【課題】全体形状がコンパクトな構成であり、各種の機能を選択して追加することが可能な多機能円盤アリ溝ステージを提供する。
【解決手段】多機能円盤アリ溝ステージ１は、締結具により土台に固定され、一方向に摺動する第１送りねじ式アリ溝ステージ２と、第１送りねじ式アリ溝ステージ２に対して交差する方向に摺動する第２送りねじ式アリ溝ステージ３と、精密機器が取付けられる回転摺動ステージ４と、を備え、第１送りねじ式アリ溝ステージ２、第２送りねじ式アリ溝ステージ３、及び回転摺動ステージ４は、それぞれ円盤状の外形を有して上下方向に積層される。 （もっと読む）

【課題】送りネジ式アリ溝ステージの性能を向上させ、送りネジ式アリ溝ステージに複数の機能を容易追加して使い勝手を改善した多機能送りネジ式アリ溝ステージを提供する。
【解決手段】多機能送りネジ式アリ溝ステージ１は、両端部にハンドル８との連結部を有する雄ネジ棒７と、固定部品２の両側にそれぞれ設けられ、雄ネジ棒７を回転自在に保持する第１支持台９及び第２支持台１０と、連結部を介して雄ネジ棒７と着脱自在に連結して雄ネジ棒７を回転させるハンドル８と、を備え、摺動部品３は、固定部品２と接続する雌ネジ筒が移動して第１支持台９及び第２支持台１０に当接するまで移動する。 （もっと読む）

【課題】
使い勝手が良く汎用性の高い手動ステージを提供する。
【解決手段】
手動ステージ１は、摺動部品４及び固定部品５が透明な樹脂であり、着色されることも可能であり、摺動部品４に設けられるバーニア目盛１０ａ、及び固定部品５に設けられるバーニア目盛１０ｂは、摺動部品４及び固定部品５のそれぞれの樹脂部品の側面に直接印字され、摺動部品４と固定部品５との側面に印字されるバーニア目盛１０ａ，１０ｂの数字は、裏面から読み取れるように裏返しに印字され、操作者は、透明な摺動部品４及び固定部品５を通してバーニア目盛１０ａ，１０ｂの数字を読取る。 （もっと読む）

【課題】安価で製作が容易な粗微動位置決め装置を提供する。
【解決手段】粗微動位置決め装置は、移動台を移動させる粗動機構と、粗動機構よりも高い移動精度で移動台を移動させる微動機構と、移動台の位置を検出する位置センサと、位置センサからのフィードバック信号に基づいて粗動機構を制御する粗動制御装置と、位置センサからのフィードバック信号に基づいて微動機構を制御する微動制御装置と、フィードバック経路に介在して設けられた信号調整器とを備える。信号調整器は、位置センサの検出信号を第１分解能でエンコードして得られた第１エンコード信号を粗動制御装置に出力し、位置センサの検出信号を第２分解能でエンコードして得られた第２エンコード信号と指令値信号との偏差を示す偏差信号を微動制御装置に出力する。 （もっと読む）

【課題】 スライダ部が、搭載されたミラーのサイズを超えてプラテン上を移動する場合でも、複数のレーザ干渉計を切り換える必要がないＸＹステージを実現する。
【解決手段】 ミラーを搭載したスライダ部をプラテン上で２次元的に位置決め制御するＸＹステージにおいて、
前記プラテンの一辺に沿って移動するマザーステージと、
前記プラテンの所定位置を基準点とした前記マザーステージの位置である第１位置を計測する計測手段と、
このマザーステージに搭載され、前記スライダ部のミラーに照射したレーザ光の反射光を受光し、前記マザーステージを基準点とした前記スライダ部の位置である第２位置を計測するレーザ干渉計と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】摩耗粉除去パッドと可動体の当接面との隙間から摩耗粉が逃げ出して外部に摩耗粉が飛散するのを防ぐ超音波モータ用の案内装置を提供する。
【解決手段】楕円運動する振動体と、該振動体の楕円運動を伝達するための摩擦部材５６とを有する超音波モータ５００と、摩擦部材５６に当接する当接面６４ａを有し、摩擦部材５６と前記当接面６４ａとの摩擦駆動により移動可能に設けられた可動体６４と、超音波モータ５００を包囲し、可動体６４側に開口する筐体１とを含む案内装置において、前記可動体６４の当接面６４ａに摺接する摺接面２ａを備えるとともに、超音波モータ５００に対応する開口部を備えた封止体２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 格別に高度な加工を行わなくても部品同士のガタツキやバックラッシュを解消できるテーブル姿勢調整装置を提供すること。
【解決手段】 走行子１４の一面２７に雌ネジ部２８を形成して送りネジ１３を螺合すると共に、他方の面２９には送りネジ１３に螺合した雌ネジ部材３０を挿入するための貫通孔３１と固定手段３２（ネジ穴３２ａ，セットスクリュー３２ｂ）を設け、走行子１４の一方の面２７と雌ネジ部材３０とによって姿勢変化許容部１５（部分円弧部材４５，４５）と距離変化許容部１６を予圧した状態で雌ネジ部材３０を貫通孔３１に固定することで部品のガタツキを解消する。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることができるＸＹステージを提供するものである。
【解決手段】ＸＹステージＳは、平坦な面を有し、相対向して設けられる第１、第２のプレート１、２と、第１のプレート１に取り付けられ、第１のプレート１のＸ軸方向に移動させる第１の移動手段３と、第１のプレート１に取り付けられ、第１のプレート１の前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させる第２の移動手段５と、第１の移動手段３により移動し、第２のプレート２に取り付けられた第１の移動体４と、第２の移動手段５により移動し、第２のプレート２に取り付けられた第２の移動体６とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることができるＸＹステージを提供するものである。
【解決手段】ＸＹステージＡによれば、第２のプレート２の平坦面から第１のプレート１の側に向かって突出するように長手形状の第２の摺動部材２１及び長手形状の第２’の摺動部材２２を、第３のプレート３の側に向かって突出するように長手形状の第２”の摺動部材２３及び長手形状の第２”’の摺動部材２４をそれぞれ、第２のプレート２に一体に設けている。 （もっと読む）

