【課題】構造を過度に複雑化することなく、干渉計部の微小な移動を可能とする干渉対物レンズの技術を提供することを課題とする。
【解決手段】干渉対物レンズ１０は、複数のレンズを内部に収納し、光学装置本体に取付けられる固定筐体１１と、干渉計部１３の少なくとも一部を保持し、固定筐体１１に対して摺動する摺動枠１５と、固定筐体１１に螺合する第１のピッチの雌ねじ１４ａと、摺動枠１５に螺合する第１のピッチと異なる第２のピッチの雌ねじ１４ｂと、を有する調整環１４と、を含んでいる。固定筐体１１と調整環１４と摺動枠１５が差動ねじ機構として機能することにより、干渉計部１３を光軸ＡＸの方向に微小に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】被検物に対する被検面の形状測定データの座標を高精度に求めること。
【解決手段】マーク形成工程（Ｓ１）と、形状測定工程（Ｓ２）と、マーク検出工程（Ｓ３）と、座標算出工程（Ｓ４）とからなる干渉計測方法であり、Ｓ１のマーク形成工程では、被検物の被検面に基準マークを形成する。マーク検出工程では、形状測定工程で得られた形状測定データからエリアセンサの座標系を基準とする基準マークの位置を検出する。座標算出工程では、マーク形成工程にて形成された被検物の座標系を基準とする基準マークの位置情報と、マーク検出工程にて検出されたエリアセンサの座標系を基準とする基準マークの位置情報との対応関係を求める。この対応関係に基づき、形状測定工程により得られた形状測定データを被検物の座標系に変換する演算を行う。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、光源部からの光を干渉計本体部に導入するファイバを光源部に対して容易に着脱することができるようにする。
【解決手段】光源部５２、干渉計本体部、およびファイバ１２を有し、光源部５２からの平行光３１ａをファイバ１２の入射端に入射してファイバ１２の出射端から干渉計本体部の内部に導入する干渉計であって、ファイバ１２の入射端側を保持するとともに、光源部５２に対して着脱可能に設けられたファイバ保持部材２５と、ファイバ保持部材２５の内部に、ファイバ１２の入射端に焦点位置を合わせて配置された集光レンズ２６と、を備え、光源部５２は、平行光３１ａを出射するレーザ光源２０と、ファイバ保持部材２５を着脱可能に保持し、装着時に平行光３１ａが集光レンズ２６の光軸に沿って入射するようにファイバ保持部材２５を位置決めする固定部材２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】サイクリックエラーの補正データを得るために、目標とする振動数及び振幅でレーザー干渉測長計を振動させることが可能であり、かつ静止時にはレーザー干渉測長計の位置を安定に保持できる光学部品保持装置を提供する。
【解決手段】光学部品保持装置１は、ベース２と、可動部３と、ヨーク１１、１２及び永久磁石１０からなる磁気回路と、磁気回路を切り替えるロータリーアクチュエータ１３と、を備える。レーザー干渉測長計１００を保持する可動部３は、板ばね４で支持されており、磁気回路の吸引力によって可動部３を吸引すると、板ばね４を変形させながら可動部３が変位し、球座５がベース上のストッパ６に突き当たる。ストッパ６の接触剛性で静止時の位置を安定に保持し、吸引力を解除すると、板ばね４の復元力で可動部３は振動し、サイクリックエラーの補正データを取得できる。 （もっと読む）

本発明は、制御可能なファブリ・ペロー干渉計に関し、この干渉計は微小機械（ＭＥＭＳ）技術によって製造される。従来技術の干渉計の製造は、犠牲層（１２３）のエッチングの間のミラーの劣化のリスクを含む。本発明による解決法に従えば、ミラーの少なくとも１つの層（１０３、１０５、１１４、１１６）は、ケイ素リッチな窒化ケイ素から成る。この発明的なファブリ・ペロー干渉計においては、ミラー層における酸化ケイ素の使用を回避または減少させることが可能であり、それによりミラーの劣化のリスクが減少する。また、高い粗さのミラー表面を使用することも可能であり、それによりミラーが互いに貼り付いてしまうというリスクが減少する。 （もっと読む）

