【課題】ステージをコンパクトに構成できると共に、所望の精度を確保でき、更にスケールの防塵を行うことができるようにする。
【解決手段】ベース部２と、テーブル３と、ベース部２とテーブル３との間に配置される案内部材１ａ、１ｂと、テーブル３に摺動板固定部材９と一体的に固定される摺動板８と、超音波モータ１０と、テーブル３にスケール固定部材６と一体的に固定されるスケール４と、センサ５とを含むステージにおいて、治具部材２１を用いて案内部材１ａ、１ｂに予圧を与えた状態で案内部材１ａ、１ｂを固定した後に治具部材２１を取り外し、治具部材２１を取り外した位置に摺動板固定部材９と一体的に固定した摺動板８をテーブル３に固定し、及び又は、治具部材２１を取り外した位置にスケール固定部材６と一体的に固定したスケール４をテーブル３に固定する、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】試料保持台や探針を交換しながら走査プローブ装置の使用を繰り返し行っても、常に良好に慣性力を相殺し、振動を抑制する。
【解決手段】探針と、走査ステージ４００とを有し、探針と走査ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、走査ステージは、試料を保持する試料保持台と、該試料保持台を移動させるための駆動素子と、駆動素子を支持する駆動素子支持体４０２とを有し、駆動素子は、第１の駆動素子と、第２の駆動素子と、第３の駆動素子と、を含み、第１の駆動素子４０３の中央部に第２の駆動素子４０４の一端が接合され、該第２の駆動素子の中央に第３の駆動素子４０５の一端が接合され、第２の駆動素子の他端には釣合い重り部材４０９が接合され、走査ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】 平行配置されたリニアガイド間の不平行性を吸収する機能を備える位置決めステージを実現する。
【解決手段】 軸方向に移動制御されるスライダを有する一対のリニアモータを、所定距離を隔てて平行に配置し、前記一対のリニアモータの夫々のスライダ間をブリッジ部材で橋渡しした位置決めステージにおいて、
前記ブリッジ部材と前記スライダの一方との結合部に介在し、前記ブリッジ部材の橋渡し方向の移動を可能とするスライド機構を備える。 （もっと読む）

【課題】 高分解能ステージと、低分解能ステージとを交換する手間を無くし、小型、軽量な位置決めステージと、この位置決めステージに使用される積層型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 積層型圧電素子１００と、該積層型圧電素子に通電することによって前記積層型圧電素子に変位を発生させる電気回路１３０とを備えた積層型圧電アクチュエータ２００において、前記積層型圧電素子１００が電気的に絶縁された複数の小積層型圧電素子１１０，１２０に分割され、電気回路１３０が切替手段１４０を有し、該切替手段１４０により、前記複数個の小積層型圧電素子の全てに通電する場合と、一部に通電する場合とに切替可能とした。 （もっと読む）

【課題】製作が容易で高精度な回転位置決めテーブル装置を提供すること。
【解決手段】回転テーブル１４と、回転テーブル１４を回転自在に支持するエアベアリング１６と磁気吸引部１８、２０、２２と、回転テーブル１４端部に回転力を付与するローラフォロア３２と、ローラフォロア３２を回転駆動するリニアアクチュエータ３０とを備え、エアベアリング１６により回転テーブル１４の一部の領域を浮上させ、回転テーブル１４の他の領域を磁気吸引部１８、２０、２２で垂直方向に吸引し、回転テーブル１４の片持ちによるアンバランス成分と搭載物の重力方向の負荷のバランスをとる。 （もっと読む）

