【課題】物体の反射特性によらずに高精度に形状計測ができ、また計測精度の調整が可能な光学的走査による高速な形状計測装置を提供する。
【解決手段】形状計測装置１００は、スリット光１により物体を走査する光学走査手段１０と、物体からの、スリット光１の反射光による計測画像を取得する撮像手段２０と、取得した計測画像を基に、物体の反射位置を算出する反射位置検出手段３０と、を備え、反射位置検出手段３０は、取得した計測画像を構成する複数の画素に分布する計測輝度パターンから、物体の反射位置候補座標を算出し、計測輝度パターンと、反射位置候補座標を含む比較座標範囲内において所定の分解能の間隔で用意された複数の参照輝度パターンとを比較して、計測輝度パターンとそれぞれの参照輝度パターンとのパターン類似度を算出し、パターン類似度が最も大きな参照輝度パターンが特定する座標情報から、物体の反射位置座標を求める。 （もっと読む）

【課題】３次元形状測定装置および測定方法を提供すること。
【解決手段】３次元形状測定方法は、測定対象物の第１測定領域で第１画像を撮影する段階と、第１中央処理ユニットを通じて前記第１画像を演算処理し、前記第１測定領域での３次元形状を算出する段階と、前記第１中央処理ユニットが前記第１画像を演算処理する間に、前記測定対象物の第２測定領域で第２画像を撮影する段階と、第２中央処理ユニットを通じて前記第２画像を演算処理し、前記第２測定領域での３次元形状を算出する段階と、を含む。これにより、３次元形状の測定時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】トロリ線以外の構造物の影響を無くしトロリ線の偏位量を正確に測定する。
【解決手段】トロリ線測定装置は、トロリ線に向けて光を投光し、その反射光を受光することによってトロリ線の外形を測定する。このトロリ線の外形を測定する際に、剛体電車線区間では剛体部やイヤー部からのノイズが多く正確に測定することが困難である。そこで、このトロリ線測定装置は、剛体電車線区間でトロリ線及びその近傍の電車線設備（剛体部及びイヤー部）の画像を撮影し、撮影された画像に基づいて電車線設備の偏位を測定し、その測定結果をトロリ線の外形の測定に反映させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 シリンドリカルレンズ５９が、ガラス管Ｇに出射されるレーザ光をＹ軸線方向に集光させて、ガラス管ＧにＸ軸線方向に延びたライン状のレーザ光を照射する。Ｙ軸方向サーボ回路１１９は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸方向エラー信号生成回路１１８によって検出されたＹ軸方向エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に照射されるようにガルバノミラー５６を回転駆動するモータ５７をサーボ制御する。また、Ｙ軸周り角度サーボ回路１２２は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸周り角度エラー信号生成回路１２１によって検出されたＹ軸周り角度エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に垂直に照射されるようにガルバノミラー５４を回転駆動するモータ５５をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】高精度且つ高速なコントラスト式のオートフォーカスを実現する。
【解決手段】画像測定装置は、ワークを撮像してその画像情報を転送するカメラと、カメラの合焦位置を制御してこの合焦位置をＺ軸方向の位置情報として出力する位置制御部と、画像情報及び位置情報に基づいてワークの画像測定を行う画像測定機とを備える。位置制御部は、カメラによるワークの撮像期間における所定のタイミングで、カメラ及び位置制御部のいずれか一方から他方に出力されるトリガ信号に基づき位置情報を取得保持し、画像測定機は、カメラから転送された画像情報及び位置制御部から出力された位置情報に基づき画像情報のＺ軸方向の位置情報を算出し、算出された位置情報を用いてオートフォーカス制御を行う。 （もっと読む）

【課題】高精度なオートフォーカス処理が可能な画像測定装置を安価に提供する。
【解決手段】画像測定装置は、ワークを撮像するローリングシャッター式の撮像装置と、撮像装置の合焦位置を制御して合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御システムと、撮像装置から取得した画像情報から画像情報のコントラスト情報を算出する演算処理装置とを備え、演算処理装置は、取得した画像を複数の領域に分割し、各領域の、画像内における位置とコントラスト情報とに基づいて画像情報のコントラスト情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】 高価な位置検出器を取り付けることなく、シート材端部の観察画像が常に最適状態にある観察装置及び方法、並びに、観察画像を用いた評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる観察評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 連続搬送されるシート材端部を第１及び第２の観察手段を用いて観察評価する装置及び方法において、
第１の観察手段は、シート材の幅方向端部を視野に含み、厚み方向にシート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられ、
第２の観察手段は、シート材の厚み方向端部を視野に含み、幅方向にシート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
第１及び第２の観察手段での観察情報に基づき、シート材の幅及び厚み方向端部の位置を検出し、第１及び第２の観察手段位置変更機構を制御することを特徴とするシート材端部の観察評価装置及び方法である。 （もっと読む）

