【課題】測定の空間分解能を向上しつつ装置の大型化を回避できる２直交偏光式の斜入射干渉計を提供すること。
【解決手段】 光源１１からの光を光束分割素子１４で分割し、一方を測定対象物２０に照射して測定光とし、測定光と参照光との偏光方向を直交させた後、光束合成素子１６で合成して合成光とする。得られた合成光を光束分割部３３で複数系統に分割し、各系統の分割光により形成される複数の干渉縞画像を撮像素子３５Ａ〜３５Ｃで撮像する。撮像素子と光束分割部３３との間には、偏光軸が互いに異なる複数の偏光板３４Ａ〜３４Ｃが配置され、各偏光板と撮像素子との間には画像拡張手段としてのスクリーン３６Ａ〜３６Ｃが光軸に対して傾斜配置され、各系統の干渉縞画像をその一軸方向に拡張する。 （もっと読む）

【課題】非球面形状を高精度に測定する際に、被測定物の着脱が正確な位置に作業性よく行える測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１０を保持する被測定物保持機構Ａと、測定光を照射して光干渉測定を行う干渉光学系２を有する干渉光学機構Ｂとは、それぞれ相対的に移動可能に設置されてなり、被測定物保持機構Ａに被測定物１０を先端に保持しエアスピンドルによる回転機構７０で回転駆動されるサンプルステージ６と一体に回転する回転体６４を設けるとともに、該回転体に形成された凹状の係合部６４ａに係合してその回転を規制する規制機構６５を設け、被測定物の着脱時にはサンプルステージの回転を規制する。 （もっと読む）

本発明は、軸外しデジタルホログラフィック顕微鏡観察用の干渉計（１５）であって、前記干渉計（１５）が記録面（１０）と、前記記録面（１０）と光学的に共役な面内に位置する格子（Ｇ）とを備え、前記格子は第１および第２光路を画定し、前記光路は異なる回折次数に対応する。 （もっと読む）

【課題】測定対象の幅方向に対して広範囲で欠陥を検出する。
【解決手段】第１のミラー群１２に入射されたレーザ光の波面は、分割されて反射され、光学フィルム１０の幅方向に配列された状態で光学フィルム１０に照射される。光学フィルム１０に照射されたそれぞれのレーザ光の波面は、光学フィルム１０を介して第２のミラー群１３で反射され、光学フィルム１０を介して、第１のミラー群１２に対して入射される。第１のミラー群１２に入射されたレーザ光は、再び１つの波面が揃い、ウェッジプレート４に入射される。そして、ウェッジプレート４の第１の面Ｓ１で反射されるとともに、第２の面Ｓ２で反射されることにより２つの波面に分割される。２つの波面が干渉することにより、撮像部７において干渉縞が撮像され、撮像された干渉縞の画像データに対して、解析部８による解析が行われる。 （もっと読む）