【課題】 スライダ部が、搭載されたミラーのサイズを超えてプラテン上を移動する場合でも、複数のレーザ干渉計を切り換える必要がないＸＹステージを実現する。
【解決手段】 ミラーを搭載したスライダ部をプラテン上で２次元的に位置決め制御するＸＹステージにおいて、
前記プラテンの一辺に沿って移動するマザーステージと、
前記プラテンの所定位置を基準点とした前記マザーステージの位置である第１位置を計測する計測手段と、
このマザーステージに搭載され、前記スライダ部のミラーに照射したレーザ光の反射光を受光し、前記マザーステージを基準点とした前記スライダ部の位置である第２位置を計測するレーザ干渉計と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】精度向上と薄型化の両面を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。
【解決手段】傾斜ステージＡは、略球面状乃至略円錐状をした受座１ａを有するベース１と、裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座１ａに当接する略球面状乃至略円錐状の凸部２ａを有するプレート２と、ベース１の受座１ａに凸部２ａが当接するようにベース１とプレート２が近づくように付勢する付勢手段３と、ベース１に支持され、プレート２の裏面の第１の部位２１に当接して凸部２ａを支点としてプレート２を揺動させる第１の揺動手段４と、ベース１に支持され、プレート２の裏面の第２の部位２２に当接して凸部２ａを支点としてプレート２を揺動させる第２の揺動手段５と、平面視で第１の部位２１、プレート２の揺動中心Ｏ、第２の部位２２がなす角度が９０度である。 （もっと読む）

【課題】精度向上を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。
【解決手段】傾斜ステージＡは、ベース１と、このベース１に対向して設けられたプレート２と、このプレート２とベース１が近づくように付勢する付勢手段３、ベース１のプレート２に面する側に設けられた円弧状に形成された溝４と、プレート２の溝４に対向する部位に設けられ、溝４に当接して移動する、離間して設けられた少なくとも２個の球面状の球面体５と、プレート２を円弧状に形成された溝４に沿って移動させる移動手段６とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】従来、人間によって指定又は調整を行なわなければならず問題であった基準マークの登録、ＸＹθステージと同上システムとの間の座標軸の自由度調整、カメラの配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側かの判定・調整および基準マークのカメラ視野内への捕捉を完全に自動化したＸＹθステージ位置アライメントシステムを提供する。
【解決手段】カメラの視野から幾何学的に特徴的なパターンを特別な画像処理アルゴリズムにより基準マークとして抽出・登録する手段、ＸＹθステージの所定の動作に対するカメラの撮像画像上での動きの計測によるＸＹθステージと位置アライメントシステムの座標軸の自由度自動調整手段、カメラのＸＹθステージに対する配置位置の自動判定・自由度自動調整手段、更には所定の視野移動方法による基準マークを含む探索パターンのカメラ視野内への自動捕捉手段の内の任意の組合せを適宜具備させる。 （もっと読む）

【課題】 簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】 移動部材６は、スライダ４，４とガイドレール５，５を介して支持板３に懸架されているので、高精度な位置決めを行うに当たって、定盤１の上面全体を精度良く加工する必要はなく、定盤１を軽量化することができる。これは、位置決め装置を設置するに当たり、定盤１を分解して現地へ搬送し、そこで組み立てる際に有効である。また支持脚２，２の部品精度や変形も位置決めに影響を与えることがない。 （もっと読む）

