【課題】センサ寸法の拡大が抑制され小型化に有利で、高いセンサ特性が安定して得られ、作製工程が複雑化しない、磁気センサを提供する。
【解決手段】抵抗素子を直列に接続した通電経路単位４１，４２，４３，４４のそれぞれに関し、一方端部は電源端子Ｖｃｃに電気的に接続され、他方端部は接地端子ＧＮＤに電気的に接続され、抵抗素子同士の接続部は出力端子Ｖｏ１〜Ｖｏ４に電気的に接続される。通電経路単位のそれぞれを構成する複数の抵抗素子の少なくとも１つは、磁気抵抗効果膜からなる磁気抵抗効果素子であり、電源端子は全ての通電経路単位につき共通化され、接地端子は全ての通電経路単位につき共通化される。全ての通電経路単位は絶縁膜の一方の面に接して形成され、絶縁膜の他方の面に接して配置された導電膜を用いて、電源端子共通化のための電源接続配線及び接地端子共通化のための接地接続配線が形成される。 （もっと読む）

【課題】電磁波ノイズの侵入を防止し、外的衝撃から磁気抵抗素子を保護し、防水性、防食性を確保することが可能な磁気センサを提供する。
【解決手段】基板３１と、基板３１の表面に形成され、外部磁界に応じて感磁領域３１ａの抵抗値が変化する感磁素子２１ｃを有する磁気回路部２１ａと、基板３１の表面に形成された磁気回路部２１ａを被覆する第１の無機膜３２と、第１の無機膜３２を被覆する第１の有機樹脂層３３と、感磁領域３１ａに対して外部電磁波を遮断するように、第１の有機樹脂層３３の表面に形成された非磁性導電膜３４と、非磁性導電膜３４を被覆する第２の有機樹脂膜３５と、第２の有機樹脂膜３５の表面に形成された第２の無機膜３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】磁気センサ素子のセンサコアを形成している材料に拘わらず、センサコアを確実にアースすることができる磁気センサ装置を提供すること。
【解決手段】磁気センサ装置８は、センサコア３２を備える磁気センサ素子１３と、磁気センサ素子１３を保持しているフレーム２０と、フレーム２０に取り付けられている導電部材４１を有する。導電部材４１はフレーム２０の側から磁気センサ素子１３に掛け渡されている掛け渡し部４１１を備えており、掛け渡し部４１１はセンサコア３２に押し当てられてセンサコア３２と電気的に接続されている。また、導電部材４１はフレーム２０に被せられたケース１０に接触する接触部４１３を備えており、ケース１０がアースされることによって、センサコア３２がアースされる。従って、センサコア３２を形成している材料に拘わらず、センサコア３２を確実にアースすることができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象の表面形状によらず、磁界を精度良く検出することができるシールデッドループアンテナ型の磁界検出器を提供する。
【解決手段】絶縁基材が構成材料として少なくとも樹脂を含むことで、多層基板が厚み方向において可撓性を有している。そして、シールデッドループアンテナのループ部分がなすループ面が厚み方向に平行となり、測定対象に対向させる多層基板の厚み方向に垂直な表面に対してギャップを有する導体パターンが平行となるように、ループ部分が導体パターン及び層間接続部により構成されている。 （もっと読む）

【課題】極めて小さいサイズまでスケールダウン可能な磁気センサ設計。
【解決手段】装置１００は、主軸を有し、磁気抵抗積層体１１０を含む。磁気抵抗積層体は第１および第２の対向する面を有し、フリー層とスペーサ層とリファレンス層とを含む。スペーサ層は第１およびリファレンス層間に位置決めされている。フリー層は第１の平面内に自由磁場配向を有する磁性材料を含む。スペーサ層は非磁性材料を含む。リファレンス層は第２の平面内にピン止めされた磁場配向を有する磁性材料を含む。第２の平面は第１の平面に垂直で装置の主軸に平行である。装置は、磁気抵抗積層体の外表面の少なくとも一部分を取囲む絶縁層１２０と、絶縁層の少なくとも一部分を取囲む遮蔽層１３０と、磁気抵抗積層体と遮蔽層との間の電気的接続を提供する導電層１４０とをさらに含む。 （もっと読む）