本発明は光路長差判定及び光干渉断層撮影の方法に関し、次の各工程、つまり、空間単一モードにて発光するか、適切な手段（Ｆ）により発光が空間単一モードに制限される光源（ＳＱ、ＢＱ）により空間コヒーレントな光を発生させる工程と、前記光源からの光の少なくとも一部を２つの空間的に離れた光路に分割する工程と、少なくとも２つの検出器（Ｄ）か少なくとも２つの検出素子（Ｄ）を有する１つの検出器（Ｄ、Ａ）及び光線を誘導するための他の手段（Ｓ、Ｔ、ＢＰ、Ｆ、Ｑ、Ｌ、Ｇ、Ｚ）を用い、参照光路及び測定光路の光を検出器／検出素子（Ｄ）に導いて干渉させる工程と、検出器／検出素子（Ｄ）における光強度を受け取り分析してデータセットを得る工程と、データセットの数値的分析及び表示を行い、試料（Ｐ）又は試料（Ｐ）内の構造における空間的位置及び反射又は散乱の強度の両方を求める工程とを有する。
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【課題】機能の異なる光を合波する際の信号損失を低減させる。
【解決手段】光ロータリアダプタにおいて、固定スリーブに固定的に支持され、光軸に垂直な平面に対して傾斜する端面を持つ固定側光ファイバと、その端面と所定間隔離間した固定側コリメータレンズと、回転可能に支持される回転筒の略中心に固定的に支持され、前記固定側コリメータレンズに対向しその光軸に垂直な平面に対して傾斜する端面を持つ回転側光ファイバと、前記回転筒に固定的に支持され固定側コリメータレンズと回転側光ファイバとの間に、前記回転側光ファイバの傾斜する端面と所定間隔離間した回転側コリメータレンズと、測定光である第１の光束とは機能の異なる第２の光束を前記固定スリーブ内に導波する第２光束用光ファイバと、前記固定側コリメータレンズと前記回転側コリメータレンズとの間に設けられ前記第１の光束と前記第２の光束とを合波する合波手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非球面光学素子の表面形状を簡易かつ低コストで短時間のうちに測定し得る光波干渉測定装置を提供する。
【解決手段】透過/反射分離面１３ａにおいて二分された光原１１からの光束は、それぞれ対応する球面基準レンズ１５、２５によって、被検非球面レンズ１７と参照非球面レンズ２７の表面形状に応じた波面情報を担持した状態で再び合波され、参照非球面レンズ２７に対する被検非球面レンズ１７の波面誤差が干渉縞情報とされて干渉計ＣＣＤカメラ３１の撮像面上に形成される。球面基準レンズ１５、２５は、互いに同一曲率の基準球面１５ａ、２５ａを有し、各レンズ１７、２７からの反射光による波面情報は、各レンズ１７、２７の表面形状と基準球面１５ａ、２５ａの表面形状との差によるものであるから、非球面であっても、全有効領域についての干渉縞情報を同時に取得することができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象からの戻り光の減衰やＳ／Ｎ比の低下を防止することができる光ロータリアダプタ、およびこれを用い、効率よくかつ簡単に分解能の高い断層画像を生成することができる光断層画像化装置を提供する。
【解決手段】固定スリーブと、これに支持され、その一方に傾斜端面を持つ固定側光ファイバと、この傾斜端面と所定間隔離間して配置される固定側コリメータレンズと、固定スリーブに対して回転自在に支持される取付筒と、固定側コリメータレンズに対向して配置され、傾斜端面を持つ回転側光ファイバと、固定側コリメータレンズと回転側光ファイバとの間に、回転側光ファイバの傾斜端面と所定間隔離間して配置される回転側コリメータレンズと、取付筒を回転駆動する回転駆動源とを有し、固定側光ファイバおよび回転側光ファイバの中心軸を、取付筒の回転中心軸に対して、オフセットまたは傾斜させた光ロータリアダプタにより、また、この光ロータリアダプを用いる光断層画像化装置により、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】
簡易な構成で信頼性の高い絶対位置の計測装置を提供する。
【解決手段】
絶対位置の計測装置は、被測定物の位置に応じて位相が変化する複数の第一の信号と、複数の第一の信号のそれぞれに、第一の信号とは周期が異なる複数の第二の信号のそれぞれを重畳させた複数の重畳信号とを出力する出力手段と、第一の期間に第一の信号の位相を算出し、第二の期間に第二の信号の位相を算出する位相演算器と、第一の期間に位相演算器で算出された第一の信号の位相の回帰係数を算出する回帰演算器と、回帰係数を用いて算出された第一の信号の位相と第二の期間に位相演算器で算出された第二の信号の位相との位相差を算出する減算器と、減算器から出力された位相差の符号が反転する位置から被測定物の原点位置を求める位相差演算手段と、位相差演算手段で求めた原点位置から被測定物の絶対位置を算出する絶対位置算出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】微小機械-電気構造から構成された振動型発電装置の開発や保守管理に用いるのに適した振動変位計測装置を提供する。
【解決手段】先端にレンズなどの集光機能が付加され、振動緩衝のため粘弾性材料が使用されている、最大群遅延差が1ナノ秒／メートル以下のマルチモードファイバーを用いた光ファイバーケーブルによるプローブ部１と、連続発振するレーザー光源２−１による光源部２と、フォトダイオードによる光電変換部３と、光干渉ビート信号を配送する光サーキュレータ１０と、発電電圧又は発電電流値、及び振動変位情報を含む干渉ビート信号をディジタル信号に変換する信号収集部４と、電子計算機による解析部５と、記憶部６とを構成要素として有し、振動の瞬時変位量検出に光ホモダイン干渉計の原理を用いている。 （もっと読む）

