【課題】被測定圧力を測定に適した圧力に調整して圧力測定装置に伝達でき且つ安全性も向上させた圧力調整装置および圧力測定装置の簡易な構造による提供。
【解決手段】シリンダユニット２と、ピストンユニット３とを備え、シリンダユニット２は、細管体２１と太管体２２を備えており、ピストンユニット３は、プランジャ３２と、細管体２１内に密嵌される第１の水密手段３０と太管体２２内に密嵌される第２の水密手段３１を備えており、第１の水密手段３０から細管体２１の自由端までの空間を第１圧力チャンバ２３として、第２の水密手段３１から太管体２２の自由端までの空間を第２圧力チャンバ２５としてそれぞれ画成し、第１圧力チャンバ２３または第２圧力チャンバ２５のいずれか１つから導入した圧力を測定に適した圧力に調整して他の１つの圧力チャンバに伝達できる圧力調整装置。 （もっと読む）

【課題】ＣＯ_２等の高圧冷媒が通過する流路等の圧力の検出に用いた場合でも、高圧による破損を防止し、安全な圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出素子２と、圧力検出素子が内面に固定されたべース４と、べースに対向して配置された受け部材５と、べースと受け部材とで挟持されたダイアフラム６と、ダイアフラムを挟持した状態のべース及び受け部材を、両者が互いに離間するのを防止するように両者を挟持する挟持部材１３と、ベースとダイアフラムとの間の空間に封入された液体とを備え、受け部材とダイアフラムとの間の空間内の圧力が、ダイアフラム及び液体を介して圧力検出素子へ伝達される圧力センサ１。挟持部材１３を備えるため、べースと受け部材との間に繰り返し高圧が付加された場合でも、両者が離間することがなく、べースと受け部材とが溶接接合されている場合でも、溶接部の割れを回避し、圧力センサの破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】高圧発生装置の加圧室内の圧力測定を、加圧室内にルビー片を入れずに、ルビー蛍光シフト法よりも安価で手軽に行うことができ、かつ、必要な測定精度を安定かつ簡便に得ることを課題とする。
【解決手段】ダイヤモンドアンビル１１Ａ，１１Ｂにそれぞれ支持された２つのダイヤモンド１２Ａ，１２Ｂ間の加圧室Ｒ内に試料Ｓ及び圧力媒体Ｔを充填し、圧縮バネ１７によって両ダイヤモンドに互いが近付く向きの付勢力を伝達することにより圧力媒体を介して加圧室内の試料に高圧を付与するダイヤモンドアンビルセル１０において、上ダイヤモンドアンビルのひずみ量をひずみゲージ１にて計測し、その計測結果に基づいて加圧室内の圧力を測定する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な構成で継ぎ手からのブルドン管の抜けを抑制することが可能なブルドン管圧力計を提供する。
【解決手段】ブルドン管圧力計は、圧力容器に取り付けられる継ぎ手３と、継ぎ手３に固定されるブルドン管４とを備えている。継ぎ手３には、ブルドン管４の基端側が差し込まれて固定される固定孔３ａが形成され、固定孔３ａに差し込まれるブルドン管４の差込部４ａには、ブルドン管４の外周面からブルドン管４の内周側へ窪む外周側凹部４ｂが形成されている。 （もっと読む）

バリア特性及び圧電特性を有する少なくとも１層から成る壁を含む高圧媒体貯蔵容器。 （もっと読む）

【課題】圧力センサ装置において、低コスト化するとともに、長期的な信頼性を高め、かつ測定信号の精度および信頼性を高くすること。
【解決手段】ダイアフラム４５、ピエゾ抵抗素子、増幅回路および各種調整回路を内蔵した圧力センサチップ４１を、ダイアフラム４５が台座部材４２の貫通孔４６に臨むように台座部材４２に接合する。台座部材４２と金属板部材２４３とを、それらの貫通孔４６，２４８がつながるように接合する。樹脂ケース２４４に金属パイプ部材２４３を接着し、樹脂ケース２４４の信号端子２５８と圧力センサチップ４１とをワイヤボンディング５９により電気的に接続し、圧力センサセル１０２とする。 （もっと読む）

