【課題】近年の半導体の高集積化、また画像装置の高精細化に伴ない、基板上の絶対温度を正確に測れることが要請されている。本発明は、基板全面に亘る複数点で、絶対温度を正確に測れる温度測定素子、温度測定装置、基板処理装置及び電子デバイスの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基板、該基板の一方の側の一の面に位置する前記基板より大きな熱伝導率を有する電気的絶縁物である第一の膜、上記第一の膜の基板と反対側に位置する第一の熱電対金属及び前記第一の熱電対金属と接触する部分を有する第二の熱電対金属を有する。 （もっと読む）

【課題】熱容量の小さい極細の細線形検出部を容易に加工することのできるセンサの製造方法を実現し、品質に優れた高応答のセンサを提供する。
【解決手段】導線１１，１２の一部に細線形検出部１３を有するセンサを製造する方法であって、導線１１，１２の一部１１ａ，１２ａが少なくとも特定の方向で導線１１，１２の残部１１ｂ，１２ｂより小径となるように、導線１１，１２となる線状素材１，２を部分的に除去加工して細線形検出部１３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 測定部位の基板厚を薄くし、測定機器との接続部位の基板厚を厚くした熱電対センサ基板であって、従来のプリント配線基板の製造ラインで製造が可能な熱電対センサ基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 表面側には銅配線パターン１００が形成され、裏面側にはニッケル配線パターン１０１が形成されている。これら配線パターンの一端には、液体や気体に接触させて、それらの温度を測定するためのセンサ部１０２が設けられ、他端縁部には測定機器に接続するためのコネクタ部１０３が設けられている。センサ部１０２は、銅配線パターン１００とニッケル配線パターン１０１とが結合し、接合点を形成することで熱電対を構成しており、この接合点で生じる熱起電力を利用して温度を測定する。また、コネクタ部１０３は、所定の厚みを有することにより測定機器との接続を可能としている。 （もっと読む）

【課題】 複雑な構成を必要とせず、容易な方法によって熱電対センサ基板を構成することができる熱電対センサ基板および、その製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 絶縁層をはさんで配線パターンが形成されており、表面側に銅配線パターン１００が形成され、裏面側にニッケル配線パターン１０１が形成されている。これらの配線パターンの一端には、測定対象となる流体や気体に接触させてそれらの温度を測定するためのセンサ部１０２が設けられ、他端縁部には測定機器に接続するためのコネクタ部１０３が設けられている。センサ部１０２では、銅配線パターン１００とニッケル配線パターン１０１の異種金属が接合することにより熱電対を構成しており、この接合点で熱起電力が生じる現象を利用して温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で且つ熱伝導率の測定精度が高い熱流センサを提供すること。
【解決手段】熱流センサ３，３′は、縦横に配列された複数の貫通孔（５，６）が絶縁性の基板（配線基板４）に形成され、前記複数の貫通孔（５，６）に異種金属材料製の第１，第２導電性金属（第１，第２金属接続体７，８）が交互に配設され、前記第１，第２導電性金属（第１，第２金属接続体７，８）が直列に接続された熱流センサであって、前記第１，第２導電性金属（第１，第２金属接続体７，８）は該第１，第２導電性金属（第１，第２金属接続体７，８）の一方と同じ材質から前記基板（配線基板４）の両面（４ａ，４ｂ）にメッキにより形成された複数の表面金属層（第１，第２表面金属層９，１０）で直列に接続されている。 （もっと読む）

【課題】温度変化に対する温度追従性を維持しつつ、機械的強度の劣化を抑制する温度センサ素子及び温度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】所定の厚みを有する厚肉部１０２ｘと厚肉部より厚みが薄い薄肉部１０２ｙとを含む基板１０２ｄと、基板１０２ｄ上に形成された電気絶縁膜１０２ａと、厚肉部１０２ｘ上の電気絶縁膜１０２ａの上に形成された第１の熱電対膜１０２ｂと、薄肉部１０２ｙ上の電気絶縁膜１０２ａの上を横切って形成された第２の熱電対膜１０２ｃと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 絶縁信頼性が高く、位置精度等に優れた熱電対を提供する。
【解決手段】 本発明の熱電対１０は、２つの異種金属線１１，１２を融着させて形成した融着部３を備える熱電対であり、融着部３および異種金属線１１，１２が、ＤＬＣ(Diamond Like Carbon)層５で被覆されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基体が分割可能な新規な熱電対装置を提供する。
【解決手段】熱電対装置２は、並走される金属導線１１および異材導線１２を備えると共に高温対象物１６に接触する高温接合部１３と高温対象物１６から遠ざかる低温接合部１４とを有する熱電対１と、熱電対１を保持する基体３とを有する。基体３は、互いに分割可能および結合可能な第１分割基体４および第２分割基体５と、第１分割基体４および第２分割基体５を着脱可能に結合させて一体化させるロック要素２００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ドローイング時の蛇行を有効に防止することができ、これにより測定精度や絶縁特性を維持できるとともに、各熱電対素線の断面積を大きくして劣化やシャントエラー等の影響を無くすることが可能となるシース熱電対およびその製造方法を提供せんとする。
【解決手段】各熱電対素線３１，３２の外周面３４，３４における他の熱電対素線が存在しないシース内壁２０に対向する側の領域Ｒ１を、該内壁２０の面に略平行な曲面形状に構成し、当該領域Ｒ１と前記シース内壁２０との間に介在する無機絶縁物の層の厚みｄ１が略均等となるように形成した。 （もっと読む）