【課題】入射面のゴミの影響を受け難く、基準球の表面の傷に対してロバストであり、基準球の局所的な真球誤差の影響を受け難くする。
【解決手段】固定位置に配設された透明な基準球６１４と、移動体に配設された再帰逆反射体（６２０）と、基準球の中心を中心として回動するように設計されたキャリッジ６３０と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体と基準球の間でレーザビーム（６４２）を往復させる光学系を含み、再帰逆反射体と基準球の間の距離を干渉測長する測長手段（６４０）と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体の入射光と反射光の光軸のずれ量に応じた信号を出力する追尾用位置検出手段６６０と、光軸のずれ量がゼロとなるようにキャリッジの回動を制御する制御部６７０とを備えた追尾式レーザ干渉測長計において、基準球に入射されるレーザビームが、基準球の中心Ｏに焦点を結び、入射側と反対の内側球面で反射されるようにする。 （もっと読む）

【課題】微調整機構なしで、組立・調整を簡便にし、干渉計の作業に注力することができる参照鏡筒ユニットを提供する。
【解決手段】第１鏡筒と第２鏡筒がはめ込み式に組み立てられている。参照光路レンズ、参照ミラー、補償素子がすべて第１鏡筒に固定されて一体となっている。参照ミラーを参照鏡筒ユニットの光軸に対して数度傾斜させて配置する。第１鏡筒が、ガイドを有し、そのガイドが、第２鏡筒に形成された溝に沿って移動して、第１鏡筒と第２鏡筒の相対位置が調整可能になっている。 （もっと読む）

【課題】参照レンズユニットの取付構造および方法において、磨耗による劣化を抑制することができるとともに参照レンズユニットの交換の作業性を向上することができるようにする。
【解決手段】参照レンズユニットの取付構造であって、レンズ枠は、レンズ光軸Ｐに直交する位置合わせ面と、端部の外周側に丸アリ部２Ａとを備え、参照レンズユニット取付部４は、測定基準軸Ｏに直交する位置決め面５ｃと、傾斜面５ｄ、円錐傾斜面５ｅを有し丸アリ部２Ａが係止可能に設けられた基準側アリ溝部５Ａ、位置決め突起５Ｂと、測定基準軸Ｏを挟んで基準側アリ溝部５Ａ、位置決め突起５Ｂと反対側に、進退可能に設けられた押圧部材９とを備え、丸アリ部２Ａを、基準側アリ溝部５Ａ、位置決め突起５Ｂおよび押圧部材９の間に挟んだ状態で、押圧部材９を進退させて参照レンズユニットを着脱させる構造とする。 （もっと読む）

【課題】傾動台を滑らかに動かすことで、傾動精度を高めるようにした。
【解決手段】傾動装置１は、平板状の基台３に対して所定間隔をもって配置された傾動台２と、傾動台２と基台３との間に配置され、基台３の上面に対して略平行となる方向に延在するとともに、その延在方向をなす第１方向に伸縮可能な圧電素子５と、圧電素子５と基台３との間に配置され、圧電素子５の伸縮による第１方向の変位を自身の変形により基台３に対して略直交する第２方向に拡大させるとともに、この拡大による変位を傾動台２に伝える伝達部６６を有する変位拡大部材とを備えている。変位拡大部材は、圧電素子５の延在方向の一端を係止するとともに、伝達部６６によって傾動台２を下方より支持し、圧電素子５の変位に応じて伝達部６６が第２方向に変位し、傾動台２が基台３に対して相対的に傾動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成であって、広範囲なプローブ個体ばらつきに対応でき、しかも測定のための調整が容易である光断層画像測定装置を提供する。
【解決手段】複数のプローブ１０を取り替えて使用するとき、各プローブ１０毎の長さのばらつきによる測定光Ｌ１および反射光Ｌ３の光路長にばらつきが生じた場合であっても、本実施の形態によれば測定対象Ｓからの断層信号が複数生じるため、光路体ＯＰＳの光路長を一体で微調整するだけでいずれかの断層画像を迅速に且つ容易に捉えることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、基準球支持部に対する各種配線、光ファイバ等の接触による張力や摩擦力による影響を無くして、高精度な測定を可能とする。
【解決手段】測定の基準を成す基準球１０と、該基準球を支持する基準球支持部１２と、前記基準球の周囲を２軸回転運動する、第一軸回転機構２１及び第二軸回転機構２２でなる回転機構部２０と、該回転機構部に搭載されたレーザ干渉測長機３０を有し、ターゲットとなる再帰的反射体（４０）からの戻り光の情報に基づきターゲットを追尾して、基準球の中心座標を基準とし、回転機構部に載ったレーザ干渉測長機からの出射光と戻り光の光軸が平行となる再帰的反射体との距離を測定する追尾式レーザ干渉計において、装置の基部（１４）に設置される第一軸回転機構２１の内周部を中空とし、該中空に、前記基準球支持部１２との隙間を介して筒状カバー６０を設け、その外部に第二軸回転機構２２への配線を通過させる。 （もっと読む）