【課題】水素雰囲気下で使用しても、水素脆化現象による圧力計の破壊がなく、１００ＭＰａ以上の高圧下でも測定が可能な水素圧力測定方法、及びそのためのセンサを提供する。
【解決手段】水素ガスの静水圧を、水素ガス雰囲気に配置された誘電体単結晶材料からなるセンサの静電容量により測定することにより、１００ＭＰａ以上の高圧下でのガス圧の測定を可能とするものであり、好ましくは、該誘電体単結晶として、キュリー温度が室温以下であるものが用いられる。 （もっと読む）

工業プロセスにおいてプロセス流体の圧力を計測するための圧力トランスミッタ（１０）は、加圧に関する出力を有する圧力センサ（１６）を含む。圧力センサ（１６）に結合された計測回路（１８、２０）が、感知された圧力に関するトランスミッタ出力を提供するように構成されている。開口（４８、５２）を中に有する圧力結合面（６０）が、加圧を圧力センサ（１６）に伝達するように配設されている。圧力結合面（６０）に当接するフランジ面（６２）を有する圧力結合フランジ（１３）が、プロセス流体を圧力結合面（６０）の開口（４８、５０）に運ぶように構成されている。圧力結合面及びフランジ面全体における荷重力の分散を制御するための特徴が提供されている。
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本発明は高圧センサの構造コンセプトに関する。この構造コンセプトは、２２００ｂａｒを超える圧力範囲であっても信頼性の高い高圧センサを簡単且つ低コストで製造可能にすることである。このような高圧センサ（１０）は圧力を検出するセンサ素子（１）と、センサ素子（１）を測定システムに接続する接続部品（２）とを含んでおり、センサ素子（１）の基体（１１）内の止まり穴（１２）上にダイアフラム（１３）が形成されており、接続部品（２）の基体（２１）内に圧力通路（２２）が形成されており、センサ素子（１）は、止まり穴（１２）に開口している圧力通路（２２）を介してダイアフラム（１３）に測定圧力が印加可能となるように接続部品（２）上に取り付けられている。本発明によれば、センサ素子（１）の基体（１１）内の止まり穴（１２）の少なくとも一部分がダイアフラム（１３）に向かって円すい状に形成されており、圧力通路（２２）の、センサ素子（１）の側の端部（２３）は管状に形成されている。圧力通路（２２）の管状の端部（２３）は止まり穴（１２）に圧入されており、これによって、管壁の周縁の少なくとも一部分が止まり穴（１２）の側壁に対して気密に押しつけられるようになる。
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２２００バールよりも大きな圧力領域のためにも信頼性良く使用される高圧センサの簡単でかつ廉価な製造を可能にする、高圧センサのための構築コンセプトを提案する。このような高圧センサ（３）は、圧力検出のためのセンサエレメント（１）と、該センサエレメント（１）を測定システムに結合するための接続部材（２）とを備えている。センサエレメント（１）のベースボディ（１０）には、ダイヤフラム（１１）が形成され、接続部材（２）のベースボディ（２０）には圧力通路（２１）が形成される。センサエレメント（１）は、ダイヤフラム（１１）が圧力通路（２１）を介して測定圧によって負荷可能になるように接続部材（２）に組み付けられる。本発明によれば、まずセンサエレメント（１）のベースボディ（１０）を接続部材（２）のベースボディ（２０）に組み付け、この場合、両ベースボディ（１０，２０）の組付け面の間に全面にわたる結合部（３１）を形成し、その後にはじめて、接続部材（２）に圧力通路（２１）を形成し、センサエレメント（１）のダイヤフラム（１１）を露出させる。
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本発明は、とりわけ圧力又は力センサ１に使用されるセンサ膜に関する。前記センサ膜は、外縁部４及び内縁部５によって区切られており、外縁部４は、耐圧態様でセンサ・ハウジング６に接続され、内縁部５は、耐圧態様で可動プランジャ７に移行しており、センサ膜の変位は、センサ・ハウジング６内の測定要素８によって検出されることができる。センサ膜は、外縁部４と内縁部５との間に１つ又は複数の弾性領域３を含み、それぞれの弾性領域３は最も薄い部分Ｄを有しており、弾性領域３内の材料厚みｄが、この最も薄い部分Ｄの両側で徐々に増大する。本発明によると、それぞれの弾性領域３内において、センサ膜の断面が弧形状９を有し、前記形状は、弧の方向に対して凸形外側形状１０及び凹形内側形状１１を有する。
