【構成】
半導体チップの一面に感ガス部を有する絶縁膜が設けられ、感ガス部の裏面で半導体チップにキャビティが設けられている。半導体チップは、一面から反対面へと貫通し、感ガス部に電気的に接続される導電性のビアと、反対面に設けられかつビアに接続される配線とを備え、感ガス部は半導体チップに固着された通気性のカバーで覆われている。
【効果】
パッケージへのダイボンドもワイヤボンドも無しに、ガスセンサをプリント基板に実装できる。 （もっと読む）

【課題】 内燃機関から排出された気体の酸素濃度を安定して検出することができる抵抗型酸素センサ素子を提供する。
【解決手段】 絶縁基板１の一方の主面側に一対の酸素分圧検出電極２とＣｅＯ_２を含有する酸素分圧検出層３とが形成され、他方の主面上にヒータ電極４とヒータ保護層５とを有し、絶縁基板中に含まれるＳｉ量が基板の重量に対して１５ｐｐｍ以下でかつ、酸素分圧検出電極２に含まれるＳｉ量が酸素分圧検出層３の重量に対して１重量％以下であることにより、酸素分圧検出層の抵抗値の経時変化を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】Ｈ_２Ｏ、ＣＯ、ＣＨ_４、低分子シロキサンなど検知素子の性能を劣化させるガスを含んだガス中においても、水素濃度を正確に検知することができる水素検知素子及び水素検知センサを提供する。
【解決手段】
水素検知素子１は、水素を溶解して電気抵抗が変化する特性を有する金属からなる感応部２と、感応部２の電気抵抗の変化を検出する検出部６とを備える。水素検知センサは、水素検知素子１と、水素検知素子１の少なくとも感応部２を実装するパッケージ部１０と、金属メッシュ又は多孔質金属焼結体からなり、パッケージ部１０に感応部２を覆うように装着されるフィルター部１６とを備える。感応部２又はフィルター部１６は、その表面が撥水処理されている。 （もっと読む）

【課題】 シリコン等の被毒物質に対する被毒耐性が高く、ガス感度の経時的な変化を長期間に亘って抑制できるガスセンサを提供すること。
【解決手段】 ガスセンサ１００は、酸化物半導体からなる感ガス膜１３１と、この感ガス膜１３１上に分散された触媒粒子１３３と、これら感ガス膜１３１及び触媒粒子１３３上に形成された保護層１４０とを有する。このうち保護層１４０は、平均粒子径Ｄが５００ｎｍ以下の酸化物粒子１４１から構成されている。また、保護層１４０は、平均粒子径をＤ（ｎｍ）、保護層１４０の厚みをＴＨ（ｎｍ）としたとき、２０≦ＴＨ／Ｄ≦５００となる形態とされている。 （もっと読む）

【課題】長期間交換する必要のないセンサを備える物質検出装置及び携帯電話機を提供する。
【解決手段】２次元マトリックス状に配置された複数のセンサ部２０と複数のセンサ部２０それぞれを外部から遮断する封止部１７とを有し、持ち運び可能な携帯電話機４の筐体４ａに着脱自在なマトリックスセンサ１０を備え、所定のセンサ部２０を指定し、指定されたセンサ部２０に対応する封止部１７を除去し、指定されたセンサ部１０による検出データを取得し、取得された検出データに基づいて、検出対象物質の濃度を算出し、算出された検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であるか否か判断し、検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であると判断された場合に、当該検出対象物質が検出された旨を報知し、複数のセンサ部１０の全てが指定された場合にマトリックスセンサ１０を交換するよう報知し、センサ部２０が劣化しているか否か判断するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】車両に搭載され水素等の被検出ガスを検出するシステムであって、車両の状態に対応して作動し、ガス検出素子の劣化を防止可能なガスセンサシステムを提供する。
【解決手段】燃料電池自動車に搭載され、当該車両に対応して作動し、水素を検出するガスセンサシステム１であって、水素を検出するガス検出素子２３と、ガス検出素子２３が配置されると共に、水素が取り込まれる第１ガス検出室３２及び第２ガス検出室４１と、第１ガス検出室３２及び第２ガス検出室４１を密閉状態に維持可能なバタフライ弁５１と、バタフライ弁５１を制御し、燃料電池自動車が停止したか否かを判定するＥＣＵ９０と、を備え、燃料電池自動車は停止したと判定された場合、ＥＣＵ９０は、バタフライ弁５１により第１ガス検出室３２及び第２ガス検出室４１を密閉する。 （もっと読む）

【課題】水素吸収体の水素吸収能力を高めて雰囲気中の水素ガス濃度を段階的又は連続的に検出可能な水素センサを提供する。
【解決手段】絶縁基板１と、絶縁基板１の上面のほぼ全面に形成された層状の半導体２と、半導体２の上面中央部に形成された水素吸収体３と、半導体２の表面上であって水素吸収体３の左右両側に形成された内側電極５，５と、半導体２の表面上であって内側電極５，５の外側に形成された外側電極６，６とから水素センサを構成する。水素吸収体３を金又は金を主成分とする金とパラジウムとの合金をもって形成する。 （もっと読む）

簡単な構造により、素早いガス応答性を備えながらも検出値が外気の風量の影響を受けることを十分に防止した自動車用ガス検出装置を提供する。この自動車用ガス検出装置（１）は、ガスセンサ（３）と、ガスセンサ（３）を配置するためのセンサ配置孔（１２）を開口させてある本体ケース（４）と、本体ケース（４）のセンサ配置孔（１２）を覆うフィルタ（２１）と、センサ配置孔（１２）とフィルタ（２１）を覆うように本体ケース（４）に装着されるセンサカバー（５）と、センサカバー（５）におけるセンサ配置孔（１２）との対向領域（Ｔ_１）を囲う所定領域（Ｔ_２）内に、本体ケース（４）側に向けて穿設される空気導入孔（１８）とを、具備したものである。
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【課題】 感応層における剥離やクラックの発生を抑制すると共に、酸化性ガスの還元性ガスに対するガス選択性能に優れるガスセンサ素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 ガスセンサ素子１は、結晶密度の異なる２つの層（基板側感応層４４、触媒側感応層４５）を有する感応層４１を備える。基板側感応層４４は、触媒側感応層４５に比べて高密度の結晶で構成されることから、密着性に優れるため、感応体側絶縁層３４（基板２）との剥離が生じがたく、また、基板側感応層４４自体の強度も高まるためクラックや膜ハガレなどの破損が生じがたい。また、触媒側感応層４５は、基板側感応層４４に比べて低密度の結晶で構成されており、酸化性ガスのガス選択性に優れた特性を有する。ガスセンサ素子１によれば、感応層４１における剥離やクラックの発生を抑制すると共に、酸化性ガスの還元性ガスに対するガス選択性能に優れた特性を有する。 （もっと読む）

【課題】 検出対象領域に応じて精度良く検出対象ガスの濃度を検出することができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】 接触燃焼式ガスセンサと半導体式ガスセンサとを前記ガスセンサとして備える。前記接触燃焼式ガスセンサの濃度出力特性の変化率が前記半導体式ガスセンサの濃度出力特性の変化率より小さい濃度のときには、前記半導体式ガスセンサにより検出対象ガスの濃度を検出し、前記接触燃焼式ガスセンサの濃度出力特性の変化率が前記半導体式ガスセンサの濃度出力特性の変化率より大きい濃度のときには、前記接触燃焼式ガスセンサにより検出対象ガスの濃度を検出する。 （もっと読む）