【課題】干渉計の取り付け微調整後、安定に取り付け固定が出来、固有振動数のばらつきを少なく出来る干渉計を実現する。
【解決手段】一方の面が干渉計本体に取り付けられる第１のステージと、この第１のステージの他方の面に一方の面が接し他方の面が取り付け面に取り付けられる第２のステージとを有するゴニオステージを具備する干渉計において、前記第１のステージの前記他方の面と前記第２のステージの前記一方の面とのいずれか一方の面の断面が凸円形状をなし他方の面の断面が凹Ｖ字形状を有する第１，第２のステージと、前記第１のステージの前記一方の面の中心と前記第２のステージの前記他方の面の中心とを固定する固定手段とを有するゴニオステージを具備したことを特徴とする干渉計である。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、構成を簡素化することができ、光軸調整後に迅速に干渉縞観察を行うことができるようにする。
【解決手段】レーザ光源２からのレーザ光Ｌ_１を参照レンズ６の参照面６ａと被検体２０の被検面２０ａとに照射し、参照面反射光Ｌ_４と被検面反射光Ｌ_３とを重畳して干渉させて干渉光束を形成し、この干渉光束の干渉縞の像を観察する干渉計１であって、干渉光束の入射方向側の表面が反射面９ｂとされ、その中心部に干渉光束を透過させる開口９ａが形成された絞り板９と、干渉光束の光路上で、絞り板９の反射面９ｂと対向して配置されたハーフミラー面８ａと、絞り板９の開口９ａを透過した光を集光する撮像レンズ１０と、撮像素子１１とを備え、撮像レンズ１０は、ハーフミラー面８ａを介して、反射面９ｂと撮像面１１ａとを共役の関係にするように設けられた構成とする。 （もっと読む）

【課題】微小機械-電気構造から構成された振動型発電装置の開発や保守管理に用いるのに適した振動変位計測装置を提供する。
【解決手段】先端にレンズなどの集光機能が付加され、振動緩衝のため粘弾性材料が使用されている、最大群遅延差が1ナノ秒／メートル以下のマルチモードファイバーを用いた光ファイバーケーブルによるプローブ部１と、連続発振するレーザー光源２−１による光源部２と、フォトダイオードによる光電変換部３と、光干渉ビート信号を配送する光サーキュレータ１０と、発電電圧又は発電電流値、及び振動変位情報を含む干渉ビート信号をディジタル信号に変換する信号収集部４と、電子計算機による解析部５と、記憶部６とを構成要素として有し、振動の瞬時変位量検出に光ホモダイン干渉計の原理を用いている。 （もっと読む）