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本発明は、マイクロマシニング型の構成素子のための製造方法、相応の構成素子複合体、及び相応のマイクロマシニング型の構成素子に関する。本発明に係る方法は、以下のステップ、すなわち、第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）及び第１の背面側の表面（Ｒ１；Ｒ１′；Ｒ１′′；Ｒ１′′′）を備える、多数の半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）の第１の複合体（Ｗ１；Ｗ１′；Ｗ１′′；Ｗ１′′′）を用意するステップと、第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）及び第２の背面側の表面（Ｒ２；Ｒ２′′′）を備える、対応する多数のキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）の第２の複合体（Ｗ２；Ｗ２′）を用意するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）及び／又は前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）に、排気通路（ＳＫ，ＫＧ）を備える構造化された付着層（ＳＧ）を印刷するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）と、前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）とを、それぞれ１つの半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）及び対応するキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）を備える多数のマイクロマシニング型の構成素子に対応するようにアライメント調整するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）と、前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）とを、前記構造化された付着層（ＳＧ）を介して、圧力を印加した状態で結合するステップであって、各々の半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）が前記対応するキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）に、それぞれのマイクロマシニング型の構成素子に対応するように結合され、このとき、周囲雰囲気のガスが前記排気通路（ＳＫ，ＫＧ）を通して外部に逃げることができるように結合するステップと、マイクロマシニング型の構成素子を個別化するステップと、を有する。
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【課題】高圧を検出することが可能な構成でありながら、検出精度を高くする。
【解決手段】本発明の圧力センサ１は、圧力が導入される開口部９及び導入された圧力により変形可能なダイヤフラム８を有する中空筒状のステム７を備えると共に、前記ダイヤフラム８上に設けられたセンサチップ１０を備えたものにおいて、ステム７及びセンサチップ１０を２組設け、２個のセンサチップ１０から出力される２つの出力信号がほぼ１次関数となる２つの圧力検出範囲を組み合わせることにより、圧力センサの圧力検出範囲をカバーするように構成したものである。 （もっと読む）