【課題】
簡易な構成で信頼性の高い絶対位置の計測装置を提供する。
【解決手段】
絶対位置の計測装置は、被測定物の位置に応じて位相が変化する複数の第一の信号を出力する第一の出力手段と、被測定物の位置に応じて位相が変化し、第一の信号より干渉性の低い複数の第二の信号を出力する第二の出力手段と、第一の信号の位相を算出する位相演算器と、第二の信号の振幅値を算出する振幅演算器と、第一の信号の周期毎に、振幅演算器により算出された第二の信号の振幅値の平均値を算出する平均値演算手段と、平均値演算手段により算出された平均値を用いて二次回帰演算を行う回帰演算手段と、二次回帰演算により求められた第二の信号のピーク位置から被測定物の原点位置を求めるピーク位置演算手段と、ピーク位置演算手段で求めた原点位置から被測定物の絶対位置を算出する絶対位置算出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】光の偏光状態に依存することなく、高精度な測定ができるようにする。
【解決手段】波長可変光源３１の出射光Ｐと基準光Ｐｒとを第１カプラ３３で合波して２分岐し、被測定物１を含む第１光路Ｌ１と被測定物１を含まない第２光路Ｌ２に出射し、周波数差付与手段３５により両光路の光の間に所定周波数差を付与する。そして第２カプラ４０により光路Ｌ１、Ｌ２を経た光をそれぞれＰ偏光成分とＳ偏光成分に分けて合波し、各合波成分の波長分波で得られた基準光成分の干渉によって得られるビート信号から、同期検波処理に用いる基準信号を基準信号出力手段５５によって選択し、第１光路Ｌ１を経た光のＰ偏光の測定光成分とＳ偏光の測定光成分に対する同期検波処理を２つのロックインアンプ５６、５７で行い、得られた信号（Ｘｐ，Ｙｐ）、（Ｘｓ，Ｙｓ）に基づいて偏光成分毎の被測定物１の遅延特性等を求めている。 （もっと読む）

【課題】被測定物に対する位相測定を正しく行えるようにする。
【解決手段】波長可変光源１１の出射光Ｐを光分波器１２により被測定物１を含む第１光路Ｌ１と被測定物１を含まない第２光路Ｌ２へ分波し、第１光路Ｌ１を経た光と第２光路Ｌ２を経た光ととの間に周波数シフタ１３と信号発生器１４からなる周波数差付与手段により所定周波数の差を付与して光合波器１５で合波し、光合波器１５の出射光を受けた光電変換器１６の出力信号に基づいて、被測定物１の特性を求める光ヘテロダイン干渉装置において、波長可変光源１１の出射光の周波数を一定速度で掃引させる光周波数掃引手段３１と、光Ｐの周波数が一定速度で掃引されている間に光電変換器１６から出力される信号の周波数を検出する周波数検出手段３２と、周波数検出手段３２によって検出された周波数と前記所定周波数との差を求め、その差に基づいて第１光路Ｌ１と第２光路Ｌ２の長さの差ΔＬを算出する光路長差算出手段３３とを設けた。 （もっと読む）

【課題】半平面ビームスプリッタを使用して、マイクロ機械加工を施した干渉計が得られる。
【解決手段】ビームスプリッタは、入射ビームＩを受容するように光結合しており、入射ビームをそれぞれ異なる媒体内を伝播する２つの干渉ビームＬ１、Ｌ２に分岐するように動作する。こうした媒体の一方に埋め込まれた固定鏡Ｍ２は、一方の干渉ビームＬ２を反射し、この干渉ビームを、上記媒体を通って半平面ビームスプリッタへ戻す。その一方で、アクチュエータによって制御される可動鏡Ｍ１は、他方の干渉ビームＬ１を反射して、この干渉ビームを他方の媒体を通って上記半平面ビームスプリッタへ戻す。検出面Ｄ１またはＤ２は、反射された干渉ビームＬ３、Ｌ４間の干渉によって生成された干渉パターンを検出する。 （もっと読む）

【課題】高精度化、高速化され加工現場といった振動が存在する環境下でも測定可能な斜入射干渉計を提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象物２０の測定面の法線に対して所定角度で光を照射し、測定対象物２０からの反射光を測定する斜入射干渉計において、光源１１からの光を測定対象物２０に照射する測定光と測定の基準となる参照光とに分割すると共に測定対象物２０で反射した測定光と参照光との偏向方向で直交させた後合成する光束分割素子１４及び光束合成素子１６と、合成光を複数の分割光に分割する三分割プリズム３３と、複数の分割光の各々により形成される複数の干渉縞画像を撮像する撮像部３５Ａ〜３５Ｃと、三分割プリズム３３の入射側及び出射側のいずれか一方に設けられた１／４波長板３１と、撮像部３５Ａ〜３５Ｃの撮像面側に設けられた偏光板３４Ａ〜３４Ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】 回折格子や分光器を用いないで、対象物の表面の色、吸収などを簡易迅速に検出するための軽量、小型、低コストのセンサを与えること。
【解決手段】 筐体と、筐体の内部に設けられ複数の波長の光を発生する光源と、筐体の内部に設けられ光源から発生した複数波長の光を直線偏光にして分岐し第１分岐光ｇを交番電界を掛けたポッケルス効果素子を含む光路Ｇに通し第２分岐光ｈを誘電体あるいは反対向きの交番電界を掛けたポッケルス効果素子を含む光路Ｈに通して分岐光ｇ、ｈの間に周期的な位相差を与え合波して試験光Ｓとする干渉部と、試験光Ｓを外部の試料にあてるための筐体に設けられた窓と、試料からの反射光を受光する受光素子と、受光素子によって得られた時間的光強度変化を、交番電界の変化に同期してフーリエ変換する演算部と、フーリエ変換によって得られた波数分布Ｒ（ν）を記憶表示する記憶表示部を含む。 （もっと読む）

