出し部１７ａは、ゲージベース１１が被測定対象物１９から剥離するのを防止する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】インライン生産可能なひずみゲージの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、ひずみゲージの製造方法を提供し、該方法は、接着樹脂フィルム上に抵抗性材料からなる箔がコーティングされた転写箔フィルムを準備する工程；ひずみの被測定物の外表面上の所望の部分に、該転写箔フィルムの該接着樹脂フィルム面を当接させる工程；および該転写箔フィルムを処理して、該接着樹脂を介して箔ゲージパターンを該被測定物に転写する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】電極と絶縁層との熱膨張率の違いにより、焼成時に絶縁層にクラックが発生するということのない、製造時の歩留まりの向上した重量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】複数の貫通孔１０を有し荷重により歪を生じる金属板（ステンレス板）からなる起歪体１２と、この起歪体１２の貫通孔１０の間に配置され歪量に応じて抵抗値が変化する４つの抵抗素子１４と、抵抗素子１４の両端部に接続した電極１６と、配線パターン１７を介して電極１６と結線された信号処理回路１８とを備え、抵抗素子１４および電極１６および配線パターン１７は起歪体１２上に配置した絶縁ガラスからなる絶縁層２０上に絶縁層２０とともに同時焼成して形成され、焼成前の電極１６および配線パターンは粒径が２．０μｍ〜１０．０μｍのＡｇ粒子を含有し、焼成前の絶縁層には１．０重量％〜３．０重量％の無機フィラーを添加した構成である。 （もっと読む）

マイクロ電気機械システムは、変形可能な部分に固定して取り付けられる変形可能な部分（１）および少なくとも１つの応力センサ（１０）を備える。センサ自体はベース部（２）を備え、変形可能な部分（１）上に分路部分（３）を並置し、接続体（４ａ―４ｄ）は、ベースおよび分路部分の電流の分布の変化を検出するために配置した。このようなシステムは、多くの応用例に適していて、特に原子間力顕微鏡の一部のアームを形成するため、またはバイオセンサの構成に入れるためにある。 （もっと読む）

負荷に依存するバネ要素（１）のたわみが、ひずみゲージ要素（１０）によって電気信号に変換される前記バネ要素（１）を含む、精密力変換器が開示される。バネ要素（１）は、ニッケル含有量３６〜６０％およびクロム含有量１５〜２５％の析出硬化可能なニッケルベースの合金で作られ、一方ひずみゲージ要素は、ポリマー非含有層状フィルム系からなり、こうして、高い精度、低いクリープ量、および湿気に対する低い感度を特徴とする精密力変換器の製造が可能となる。
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本発明は、実質上平面状の変形可能な膜（１２、１３、１４）の上に配置され、かつ２つの異なる方向に沿って装着された少なくとも８つの抵抗ゲージ（Ｒ_ｘ１、Ｒ_ｘ２、Ｒ_ｘ３、Ｒ_ｘ４、Ｒ_ｙ１、Ｒ_ｙ２、Ｒ_ｙ３、Ｒ_ｙ４）を備えるダブルホイートストンブリッジによる抵抗検知によって力を測定するためのデバイスに関する。ホイートストンブリッジのそれぞれの抵抗ゲージ（Ｒ_ｘ１、Ｒ_ｘ２、Ｒ_ｘ３、Ｒ_ｘ４、Ｒ_ｙ１、Ｒ_ｙ２、Ｒ_ｙ３、Ｒ_ｙ４）は、膜（１２、１３、１４）に分離された部分のそれぞれ配置され、かつ、少なくとも１つのホイートストンブリッジの２つのゲージ（Ｒ_ｘ２、Ｒ_ｘ３、Ｒ_ｙ１、Ｒ_ｙ４）が膜（１２、１３、１４）の変形不可能な領域（１３）上に配置されている。
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【課題】製造工程が簡単で、測定精度の高い歪ゲージ装置を提供すること。
【解決手段】起歪部材１００と、この起歪部材１００上に配置した金属箔２００と、金属箔２００に接続する金属線Ｗ１〜Ｗ３とを具備した歪ゲージ装置において、金属箔２００と金属線Ｗ１〜Ｗ３を超音波ボンディングで接続する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、内視鏡やカテーテルの作業を考慮して内視鏡又はカテーテル等の先端と整合して中央に鉗子等が装入できる大きいセンターホールを有するとともに、カテーテル先端部と体内壁との接触力やカテーテル先端部等の全方位姿勢の計測が可能な３次元抗力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の３次元抗力センサは、内視鏡又はカテーテル等の先端に搭載するのに適したセンターホールを備えた３次元抗力センサにおいて、絶縁膜上に薄層抵抗材料から形成してなるひずみゲージをセンターホールの周囲に等間隔で３個以上配置してなることを特徴としている。
また、本発明の３次元抗力センサは、絶縁膜をポリイミド箔で形成することを特徴としている。
また、本発明の３次元抗力センサは、ひずみゲージを弾性薄板上に形成することを特徴としている。
また、本発明の３次元抗力センサは、ひずみゲージの上面に半球状の弾性体を装着することを特徴としている。 （もっと読む）