【課題】外部磁場やＥＭＳに対する耐性を十分に確保することができる磁気結合型アイソレータを提供すること。
【解決手段】本発明の磁気結合型アイソレータは、入力信号により外部磁界を発生させるためのコイル２と、コイル２と電気的に絶縁されるとともに磁気的結合が可能な位置であって、平面視においてコイル２と重なるように配置されており、前記外部磁界を検出して電気信号に変換するための磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ４と、平面視においてコイル２及び磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ４と重なるように配置された上部シールド膜４１及び下部シールド膜４２と、磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ４を囲繞するように配置されたミドルシールド膜４３と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外部磁場やＥＭＳに対する耐性を十分に確保することができる磁気結合型アイソレータを提供すること。
【解決手段】本発明の磁気結合型アイソレータは、入力信号により外部磁界を発生させるためのコイル２と、コイル２と電気的に絶縁されるとともに磁気的結合が可能な位置であって、平面視においてコイル２と重なるように配置されており、前記外部磁界を検出して電気信号に変換するための磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ４と、平面視においてコイル２及び磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ４と重なるように配置された上部シールド膜４１と、磁気抵抗効果素子Ｒ１〜Ｒ４を囲繞するように配置されたミドルシールド膜４３と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】信号処理回路のサイズを大きくすることなく、電界ノイズがある環境下でリーク電流が抑制された磁気センサを提供すること。
【解決手段】バイポーラ構造で構成された信号処理回路２は、大別して、ｎｐｎトランジスタ６１と、ｐｎｐトランジスタ６２と、抵抗６３とを備える。たとえばｎｐｎトランジスタ６１は、ｐ型分離層３５と、ｎ＋型埋込層４５と、コレクタ用のｎ＋型拡散層４１と、ベース用のｐ型拡散層４２と、エミッタ用のｎ＋型拡散層４３と、ｎ−型エピタキシャル層４４とを備える。コレクタ電極３８は、コレクタ用のｎ＋型拡散層４１に接続され、ベース電極３９は、ベース用のｐ型拡散層４２に接続され、エミッタ電極４０は、エミッタ用のｎ＋型拡散層４３に接続されている。信号処理回路２は、正または負の電源電圧に接続されたシールド層３２を備える。 （もっと読む）

【課題】 従来の磁電変換素子を有する磁気センサ、あるいは電流センサの磁界シールド構造は、磁電変換素子とは別の筐体、あるいは筐体の一部として配置され、かつ被測定磁界の発生源も別体となっており、センサの大型化、あるいは微小磁界の検出が困難であるという問題点があった。
また、導電体から成るシールド層が、ホール素子を含む半導体領域の全面を覆う半導体装置は、小型化および誘導ノイズ、外来ノイズ低減に関する効果はあるものの、動的な磁界が印加されたときシールド層に発生する渦電流に起因した磁界が、誤差として磁電変換素子に与えられる影響が考慮されていないため、被測定磁界の高精度な検出が困難になるという問題点があった。
【解決手段】 磁電変換素子に加えて、ある開口部を有した電界シールド層、電流路を、絶縁層を介して磁電変換素子近傍に設置し、半導体微細加工技術により一体化して製造したものである。 （もっと読む）