各々が入力放射から第１の波面及び第２の波面を導出し、かつ、第１及び第２の波面を合成して第１及び第２の波面の経路間の光路長の差に関する情報を備える出力放射を供給するように構成された複数の干渉計を含み、各々が第１の波面の経路内に位置決めされた反射素子を備え、干渉計の少なくとも１つの反射素子が、第１の物体上に取り付けられるシステムを開示する。本システムは、また、複数のファイバ導波路及び電子制御装置を含む。各ファイバ導波路は、入力放射を対応する干渉計に送出するか、又は、出力放射を対応する干渉計から対応する検出器に送出する。電子制御装置は、干渉計の少なくとも１つからの情報に基づいて、第２の物体に関する第１の物体の絶対変位をモニタする。
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【課題】
位相ノイズを低減した高精度の位相検出、及び参照光を通せない非常に狭帯域の光ＢＰＦ等の位相検出を可能にした光干渉計型位相検出装置を提供する。
【解決手段】
測定干渉信号を出力する受光器８と、第１の参照干渉信号を出力する受光器９と、第２の参照干渉信号を出力する受光器１８と、第２の参照干渉信号に対する測定干渉信号の位相（測定位相）を検出する位相検出手段１１と、第２の参照干渉信号に対する第１の参照干渉信号の位相（参照位相）を検出する位相検出手段１２と、被測定物を通った後の測定光と参照光とに基づいて被測定物の位相特性を求める第１のモード又は被測定物を通った後の測定光のみに基づいて被測定物の位相特性を求める第２のモードを指定する測定モード指定信号を受けて、第１のモードのときは測定位相から参照位相を減算して位相特性を求め、第２のモードのときは測定位相から位相特性を求める信号処理手段１３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 測定後の原点を高精度に設定することができ、被測定物の変位情報（絶対変位情報）を高精度に測定することができる干渉測定装置を得ること。
【解決手段】 高可干渉性の第１の光束を放射する光源手段１と、
該第１の光束と中心波長が異なる低可干渉性の第２の光束を放射する光源手段２と、
該第１の光束光と該第２の光束を合波し、合波光とする合波手段と、
合波光を分割する光分割手段と、
分割した一方の合波光を測定反射面に入射させ、
他方の合波光を参照面に入射させ、双方の面からの反射光を合波して、各々干渉させる干渉部と、
該干渉部において、該第１の光束光同士により形成される該測定反射面の距離情報に関する第１の干渉信号と、
該第２の光束同士により形成される第２の干渉信号を発生させ、これらの干渉信号を用いて、該測定反射面に関する測定原点位置を決定する演算手段とを有していること。 （もっと読む）

【課題】 測定後の原点を高精度に設定することができ、被測定物の変位情報（絶対変位情報）を高精度に測定することができる干渉測定装置を得ること。
【解決手段】 高可干渉性の第１の光束を放射する第１の光源手段と、
低可干渉性の第２の光束を放射する第２の光源手段と、
該第１の光束と該第２の光束を合波し、合波光とする合波手段と、
該合波光を２つの合波光に分割する光分割手段と、
該光分割手段で分割した一方の分割光を被測定対象物の測定反射面に入射させ、
他方の合波光を参照面に入射させ、
該測定反射面からの反射光と該参照面からの反射光を合波して、該第１の光束同士及び第２の光束同士を各々干渉させる干渉部と、
該干渉部において該第１の光束同士により形成される干渉信号と、該第２の光束同士により形成される干渉信号を検出する受光手段とを有し、
該受光手段で得られる干渉信号から、測定原点位置を決定する演算手段とを有すること。 （もっと読む）