隔膜圧力測定セル構造は、少なくとも部分的にサファイアからなるハウジング本体（２）と、基準真空室（５）を形成するために、第１のシール材（８）によってハウジング本体（２）と結合された周辺の縁部領域を備えるサファイア隔膜（６）とを含んでいる。隔膜（６）の外側表面は測定されるべき媒体に対して暴露される。セラミックの支持体（１）がハウジング本体（２）の裏面にガラスはんだによって配置されており、この支持体は、ハウジング本体（２）を取り囲んで第１の封止面を形成するオーバーハングの面を有している。管状の測定セルハウジング（１９）がセラミックの支持体（２）に組み付けられた測定セルを収容しており、測定セルハウジング（１９）は、第１の封止面と対応する取り囲む封止面（３５）を内部に有している。これらの封止面の間には金属リングシール材（１８）が配置されており、これらの封止面を押し合わせるために圧着手段（２０）が設けられている。
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【課題】観測点の水を制限的にセンサ内に出入りさせることによって、深海などの高水圧下でも高精度に水圧の変化（水圧変動）が測定できるＦＢＧ水圧変動測定センサを提供する。本発明のＦＢＧ水圧変動測定センサは、津波観測用の水圧計として利用できる。
【解決手段】観測点の水圧の変化を受けて水圧検出面１ｂの面形状が変形する、外部との水の出入りを可能にしたチャンバ１と、チャンバ１の開口１ａに連通し、このチャンバ１への水の出入りを制限する水量調整器２と、チャンバ１の水圧検出面１ｂにファイバ３を介して設けられ、この水圧検出面１ｂの面形状の変形の度合いにより伸縮するＦＢＧ４とを備え、観測点の水圧の変化により変形したチャンバ１の水圧検出面１ｂの面形状が、水量調整器２を介して行われる水の出入りとともに復元されてしまう前に、水圧検出面１ｂの面形状の変形の度合いをＦＢＧ４の伸縮により検出して観測点の水圧変動を測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、切替弁の切替作業等を要することなく、容易且つ確実に幅広い範囲の圧力を測定することのできる圧力計を提供することにある。
【解決手段】本発明の圧力計は、圧力測定対象に連通される流路（導入管１００の内部等）、該流路に連通されるブルドン管などの高圧用検出手段２００、及び、該高圧用検出手段２００の変形に基づいて変位する指針３００を備える圧力計で、前記流路に連通される低圧用検出手段６００、及び、流路６００が一定圧以上の際に流路と低圧用検出手段６００との連通状態を阻止する連通阻止手段を備え、低圧用検出手段６００が、低圧用検出手段６００の変形に基づいて前記指針３００を変位させるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】２つの測定ブリッジうち一方の故障や特性変動を確実に検出できるようにすることができる圧力センサを提供する。
【解決手段】ステム２０に設けられたダイヤフラム上に、構造が異なる２つの歪みゲージを設ける。２つの歪みゲージのうち一つとして、薄膜抵抗歪みゲージ２１０で構成された薄膜抵抗歪みゲージ式検出部２００を設ける。もう一つとして、半導体センサチップ１００に拡散抵抗歪みゲージ３１０で構成された拡散抵抗歪みゲージ式検出部３００を設け、低融点ガラス２４を介して薄膜抵抗歪みゲージ式検出部２００上に半導体センサチップ１００を設置する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、圧力計をコンパクトに構成するとともに、圧力表示面を所定の向きで流体機器等に取り付けることができ、かつ、被測定流体の圧力変動の応答遅れがなく、正確な圧力を計測できる高圧圧力計を安価に提供することである。
【解決手段】本発明高圧圧力計は、プランジャー用ブロック２のプランジャー摺動口２１内をシール部材２６でシールされて摺動するプランジャー６とシリンダブロック１のシリンダ口１１内をシール部材５２でシールされて摺動するピストン５とを有し、プランジャー６の外径をピストン５の外径より小さくし、被測定圧力流体の高圧圧力を前記プランジャー６で受圧して前記ピストン５で圧力伝達流体を押圧して圧力計測体で計測する。プランジャー６をシールする前記シール部材２６は、アセタール樹脂で形成されたバックアップリング３４を介して支持されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性があり、且つ安価で作製も簡単な圧力計を実現する。
【解決手段】一端側に突出部が設けられた本体ボディと、前記突出部と隙間を保って前記本体ボディの一端側に一端が固定されたニップルと、前記本体ボディの他端側に設けられた凹部と、この凹部を覆って設けられこの凹部と圧力センサ室を構成するセンサ室蓋と、前記突出部に設けられ前記圧力センサ室に測定圧を伝達するシールダイアフラムとを具備する圧力計において、前記本体ボディと前記センサ室蓋との接合部分に設けられ前記測定流体の圧力により作用する引き剥がし力の作用する方向に沿って設けられ前記本体ボディと前記センサ室蓋とを溶接固定する第１の溶接部を具備したことを特徴とする圧力計である。 （もっと読む）

【課題】 気体供給路１ａの内圧を監視する圧力センサ５に依存して、セル内を定圧状態に長時間維持する圧力制御が行われるものでありながら、気体供給路１ａ内が常に加圧状態となることを回避し、圧力センサ５が、誤差のない初動時と同様の検知精度をもって、常に高精度の圧力制御により所望のセル内圧力状態に維持することを可能にする。
【解決手段】 気体供給路１ａに、外気を間欠的に流入せしめて気体供給路１ａ内をリフレッシュする開閉可能な外気流入口８を設ける。 （もっと読む）