【課題】 特に、磁気抵抗効果素子のパターニング形成の際の薄膜プロセスによる集積回路へのダメージを適切に軽減できるとともに、磁気検出装置の小型化を実現できる磁気検出装置及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 集積回路３と磁気抵抗効果素子１０との間に金属で形成されたシールド層７を設けたことで、前記磁気抵抗効果素子１０を薄膜プロセスによりパターニング形成した際の前記磁気抵抗効果素子１０の直下に位置する前記集積回路３へのダメージを軽減できるとともに、Ｓｉ基板２上に集積回路３及び磁気抵抗効果素子１０を積層形成した構造であるため、磁気検出装置１の小型化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】磁気抵抗素子に外乱ノイズが侵入することを防止した磁気センサ装置を提供すること。
【解決手段】磁気センサ装置１において、剛性基板１０上に形成した磁気抵抗素子２５の表面を絶縁樹脂層４０、導電性粘着材層８１、金属層８２、および樹脂保護層８３で覆い、かつ、金属層８２は、導電性粘着材層８１を介してホルダ６に接着固定する。従って、金属層８２は、導電性粘着材層８１を介してホルダ６に電気的に接続され、電波シールド用導電層として機能する。 （もっと読む）

【課題】信号層の非対称性を解決、あるいはシールドを強化する。
【解決手段】線状導体パターン１ａと、線状導体パターンの端部に接続され、端部から分岐した第１及び第２の導体パターン１ｂ，１ｃとを有し、第１及び第２の導体パターンの先端部が所定距離離間し、対向して配置される第１層１と、第１層と同形状の導体パターンを有する第２層３と、第１の導体パターンの幅より細く、第１導体パターンに対向する第３の導体パターン２ｂと、第３の導体パターンと先端部に接続され、第２の導電パターンに対向する第４の導体パターン２ｃとを有し、第４の導体パターンが線状導体付近で切り欠きを持ち、第１層と前記第２層との間に配置される第３層と、第１層と、第２層と、第３層とを第３の導体パターン先端部で電気的に接続する第１のビア導体４とを有する。 （もっと読む）

【課題】磁界センサにおいて、小型化による磁界検出感度の低下を抑制しつつ、高周波磁界を高感度、高空間分解能で検出できる。
【解決手段】 本発明による磁界センサは、切り欠き部１０７を有するループ開口部１０９を備えるループ部１１１と、ループ部１１１に接続され、ループ開口部１０９に鎖交する磁界によってループ部１１１に発生する誘導起電力を外部に伝送するリード部１１０とを具備し、ループ部１１１におけるストリップ導体１１８の線幅は、リード部におけるストリップ導体１１７の線幅より細くなるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 トリプレート型ストリップ線路構造を有するシールデッドループコイル型磁界センサにおいて、高分解能を得る。
【解決手段】 トリプレート型ストリップ線路構造を有するシールデッドループコイル型磁界センサ１０では、その分解能は、被測定物に対して磁界の窓が近付けば近付くほど高くなるが、被測定物に近付けると、グランド導体のみを取り囲む磁束が発生して分解能が低下する。そこで、第一層及び第五層のグランド導体１１及び１５間を、被測定物に対向する面上において、メタライズ層２０でシールドすることにより、測定に寄与しない、グランド導体のみを取り囲む磁束の発生をなくして、被測定物と磁界センサ１０との距離をできるだけ近付けることができるようする。 （もっと読む）

【課題】平面型ディスプレイなどの各種基板上に形成された高密度集積導線間の短絡を、非接触で検出するセンサを提供する。
【解決手段】平面導体１０２の上部に磁気センサ１０１が形成されている。 平面導体１０２は、その磁気センサ１０１に対向する面が、磁気センサ１０１の平面導体１０２に対向する面より、その面積が広いことが好ましい。平面導体１０２は、磁気センサ１０１に流入される電界の信号を遮断しなければならないため、磁気センサ１０１の大きさに比べて、さらに大きく形成することによって、磁気センサ１０１に流入する電界信号を効果的に遮蔽することができる。製造工程の初期段階において金属パターンの不良を高速で検出及び修正することができるため、再作業によるコストアップを画期的に減少させるメリットがある。 （もっと読む）