【課題】 簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】 移動部材６は、スライダ４，４とガイドレール５，５を介して支持板３に懸架されているので、高精度な位置決めを行うに当たって、定盤１の上面全体を精度良く加工する必要はなく、定盤１を軽量化することができる。これは、位置決め装置を設置するに当たり、定盤１を分解して現地へ搬送し、そこで組み立てる際に有効である。また支持脚２，２の部品精度や変形も位置決めに影響を与えることがない。 （もっと読む）

【課題】 位置決め時間の短縮と同時に高精度な位置決めを可能にする粗動微動位置決め装置を提案する。
【解決手段】 ナットを介してテーブルに接続された送りねじと、入力軸と出力軸が同軸上に配置された減速機であって前記送りねじの一端に出力軸が接続された減速機と、該減速機の入力軸に接続された微動送り用のモータと、出力軸が貫通した中空であって該中空部に前記減速機のケーシング部を同軸上に嵌着保持した粗動送り用の中空モータとを備えたことを特徴とする。なお、前記減速機は波動歯車減速機とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールの全長を延長できることを課題とする。
【解決手段】 ステージ装置１０は、金属部材を組み合わせた架台１２と、架台１２上に支持された平板状の吸着板１４と、吸着板１４の両側に平行に配置された一対のガイドレール１６と、ガイドレール１６に沿って移動する移動体１８と、移動体１６の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０とを有する。ガイドレール１６は、石材を加工した四角柱形状の第１ガイドレール部品１６ａと第２ガイドレール部品１６ｂとを結合させた構成であり、ガイドレール部品１６ａ，１６ｂは、夫々全長が石材加工機により加工可能な６ｍ程度に加工されている。よって、ガイドレール１６の全長は、複数のガイドレール部品１６ａ，１６ｂを結合することにより、延長することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールに非接触でガイドされるスライダの静圧軸受けパッドを削減することを課題とする。
【解決手段】 ステージスライダ機構２９のガイドレール３０は、断面がほぼ正方形であり、水平面に対して各４辺が４５度の傾斜角度を有するように取り付けられる。ガイドレール３０の上部傾斜面３０ｃ，３０ｄは、スライダ１８をガイドする一対のガイド面として機能しており、上部傾斜面３０ｃ，３０ｄに対向するスライダ１８の傾斜面１８ａ，１８ｂには、３個の静圧軸受けパッド３２〜３４が設けられている。３個の静圧軸受けパッド３２〜３４によりスライダ１８を浮上させて低摩擦で移動可能に支持する構成であり、従来のように水平面と垂直面の夫々に対向する位置に設ける構成のものよりも静圧軸受けパッドの設置数を半分以下に減らすことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 操作性に優れたテーブル移動機構およびプローブ走査装置を提供する。
【解決手段】 プローブ走査装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を一体的に備える。原子間力顕微鏡１０は試料載置台３０を有する。試料載置台３０は、ＸＹ方向移動機構３０ａおよびＺ方向移動機構３０ｂを含む。ＸＹ方向移動機構３０ａの上部には、試料Ｍを載置するための第３の移動プレート３３０が設けられている。ＸＹ方向移動機構３０ａの側面側からＹ方向に延びるようにＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０が互いに平行に設けられている。使用者がＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０を回転操作することにより、第３の移動プレート３３０がＸ方向およびＹ方向に移動する。第３の移動プレート３３０のＸ方向およびＹ方向への移動時において、Ｘ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０はＸ方向およびＹ方向に移動しない。 （もっと読む）

【課題】リニア駆動方式の精密位置決めシステムで、リニアステージに搭載する装置の大きさや取付け位置を変更しても高性能を安定して実現することを目的としている。
【解決手段】リニアステージに搭載するワークの取付け位置と質量に応じて、リニアモータのマグネットヨーク取付け位置を移動方向に対して直角方向にスライド調整して固定することでヨーイングを抑え、可動部に垂直方向にスライドして固定できる釣合い錘を取付けることでピッチングを抑え、両方を調整することで可動部に搭載するワークが変わっても推力位置と重心位置を常に一致させることができる構造とした。 （もっと読む）