【課題】検査対象と撮像装置との相対的な位置関係である視点位置が基準視点位置と同じになるように、撮像装置の姿勢を制御する。
【解決手段】特徴線抽出部１０５は、撮像装置が所定の姿勢で検査対象を撮像した画像データから検査対象の特徴線を抽出する。次に、移動量算出部１０９は、当該特徴線の位置と基準特徴線の位置とに基づいて、現在の視点位置から基準視点位置までの移動量を算出する。そして、反映部１１０は、当該移動量を姿勢制御情報に反映させる。 （もっと読む）

【課題】 真空チャンバー内に配置される計測装置において計測光学系等を好適に使用することを目的とする。
【解決手段】 真空チャンバー内に配置される計測装置であって、
真空チャンバーの内部に配置され、基板の位置または高さを計測する計測光学系と、
計測光学系の少なくとも一部を密封して覆うカバーと、カバー内に気体を供給および排出するための配管と、
配管を介してカバー内に供給または排出される気体の量を制御することによってカバー内の圧力を制御する圧力制御手段と、
を備え、カバーには透明板が設けられ、
圧力制御手段は、カバー内の圧力変動を抑え、かつ、カバー内外に所定の圧力差が生じるように気体の量を制御し、
計測光学系は、圧力差によって透明板が変形することによって生じる収差を補正するように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】少ない数の発光センサーを使用しながらも、同時に一つ以上の対象物体に対して実際座標を生成することが可能な座標測定装置および方法を提供する。
【解決手段】多数の受光部１３０と少数の発光部１２０を用いて、まず、各発光部１２０に対する各受光部１３０の経路方程式を決定し、決定された経路方程式を用いて、一つ以上のターゲットに対する実際座標を求めるものであって、少ない数の発光センサーを使用するため、設置費用およびメンテナンス費用を減らすことができるうえ、製品の寿命を延長させる効果がある。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークの位置を計測する時間の短さの点で有利な位置計測装置の提供。
【解決手段】位置計測装置の制御部は、撮像系のテレセントリシティに関する情報を予め記憶し、基板に形成された複数のアライメントマークのうち少なくとも１つに関して、ステージの位置制御により撮像系に対するフォーカス調整を行って撮像系に撮像を行わせ、撮像によるアライメントマークの信号に基づいてＸ−Ｙ平面に平行な面における位置を求め、フォーカス調整のなされた少なくとも１つのアライメントマークに関して、基板表面の第１の位置を検出系に検出させ、他のアライメントマークに関して、フォーカス調整を行わずに、撮像系に撮像を行わせ、かつ基板表面の第２の位置を検出系に検出させ、撮像によるアライメントマークの信号と第１の位置と第２の位置とテレセントリシティに関する情報とに基づいて、Ｘ−Ｙ平面に平行な面における位置を求める。 （もっと読む）

【課題】ガラス製の部材やプラスチック製の部材の品質安定化のためには、屈折率の分布を高精度に測定する必要があるが、従来の測定方法では、破壊検査であったり、有毒物を使用したり、平面でしか測れないといった課題がある。
【解決手段】光センサで得られた干渉信号に基づいて、被検物なしの基準反射面と、被検物の表面と、被検物の裏面と、被検物を透過後の基準反射面および被検物の手前で集光し平行光で反射する基準反射面の少なくとも一方との、それぞれの距離を測定し、これらの測定距離に基づいて被検物の屈折率を算出する。 （もっと読む）