【課題】基準レンズを必要とせずコンパクトであって振動等の外乱の影響を受けにくく非球面レンズ（自由形状レンズ）の測定を低コストで実現できる干渉縞生成方法および干渉計を提供する。
【解決手段】光源２から出た光Ｓ０を複屈折光学素子７で出射角度が微小に異なる２つの光束Ｓ１，Ｓ２に分割して第一，第二の検査光として被検体１３の被検面１３ａに垂直に照射し、その反射光を照射時の経路に沿って逆行する向きで複屈折光学素子７に透過させることで再び重ね合わせ、重ね合わせた光を受光面１２に投影することで干渉縞を生成する。第一，第二の検査光と其の反射光の往復経路が光源２から受光面１２に至る区間で完全に共通となり振動等に対しては相対運動が行われるので測定精度が向上し、温度差や空気の揺らぎ等による光路の微妙な変化、あるいは、干渉計の設置環境下で生じる振動や光学部品の経年変化等の影響を受けにくくなり、干渉縞の生成と維持が容易となって特殊な防振対策も不要となり簡単なもので済むようになる。 （もっと読む）

【課題】光学素子である補正板の厚みが薄くても変形せず歪みを生じないように保持した光学素子ユニットを得、該光学素子ユニットを用いることで、被検レンズを高い測定精度で測定できる干渉計を得る。
【解決手段】光学素子と光学素子を保持する保持部材を有する光学素子ユニットであって、光学素子は、厚さが０．０５ｍｍ〜０．１５ｍｍの合成樹脂製又はガラス製の平板状のものであり、光学素子が球体を介して保持部材に接着されている光学素子ユニットとする。 （もっと読む）

【課題】レンズの取り外し操作や経時による微小な変化を防止でき、測定精度の向上を図ることのできるチルトステージを提供する。
【解決手段】ベースとなる基台と、基台に対し支点部を介して組み付けられた傾斜台と、基台と傾斜台を近接させる方向に付勢する付勢部材と、基台に対する傾斜台の角度を調整する調整ネジと、を有するチルトステージにおいて、基台と傾斜台の調整後の位置関係を固定する固定部を設けたチルトステージとする。 （もっと読む）

【課題】製造された非球面レンズに生じている面ずれを、面倒れとは分離して高精度に測定することが可能な非球面レンズの面ずれ測定方法および装置を得る。
【解決手段】被検レンズ１の面倒れと面倒れ分コマ収差との関係、および被検レンズ１の面ずれと面ずれ分コマ収差との関係を、コンピュータシミュレーションにより求める。また、張出部３の透過波面測定により被検レンズ１の面倒れを求め、レンズ部２の透過波面測定により被検レンズ１のコマ収差を求める。このコマ収差から、面倒れ分コマ収差を差し引くことにより、面ずれに起因する面ずれ分コマ収差を算定し、この面ずれ分コマ収差に基づき、被検レンズ１の面ずれを算定する。 （もっと読む）

【課題】干渉測定システムが改良されたリソグラフィ装置およびデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】干渉測定システム１６の少なくとも１つの反射表面２６は、使用中、該少なくとも１つの反射表面に入射する干渉測定システムの干渉計放射線のビーム光路５２が前記少なくとも１つの反射表面の法線に対して０．１ミリラジアンから１０ミリラジアンまでの範囲のオフセット角を有するように配列されており、それによって干渉測定システム内で生成されるスプリアス放射線５４の、干渉測定システムに対する影響が抑制される。したがって干渉測定システムを使用した正確な位置測定の精度および再現性が改善される。 （もっと読む）

【課題】光学的な測定装置のための光学的なファイバゾンデであって、光学的なファイバ（２０）が内部を通されている機械的な受容体（１０）と該機械的な受容体（１０）から突出しかつ測定光線を測定対象に導くために構成されたファイバエンドピース（２２）とを有する形式のものを改良して、できるだけ操作が簡単で、高い測定精度で、直径の小さい、深さの大きい中空空間の探査を可能にする光学的なファイバゾンデを提供すること。
【解決手段】光学的なファイバ（２０）が、ファイバエンドピース（２２）の領域及び／又は機械的な受容体（１０）の領域にて、少なくとも領域的に、光学的なファイバ（２０）を機械的に安定化するコーティング（３０）を備えていること。 （もっと読む）