【課題】
簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
移動部材３は、定盤１上に配置されたガイドレール２、２に沿って移動可能なスライダ３ｄ、３ｄを取り付けた第１の脚部３ａと、定盤１に対して非接触状態で支持された第２の脚部３ｂとにより支持されているので、移動に際しての抵抗が少なく、リニアモータ５に大きな駆動力を必要としないためコンパクトな構成とできる。又、スライダ３ｄ、３ｄは、静圧軸受に比べ一般的に剛性や負荷容量が高い代わりに駆動抵抗が大きいという特徴があるので、スライダ３ｄ、３ｄ側をリニアモータ５によって駆動することにより、駆動時における移動部材３の姿勢変化を抑えることができ、ロストモーションを抑えることで高精度な位置決めを実現できる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で位置決め精度を向上させる。
【解決手段】 圧電アクチュエータの変位に応じて移動する位置決めステージ１０と、位置決めステージ１０の位置変化を静電容量の変化として検出する静電容量型位置検出センサ１１と、静電容量型位置検出センサから出力された検出値を、位置決めステージの現在位置を示す数値に変換するセンサアンプ１２と、ホスト１４から入力された位置指令値と位置決めステージの実際の移動位置との差分値に対し、大きさが概略同等で符号が逆である補正値を、位置決めステージの現在位置を示す数値に加算して修正値を出力する補正部１３ｄと、位置指令値および修正値に基づいて位置決めステージの変位量を決定し、圧電アクチュエータを駆動させることにより位置決めステージを移動させる位置決めコントローラ１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ヨーイング、ピッチング及びローリング、コギング、速度制御におけるループゲイン、デッドタイム発生回路に起因する位置決め精度向上の障害要因に対応した補正手段を備えた、複数のスライダ部を有するＸＹステージを実現する。
【解決手段】 格子プラテン上のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
独立に位置制御される複数のスライダ部を有し、これらスライダ部の夫々は、スライダ部をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する位置制御手段と、スライダ部のＺ軸まわりのヨーイングを補正するヨーイング補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 位置決め時間の短縮と同時に高精度な位置決めを可能にする粗動微動位置決め装置を提案する。
【解決手段】 ナットを介してテーブルに接続された送りねじと、入力軸と出力軸が同軸上に配置された減速機であって前記送りねじの一端に出力軸が接続された減速機と、該減速機の入力軸に接続された微動送り用のモータと、出力軸が貫通した中空であって該中空部に前記減速機のケーシング部を同軸上に嵌着保持した粗動送り用の中空モータとを備えたことを特徴とする。なお、前記減速機は波動歯車減速機とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 フィードバック制御可能な位置決め台の提供。
【解決手段】 中空状のベース内に複数組の連結機構で位置決め台が架設され、該連結機構は板バネで製造されたヒンジ式の機構とされ、ベースと位置決め台間の各軸方向位置にアクチュエータが取り付けられ、アクチュエータの作動時に、位置決め台がベース内で各軸方向の微幅の移動可能で、並びに連結機構を押圧して変形させ、別に連結機構にひずみゲージが取り付けられて連結機構の弾性変形量を検出し、ひずみゲージが電子信号をコントローラにフィードバックし、コントローラの演算により制御信号を修正してアクチュエータを正確に作動させ、位置決め台を正確な位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】走行体の変位量を正確に検出できる走行装置を提供する。
【解決手段】略平行に配設されたガイドレール３１０、３２０と、ガイドレール３１０、３２０に摺動可能に設けられたスライダ部７１１、７１２および２つのスライダ部７１１、７１２を連結する連結部７２０を有する走行体７００と、推進力を付与する推進力付与手段５００と、ガイドレール３１０、３２０間で配設されたスケール６１０およびスケール６１０に対する変位量を検出する検出ヘッド６２０を有する変位検出手段６００と、を備える。連結部７２０は、スライダ部７１１、７１２を架橋する主ビーム７２１と、両端が主ビーム７２１においてスライダ部７１１、７１２に近接する位置に固定された補助ビーム７２２と、を備える。推進力付与手段５００は主ビーム７２１に推進力を付与し、検出ヘッド６２０は補助ビーム７２２に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 スライダ部のピッチング及びローリングを抑制する機能を具備したＸＹステージを実現する。
【解決手段】 Ｘ軸モータ及びＹ軸モータによりスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記スライダ部のＸ方向ピッチング角を検出する第１のＺ軸センサと、
前記スライダ部のＹ方向ローリング角を検出する第２のＺ軸センサと、
前記第１及び第２のＺ軸センサの測定値に基づき、前記Ｘ軸モータ又はＹ軸モータの少なくともいずれかの励磁電流にこれと位相が直交する電流を重畳させる直交電流生成手段と、
を備える。 （もっと読む）

試料台（６）を基体部（４）に対して動かすための位置決め部材（２）が記載されている。位置決め部材は、駆動軸に沿って膨張及び収縮するように配置された圧電素子によって駆動されており、圧電素子は、基体部に取り付けられた入力端と、圧電素子の駆動軸から離間するように反対方向に延在する第１の出力レバー（１４）及び第２の出力レバー（１６）とを備えている。それぞれの出力レバーは、圧電素子が膨張するときに圧電素子によって作用されるように配置された内側アーム部と、試料台が台支持部（２６，２８）を介して取り付けられた出力アーム部とを備えている。出力レバーは、圧電素子が出力レバーの内側アーム部に作用し、外側アーム部を、駆動軸を含む平面内で動かすように取り付けられている。出力レバーのこの動きは、台支持部を介して試料台に伝導し、試料台を基体部に対して駆動軸に平行な方向に沿って動かす。
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