【課題】実際に必要とされる測定時間が設定された出力周期よりも長くなる状況を回避することが可能な変位センサを提供する。
【解決手段】設定された設定項目（フィードバック回数及び分割条件）に基づいて対象物Ｗの測定を行い、二次元ＣＣＤ１４からの受光信号に基づいて対象物Ｗの測定値信号を出力する制御部１６と、測定手段から測定値信号が出力される出力周期を設定するための出力周期設定部２２とを備える。そして、制御部１６は、設定項目に基づいて制御部１６にて対象物Ｗの測定を行う際の測定時間を計測する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料室の熱変形に依らず、高精度にステージ位置を検出することが可能な試料ステージを備えた荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料ステージの位置を検出するためのレーザ干渉計を備えた荷電粒子線装置において、前記レーザ干渉計は、レーザを放出する光源と、前記試料ステージに設置される計測光用ミラーと、前記光源が設置される前記荷電粒子線装置の試料室壁面と対向する壁面に設置される参照光用ミラーと、前記光源から放出されるレーザを、計測光と参照光とに分割するビームスプリッタとを備え、当該ビームスプリッタと前記計測光用ミラーとの間に、１／４λ波長板を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 照明変動が存在する環境においても対象物認識をより安定的に行うための技術を提供する。
【解決手段】 対象物の位置姿勢を認識する認識装置は、所定の照明条件で撮像装置により撮像された対象物の撮像画像を入力し、撮像画像を解析して画像中の複数の特徴部分を決定し、当該複数の特徴部分における画像の特性をそれぞれ示す複数の特徴量を抽出し、対象物上の複数の特徴部分のそれぞれにおける物理的性質を示す性質情報を入力し、撮像画像の撮像時における照明条件を示す照明情報を入力し、性質情報が示す物理的性質と、照明情報が示す照明条件とに基づいて、抽出した複数の特徴量の各々の重要度を決定し、複数の特徴量をその重要度で重み付けしたものに基づいて、対象物の位置姿勢を認識する。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーを用いて被検面の面位置を検出する際に、計測値のドリフトを小さくして、計測精度を向上させる。
【解決手段】被検面の面位置情報を検出するＡＦ系９０において、検出光ＤＬを被検面に斜めに投射する投射系９０ａと、その被検面で反射される検出光を受光する受光系９０ｂと、投射系９０ａ内で検出光ＤＬを反射する反射面が形成された可動部と、その可動部を支持する１対の支持部とを有する振動ミラー３８と、振動ミラー３８の支持部が固定される保持部材４８と、振動ミラー３８の可動部を振動させる駆動部４９と、受光系９０ｂで得られる検出信号をその可動部の振動に同期して処理する信号処理系２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検知位置精度が高く、自己の姿勢も検知可能な技術であって、簡易に実現可能な技術を提供することを目的とする。
【解決手段】移動フィールド２０を移動する移動体１０には、エリアセンサカメラ１２が搭載されている。この移動フィールド２０内の適当な位置に、少なくとも２つ以上の色彩変化発光体３０が固定装備されており、かつその位置関係は既知である。
色彩変化発光体３０は、各発光体毎に個別の色彩変化パターンで発光している。この色彩変化パターンで、各色彩変化発光体３０ａ、３０ｂ、が識別される。エリアセンサカメラ１２が２以上の色彩変化発光体３０をキャプチャすることによって、それらの画像中の位置を知ることができる。それらの位置関係から、移動体の位置・向きを算出することができる。色彩変化パターンで各色彩変化発光体３０ａ、３０ｂを識別するので、形状に歪みが生じたり等しても、その識別を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の露出面の撮像部に対する位置関係に影響されることなく、正確に被測定物の位置などを計測できる画像処理装置およびそれに向けられた画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】ワーク２の露出面５０が基準面Ｐ１とは平行ではない状態で生成される画像データ２００上における露出面５０の頂点６１，６２，６３の座標位置が指定される。また、ワーク２の実際の大きさに対応する、露出面の頂点６１，６２，６３の基準面Ｐ１における座標位置が指定される。すなわち、基準面Ｐ１に設定した２次元座標系において、ワーク２の露出面５０を基準面Ｐ１に重ねたときの各頂点６１，６２，６３の座標位置が実寸法で指定される。ワーク２の露出面５０に含まれる複数の特徴点について、基準面Ｐ１における座標値および画像データ２００上における座標値をそれぞれ対応付けることで、モデル画像を生成するための変換式が決定される。 （もっと読む）

【課題】三次元形状を測定する三次元測定の作業性を改善できる技術を提供する。
【解決手段】複数の識別点が設けられた対象物の三次元形状のうち第１領域に第１検出光および第２検出光を時間的に順次に投光する検出光投光手段と、検出光投光手段からの投光によって照明された第１領域の画像を撮影する画像撮影手段と、第１検出光が投光されたときの画像に基づいて第１領域の三次元形状を表現した三次元形状データを取得する形状取得手段と、第２検出光が投光されたときの前記画像に基づいて第１領域に設けられた複数の着目識別点のそれぞれの位置を表現した第１位置データを取得する位置取得手段と、前記第１位置データに基づいて、前記複数の着目識別点のそれぞれの位置を示す第１位置指示光を前記対象物に向けて投光する指示光投光手段を備える。 （もっと読む）

【課題】エンコーダシステムを用いたステージを位置決めする場合、スケール間に存在する幾何学的誤差に起因する計測誤差を低減する。
【解決手段】可動体に配置された複数のセンサと、構造体に取り付けられた複数のスケールとを有し、前記可動体の変位を検出することによって前記可動体の位置を計測する計測装置であって、前記複数のスケールは、第１方向における前記可動体の変位を検出するための２つの第１スケールと、前記第１方向とは異なる第２方向における前記可動体の変位を検出するための２つの第２スケールとを含み、２つのセンサによる検出値とが等しくなるように前記可動体を前記第１位置から前記第２位置に移動させたときに前記２つの第１スケールに対向している２つのセンサによってそれぞれ検出される変位の間の差に基づいて、前記２つの第１スケールの間に存在する幾何学的誤差に起因する計測誤差を低減する制御部とを備える。 （もっと読む）