【課題】雌ネジ筒と雄ネジ棒とが係合する摺動機構にこじれや応力集中が発生することなく、摺動部品を固定部品に対して高精度に摺動させ、ハンドルの使い勝手の良い送りネジ式アリ溝ステージを提供する。
【解決手段】送りネジ式アリ溝ステージ１は、連結されたハンドル４の心棒１７及び雄ネジ棒７は、固定部品３の端部に固定されたブロック５を貫通することにより回転自在に支持される第１支持手段１８と、雌ネジ筒８に取り付けられた凸部１１が、摺動部品２の雌ネジ筒８側において凸部１１に対向する位置に設けられた凹部１２に対して凸部１１と凹部１２との間隙に緩衝材１６が充填されて着脱自在の状態で収納される第２支持手段１９と、により支持されて動作する。 （もっと読む）

【課題】比較的軽量で、加速度を受けても変形が少ない搬送部材を提供する。
【解決手段】対象物を搬送するための搬送用部材であって、前記対象物が載置される一方主面１２Ａを備える、セラミックスを主成分とする板状部１２と、該板状部１２の他方主面に接合された、前記板状部１２と略同一のヤング率を有する肋材部１４と、前記板状部１２の前記他方主面１２Ｂと前記肋材部１４とを接合する接合層とを有しており、該接合層の厚さをＴ、前記接合層のヤング率をＹ１、前記板状部１２および前記肋材部１４のヤング率をＹ２としたとき、Ｙ１≦Ｙ２であり、下記式（１）で表すαが、０＜α≦１．１６を満たすことを特徴とする搬送用部材を提供する。
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【課題】
固定部品に対する摺動部品のストッパ機構及び摺動の程度の調整機構を容易にして精度よく調整でき、目盛の読取りを容易にする高機能な手動ステージを提供すること。
【解決手段】
樹脂からなる固定部品５の両側の壁部に逆三角形の突出部３１と溝３２とを設け、摺動固定ネジ１０を、摺動固定ネジ用孔１６を貫通させて突出部３１に突き当てて摺動部品４を押さえ込ませ、固定部品５に対する摺動部品４の位置を固定し、複数の摺動調節ネジを、摺動調節ネジ用孔１５を貫通させて突出部３１に突き当てて摺動部品４を押し、固定部品５と摺動部品４との摺動の程度を微調整する。 （もっと読む）

【課題】
使い勝手が良く汎用性の高い手動ステージを提供する。
【解決手段】
手動ステージ１は、摺動部品４及び固定部品５が透明な樹脂であり、着色されることも可能であり、摺動部品４に設けられるバーニア目盛１０ａ、及び固定部品５に設けられるバーニア目盛１０ｂは、摺動部品４及び固定部品５のそれぞれの樹脂部品の側面に直接印字され、摺動部品４と固定部品５との側面に印字されるバーニア目盛１０ａ，１０ｂの数字は、裏面から読み取れるように裏返しに印字され、操作者は、透明な摺動部品４及び固定部品５を通してバーニア目盛１０ａ，１０ｂの数字を読取る。 （もっと読む）

【課題】オイルによる汚染がなく、磁気ノイズを発生しない、エネルギ効率のよい、高性能なステージ位置決め装置を提供する。
【解決手段】Ｙステージ７をＸ、Ｙ、Ｚの３軸方向に移動するステージ位置決め装置１であって、架台に対してテーブル１０を水圧によってＺ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１１と、テーブル１０に設けられるガイドレール９に対してＸステージ８を水圧によって支持する静圧軸受１８と、テーブル１０に対してＸステージ８を水圧によってＸ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１９と、Ｘステージ８に設けられるガイドレール２０に対してＹステージ７を水圧によって支持する静圧軸受１７と、Ｘステージ８に対してＹステージ７を水圧によってＹ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 溶射セラミックスで形成されたステージはセラミックス層の気孔やマイクロクラックによってエアがリークしてステージの剛性が確保できないため、ステージの制御性能が低下していた。
【解決手段】 ガイド面がセラミックス溶射されたガイドおよびステージを有し、前記ガイドと前記ステージとの間のギャップをエアによる圧力と予圧マグネットによる吸引力とによって制御しながら前記ガイド面に沿って前記ステージを移動させる位置決め装置であって、前記ガイド面は、封孔処理された後に研磨されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄板を傷付けることなく且つ反りを生じることなくセットステージに載置することができると共に、セットステージへの固定および固定解除を瞬時に行うことができる形態測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】帯電性を有する薄板Ｗ上に形成された薄膜の形態および帯電性を有する薄板の表面の形態のいずれかを、非接触で測定する形態測定装置１において、薄板Ｗをセットするセットステージ４と、セットステージ４にセットした薄板Ｗに非接触で臨み、薄膜の形態または薄板の表面の形態を測定する測定器６と、を備え、セットステージ４には、薄板Ｗを静電吸着する静電吸着機構５が組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】本発明はステージ駆動時の反力を受けた駆動手段の支持部を介してステージに伝達されることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、ガントリ部を移動させるガントリ移動型ステージであり、コンクリート製の床面に固定された架台１２と、架台１２上に支持された石定盤１４と、石定盤１４上に支持されたワーク載置台１６と、ワーク載置台１６の上方を跨ぐように横架されたＹステージ１８と、Ｙステージ１８の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０と、リニアモータ２０が受ける反力を緩衝する緩衝部材５０とを有する。リニアモータ２０の駆動力によりＹステージ１８をＹ方向に移動させる際に発生する反力は、緩衝部材５０に吸収されると共に、リニアモータ支持部４６を介してコンクリート床面に伝達される。 （もっと読む）

【課題】
ステージの反り量を制御することによって高精度な処理を行える移動ステージ機構を提供する。
【解決手段】
Ｘ方向ステージ１４の一方の面に配置されたＹ方向レール１５に対応して、Ｘ方向ステージ１４の他方の面に変形制御部材１８を配置し、変形制御部材１８の線膨張係数α３をＹ方向レール１５の線膨張係数α２に近づけることによって、温度変化が生じた場合にＸ方向ステージ１４の反り量を調整する（例えば低減する）ことで、Ｘ方向ステージ１４に搭載するワークに対して高精度な処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールの全長を延長できることを課題とする。
【解決手段】 ステージ装置１０は、金属部材を組み合わせた架台１２と、架台１２上に支持された平板状の吸着板１４と、吸着板１４の両側に平行に配置された一対のガイドレール１６と、ガイドレール１６に沿って移動する移動体１８と、移動体１６の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０とを有する。ガイドレール１６は、石材を加工した四角柱形状の第１ガイドレール部品１６ａと第２ガイドレール部品１６ｂとを結合させた構成であり、ガイドレール部品１６ａ，１６ｂは、夫々全長が石材加工機により加工可能な６ｍ程度に加工されている。よって、ガイドレール１６の全長は、複数のガイドレール部品１６ａ，１６ｂを結合することにより、延長することが可能である。 （もっと読む）