【課題】測定試料と標準試料との間の熱伝導を抑えつつ、炉体と試料との間の熱伝導を維持し、試料間の温度差を高感度で検知することができる熱分析装置のセンサユニットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】各試料容器に内の測定試料Ｓと標準試料Ｒとの温度差を検出する熱分析装置１のセンサユニット３０であって、絶縁体で形成され、温度制御される炉体ユニットの近傍に設けられたベース部３１と、２種の熱電対素線を交互に接合することにより形成され、熱電対素線の特定部分は、ベース部に接合されている多対熱電対３２と、絶縁体で形成され、各試料容器が載置される載置面を有し、多対熱電対の接点が接合されている一対の感熱部３５、３６と、を備え、一対の感熱部３５、３６は、ベース部３１から離間して設けられている。 （もっと読む）

【課題】 シース熱電対により、燃料電池内部においてアースとの間に電位の生じている部分の温度を測定する場合、引き回されたシース熱電対の金属シースを通して、電位の生じている部分とアースされている部分との間に、本来流れてはいけない電流が流れ、被測定装置の機能喪失や取扱者の感電を招き、また、この電流が変動した場合には、シース熱電対の測定信号に誘導ノイズが発生し、正確な温度測定ができなくなる、等の問題点を解決することを目的とする。
【解決手段】 外径がφ０．１ｍｍ乃至φ０．２ｍｍのシース熱電対の測温側先端から１０ｍｍ乃至１５０ｍｍの表面全体に、厚さが１μｍ乃至１０μｍのポリイミドをコーティングしたシース熱電対とした。 （もっと読む）

【課題】 狭隘な場所に熱電対が設置できることが求められている。
【解決手段】 並列に配置した一対のＫ熱電対素線の＋側素線および−側素線をそれぞれＰＦＡ樹脂で被覆を施し、ＰＦＡ樹脂で被覆した２本の＋側素線と−側素線を束ねた外側にＰＦＡ樹脂の被覆を施した径方向断面の外形寸法を幅０．５ｍｍ以下で高さ０．２５ｍｍ以下の扁平状断面に形成したＰＦＡ樹脂被覆細径熱電対とした。 （もっと読む）

【課題】熱電素子を簡単に製造できるようにし、その際の作業ステップ数を少なくする。
【解決手段】ドーピングされていない２つの熱電素子脚部を支持体の表面に形成する。第１の熱電素子脚部が覆われず第２の熱電素子脚部が覆われるよう第１のレジストマスクを被着し、第１の熱電素子脚部のドーピングを行い、第１のレジストマスクの少なくとも一部分を除去して第２の熱電素子脚部がこのマスクによって覆われないようにする。さらに第１の熱電素子脚部が覆われ第２の熱電素子脚部が覆われないよう第２のレジストマスクを被着し、第２の熱電素子脚部のドーピングを行い、第２のレジストマスクを少なくとも部分的に除去して、少なくとも第１の熱電素子脚部がこのマスクにより覆われないようにする。ついで各熱電素子脚部を導電性材料によって結合し、第１の熱電素子脚部をｎ形とし、第２の熱電素子脚部をｐ形とするかまたはその逆とする。 （もっと読む）

【課題】このK タイプの熱電対は、水素などの還元雰囲気では、短時間で劣化する欠点があった。
【解決手段】 固体高分子型燃料電池のガス改質装置や、固体酸化物燃料電池において燃料として用いられる、600 ℃から1000℃までの温度の水素を主成分とするガスの温度計測および制御に用いられるK 型シース熱電対であって、熱電対のKP (正極) としては、従来と同じニッケルクロム合金を用いるが、KN（負極）として、銅が 1.9％から 3.0％を含むニッケル銅合金を用いた熱電対型燃料電池用温度センサーとした。 （もっと読む）