【課題】設置環境の温度変化による架台内部の温度影響を可及的に小さくすることである。
【解決手段】基板を測定するための測定機器を収容する測定機器用架台であって、前記測定機器が内部に配置される枠体３と、前記枠体３に設けられ、前記測定機器の少なくとも側方を囲む内面板６１及びその内面板６１との間に気体層を形成する外面板６２からなる二重壁構造４と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）を備える。 （もっと読む）

【課題】使用水量の低減が可能であって堆積物を集砂ピットにより効率的に収集できる集砂設備及び集砂方法を提供する。
【解決手段】集砂設備２０による集砂方法は、沈砂槽１０の底部１１に配設された噴射ノズル３１，４１，５１から噴射する圧力水によって底部１１に堆積した堆積物ｇを集砂ピット１２に収集する集砂方法である。この集砂方法は、噴射ノズル３１，４１，５１と集砂ピット１２との間の堆積物ｇの厚さを計測手段１１０Ａによって計測する計測工程と、堆積物ｇの厚さに応じて噴射ノズル３１，４１，５１からの圧力水の噴射を制御して集砂ピット１２に堆積物ｇを収集する集砂工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 新規なカンチレバー供給機構及びカンチレバー取り付け方法を得る。
【解決手段】 探針を有するカンチレバー１を保持する粘着性弾性材料２０ａを有するカンチレバー供給機構２０を備える。粘着性弾性材料２０ａは、カンチレバー取り付け部２がカンチレバー１に対して物理的に接触する際の干渉を弾性変形として吸収し、両者を密着させる部材である。カンチレバー取り付け部２は、カンチレバー１を吸着固定させることで取り付ける部材であり、粘着性弾性材料２０ａに保持されたカンチレバー１と密着した後、カンチレバー１を吸着固定し、所定位置へ移動する。 （もっと読む）

【課題】 ピッチの付着を軽減するとともにセンサの磨耗延命をはかった厚み計を提供する。
【解決手段】 制御手段からの指令によりシートの片面もしくは両面をターゲットで挟んで厚さを測定する厚み計において、
前記制御手段にスキャン監視機能を設け、このスキャン監視機能の出力に基づいて前記ターゲットを間欠的にシートに接触させて測定する。 （もっと読む）

【課題】 回転部材が配設される内部空間に水分が侵入することを抑制する。
【解決手段】 圧力緩衝孔１２を介して大気開放される内部空間１４を有するケーシング１６と、内部空間１４に配設され、クランク軸の回転に伴って一体的に回転する回転部材（図示せず）と、回転部材の回転状態を検出するセンサ（図示せず）と、クランク軸又はこれと同期して回転する回転軸に連結され、その回転駆動力を回転部材へと伝達させる駆動軸１８と、を含んで構成され、センサにより検出された回転部材の回転状態からクランク角度を検出するクランク角度検出装置１０において、圧力緩衝孔１２に、鉛直下方へと延びる部位を有する通気用チューブ２２を接続する。そして、通気用チューブ２２の内部に存在する空気により、内部空間１４の圧力低下を抑制するための空気量を賄うようにする。 （もっと読む）

【課題】位置測定装置の連行部材と封隙手段との間の摩擦を低減する。
【解決手段】連行部材５の結合部分５０の滑動を可能とするために、封隙手段７、８で接触状態にある側面５０ａ、５０ｂに沿って、ａ−Ｃ：Ｈ：Ｍｅタイプの、金属を含有しているアモルファスの炭素被膜Ｓを備えており、その際、「ａ」がアモルファスを、および、「Ｍｅ」が金属、特にタングステン、モリブデン、チタン、またはタンタルを代表している。 （もっと読む）

【課題】 ワークやプローブの表面に塵埃が付着していても、容易にそれら塵埃を取り除くことができ、ワークやプローブを破損することなく、高精度な測定ができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ２４をワークＷに接触させた状態で、移動機構１２により前記プローブ２４と前記ワークＷとを相対的に走査させることによって前記ワークＷの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記ワークＷを支持するワーク支持手段５と、前記ワークＷに対して前記プローブ２４を進退可能に支持するとともに、前記走査において前記ワーク支持手段５に対して相対的に移動するプローブ支持手段２１，２２と、前記ワーク支持手段５に支持された状態のワークＷまたは前記プローブ支持手段２１，２２に支持された状態のプローブ２４の少なくともいずれか一方を洗浄する洗浄手段３７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】アイテムの未切断選択セグメントの重量又は価格を表示する装置及び方法は、位置指示部材を、支持面上に位置するアイテム上方を通過させることを含む。位置指示部材は、一つ以上のセンサを有し、そのセンサが、上記部材が基準位置からアイテム上方の選択された他の位置まで横断される際に、アイテムの連続する横断面輪郭に対応し、アイテムの選択セグメントを規定する信号を生成する。同時に、好ましくは一つ以上の微小構造電子機器（ＭＥＭＳ）加速度計装置から構成された作動検出器配置構造は、アイテムに沿って位置指示器支持部材が移動したときにその作動に対応する信号を生成する。これらの信号は、指示部材の選択された連続位置間に位置するアイテムの未切断選択セグメントの体積を決定すべく、信号処理装置で処理される。これらの累積的な体積決定のそれぞれは、数値重量に変換される、又は、特定のセグメントをアイテムから切断する前に、重量又は価格の情報が見ている顧客に同時に提供される。可視光帯は、センサ・バーからアイテムの特定のタイプの密度要素に基づく部分価格値上に投影され、それにより、部材が上記アイテムに沿って横断されたときに数値的な重量又は（重量に基づく）価格値が表示され、したがってアイテムのオペレータが数値表示に対応する選択セグメントの境界を観察者に明確に示すことが可能となる。 （もっと読む）